JP7219879B2 - 補助方法及び補助装置 - Google Patents

Description

本発明は、ワーク保持用の回転テーブルの回転軸と、板状のワークの中心との位置合わせ作業を補助する補助方法及び補助装置に関する。

半導体ウェハ等のワークを切削加工するダイシング装置が良く知られている。このダイシング装置は、ワークを切削するブレードと、ブレードを高速回転させるスピンドルと、ワークを保持し且つ回転軸を中心として回転する回転テーブルと、アライメント検出及びカーフチェック等に用いられる顕微鏡と、を備える。

このようなダイシング装置の一種として、マニュアル型（セミオートマチック型を含む）のダイシング装置が知られている（特許文献１及び２参照）。このマニュアル型のダイシング装置では、回転テーブル上へのワークのセットと、回転テーブルの回転軸及びワークの中心の位置合わせ作業と、をオペレータの手作業で行う。このため、マニュアル型のダイシング装置では、全自動型のダイシング装置に搭載されているようなロードポート及びワーク位置調整機構等が省略されるため、装置の構造がコンパクト化される。

特開２０１０－２７２８４２号公報 特開２０１０－２１５４２号公報

ところで、マニュアル型のダイシング装置では、上記の通り、回転テーブルの回転軸とワークの中心との位置合わせ作業をオペレータによる手作業で行うため、回転テーブルの回転軸とワークの中心との位置ずれが生じる場合がある。

このような位置ずれが生じると、ワークの切削加工時に回転テーブルを回転させた場合に、ワーク上の所望のパターン（アライメントパターン及び加工ライン等）の位置ずれ誤差が大きくなる。このため、アライメントパターンの検出に失敗したり、或いは切削位置と加工ラインとの位置ずれ量が大きくなったりするおそれがある。このため、回転テーブルの回転軸とワークの中心との位置合わせの高精度化が求められている。

そこで、マニュアル型のダイシング装置では、回転テーブル上のワークのエッジを動画撮影し、この動画像（ライブ画像）をモニタに表示させると共に、動画像に対してワークのエッジの目標位置となる電子ラインを重畳表示させている。この電子ラインは、回転テーブルの回転軸とワークの中心とが一致している状態での動画像内のエッジの位置を示す。これにより、オペレータは、動画像内の電子ラインにワークのエッジが一致するようにワークの位置調整を行うことで、回転テーブルの回転軸とワークの中心とを一致させることができる。

この際に、ワークの一か所のエッジを電子ラインに位置合わせするだけでは、回転テーブルの回転軸とワークの中心との位置合わせを正確に行うことが困難である。このため、ワークの複数箇所のエッジをそれぞれ対応する電子ラインに位置合わせすることが好ましい。具体的には、複数箇所のエッジごとに、エッジの動画撮影と、エッジの動画像及び電子ラインの重畳表示と、エッジ及び電子ラインの位置合わせと、を繰り返し実行する。しかしながら、この場合には、複数の箇所のエッジを順番に動画撮影するごとに、ワーク（回転テーブル）に対する顕微鏡のＸ方向及びＹ方向の相対位置の調整が必要になる。その結果、回転テーブルの回転軸とワークの中心との位置合わせに時間及び手間が掛かるという問題がある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、回転テーブルの回転軸とワークの中心との位置合わせ作業を短時間で且つ簡単且つ高精度に行うことができる補助方法及び補助装置を提供することを目的とする。

本発明の目的を達成するための補助方法は、回転軸を中心として回転するワーク保持用の回転テーブルと、回転テーブルに載置された板状のワークと、を回転軸に対して垂直方向に相対移動させて、回転テーブルの回転軸とワークの中心とを位置合わせする位置合わせ作業を補助する補助方法において、回転テーブルに載置されたワークのエッジを、回転テーブルに対向する位置に配置された複数のカメラにより動画撮影する撮影ステップと、カメラごとに動画撮影された複数の動画像をモニタに表示させる表示ステップと、モニタに表示されている動画像ごとに、回転軸とワークの中心とが一致している状態での動画像内のエッジの位置を示すエッジ位置情報を重畳表示させる重畳表示ステップと、を有する。

この補助方法によれば、モニタに重畳表示されている複数組の動画像及びエッジ位置情報に基づき、ワークＷの複数箇所のエッジを、各々のエッジに対応するエッジ位置情報が示す位置に位置合わせすることができる。このため、ワーク（回転テーブル）に対する複数のカメラの位置調整を１回で済ませることができる。

本発明の他の態様に係る補助方法において、撮影ステップでは、カメラごとに、カメラが動画撮影するエッジの撮影箇所を互いに異ならせている。これにより、回転テーブルの回転軸とワークの中心との位置合わせを高精度に行うことができる。

本発明の他の態様に係る補助方法において、回転テーブルにワークが保持されている場合、ワークの保持を解除する解除ステップを有する。これにより、回転テーブルの回転軸とワークの中心との位置合わせが可能となる。

本発明の他の態様に係る補助方法において、回転テーブルの回転操作の入力を操作受付部で受け付けた場合に、回転テーブルの回転駆動部を制御して、回転軸を中心として回転テーブルを一定角度だけ回転させる回転ステップと、回転ステップで回転テーブルが回転された場合に、撮影ステップ、表示ステップ、及び重畳表示ステップを繰り返し実行させる繰り返し制御ステップと、を有する。これにより、回転テーブルの回転軸とワークの中心との位置合わせをより高精度に行うことができる。

本発明の他の態様に係る補助方法において、カメラごとの撮影倍率が互いに異なる。これにより、撮影倍率の低いカメラで撮影された動画像及びエッジ位置情報の重畳画像に基づきワークのエッジの位置調整（概略調整）を行った上で、撮影倍率の高いカメラで撮影された動画像及びエッジ位置情報の重畳画像に基づきワークのエッジの位置調整（精密調整）を行うことができる。

