JP2006343193A - X線透視装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 オペレータの勘や経験に頼ることなく、現在の透視位置を直感的に確実に把握することができ、また、一連の簡単な操作により透視位置の設定や倍率変更、加えて回転ないしは傾動を含むマニピュレータ制御を行うことのできるX線透視装置を提供する。
【解決手段】 ステージ3上の被写体Wを撮影する光学カメラ30を設け、その光学カメラ30による被写体Wの外観像Wo上でマーカーMを移動させ、かつ、その移動による指令内容を透視位置の変更/透視範囲(倍率)の変更、加えて回転角度および傾動角度の変更のいずれかに設定する入力手段26を設け、その入力手段の操作によるマーカーの移動により指定された透視位置・透視範囲(倍率)・回転角度・傾動角度が得られるように、ステージ3等を自動的に駆動制御することで、現在の透視位置を直感的に把握し、簡単な操作により被写体W上の意図する位置の意図する倍率のX線透視像を得ることを可能とする。
【選択図】 図1
【解決手段】 ステージ3上の被写体Wを撮影する光学カメラ30を設け、その光学カメラ30による被写体Wの外観像Wo上でマーカーMを移動させ、かつ、その移動による指令内容を透視位置の変更/透視範囲(倍率)の変更、加えて回転角度および傾動角度の変更のいずれかに設定する入力手段26を設け、その入力手段の操作によるマーカーの移動により指定された透視位置・透視範囲(倍率)・回転角度・傾動角度が得られるように、ステージ3等を自動的に駆動制御することで、現在の透視位置を直感的に把握し、簡単な操作により被写体W上の意図する位置の意図する倍率のX線透視像を得ることを可能とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えば回路基板等の工業製品の内部欠陥等の有無を非破壊のもとに観察する産業用のX線透視装置に関する。
産業用のX線透視装置においては、互いに対向配置されたX線源とX線検出器の間に被写体を搭載するためのステージが配置され、その被写体を透過したX線をX線検出器で検出して、線量を画素の濃度値に変換してX線透視画像としてモニタ画面に表示する構成が一般的である。装置のオペレータは、このX線透視画像に対して目視や適切な画像処理を行うことにより、被写体の内部に欠陥がないか否か等を検査している。被写体は半導体基板やアルミ鋳物等であって、基板と部品との半田接合箇所の状態や、アルミ鋳物内部の空洞の有無などが検査の対象となる。
この種のX線透視装置におけるX線源、ステージ、およびX線検出器をシステム上統合したものはマニピュレータと通称される。このマニピュレータを制御すること、つまりこれら3者の相対的位置関係を制御することで、被写体の観察部位や拡大・縮小倍率を変えることができる。また、ステージとX線検出器とを相対的に回転させる回転機構や、更にはX線検出器の視野方向とステージとを相対的に傾動させることにより、ステージ上の被写体の透視方向を変更する、いわゆる傾動機構を備え、これらの機構をもマニピュレータ制御に含むものも知られている(例えば特許文献1参照)。
装置のオペレータは、マニピュレータ制御用の入力機器を操作することで、被写体上の意図する部位のX線透視像を所要の拡大・縮小率のもとに表示させる。入力機器としては、ジョイスティックやマウスなどのポインティングデバイスが用いられるのが一般的である。
特開2003−279502号公報
ところで、以上のような従来のX線透視装置によると、モニタに表示される透視画像が被写体中のどの部位であるのかが判りにくく、マニピュレータ操作はオペレータの勘や経験に頼らざるを得ない。また、透視位置のほかに透視倍率を設定する必要もあって操作が煩雑になり、あるいは加えて回転や傾動操作が必要であれば更に操作が煩雑となることも相まって、場合によっては目標とするX線透視画像を得るのに多大な時間を消費してしまうこともあるという問題がある。
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、オペレータの勘や経験に頼ることなく、現在の透視位置を直感的に確実に把握することができ、また、一連の簡単な操作により透視位置の設定や倍率変更を行うことができ、あるいは加えて同じく一連の操作によって回転ないしは傾動を含むマニピュレータ制御を行うことのできるX線透視装置の提供をその課題としている。
