JP2002006515A - プリント基板用自動マスクフィルム合わせ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＮＣ穴あけ用基準穴を基準穴とし、表面用と
裏面用のマスクフィルムの位置合わせができるプリント
基板用自動マスクフィルム合わせ装置を提供する 【解決手段】 この発明の装置１００は、プリント基板
に穿設された位置合わせ用の基準穴と、表面用および裏
面用のマスクフィルムの位置合わせ用のマークとの位置
合わせをそれぞれ自動的に行うことにより、プリント基
板の表裏両面に対するマスクフィルムの位置合わせを行
う。この場合、表面用および裏面用のマスクフィルム
は、位置合わせが完了したとき、基準穴の内径の中に存
在し、かつ、互いに重なることのない形状をもつ表面用
マークＭＳおよび裏面用マークＭＢをそれぞれ有してい
る。制御部は、プリント基板に穿設されたＮＣ穴あけ用
基準穴を表裏共通基準穴ＨＨと看做し、その表裏共通基
準穴ＨＨにマスクフィルムの表面用マークＭＳおよび裏
面用マークＭＢを位置合わせする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント基板用
自動マスクフィルム合わせ装置に関し、特に、プリント
基板に穿設された位置合わせ用の基準穴と、表面用およ
び裏面用のマスクフィルムの位置合わせ用のマークとの
位置合わせをそれぞれ自動的に行うことにより、プリン
ト基板の表裏両面に対するマスクフィルムの位置合わせ
を行うプリント基板用自動マスクフィルム合わせ装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】図８は、従来のプリント基板用自動マス
クフィルム合わせ装置において用いられるマスクフィル
ムのマークと、位置合わせの対象であるプリント基板に
穿設された位置合わせ用基準穴との関係を説明するため
の図である。図８において、プリント基板の中心線上の
両端近くには、ＮＣ穴あけ用基準穴ＨＣが明けられると
ともに、中心線に対して互いに対称になる、ＮＣ穴あけ
用基準穴ＨＣから所定の距離だけ離れたところに表面用
および裏面用のマスクフィルムのマークとの位置合わせ
のための表面用基準穴ＨＳと裏面用基準穴ＨＢとがそれ
ぞれ２個ずつあけられている。したがって、表面が上に
なるようにプリント基板支持面の上に置かれたプリント
基板の表面用基準穴ＨＳと、表面用のマスクフィルムの
表面用マークＭＴとの位置合わせを行い、表面用のマス
クフィルムをプリント基板の表面にテープ等で固定す
る。その後、プリント基板を反転して裏面が上になるよ
うにプリント基板支持面の上に置き、プリント基板の裏
面用基準穴ＨＢと、裏面用のマスクフィルムの裏面用マ
ークＭＣとの位置合わせを行い、裏面用のマスクフィル
ムをプリント基板の裏面に固定する。

【０００３】上述の場合、表面用基準穴ＨＳと裏面用基
準穴ＨＢとが別々に設けられている理由は、従来におい
ては、回路パターン焼き付け用のマスクフィルムのマー
クは、図８のマーク形状のところに示すように表面用お
よび裏面用とも同一形状のマークＭＴ，ＭＣが登録され
ていて、このマークでなければ装置側で認識できないよ
うに構成されているからである。仮に、基準穴ＨＳのみ
が設けられているとすると、基準穴ＨＳと、表面用のマ
スクフィルムのマークＭＴとの位置合わせを行うことに
は何の問題もないが、基準穴ＨＳと、裏面用のマスクフ
ィルムのマークとの位置合わせを行う場合に、基準穴Ｈ
Ｓの中には、表面用マークＭＴが既に存在し、同一形状
の裏面用マークＭＣと重なり、裏面用マークＭＣを認識
することができず、位置合わせができない。そこで、表
面側の位置合わせと、裏面側の位置合わせとを別々の基
準穴で行うために、表面用基準穴ＨＳと裏面用基準穴Ｈ
Ｂとを設けているのである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のプリン
ト基板用自動マスクフィルム合わせ装置において用いら
れるマスクフィルムのマークＭＴ，ＭＣは、表面用およ
び裏面用とも同一形状であるために、プリント基板側に
は、表面用基準穴ＨＳと裏面用基準穴ＨＢとを別々に設
けなければならず、そのための工数増加および表面用基
準穴ＨＳと裏面用基準穴ＨＢとの間の精度を保つための
管理がコストの上昇をもたらしている。また、表面側の
位置合わせと、裏面側の位置合わせとを表面用基準穴Ｈ
Ｓと表面用基準穴ＨＳとにより別々に行うので、位置合
わせの精度が低下することに加え、従来の裏面側の位置
合わせの場合に、プリント基板の裏面の高さがプリント
基板の下にある表面用のマスクフィルムの厚みだけ高く
なっていることを考慮していないことが、精度の低下を
増加させている。