本発明の他の態様に係る補助方法において、カメラごとの撮影光軸の位置情報及び撮影倍率と、回転軸の位置情報と、ワークの設計情報と、に基づき、動画像ごとのエッジ位置情報を取得するエッジ位置情報取得ステップを有し、重畳表示ステップでは、エッジ位置情報取得ステップで取得されたエッジ位置情報に基づき、動画像ごとに動画像とエッジ位置情報との重畳表示を実行する。

本発明の目的を達成するための補助装置は、回転軸を中心として回転するワーク保持用の回転テーブルと、回転テーブルに載置された板状のワークと、を回転軸に対して垂直方向に相対移動させて、回転テーブルの回転軸とワークの中心とを位置合わせする位置合わせ作業を補助する補助装置において、回転テーブルに載置されたワークのエッジを、回転テーブルに対向する位置に配置された複数のカメラにより動画撮影させる撮影制御部と、カメラごとに動画撮影された複数の動画像をモニタに表示させる表示制御部と、モニタに表示されている動画像ごとに、回転軸とワークの中心とが一致している状態での動画像内のエッジの位置を示すエッジ位置情報を重畳表示させる重畳表示制御部と、を備える。

本発明は、回転テーブルの回転軸とワークの中心との位置合わせ作業を、短時間で且つ簡単且つ高精度に行うことができる。

ダイシング装置の上面図である。 ダイシング装置の側面図である。 図１に示したブレード、スピンドル、撮影ユニット、及び回転テーブルの拡大図である。 ダイシング装置の統括制御部の機能ブロック図である。 移動制御部による位置合わせ作業時の回転テーブル及び各顕微鏡の位置調整を説明するための説明図である。 モニタに表示される補助画面の一例を示した説明図である。 ダイシング装置における位置合わせ作業の補助方法の流れを示すフローチャートである。 オペレータによる位置合わせ作業の変形例を説明するための説明図である。

［ダイシング装置の構成］
図１は、ダイシング装置１０の上面図である。図２は、ダイシング装置１０の側面図である。なお、図中のＸＹＺの各軸方向は互いに垂直である。本実施形態ではＸＹ軸方向は水平方向（本発明の垂直方向）に平行（略平行を含む）な方向であり、且つＺ軸方向は上下方向に平行（略平行を含む）な方向である。

図１及び図２に示すように、ダイシング装置１０は、ダイシングフレームにマウントされた半導体ウェハ等の円板状（略円板形状を含む）のワークＷを切削加工する。このダイシング装置１０は、回転テーブル１８上へのワークＷのセットと、回転テーブル１８の回転軸Ｃ１及びワークＷの中心であるワーク中心Ｃ２の位置合わせ作業と、をオペレータの手作業で行う所謂マニュアル型（セミオートマチック型）の装置である。

ダイシング装置１０は、ブレード１２と、スピンドル１４と、撮影ユニット１６と、ワーク保持用の回転テーブル１８と、を備える。

ブレード１２は、Ｙ軸方向に平行なブレード回転軸を中心として回転自在にスピンドル１４に保持されている。スピンドル１４は、高周波モータを内蔵しており、ブレード回転軸を中心としてブレード１２を高速回転させる。

撮影ユニット１６は、スピンドル１４に固定されている。この撮影ユニット１６は、ワークＷを撮影する。

図３は、図１に示したブレード１２、スピンドル１４、撮影ユニット１６、及び回転テーブル１８の拡大図である。図３と既述の図１及び図２とに示すように、スピンドル１４及び撮影ユニット１６は、後述のＹガイド２８、Ｙキャリッジ３０、及びＺキャリッジ３２により、Ｙ軸方向とＺ軸方向とに移動自在に保持されている。

回転テーブル１８は、その上面であるテーブル面１８ａ上にワークＷを吸着保持する。このテーブル面１８ａは、ワークＷを保持するためにポーラス状（多孔質状）に形成されている。なお、テーブル面１８ａには、図示は省略するが、複数の吸引孔が形成されている。各吸引孔は、後述の吸引部５６（図４参照）に接続されている。吸引部５６により各吸引孔からエアの吸引を行うことで、テーブル面１８ａ上にワークＷが保持される。

また、回転テーブル１８は、後述のＸキャリッジ２２によりＸ軸方向に移動自在に保持され、且つ回転ユニット２４により回転軸Ｃ１を中心として回転自在に保持されている。

ダイシング装置１０は、Ｘガイド２０と、Ｘキャリッジ２２と、回転ユニット２４と、Ｙガイド２８と、Ｙキャリッジ３０と、Ｚキャリッジ３２と、を備える。

Ｘガイド２０（図１参照）は、Ｘ軸方向に延びた形状を有しており、Ｘキャリッジ２２をＸ軸方向に沿って移動自在に支持する。Ｘキャリッジ２２は、例えばリニアモータ等により構成されるＸ駆動部３６（図４参照）により、Ｘガイド２０に沿ってＸ軸方向に移動（駆動）される。

回転ユニット２４は、Ｘキャリッジ２２の上面に設けられている。また、回転ユニット２４の上面には、回転テーブル１８が設けられている。回転ユニット２４は、モータ及びギヤ等により構成される回転駆動部を有しており、回転テーブル１８をその回転軸Ｃ１を中心としてθ方向に回転させる。

ワークＷは、回転テーブル１８（テーブル面１８ａ）により吸着保持されることで、回転テーブル１８と一体に移動及び回転する。これにより、回転テーブル１８等を介して、切削加工前のアライメント時におけるワークＷのθ方向の回転、及びワークＷの切削加工時におけるワークＷのＸ方向への切削送り等が行われる。

Ｙガイド２８は、Ｘガイド２０の上方に設けられ、且つ上方向側から見てＸガイド２０と交差するようにＹ軸方向に延びた形状を有している。このＹガイド２８は、Ｙキャリッジ３０をＹ軸方向に沿って移動自在に支持する。