上記の課題を解決するため、本発明のX線透視装置は、互いに対向配置されたX線源とX線検出器の間に被写体を搭載するためのステージが設けられ、これらのX線源、X線検出器およびステージの3者のX線光軸方向を含む互いに直交する3軸方向への相対的位置関係を変更すべく当該3者のうちの少なくともいずれかを移動させる移動機構を備え、その3者の位置関係によって定まる透視位置並びに倍率のもとに被写体のX線透視像を表示するX線透視装置において、上記ステージ上の被写体を撮影する光学カメラと、その光学カメラの出力に基づく被写体の外観像を表示する表示手段と、その表示手段により表示された被写体の外観像上でマーカーを移動させ、かつ、そのマーカーの移動による指令内容を、透視位置の変更および透視範囲の変更のいずれかに設定する入力手段と、その入力手段の操作によるマーカーの移動により指定された透視位置および透視範囲のX線透視像が得られるように、当該入力手段によるマーカーの移動に連動して上記移動機構を駆動制御する制御手段を備えていることによって特徴づけられる(請求項1)。
ここで、本発明においては、上記X線検出器とステージを相対回転させてX線透視像を回転させる回転機構を備えたX線透視装置にあっては、請求項2に係る発明のように、上記入力手段は、上記マーカーの移動による指令内容に透視像の回転も含むように構成され、上記制御手段は、マーカーの移動により透視像の回転が指令されたときに、その指令に基づいて上記回転機構を駆動制御するように構成することができる。
また、本発明においては、上記ステージ上の被写体の透視方向を変更すべく、上記X線検出器の視野方向とステージとを相対的に傾動させる傾動機構を備えたX線透視装置にあっては、請求項3に係る発明のように、上記入力手段は、上記マーカーの移動による指令内容に透視方向の変更も含むように構成され、上記制御手段は、マーカーの移動により透視方向の変更が指令されたときに、その指令に基づいて上記傾動機構を駆動制御するように構成することもできる。
本発明は、ステージ上の被写体を光学カメラで撮影してその外観像を表示し、その外観像上でマーカーを移動させることによって、透視位置および透視範囲(透視倍率)を指定することを可能とし、また、請求項2または3に係る発明においては、それに加えて、マーカーの移動により透視像の回転または透視方向の変更の指定を行うことを可能とし、課題を解決するものである。
すなわち、請求項1に係る発明においては、ステージ上の被写体を撮影した外観像上でマーカーを移動させることにより、透視位置(中心)と透視範囲(倍率)を指定することができ、そのマーカー移動に連動して移動機構が自動的に駆動制御されて、指定通りの透視位置並びに透視範囲のX線透視像が得られる。
また、請求項2または3に係る発明においては、それに加えて、透視像の回転または透視方向の変更についても、被写体の外観像上でのマーカーの移動により指定することにより、回転機構または傾動機構がその指定に連動して自動的に駆動制御され、指定通りの透視像の回転または透視方向の変更が行われる。
本発明によれば、被写体の外観像が表示され、入力手段の操作によりその外観像上でマーカーを移動させることによって透視位置と透視範囲を指定することができるので、オペレータは直感的に透視位置と透視倍率を設定することができ、従来の透視画像をみながら試行錯誤的にマニピュレータ制御のための操作を行っていたことに比して、意図する透視画像をより素早く表示させることが可能となる。
また、請求項2または3に係る発明のように、透視像の回転や透視方向の変更のための操作に関しても、外観像上のマーカーの移動操作によって指定可能とすることにより、統一された操作により全てのマニピュレータ制御が可能となり、意図する透視像を表示するための操作をより簡素化することができる。
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図1は本発明の実施の形態の構成図であり、機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
図1は本発明の実施の形態の構成図であり、機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
X線源1に対向してその上方にX線検出器2が配置されており、これらの間に被写体Wを搭載するためのステージ3が配置されている。ステージ3は、xyz移動機構11の駆動によってX線光軸Lに沿うz軸方向と、そのz軸方向に直交する平面上で互いに直交するx,y軸方向の合計3軸方向に移動させることができる。また、このステージ3は、回転機構12の駆動によりz軸に沿った軸の回りに回転させることができる。