【０００５】この発明は、上記の問題を解決すべくなさ
れてものであって、表面用および裏面用の基準穴を設け
ることを必要とせず、ＮＣ穴あけ用基準穴を表裏共通基
準穴として用いることを可能にさせ、コストを低減し、
精度を向上させるとともに、裏面の位置合わせの場合
に、表面用のマスクフィルムの厚み分に対応できるよう
にして、さらに精度を向上させることができるプリント
基板用自動マスクフィルム合わせ装置を提供することを
目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ために、この発明は、プリント基板に穿設された位置合
わせ用の基準穴と、表面用および裏面用のマスクフィル
ムの位置合わせ用のマークとの位置合わせをそれぞれ自
動的に行うことにより、プリント基板の表裏両面に対す
るマスクフィルムの位置合わせを行うプリント基板用自
動マスクフィルム合わせ装置において、位置合わせが完
了した場合に、基準穴の内径の中に存在し、かつ、互い
に重なることのない異なる形状をもつ表面用マークおよ
び裏面用マークがそれぞれ与えられている表面用および
裏面用のマスクフィルムと、プリント基板に穿設された
プリント基板表面用基準穴をプリント基板裏面用基準穴
にも使用する表裏共通基準穴と看做し、表裏共通基準穴
にマスクフィルムの前記表面用マークおよび裏面用マー
クを位置合わせする制御部とを有する。

【０００７】このような構成によれば、プリント基板に
穿設する位置合わせ用の基準穴は、表裏共通基準穴の一
組で済み、表面用マークおよび裏面用マークを表裏共通
基準穴に対して位置合わせを行った場合、表面用マーク
および裏面用マークは、基準穴の内径の中に存在し、か
つ、互いに重なることのなく、全く同じ表裏共通基準穴
に対して位置合わせされるので、位置合わせは非常に精
度のよいものとなる。また、表面用マークと裏面用マー
クとの間の相互の位置合わせも可能であり、そのことに
より、より一層の精度の向上を図ることができる。

【０００８】そして、この発明の実施の形態では、プリ
ント基板に穿設された位置合わせ用の基準穴と、表面用
および裏面用のマスクフィルムの位置合わせ用のマーク
との位置合わせをそれぞれ自動的に行うことにより、プ
リント基板の表裏両面に対するマスクフィルムの位置合
わせを行うプリント基板用自動マスクフィルム合わせ装
置１００において、位置合わせが完了した場合に、基準
穴の内径の中に存在し、かつ、互いに重なることのない
異なる形状をもつ表面用マークＭＳおよび裏面用マーク
ＭＢがそれぞれ与えられている表面用および裏面用のマ
スクフィルムと、プリント基板に穿設されたプリント基
板表面用基準穴として用いられるＮＣ穴あけ用基準穴Ｈ
Ｃをプリント基板裏面用基準穴にも使用する表裏共通基
準穴ＨＨと看做し、表裏共通基準穴ＨＨにマスクフィル
ムの前記表面用マークＭＳおよび裏面用マークＭＢを位
置合わせする制御部とを有する。

【０００９】また、この発明において、前記表裏共通基
準穴は、前記プリント基板の中心線上に設けられたＮＣ
穴あけ用基準穴であり、位置合わせが完了した場合に、
前記裏面用マークは、ＮＣ穴あけ用基準穴の中に納まる
リング形状のマークであり、表面用マークは、前記裏面
用マークのリング形状の内径の中に納まる円形のマーク
である。したがって、マークの形状を単純化することが
でき、表面用マークと裏面用マークとの相互の位置合わ
せも容易に実行し、位置合わせの精度を向上させること
ができ、スルーホールの多い両面プリント基板において
は特に有利である。