Ｙキャリッジ３０は、ステッピングモータ及びボールスクリュー等により構成されるＹ駆動部３８（図４参照）により、Ｙガイド２８に沿って移動される。また、Ｙキャリッジ３０は、Ｚ軸方向に延びた形状を有しており、Ｚキャリッジ３２をＺ軸方向に沿って移動自在に支持する。

Ｚキャリッジ３２は、ステッピングモータ等により構成されるＺ駆動部４０（図４参照）により、Ｙキャリッジ３０に沿ってＺ軸方向に移動される。このＺキャリッジ３２には、既述のスピンドル１４が固定されている。これにより、ワークＷの切削加工時には、回転テーブル１８に吸着保持されたワークＷに対して、ブレード１２がＹ軸方向にインデックス送りされると共にＺ軸方向に切込み送りされる。

撮影ユニット１６は、スピンドル１４を介してＺキャリッジ３２に固定される。これにより、撮影ユニット１６は、スピンドル１４（ブレード１２）に対する相対的な位置が固定され、且つＹキャリッジ３０及びＺキャリッジ３２の駆動によりスピンドル１４と共にＹ方向及びＺ方向に移動される。

また、撮影ユニット１６は、高倍率顕微鏡１６Ａ及び低倍率顕微鏡１６Ｂを備える。高倍率顕微鏡１６Ａ及び低倍率顕微鏡１６Ｂは、本発明の複数のカメラに相当するものであり、Ｙ軸方向に間隔をあけて設けられている。各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂは、図示は省略するが、それぞれ撮影光学系と撮像素子とを有している。なお、図３中の符号Ｐ１は高倍率顕微鏡１６Ａの撮影光軸であり、且つ符号Ｐ２は低倍率顕微鏡１６Ｂの撮影光軸である。各撮影光軸Ｐ１，Ｐ２はＺ軸方向に平行である。

各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂは、ワークＷの切削加工時、及び後述の回転軸Ｃ１とワーク中心Ｃ２との位置合わせ作業時において、テーブル面１８ａ（ワークＷ）に対向する位置に配置され、ワークＷの表面を撮影（動画撮影）する。なお、ワークＷの切削加工時における高倍率顕微鏡１６Ａによる撮影と低倍率顕微鏡１６Ｂによる撮影とは選択的に実行される。また、回転軸Ｃ１とワーク中心Ｃ２との位置合わせ作業時には、高倍率顕微鏡１６Ａ及び低倍率顕微鏡１６Ｂの双方による撮影（動画撮影）が同時に実行される。

高倍率顕微鏡１６Ａの撮影倍率は、低倍率顕微鏡１６Ｂの撮影倍率よりも高く設定されている。換言すると低倍率顕微鏡１６Ｂの撮影倍率は、高倍率顕微鏡１６Ａの撮影倍率よりも低く設定されている。

ダイシング装置１０では、既述の通り、回転テーブル１８の回転軸Ｃ１と、回転テーブル１８のテーブル面１８ａ上にセットされたワークＷのワーク中心Ｃ２と、の位置合わせ作業（以下、単に位置合わせ作業という）をオペレータの手作業で行う。ここでいう手作業とは、オペレータの手で直接ワークＷの水平方向の位置調整を行う作業である。このため、ダイシング装置１０は、オペレータによる位置合わせ作業を補助する補助機能を有している。従って、ダイシング装置１０は本発明の補助装置として機能する。

図４は、ダイシング装置１０の統括制御部５０の機能ブロック図である。図４に示すように、統括制御部５０は、例えばパーソナルコンピュータのような演算装置であり、各種のプロセッサ（Processor）及びメモリ等から構成された演算回路を備える。各種のプロセッサには、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＧＰＵ（Graphics Processing Unit）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、及びプログラマブル論理デバイス［例えばＳＰＬＤ（Simple Programmable Logic Devices）、ＣＰＬＤ（Complex Programmable Logic Device）、及びＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Arrays）］等が含まれる。なお、統括制御部５０の各種機能は、１つのプロセッサにより実現されてもよいし、同種または異種の複数のプロセッサで実現されてもよい。

統括制御部５０は、ダイシング装置１０の各部の動作を統括制御する。なお、図４では、統括制御部５０の複数の機能の中で、特に位置合わせ作業の補助に係る機能を図示し、ワークＷの切削加工等のダイシング装置１０の他の制御に係る機能は公知技術であるので図示は省略する。

統括制御部５０には、既述の撮影ユニット１６（高倍率顕微鏡１６Ａ及び低倍率顕微鏡１６Ｂ）、回転ユニット２４、Ｘ駆動部３６、Ｙ駆動部３８、及びＺ駆動部４０の他に、記憶部５４と吸引部５６とモニタ５８とが接続されている。

記憶部５４には、ダイシング装置１０の制御プログラム（図示は省略）が記憶されている。また、記憶部５４には、位置合わせ作業に係る情報として、位置情報６０、撮影倍率情報６２、及び設計情報６４等が記憶されている。

位置情報６０は、位置合わせ作業時における回転テーブル１８の回転軸Ｃ１の位置情報と、高倍率顕微鏡１６Ａの撮影光軸Ｐ１の位置情報と、低倍率顕微鏡１６Ｂの撮影光軸Ｐ２の位置情報と、を含む。

回転軸Ｃ１の位置情報は、例えば、位置合わせ作業時における回転テーブル１８の回転軸Ｃ１の位置を定めた位置座標（Ｘ座標）であり、ワークＷの種類（直径）に関係なく一定の値に設定されている。

各撮影光軸Ｐ１，Ｐ２の位置情報は、例えば、各顕微鏡１６Ａ，１６ＢでそれぞれワークＷのエッジＥ（図５参照）を同時撮影可能な位置を示す位置座標（ＹＺ座標）、すなわち各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの双方の撮影範囲内にワークＷのエッジＥが収まる位置を示す位置座標であり、ワークＷの種類（直径）ごとに個別に定められている。