X線検出器2は2次元の検出器であって、このX線検出器2は、傾動機構13の駆動により、X線源1を中心として円弧状に移動させることができ、この検出器2の移動により、X線源1からのX線光軸Lに対するX線検出器2の受光面の角度が変化し、これにより被写体Wの透視方向が変化する。
前記したxyz移動機構11、回転機構12および傾動機構13は、それぞれxyz移動機構駆動回路21、回転機構駆動回路22および傾動機構駆動回路23からの駆動信号によって駆動制御される。これらのxyz移動機構駆動回路21、回転機構駆動回路22および傾動機構駆動回路23は、コンピュータ24の制御下に置かれている。
X線検出器2の出力はキャプチャーボード等の画像データ取込回路25を介してコンピュータ23に取り込まれる。コンピュータ24には入力機器26が接続されているとともに、被写体WのX線透視像および後述する外観像を表示するための表示器27が接続されている。
入力機器26は、図2にその構成例を示すように、ジョイスティック26aと確定ボタン26bによって構成されている。この入力機器26は、ジョイスティック26aと確定ボタン26bをハード的に構成してもよいし、あるいは図2のような表示を表示器27の画面上で行い、マウス等のポインティングデバイスで該当位置をクリックすることによって入力するように構成してもよい。
X線検出器2に隣接して例えばCCDカメラ等の光学カメラ30が設けられており、この光学カメラ30は、例えば図1に示すようにX線源1、X線検出器2およびステージ3の相互の位置関係並びに姿勢が基準とする位置にある状態で、X線検出器2からの出力に基づく被写体WのX線透視像とほぼ同じ領域の外観像を撮影することができるようにその位置並びに撮影倍率が設定されている。この光学カメラ30の出力は、前記したX線検出器2用の画像データ取込回路25とは別の画像データ取込回路31を介してコンピュータ24に取り込まれる。
コンピュータ24では、画像データ取込回路25を介して取り込んだX線検出器2からの出力に基づく被写体WのX線透視像と、画像データ取込回路31を介して取り込んだ光学カメラ30からの出力に基づく被写体Wの外観像とを、表示器27の同じ画面上に表示する。この表示器27による表示例を図3に示す。この例では、被写体WのX線透視像Wxと外観像Woとが互いにほぼ同じ大きさの領域に表示されている。
外観像Woには、マーカーMと、透視位置並びに範囲を表す矩形の枠Fとが重畳して表示されており、このマーカーMは前記した入力機器26のジョイスティック26aの操作によって外観像Wo上で移動させることができるとともに、このマーカーMの移動による指令の内容は、確定ボタン26bの操作によって変更することができ、これらの操作の組み合わせによって被写体Wの透視位置や透視範囲(倍率)、並びに透視像の回転や透視方向の変更を指定することができる。
つまり、マーカーMは以下に示す「状態1」〜「状態5」のいずれかを保持しており、以下に示すように確定ボタン26bの操作によって他の状態に遷移する。
「状態1」は初期状態で、透視位置を設定することのできる状態であり、この状態1においてジョイスティック26aを操作してマーカーMを移動させて確定ボタン26bを操作することにより、「状態2」〜「状態5」のいずれかに遷移する。遷移先は確定ボタン26bを操作した時点におけるマーカーMの位置に依存する。すなわち、図4(A)に示すように、枠Fの外側にマーカーMが位置している状態で確定ボタン26bを操作すると「状態2」に遷移し、同図(B)に示すように、枠Fの頂点上にマーカーMが位置している状態で確定ボタン26bを操作すると「状態3」に遷移する。また、同図(C)に示すように、枠Fの辺上にマーカーMが位置している状態で確定ボタン26bを操作すると「状態4」に遷移し、同図(D)に示すように、枠Fの内側にマーカーMが位置している状態で確定ボタン26bを操作することによって「状態5」に遷移する。そして、「状態4」〜「状態5」において確定ボタン26bを操作することによって、「状態1」に戻る。 透視位置・範囲を表す枠Fが移動後のマーカーMを中心とした位置に移動する。
「状態2」は透視範囲(倍率)を設定することのできる状態であり、この状態2においては、図5に示すように、状態1で確定した透視位置の中心M′と、この状態2における移動後のマーカーMの位置とを半径とする円Cに内接する正方形の枠Fが描画される。換言すれば、それまでの枠Fの大きさが変化する。
「状態3」は透視範囲の回転させることのできる状態であり、この状態3においては、図6に示すように、枠Fの頂点上に位置しているマーカーMを円Cに沿って移動させることにより、枠Fが回転する。