【００１０】さらに、この発明において、前記表裏共通
基準穴と、前記表面用マークおよび裏面用マークとの位
置合わせは、ＣＣＤカメラによりモニタされ、モニタの
結果は前記制御部により画像処理され、位置合わせにず
れが生じないように制御に用いられ、その状態がディス
プレイに表示される。したがって、自動制御は正確に行
われ、オペレータは、現状を容易に把握できる。この場
合に、裏面用のマスクフィルムの位置合わせするときに
は、プリント基板の表面側に取り付けられた表面用のマ
スクフィルムの厚み分の高さ調整を行って位置合わせを
するように制御部を設定しておけば、更に位置出しの精
度は向上する。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて添付図面に基づいて説明する。図１（ａ）は、この
発明のプリント基板用自動マスクフィルム合わせ装置の
実施の形態の全体を示す上面図、図１（ｂ）は、実施の
形態の全体を示す正面図、図１（ｃ）は、実施の形態の
全体を示す側面図、図２（ａ）は、図１に配置されてい
る移動ベースに関連する機構部分を示す平面図、図２
（ｂ）は、図１に配置されている移動ベースに関連する
機構部分を示す正面図、図３は、図１のプリント基板用
自動マスクフィルム合わせ装置において使用されるプリ
ント基板およびマスクフィルムの表面用マークおよび裏
面用マークを説明する図、図４ないし図７は、図１の操
作用ディスプレイに表示される表示例を説明する図であ
る。

【００１２】図１で示されるプリント基板用自動マスク
フィルム合わせ装置１００において、プリント基板１０
は、マークの位置合わせを行う機構に支持された透明ア
クリル製のテーブル２０（図２（ｂ）参照）の上に真空
吸着されている。直動アクチュエータ３０は、アーム３
１およびそれに取り付けられた吸着パッド３２ａ，３２
ｂを有し、これらを制御部（不図示）の指示に従って適
宜に昇降することができる。直動アクチュエータ３０
は、マークの位置合わせ時において、吸着パッド３２
ａ，３２ｂによりマスクフィルム４０を吸着し、マスク
フィルム４０を制御部（不図示）から指示された位置に
移動する。この移動の場合、直動アクチュエータ３０
は、マスクフィルム４０をプリント基板１０との間に極
僅かの隙間を保って保持するように指示される。

【００１３】上述のような制御部からの指示があるため
に、テーブル２０は、マークの位置合わせ時において、
プリント基板１０をマスクフィルム４０の下でマスクフ
ィルム４０に触れることなく自由に移動することができ
る。また、直動アクチュエータ３０の左右の上方には、
直動アクチュエータ３０の吸着パッド３２ａ，３２ｂに
吸着されたマスクフィルム４０のマークに関する位置合
わせをモニタするＣＣＤカメラ５１ａ，５１ｂが配置さ
れている。ＣＣＤカメラ５１ａ，５１ｂがモニタするそ
れぞれの位置合わせ画面は、モニタ用ディスプレイ５２
ａ，５２ｂにそれぞれ表示される。また、その他の操作
用の画面は、図４ないし図７に示されるように操作用デ
ィスプレイ５３に表示される。

【００１４】次に、上述のプリント基板１０を搭載した
透明アクリル製のテーブル２０およびそれを移動してマ
スクフィルムのマークの位置合わせを行う機構について
図２を参照して説明する。この場合、図２（ａ）は、図
２（ｂ）において示されているベースパネルより下の部
分を示している。テーブル２０は、ベースパネル２１に
設けられたポスト２２により水平に保持されている。テ
ーブル２０とベースパネル２１との間には真空吸着用配
管（不図示）が設けられており、テーブル２０の上に搭
載されるプリント基板１０を必要に応じてテーブル２０
の上面に吸着固定する。ベースパネル２１は、水平に移
動する移動ベース６０に取り付けられており、移動ベー
スの移動に従ってテーブル２０を移動させる。

