JP2020097067A - 補助方法及び補助装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、ダイシング装置10の上面図である。図2は、ダイシング装置10の側面図である。なお、図中のXYZの各軸方向は互いに垂直である。本実施形態ではXY軸方向は水平方向(本発明の垂直方向)に平行(略平行を含む)な方向であり、且つZ軸方向は上下方向に平行(略平行を含む)な方向である。
図7は、ダイシング装置10における位置合わせ作業の補助方法の流れを示すフローチャートである。オペレータは位置合わせ作業を開始する場合、モニタ58に対してタッチ操作による補助画面80の起動操作を行う。この起動操作を受けて、表示制御部74は、モニタ58に補助画面80を表示させる(ステップS1)。
以上のように本実施形態では、ワークWの2箇所のエッジEを各顕微鏡16A,16Bで同時撮影して、動画像D1及び電子ライン98Aの重畳画像と、動画像D2及び電子ライン98Bの重畳画像と、を補助画面80内に同時表示させるので、回転軸C1とワーク中心C2との位置合わせ作業を短時間で且つ簡単且つ高精度に行うことができる。
上記実施形態では、2台の各顕微鏡16A,16BによりエッジEの2箇所のを同時に動画撮影しているが、3台以上の複数の顕微鏡によりエッジEの3箇所以上を同時に動画撮影してもよい。これにより、エッジEの3以上の撮影箇所に対応した3種類以上の重畳画像が補助画面80内に同時表示されるので、オペレータは位置合わせ作業をより高精度に行うことができる。
12…ブレード,
14…スピンドル,
16A…高倍率顕微鏡,
16B…低倍率顕微鏡,
18…回転テーブル,
50…統括制御部,
56…吸引部,
58…モニタ,
60…位置情報,
62…撮影倍率情報,
64…設計情報,
68…移動制御部,
70…撮影制御部,
72…エッジ位置情報取得部,
74…表示制御部,
76…吸引制御部,
78…回転制御部,
80…補助画面,
98A,98B…電子ライン,
D1,D2…動画像
P1,P2…撮影光軸
C1…回転軸
C2…ワーク中心
W…ワーク
Claims (7)
- 回転軸を中心として回転するワーク保持用の回転テーブルと、前記回転テーブルに載置された板状のワークと、を前記回転軸に対して垂直方向に相対移動させて、前記回転テーブルの前記回転軸と前記ワークの中心とを位置合わせする位置合わせ作業を補助する補助方法において、
前記回転テーブルに載置された前記ワークのエッジを、前記回転テーブルに対向する位置に配置された複数のカメラにより動画撮影する撮影ステップと、
前記カメラごとに動画撮影された複数の動画像をモニタに表示させる表示ステップと、
前記モニタに表示されている前記動画像ごとに、前記回転軸と前記ワークの中心とが一致している状態での前記動画像内の前記エッジの位置を示すエッジ位置情報を重畳表示させる重畳表示ステップと、
を有する補助方法。 - 前記撮影ステップでは、前記カメラごとに、前記カメラが動画撮影する前記エッジの撮影箇所を互いに異ならせている請求項1に記載の補助方法。
- 前記回転テーブルに前記ワークが保持されている場合、前記ワークの保持を解除する解除ステップを有する請求項1又は2に記載の補助方法。
- 前記回転テーブルの回転操作の入力を操作受付部で受け付けた場合に、前記回転テーブルの回転駆動部を制御して、前記回転軸を中心として前記回転テーブルを一定角度だけ回転させる回転ステップと、
前記回転ステップで前記回転テーブルが回転された場合に、前記撮影ステップ、前記表示ステップ、及び前記重畳表示ステップを繰り返し実行させる繰り返し制御ステップと、
を有する請求項1から3のいずれか1項に記載の補助方法。 - 前記カメラごとの撮影倍率が互いに異なる請求項1から4のいずれか1項に記載の補助方法。
- 前記カメラごとの撮影光軸の位置情報及び撮影倍率と、前記回転軸の位置情報と、前記ワークの設計情報と、に基づき、前記動画像ごとの前記エッジ位置情報を取得するエッジ位置情報取得ステップを有し、
前記重畳表示ステップでは、前記エッジ位置情報取得ステップで取得された前記エッジ位置情報に基づき、前記動画像ごとに前記動画像と前記エッジ位置情報との重畳表示を実行する請求項1から5のいずれか1項に記載の補助方法。 - 回転軸を中心として回転するワーク保持用の回転テーブルと、前記回転テーブルに載置された板状のワークと、を前記回転軸に対して垂直方向に相対移動させて、前記回転テーブルの前記回転軸と前記ワークの中心とを位置合わせする位置合わせ作業を補助する補助装置において、
前記回転テーブルに載置された前記ワークのエッジを、前記回転テーブルに対向する位置に配置された複数のカメラにより動画撮影させる撮影制御部と、
前記カメラごとに動画撮影された複数の動画像をモニタに表示させる表示制御部と、
前記モニタに表示されている前記動画像ごとに、前記回転軸と前記ワークの中心とが一致している状態での前記動画像内の前記エッジの位置を示すエッジ位置情報を重畳表示させる重畳表示制御部と、
を備える補助装置。
Priority Applications (1)
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JP7219879B2 JP7219879B2 (ja) | 2023-02-09 |
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Family Applications (1)
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2018
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