なお、回転軸Ｃ１及び各撮影光軸Ｐ１，Ｐ２の位置座標の原点は、ダイシング装置１０の任意の箇所に設定される。

撮影倍率情報６２は、高倍率顕微鏡１６Ａ及び低倍率顕微鏡１６Ｂの双方の撮影倍率に関する情報である。なお、本実施形態では各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの撮影倍率は固定であるものとする。設計情報６４は、ワークＷの種類別の直径に関する情報である。

吸引部５６は、例えば公知の真空ポンプ等の各種ポンプが用いられる。この吸引部５６は、統括制御部５０の制御の下、既述の回転テーブル１８の吸引孔からエアの吸引を行う。これにより、テーブル面１８ａ上にセット（載置）されているワークＷが回転テーブル１８に吸着保持される。そして、吸引部５６による吸引孔からのエアの吸引が停止されると、回転テーブル１８によるワークＷの吸着保持が解除される。

モニタ５８は、例えば液晶ディスプレイ及び有機ＥＬ（electro-luminescence）ディスプレイ等の公知の各種表示装置が用いられる。なお、本実施形態ではモニタ５８として公知のタッチパネル式の液晶ディスプレイを用いる。モニタ５８は、位置合わせ作業時には、統括制御部５０の制御の下、オペレータによる位置合わせ作業を補助するための補助画面８０の表示を行う。

また、モニタ５８は、オペレータによる表示画面へのタッチ操作を検出することで、オペレータによる各種操作を受け付ける操作受付部として機能する。この位置合わせ作業に係る操作には、詳しくは後述するが、補助画面８０の起動操作、撮影開始操作、吸引開始操作、吸引解除操作、回転操作、及び終了操作等が含まれる（図６参照）。なお、タッチパネル式のモニタ５８を用いる代わりに、キーボード、マウス、操作パネル、及び操作ボタン等の各種操作部材にてオペレータの入力操作を受け付けてもよい。

統括制御部５０は、記憶部５４に記憶されている不図示の制御プログラムを実行することにより、位置合わせ作業時には移動制御部６８、撮影制御部７０、エッジ位置情報取得部７２、表示制御部７４、吸引制御部７６、及び回転制御部７８として機能する。

移動制御部６８は、Ｘ駆動部３６によるＸキャリッジ２２（回転テーブル１８）のＸ軸方向の移動と、Ｙ駆動部３８によるＹキャリッジ３０のＹ軸方向の移動と、Ｚ駆動部４０によるＺキャリッジ３２のＺ軸方向の移動と、を制御する。この移動制御部６８は、位置合わせ作業時においては、モニタ５８に対する撮影開始操作の入力に応じて各駆動部３６，３８，４０の制御を開始する。具体的には、移動制御部６８は、記憶部５４に記憶されている位置情報６０に基づき、Ｘ駆動部３６、Ｙ駆動部３８、及びＺ駆動部４０を駆動して、回転テーブル１８の回転軸Ｃ１の位置調整と、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの各撮影光軸Ｐ１，Ｐ２の位置調整と、を行う。

図５は、移動制御部６８による位置合わせ作業時の回転テーブル１８及び各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの位置調整を説明するための説明図である。なお、図５では、図面の煩雑化を防止するため、撮影ユニット１６、回転テーブル１８、及びワークＷ以外の図示は省略している。

図５に示すように、移動制御部６８は、位置情報６０に基づき、Ｘ駆動部３６、Ｙ駆動部３８、及びＺ駆動部４０を駆動して、回転テーブル１８及び各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの位置調整を行うことで、回転テーブル１８及びワークＷに対して、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの双方をワークＷのエッジＥの撮影位置に相対移動させる。

ここで、既述の位置情報６０は、例えば、回転テーブル１８の回転軸Ｃ１とワークＷのワーク中心Ｃ２とが一致（略一致を含む、以下同じ）していると仮定した場合に、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの撮影光軸Ｐ１，Ｐ２がエッジＥの互いに異なる２箇所上に位置するように設定されている。そして、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂはそれぞれ一定の撮影範囲を有しているので、仮に回転軸Ｃ１とワーク中心Ｃ２との位置ずれが生じていても各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの撮影範囲内にエッジＥが位置する。これにより、各顕微鏡１６Ａ，１６ＢによりエッジＥの互いに異なる２つの撮影箇所を同時撮影することができる。

撮影制御部７０は、高倍率顕微鏡１６Ａ及び低倍率顕微鏡１６Ｂによる撮影（動画撮影）を制御する。撮影制御部７０は、位置合わせ作業時においては、既述の撮影開始操作に応じた移動制御部６８による位置調整後に作動する。この撮影制御部７０は、各顕微鏡１６Ａ，１６ＢによるエッジＥの２つの撮影箇所の動画撮影を同時に実行させる。なお、ここでいう動画撮影には、静止画撮影を一定又は不定の時間間隔で繰り返し行うことも含まれる。

高倍率顕微鏡１６Ａにより動画撮影された動画像Ｄ１の画像データは高倍率顕微鏡１６Ａから表示制御部７４に出力される。また同時に、低倍率顕微鏡１６Ｂにより動画撮影された動画像Ｄ２の画像データは低倍率顕微鏡１６Ｂから表示制御部７４に出力される。

エッジ位置情報取得部７２は、既述の撮影開始操作に応じて、記憶部５４内の位置情報６０と撮影倍率情報６２と設計情報６４とに基づき、動画像Ｄ１，Ｄ２ごとのエッジ位置情報を取得する。動画像Ｄ１に対応するエッジ位置情報は、回転軸Ｃ１とワーク中心Ｃ２とが位置合わせされている状態での動画像Ｄ１内のエッジＥの位置を示す情報である。また、動画像Ｄ２に対応するエッジ位置情報は、回転軸Ｃ１とワーク中心Ｃ２とが位置合わせされている状態での動画像Ｄ２内のエッジＥの位置を示す情報である。