【００１５】移動ベース６０は、３個の電動シリンダ６
１ａ，６１ｂ，６１ｃの駆動により、ローラベアリング
６２の上をＸ方向またはＹ方向に移動し、あるいは回転
することができるように構成されている。例えば、制御
部が電動シリンダ６１ａ，６１ｃを固定として、電動シ
リンダ６１ｂを押し引き駆動すると、移動ベース６０
は、−Ｘ方向または＋Ｘ方向に移動する。また、電動シ
リンダ６１ｂを固定として、電動シリンダ６１ａ，６１
ｂを同量だけ押し引きを反対に駆動すると、移動ベース
６０は、−Ｙ方向または＋Ｙ方向に移動する。さらに、
電動シリンダ６１ａ，６１ｂ，６１ｃを同量だけ押し引
きの向きを同じにして駆動すると、移動ベース６０は、
反時計方向あるいは時計方向に回転する。

【００１６】このように動作するプリント基板用自動マ
スクフィルム合わせ装置１００において処理されるプリ
ント基板の基準穴および位置合わせ対象のマスクフィル
について説明する。プリント基板に穿設される基準穴お
よびマスクフィルムのマークは図３に示されるように構
成されている。すなわち、この例においては、ＮＣ穴あ
け用基準穴として用いられる従来と同じ形状の２個の基
準穴が表裏共通基準穴ＨＨとして用いられる。また、マ
スクフィルムの表面用マークＭＳは、従来の表面用マー
クＭＴと同じであるが、裏面用マークＭＢは、表面用マ
ークＭＳとは異なり、リング形状をしている。このリン
グ形状の内径は、表面用マークＭＳの外形よりも充分に
大きくされ、リング形状の外径は、表裏共通基準穴ＨＨ
の内径よりも充分に小さくされている。

【００１７】このようなプリント基板用自動マスクフィ
ルム合わせ装置１００において、テーブル２０の上にプ
リント基板１０がその表面を上にするように装着され、
表面用のマスクフィルムが吸着パッド３２ａ，３２ｂに
吸着され、プリント基板用自動マスクフィルム合わせ装
置１００にマークの位置合わせをするように指示が与え
られると、制御部の制御により、直動アクチュエータ３
０は、表面用のマスクフィルムをテーブル２０の上のプ
リント基板１０の上に降下させ、プリント基板１０との
間に所定の隙間を保って保持する。制御部は、ＣＣＤカ
メラ５１ａ，５１ｂからの映像により、マスクフィルム
の表面用マークＭＳがプリント基板１０の表裏共通基準
穴ＨＨの中央にくるように、電動シリンダ６１ａ，６１
ｂ，６１ｃを駆動する。

【００１８】マスクフィルムの表面用マークＭＳがプリ
ント基板１０の表裏共通基準穴ＨＨの中央にくると、制
御部は、直動アクチュエータ３０を若干下降させ、マス
クフィルムをプリント基板１０の上に位置ずれしないよ
うに押圧した後に、吸着を停止し上昇する。他方、プリ
ント基板１０の上に押圧された表面用のマスクフィルム
は、プリント基板１０との間に位置ずれを発生させない
ように、プリント基板１０に粘着テープ等で固定され
る。表面用のマスクフィルムがプリント基板１０の上に
固定された後、プリント基板１０は裏返され、その裏面
が上を向くようにテーブル２０の上に載せられ、テーブ
ル２０に真空吸着される。この場合、プリント基板１０
とテーブル２０との間には、表面用のマスクフィルムが
存在するので、前記の位置合わせの場合のプリント基板
１０の表面の高さに比較して、プリント基板１０の裏面
の高さは、表面用のマスクフィルムの厚さ分だけ高くな
っている。

【００１９】制御部は、裏面用のマスクフィルムが吸着
パッド３２ａ，３２ｂに吸着され、裏面用マークの位置
合わせをするように指示が与えられると、直動アクチュ
エータ３０は、裏面用のマスクフィルムをテーブル２０
の上のプリント基板１０の上に降下させ、プリント基板
１０との間に所定の隙間を保って保持する。この場合、
裏面用のマスクフィルムが停止される位置は、表面用の
マスクフィルムの厚さ分だけ高くなっている。制御部
は、ＣＣＤカメラ５１ａ，５１ｂからの映像により、マ
スクフィルムの裏面用マークＭＢがプリント基板１０の
表裏共通基準穴ＨＨの中央にくるように、電動シリンダ
６１ａ，６１ｂ，６１ｃを駆動する。この場合、表面用
マークＭＳは裏面用マークＭＢの内径の中に見えてお
り、さらなる微調整の指示を受けている場合には、制御
部は裏面用マークＭＢの中央に表面用マークＭＳがくる
ように微調整を行う。この微調整を行った場合には、表
面用のマスクフィルムと、裏面用のマスクフィルムとの
ずれは、極めて少なくなり、プリント基板１０にスルー
ホールが多い場合には非常に有利である。

【００２０】上述の動作に関して、オペレータからの指
示あるいは設定は、既に説明したタッチパネル機能を持
つ操作用ディスプレイ５３あるいはキーボード（不図
示）を介して行うことができる。操作用ディスプレイ５
３の構成例を図４ないし図７に示す。操作用ディスプレ
イ５３に表示された画面切替スイッチ５３ａのモードが
タッチされると、図４のモード設定画面が現れ、モード
選択スイッチ５３ｂへの選択タッチによって、合わせ作
業連続（上述した例）、合わせ作業表面、合わせ作業表
面の何れかを選択できる。さらに、自動で作業をさせた
い場合、手動で作業をさせたい場合には、“ＡＵＴＯ”
または“ＭＡＮＵ”にそれぞれタッチすれば、図５また
は図６の画面が現れる。また、アラームが発生した場
合、“アラーム”にタッチすれば、図７の画面が現れ
る。

【００２１】図５は、自動運転が設定された場合を示し
ており、モードは“合わせ作業連続”が選択されている
ので、表面用マークの位置合わせと裏面用マークの位置
合わせが交互に自動的に繰り返される。ただし、やり直
し等の場合には、“表”または“裏”のスイッチ５３ｃ
により、強制的に選択し直せる。換算値は、画像処理の
１画素当たりの距離（単位はμｍ）を設定しており、換
算値設定スイッチ５３ｄにより変更可能にされている。
したがって、制御部は、ＣＣＤカメラ５１ａ，５１ｂを
介して入力した表裏共通基準穴ＨＨと、マスクフィルム
のマークとがずれていれば、ずれている画素数×換算値
により、ずれ量を検出でき、ずれを無くすように電動シ
リンダ６１ａ，６１ｂ，６１ｃを自動制御することがで
きる。芯ずれ許容範囲は、芯ずれ許容範囲設定スイッチ
５３ｅによって設定可能である。例えば、表裏共通基準
穴ＨＨとマークとの芯ずれが許容範囲を超えると、動作
停止あるいはアラーム発生等を行う。合わせずれ量表示
レベルゲージ５３ｆは、左右における表裏共通基準穴Ｈ
Ｈと、マスクフィルムのマークとのずれを数値およびグ
ラフで表示し、判定結果をアライメント判定表示として
示す。

【００２２】図６は、手動運転が設定された場合を示し
ており、移動ベース６０に搭載されたテーブル２０（Ｘ
Ｙθテーブル）は、移動量の設定スイッチ５３ｇおよび
矢印による移動方向の指定スイッチ５３ｈにより、手動
で位置および向きを変更する。原点復帰スイッチ５３ｉ
がタッチされたときには原点に戻る。直動アクチュエー
タ３０は、スイッチ５３ｊの“ＵＰ”“ＭＩＤ”“ＢＯ
Ｔ”の選択タッチにより高さを変更する。図７は、アラ
ーム選択時の画面であって、アラームの内容を表示した
り、履歴を表示させたり、あるいは、そのアラームをリ
セットさせたりする。なお、これらの表示、選択、設
定、リセット等に関する動作は、制御部の制御プログラ
ムで設定されることはいうまでもない。

【００２３】

【発明の効果】この発明は、以上詳述したように構成さ
れているので、表面用マークおよび裏面用マークの両方
がＮＣ穴あけ用基準穴を表裏共通基準穴として位置合わ
せされることとなり、同じ穴を基準とするので位置ずれ
を発生させないと共に、マーク位置合わせ用の基準穴を
ＮＣ穴あけ用基準穴と別途に穿設する必要が無く、工数
を削減できる。また、表面用マークおよび裏面用マーク
は重ならないので、表裏共通基準穴と位置合わせできる
ばかりでなく、お互いの位置合わせも可能であるので、
位置合わせの精度をより一層向上させることができ、ス
ルーホールが多い両面基板においては非常に有効であ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は、この発明のプリント基板用自動マス
クフィルム合わせ装置の実施の形態の全体を示す上面図
である。（ｂ）は、実施の形態の全体を示す正面図であ
る。（ｃ）は、実施の形態の全体を示す側面図である。