具体的には、エッジ位置情報取得部７２は、位置情報６０に基づき位置合わせ作業時における回転軸Ｃ１及び各撮影光軸Ｐ１，Ｐ２の位置情報を判別し、且つ撮影倍率情報６２に基づき各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの撮影倍率を判別する。なお、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの撮影倍率が可変可能である場合、エッジ位置情報取得部７２は、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂから各々の撮影倍率情報６２を取得してもよい。

また、エッジ位置情報取得部７２は、モニタ５８へのタッチ操作等でインプットされたワークＷの種類に関する情報と、設計情報６４と、に基づき、回転テーブル１８上に載置されているワークＷの直径を判別する。

次いで、エッジ位置情報取得部７２は、回転軸Ｃ１及び各撮影光軸Ｐ１，Ｐ２の位置情報と、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの撮影倍率と、ワークＷの直径と、に基づき、回転軸Ｃ１とワーク中心Ｃ２とが一致している状態での動画像Ｄ１，Ｄ２内のエッジＥの位置を演算する。これにより、エッジ位置情報取得部７２は、動画像Ｄ１，Ｄ２ごとのエッジ位置情報を取得することができる。そして、エッジ位置情報取得部７２は、動画像Ｄ１，Ｄ２ごとのエッジ位置情報を表示制御部７４へ出力する。

なお、エッジ位置情報取得部７２が記憶部５４内の各情報に基づき動画像Ｄ１，Ｄ２ごとのエッジ位置情報を求める代わりに、動画像Ｄ１，Ｄ２にそれぞれ対応するエッジ位置情報をワークＷの種類ごとに予め求めて記憶部５４に記憶させてもよい。この場合、エッジ位置情報取得部７２は、ワークＷの種類に対応する動画像Ｄ１，Ｄ２ごとのエッジ位置情報を記憶部５４内から取得する。

表示制御部７４は、位置合わせ作業時において、モニタ５８に対する補助画面８０の起動操作の入力に応じて、オペレータによる位置合わせ作業を補助する補助画面８０を生成してモニタ５８に表示させる。また、表示制御部７４は、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂから入力された動画像Ｄ１，Ｄ２の画像データと、エッジ位置情報取得部７２から入力された動画像Ｄ１，Ｄ２ごとのエッジ位置情報と、に基づき、動画像Ｄ１及び電子ライン９８Ａ（図６参照）の重畳画像と、動画像Ｄ２及び電子ライン９８Ｂ（図６参照）の重畳画像とを補助画面８０内に表示させる。すなわち、表示制御部７４は本発明の重畳表示制御部としても機能する。

図６は、モニタ５８に表示される補助画面８０の一例を示した説明図である。補助画面８０には、撮影開始ボタン８２と、吸引開始／吸引停止ボタン８４と、９０°回転ボタン８６と、１°回転ボタン８８と、終了ボタン９０と、表示欄９２と、表示欄９４と、が設けられている。

撮影開始ボタン８２は、オペレータによるタッチ操作での撮影開始操作の入力を受け付ける。吸引開始／吸引停止ボタン８４は、オペレータによるタッチ操作での吸引開始操作及び吸引解除操作の入力を受け付ける。吸引開始操作及び吸引停止操作は、吸引部５６による吸引のオンオフを切り替える切替操作である。

９０°回転ボタン８６は、オペレータによるタッチ操作での回転操作（９０°回転操作）の入力を受け付ける。１°回転ボタン８８は、オペレータによるタッチ操作での回転操作（１°回転操作）の入力を受け付ける。回転操作は、回転テーブル１８（ワークＷ）を、回転軸Ｃ１を中心として一定角度（９０°又は１°）だけ回転させる操作である。

終了ボタン９０は、オペレータによるタッチ操作での終了操作の入力を受け付ける。終了操作は、位置合わせ作業の終了時に実行される操作である。

表示欄９２には、２つの撮影箇所の一方のエッジＥの動画像Ｄ１（ライブ画像）と、この動画像Ｄ１に対応するエッジ位置情報を示す電子ライン９８Ａとが重畳表示される。また、表示欄９４には、２つの撮影箇所の他方のエッジＥの動画像Ｄ２（ライブ画像）と、この動画像Ｄ２に対応するエッジ位置情報を示す電子ライン９８Ｂとが重畳表示される。

具体的には、表示制御部７４は、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂから入力された動画像Ｄ１、Ｄ２の画像データに基づき表示欄９２に動画像Ｄ１を表示させると共に表示欄９４に動画像Ｄ２を表示させる。また同時に、表示制御部７４は、エッジ位置情報取得部７２から入力された各エッジ位置情報に基づき、動画像Ｄ１内でのエッジＥの位置を示す電子ライン９８Ａの像を生成すると共に、動画像Ｄ２内でのエッジＥの位置を示す電子ライン９８Ｂの像を生成する。

そして、表示制御部７４は、表示欄９２内の動画像Ｄ１に対して電子ライン９８Ａを重畳表示させると共に、表示欄９４内の動画像Ｄ２に対して電子ライン９８Ｂを重畳表示させる。これにより、動画像Ｄ１及び電子ライン９８Ａの重畳画像と、動画像Ｄ２及び電子ライン９８Ｂの重畳画像と、が補助画面８０内に同時表示される。その結果、オペレータは、ワークＷの２箇所のエッジＥと電子ライン９８Ａ，９８Ｂとの位置ずれ（位置ずれ方向及び位置ずれ量）、すなわち回転軸Ｃ１とワーク中心Ｃ２との位置ずれを認識することができる。

図４及び図６に示すように、吸引制御部７６は、吸引部５６による回転テーブル１８のテーブル面１８ａの吸引孔からのエアの吸引、すなわち回転テーブル１８によるワークＷの吸引保持を制御する。