【図２】（ａ）は、図１に配置されている移動ベースに
関連する機構部分を示す平面図である。（ｂ）は、図１
に配置されている移動ベースに関連する機構部分を示す
正面図である。

【図３】図１のプリント基板用自動マスクフィルム合わ
せ装置において使用されるプリント基板およびマスクフ
ィルムの表面用マークおよび裏面用マークを説明する図
である。

【図４】図１のプリント基板用自動マスクフィルム合わ
せ装置の操作用ディスプレイにおけるモード設定画面を
説明する図である。

【図５】図１のプリント基板用自動マスクフィルム合わ
せ装置の自動運転時における操作用ディスプレイの表示
を説明する図である。

【図６】図１のプリント基板用自動マスクフィルム合わ
せ装置の手動操作時における操作用ディスプレイの表示
を説明する図である。

【図７】図１のプリント基板用自動マスクフィルム合わ
せ装置のアラーム発生時における操作用ディスプレイの
表示を説明する図である。

【図８】従来のプリント基板用自動マスクフィルム合わ
せ装置において使用されるプリント基板およびマスクフ
ィルムの表面用マークおよび裏面用マークを説明する図
である。

【符号の説明】

１０ プリント基板 ２０ テーブル ２１ ベースパネル ２２ ポスト ３０ 直動アクチュエータ ３１ アーム ３２ａ，３２ｂ 吸着パッド ４０ マスクフィルム ５１ａ，５１ｂ ＣＣＤカメラ ５２ａ，５２ｂ モニタ用ディスプレイ ５３ 操作用ディスプレイ ６０ 移動ベース ６１ａ，６１ｂ，６１ｃ 電動シリンダ ６２ ローラベアリング １００ プリント基板用自動マスクフィルム合わせ装
置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 八角 高督 東京都中野区東中野三丁目14番20号 国際 電気株式会社内 Ｆターム(参考） 2H097 KA03 KA12 KA13 KA15 KA20 KA28 LA09

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プリント基板に穿設された位置合わせ用
   の基準穴と、表面用および裏面用のマスクフィルムの位
   置合わせ用のマークとの位置合わせをそれぞれ自動的に
   行うことにより、プリント基板の表裏両面に対するマス
   クフィルムの位置合わせを行うプリント基板用自動マス
   クフィルム合わせ装置において、 位置合わせが完了した場合に、基準穴の内径の中に存在
   し、かつ、互いに重なることのない異なる形状をもつ表
   面用マークおよび裏面用マークがそれぞれ与えられてい
   る表面用および裏面用のマスクフィルムと、 プリント基板に穿設されたプリント基板表面用基準穴を
   プリント基板裏面用基準穴にも使用する表裏共通基準穴
   と看做し、表裏共通基準穴にマスクフィルムの前記表面
   用マークおよび裏面用マークを位置合わせする制御部と
   を有することを特徴とするプリント基板用自動マスクフ
   ィルム合わせ装置。
2. 【請求項２】 前記表裏共通基準穴は、前記プリント基
   板の中心線上に設けられたＮＣ穴あけ用基準穴であり、
   位置合わせが完了した場合に、前記裏面用マークは、Ｎ
   Ｃ穴あけ用基準穴の中に納まるリング形状のマークであ
   り、表面用マークは、前記裏面用マークのリング形状の
   内径の中に納まる円形のマークである請求項１記載のプ
   リント基板用自動マスクフィルム合わせ装置。
3. 【請求項３】 前記表裏共通基準穴と、前記表面用マー
   クおよび裏面用マークとの位置合わせは、ＣＣＤカメラ
   によりモニタされ、モニタの結果は前記制御部により画
   像処理され、位置合わせにずれが生じないように制御に
   用いられ、その状態がディスプレイに表示される請求項
   １または２記載のプリント基板用自動マスクフィルム合
   わせ装置。