具体的には、吸引制御部７６は、オペレータによる位置合わせ作業開始前、例えば上述の各重畳画像がモニタ５８に同時表示された後、モニタ５８に対する吸引停止操作の入力に応じて吸引部５６によるエアの吸引を停止させる。これにより、回転テーブル１８のテーブル面１８ａ上でワークＷが水平方向に位置調整可能になるので、オペレータは、各動画像Ｄ１，Ｄ２内でエッジＥがそれぞれ電子ライン９８Ａ，９８Ｂに一致するように、テーブル面１８ａ上でのワークＷの位置調整（図６中の矢印参照）を手作業で行うことができる。すなわち、手作業での位置合わせ作業が実行され、回転軸Ｃ１とワーク中心Ｃ２とが位置合わせされる。

また、吸引制御部７６は、オペレータによる位置合わせ作業の完了後、モニタ５８に対する吸引開始操作の入力に応じて吸引部５６によるエアの吸引を開始させる。これにより、回転軸Ｃ１とワーク中心Ｃ２とが位置合わせされた状態で、回転テーブル１８のテーブル面１８ａ上にワークＷが吸着保持（固定）される。

回転制御部７８は、回転ユニット２４による回転テーブル１８の回転を制御する。この回転制御部７８は、オペレータによる位置合わせ作業の完了後で且つ既述の吸引開始操作の前に、モニタ５８に対する回転操作（９０°回転操作又は１°回転操作）の入力に応じて、回転ユニット２４を駆動して回転テーブル１８を一定角度（９０°又は１°）だけ回転させる。これにより、回転テーブル１８と一体にワークＷも回転軸Ｃ１を中心として９０°又は１°回転される。なお、上述の一定角度は９０°及び１°に限定されるものではなく、任意の角度であってよい。

回転テーブル１８及びワークＷが一定角度だけ回転されると、統括制御部５０は、撮影制御部７０及び表示制御部７４を繰り返し作動させる繰り返し制御を実行する。

繰り返し制御が実行されると、ワークＷにおいて先に動画撮影されたエッジＥの２つの撮影箇所とは異なる２つの撮影箇所が各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂによりそれぞれ動画撮影されると共に、各表示欄９２，９４に表示される動画像Ｄ１，Ｄ２が更新される。これにより、エッジＥの新たな２つの撮影箇所に対応した上述の２種類の重畳画像が補助画面８０内に同時表示されるので、オペレータは各動画像Ｄ１，Ｄ２内でエッジＥがそれぞれ電子ライン９８Ａ，９８Ｂに一致しているか否かを確認することができる。そして、エッジＥと電子ライン９８Ａ，９８Ｂとの位置ずれが生じている場合には、オペレータは位置合わせ作業を再び実行する。

以下、回転テーブル１８の回転と、前述の繰り返し制御及び位置合わせ作業と、を複数回繰り返すことによって、回転軸Ｃ１とワーク中心Ｃ２との位置合わせをより高精度に行うことができる。

統括制御部５０は、オペレータにより終了操作がなされると、位置合わせ作業の補助を終了する。

［ダイシング装置の作用］
図７は、ダイシング装置１０における位置合わせ作業の補助方法の流れを示すフローチャートである。オペレータは位置合わせ作業を開始する場合、モニタ５８に対してタッチ操作による補助画面８０の起動操作を行う。この起動操作を受けて、表示制御部７４は、モニタ５８に補助画面８０を表示させる（ステップＳ１）。

オペレータは、モニタ５８に補助画面８０が表示されると、撮影開始ボタン８２に対してタッチ操作を行うことで撮影開始操作を入力する（ステップＳ２）。この撮影開始操作を受けて、移動制御部６８が、既述の図５に示したように、位置情報６０に基づき、Ｘ駆動部３６、Ｙ駆動部３８、及びＺ駆動部４０を駆動して、回転テーブル１８及び各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの位置調整を行う（ステップＳ３）。これにより、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの双方がワークＷのエッジＥの撮影位置に相対移動される。

移動制御部６８による位置調整が完了すると、撮影制御部７０が、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの双方を制御して、双方によるエッジＥの２つの撮影箇所の動画撮影を同時に実行させる（ステップＳ４、本発明の撮影ステップに相当）。これにより、表示制御部７４が、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂから出力された動画像Ｄ１，Ｄ２の画像データを取得する（ステップＳ５）。

一方、エッジ位置情報取得部７２は、上述の撮影開始操作に応じて、記憶部５４内の位置情報６０と撮影倍率情報６２と設計情報６４とに基づき、動画像Ｄ１，Ｄ２ごとのエッジ位置情報を取得し、各エッジ位置情報を表示制御部７４へ出力する（ステップＳ６、本発明のエッジ位置情報取得ステップに相当）。

そして、表示制御部７４は、既述の図６に示したように、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂから入力された動画像Ｄ１、Ｄ２の画像データに基づき表示欄９２に動画像Ｄ１を表示させると共に表示欄９４に動画像Ｄ２を表示させる。また同時に、表示制御部７４は、エッジ位置情報取得部７２から入力された各エッジ位置情報に基づき、電子ライン９８Ａ，９８Ｂの像を生成して、表示欄９２内の動画像Ｄ１に対して電子ライン９８Ａを重畳表示させると共に、表示欄９４内の動画像Ｄ２に対して電子ライン９８Ｂを重畳表示させる。これにより、動画像Ｄ１及び電子ライン９８Ａの重畳画像と、動画像Ｄ２及び電子ライン９８Ｂの重畳画像と、が補助画面８０内に同時表示される（ステップＳ７）。なお、ステップＳ７は本発明の表示ステップ及び重畳表示ステップに相当する。

オペレータは、補助画面８０内の各重畳画像を確認することで、ワークＷの２箇所のエッジＥと電子ライン９８Ａ，９８Ｂとの位置ずれ、すなわち回転軸Ｃ１とワーク中心Ｃ２との位置ずれの有無、方向、及び大きさを判別する。

次いで、オペレータは、回転テーブル１８のテーブル面１８ａ上にワークＷが吸着保持されている場合、吸引開始／吸引停止ボタン８４に対してタッチ操作を行うことで吸引停止操作を入力する。この吸引停止操作を受けて、吸引制御部７６は、吸引部５６によるエアの吸引を停止させる（ステップＳ８、本発明の解除ステップに相当）。これにより、テーブル面１８ａ上でのワークＷの吸着保持が解除されて、ワークＷの水平方向の位置調整可能になる。

なお、ステップＳ８は、ステップＳ１からステップＳ７の間のいずれの段階で実施してもよい。また、ステップＳ８の前の段階でテーブル面１８ａ上にワークＷが吸着保持されていない場合にはステップＳ８は省略される。

ワークＷの吸着保持が解除されると、オペレータは、各動画像Ｄ１，Ｄ２内でエッジＥがそれぞれ電子ライン９８Ａ，９８Ｂに一致するように、ワークＷの水平方向の位置調整、すなわち回転軸Ｃ１とワーク中心Ｃ２との位置合わせ作業を手作業で行う（ステップＳ９でＮＯ）。各重畳画像を補助画面８０内に同時表示することで、オペレータは、ワークＷの２箇所のエッジＥをそれぞれ対応する電子ライン９８Ａ，９８Ｂに位置合わせすることができる。その結果、１箇所のエッジＥのみで位置合わせを行う場合と比較して、位置合わせ作業を高精度且つ簡単に行うことができる。

この際に、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの撮影倍率が互いに異なるので、表示欄９２内の動画像Ｄ１はエッジＥを拡大した拡大画像となり、表示欄９４内の動画像Ｄ２はエッジＥ及びその周辺領域を含む広域画像となる。このため、オペレータは、表示欄９４内の動画像Ｄ２及び電子ライン９８Ｂの重畳画像に基づきエッジＥと電子ライン９８Ｂの位置ずれを手作業で調整する概略調整を行った上で、表示欄９２内の動画像Ｄ１及び電子ライン９８Ａの重畳画像に基づきエッジＥと電子ライン９８Ａの位置ずれを手作業で調整する精密調整を行うことができる。このように概略調整を行った後で精密調整を行うことで、高倍率顕微鏡１６Ａの撮影倍率が高い場合であっても、オペレータがエッジＥと電子ライン９８Ａとの位置合わせを容易に行うことができる。

また、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂを用いてエッジＥの２つ撮影箇所の同時撮影を行うことで、ステップＳ３の位置調整を１回で済ませることができる。その結果、２箇所のエッジＥの撮影を順番に行う場合と比較して、位置合わせ作業が短時間で完了する。

オペレータは、位置合わせ作業が完了すると、必要に応じて９０°回転ボタン８６又は１°回転ボタン８８に対してタッチ操作を行うことで、回転操作（９０°回転操作又は１°回転操作）の入力を行う（ステップＳ１０でＹＥＳ）。この回転操作の入力を受けて、回転制御部７８は、回転ユニット２４を駆動して、回転テーブル１８及びワークＷを一体に一定角度だけ回転させる（ステップＳ１１、本発明の回転ステップに相当）。

次いで、統括制御部５０は、撮影制御部７０及び表示制御部７４を繰り返し作動させる繰り返し制御を実行する。これにより、ステップＳ４からステップＳ７までの処理が繰り返し実行され（本発明の繰り返し制御ステップに相当）、エッジＥの新たな２つの撮影箇所に対応した上述の２種類の重畳画像が補助画面８０内に同時表示される。以下、ステップＳ９の位置合わせ作業（ステップＳ８は省略）が実行される。このようにステップＳ４～Ｓ７、Ｓ９～Ｓ１１の処理を繰り返すことで、回転軸Ｃ１とワーク中心Ｃ２との位置合わせをより高精度に行うことができる。

回転軸Ｃ１とワーク中心Ｃ２とが位置合わせが完了すると（ステップＳ１０でＮＯ）、オペレータは、吸引開始／吸引停止ボタン８４に対してタッチ操作を行うことで吸引開始操作を入力する。この吸引開始操作を受けて、吸引制御部７６は、吸引部５６によるエアの吸引を開始させる（ステップＳ１２）。これにより、テーブル面１８ａ上にワークＷが吸着保持されて、ワークＷの切削加工が可能となる。

そして、オペレータは、終了ボタン９０に対してタッチ操作を行うことで終了操作を入力する。この終了操作を受けて、統括制御部５０は位置合わせ作業の補助を終了する。これにより、ワークＷの切削加工が可能となる。

［本実施形態の効果］
以上のように本実施形態では、ワークＷの２箇所のエッジＥを各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂで同時撮影して、動画像Ｄ１及び電子ライン９８Ａの重畳画像と、動画像Ｄ２及び電子ライン９８Ｂの重畳画像と、を補助画面８０内に同時表示させるので、回転軸Ｃ１とワーク中心Ｃ２との位置合わせ作業を短時間で且つ簡単且つ高精度に行うことができる。

［その他］
上記実施形態では、２台の各顕微鏡１６Ａ，１６ＢによりエッジＥの２箇所のを同時に動画撮影しているが、３台以上の複数の顕微鏡によりエッジＥの３箇所以上を同時に動画撮影してもよい。これにより、エッジＥの３以上の撮影箇所に対応した３種類以上の重畳画像が補助画面８０内に同時表示されるので、オペレータは位置合わせ作業をより高精度に行うことができる。

上記実施形態では、各顕微鏡１６Ａ，１６ＢによりエッジＥの互いに異なる２箇所を同時に動画撮影しているが、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの撮影光軸Ｐ１，Ｐ２を互いに非平行とすることで、エッジＥの同一箇所を各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂで同時に動画撮影してもよい。この場合にも、１台の顕微鏡のみでエッジＥの撮影及び位置合わせ作業を行う場合と比較して、位置合わせ作業を高精度且つ簡単に行うことができる。

図８は、オペレータによる位置合わせ作業の変形例を説明するための説明図である。上記実施形態では、オペレータによる位置合わせ作業を手作業で行っている。これに対して、例えば図８に示すように、回転テーブル１８のテーブル面１８ａ上に複数設けられたマイクロメータ１００を用いてワークＷを水平方向に押し引きすることにより位置合わせ作業を行ってもよい。すなわち、ダイシング装置１０に、テーブル面１８ａ上でのワークＷの位置を水平方向に調整する位置調整部を設けてもよい。

上記実施形態では、各顕微鏡１６Ａ，１６ＢによりワークＷのエッジＥの動画撮影を行っているが、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの代わりに撮像素子及び撮像光学系を有する各種のカメラを用いてもよい。

上記実施形態では、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの撮影倍率が異なっているが、各顕微鏡１６Ａ，１６Ｂの撮影倍率が同じであってもよい。

上記実施形態では、ワークＷが円板状に形成されている場合を例に挙げて説明したが、ワークＷの形状は板状であれば特に限定はされない。

上記実施形態では、各動画像Ｄ１，Ｄ２に対してそれぞれ電子ライン９８Ａ，９８Ｂを重畳させているが、各動画像Ｄ１，Ｄ２内でのエッジＥの目標位置を示すものであれば、電子ライン９８Ａ，９８Ｂの代わりに、指標、マーク、及び記号等の任意のエッジ位置情報を用いてもよい。

上記実施形態では、吸引部５６によるエア吸引によりテーブル面１８ａ上にワークＷを保持させているが、例えばテーブル面１８ａ上にワークＷを保持する保持部材を設けてもよく、テーブル面１８ａ上にワークＷを保持させる方法は特に限定されない。

上記実施形態では、マニュアル型のダイシング装置１０における回転テーブル１８の回転軸Ｃ１とワークＷのワーク中心Ｃ２との位置合わせ作業を例に挙げて説明したが、例えば、公知の全自動型のダイシング装置でマニュアルモード（手動での位置合わせ）を実行する場合にも本発明を適用可能である。また、本発明はダイシング装置１０に限定されるものではなく、ワークＷが載置される回転テーブル１８を有する各種装置に本発明を適用することができる。

１０…ダイシング装置，
１２…ブレード，
１４…スピンドル，
１６Ａ…高倍率顕微鏡，
１６Ｂ…低倍率顕微鏡，
１８…回転テーブル，
５０…統括制御部，
５６…吸引部，
５８…モニタ，
６０…位置情報，
６２…撮影倍率情報，
６４…設計情報，
６８…移動制御部，
７０…撮影制御部，
７２…エッジ位置情報取得部，
７４…表示制御部，
７６…吸引制御部，
７８…回転制御部，
８０…補助画面，
９８Ａ，９８Ｂ…電子ライン，
Ｄ１，Ｄ２…動画像
Ｐ１，Ｐ２…撮影光軸
Ｃ１…回転軸
Ｃ２…ワーク中心
Ｗ…ワーク

Claims (7)

1. 回転軸を中心として回転するワーク保持用の回転テーブルと、前記回転テーブルに載置された板状のワークと、を前記回転軸に対して垂直方向に相対移動させて、前記回転テーブルの前記回転軸と前記ワークの中心とを位置合わせする位置合わせ作業を補助する補助方法において、
   前記回転テーブルに載置された前記ワークのエッジを、前記回転テーブルに対向する位置に配置された複数のカメラにより動画撮影する撮影ステップと、
   前記カメラごとに動画撮影された複数の動画像をモニタに表示させる表示ステップと、
   前記モニタに表示されている前記動画像ごとに、前記回転軸と前記ワークの中心とが一致している状態での前記動画像内の前記エッジの位置を示すエッジ位置情報を重畳表示させる重畳表示ステップと、
   を有する補助方法。
2. 前記撮影ステップでは、前記カメラごとに、前記カメラが動画撮影する前記エッジの撮影箇所を互いに異ならせている請求項１に記載の補助方法。
3. 前記回転テーブルに前記ワークが保持されている場合、前記ワークの保持を解除する解除ステップを有する請求項１又は２に記載の補助方法。
4. 前記回転テーブルの回転操作の入力を操作受付部で受け付けた場合に、前記回転テーブルの回転駆動部を制御して、前記回転軸を中心として前記回転テーブルを一定角度だけ回転させる回転ステップと、
   前記回転ステップで前記回転テーブルが回転された場合に、前記撮影ステップ、前記表示ステップ、及び前記重畳表示ステップを繰り返し実行させる繰り返し制御ステップと、
   を有する請求項１から３のいずれか１項に記載の補助方法。
5. 前記カメラごとの撮影倍率が互いに異なる請求項１から４のいずれか１項に記載の補助方法。
6. 前記カメラごとの撮影光軸の位置情報及び撮影倍率と、前記回転軸の位置情報と、前記ワークの設計情報と、に基づき、前記動画像ごとの前記エッジ位置情報を取得するエッジ位置情報取得ステップを有し、
   前記重畳表示ステップでは、前記エッジ位置情報取得ステップで取得された前記エッジ位置情報に基づき、前記動画像ごとに前記動画像と前記エッジ位置情報との重畳表示を実行する請求項１から５のいずれか１項に記載の補助方法。
7. 回転軸を中心として回転するワーク保持用の回転テーブルと、前記回転テーブルに載置された板状のワークと、を前記回転軸に対して垂直方向に相対移動させて、前記回転テーブルの前記回転軸と前記ワークの中心とを位置合わせする位置合わせ作業を補助する補助装置において、
   前記回転テーブルに載置された前記ワークのエッジを、前記回転テーブルに対向する位置に配置された複数のカメラにより動画撮影させる撮影制御部と、
   前記カメラごとに動画撮影された複数の動画像をモニタに表示させる表示制御部と、
   前記モニタに表示されている前記動画像ごとに、前記回転軸と前記ワークの中心とが一致している状態での前記動画像内の前記エッジの位置を示すエッジ位置情報を重畳表示させる重畳表示制御部と、
   を備える補助装置。

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