「状態4」は透視方向を変化させることのできる状態、つまり傾動機構13によりX線検出器2を傾動させることのできる状態であり、図7に示すように、枠Fの一辺F1にマーカーMを位置させた状態で、その辺に直交する方向に当該マーカーMを移動させることにより、その辺F1がマーカーMに追随して移動し、枠Fの形が正方形から長方形に変化する。これは、X線検出器2の傾動により、その視野範囲が外観像Wo上では長方形となることを表すものである。
「状態5」は、状態4までに設定した枠Fを平行移動させることのできる状態であり、同じ倍率、同じ回転角度、同じ透視方向を保ちながら、透視位置を変化させることができる。
次に、以上の本発明の実施の形態を用いて、ステージ3上の被写体Wの意図する位置を意図する倍率のもとに、意図する回転角度で、意図する方向から透視するための操作手順について述べる。図8は状態2〜状態5のいずれかの命令における、マニピュレータを制御するためのフローチャートである。
まず、表示器27に表示されている外観像Wo上のマーカーMをジョイスティック26aの操作により枠Fの外に移動させて確定ボタン26bを操作することにより、枠Fがその移動後のマーカーMを中心とする位置に移動して透視範囲の中心位置がを決定すると同時に、マーカーMは状態2となる。次に、マーカーMを移動させて確定ボタン26bを操作することにより、移動前のマーカーMの位置を中心とし、移動後のマーカーMの位置を頂点とする正方形の枠Fの大きさが変化して透視範囲(倍率)が確定すると同時に、マーカーMは状態1となる。
透視画像を回転させる場合には、状態1で枠Fの頂点上で確定ボタン26bを操作することで状態3にし、マーカーMを枠Fに外接する円C(図5参照)に沿って移動させることによって枠Fが回転し、所要の角度となったところで確定ボタン26bを操作する。これにより回転角度が確定し、状態1に戻る。
透視方向を変更する場合には、状態1において枠Fの辺上で確定ボタン26bを操作することで状態4にし、マーカーMをその一辺に直交する方向に移動させる。これにより、その辺がマーカーMの移動に連動して移動し、枠Fが正方形から長方形に変わる。所望の長方形の状態で確定ボタン26bを操作することにより、傾動角度が確定すると同時に、状態1に戻る。
また、回転角度および傾動角度、並びに枠Fの大きさ(倍率)を維持したまま、透視位置を変化させる必要がある場合には、マーカーMを現在の枠Fの内側に移動させた状態で確定ボタン26bを操作することによって、マーカーMを状態5とし、その状態でマーカーMを所要の位置にまで移動させて確定ボタン26bを操作する。これにより、枠Fは大きさ・姿勢(回転角度)・形状(傾動角度)を維持したままマーカーMを中心とする位置にまで移動するとともに、状態1に戻る。
以上の操作により透視の中心位置、範囲(倍率)、回転角度および傾動角度の設定が終了し、その旨を入力することにより、その設定内容に従ってマニピュレータ制御が実行される(図8)。すなわち、ステージ3のx,y,z方向への位置と、回転角度、およびX線検出器2の傾動角度が設定内容と一致するように、コンピュータ24はxyz移動機構駆動回路21、回転機構駆動回路22、および傾動機構駆動回路23に対して制御命令送信し、xyz移動機構11、回転機構12、および傾動機構13を自動的に駆動制御する。
ここで、外観像Wo上での枠Fの大きさの変更による透視倍率の変更の具体的手順について述べると、まず、図9(A)に示すように、外観像Wo上の枠Fのサイズx0 ,y0 をステージ3上での実サイズx1 ,y1 に変換する。これは、光学カメラ30による撮影倍率を一定もしくは既知としておくことによって容易に変換できる。
次に、図9(B)に示すように、実サイズ枠Fの実サイズx1 ,y1 とX線検出器2のサイズ(受光面の有効サイズ)X0 ,Y0 の比x1 :X0 ,y1 :Y0 を計算する。X線検出器2の受光面が正方形であるとすると、これらは同じ値となる。
次いでX線源1とステージ3との距離Z1 と、X線源1とX線検出器2との距離Z2 の比Z1 :Z2 が、上記の比x1 :X0 (またはy1 :Y0 )と一致するようにステージ3のz方向(X線光軸方向)への位置を決定する。
また、回転角度については、図10に示すように、外観像Wo上でのx軸に対する枠Fの一辺の角度θを求め、それと同じ角度θだけステージ3を回転させればよい。
更に、傾動角度については、図11(A)に示すように、正方形の枠F′の一辺にマーカーMを位置させた状態で移動することによって長方形の枠Fとしたときの枠Fの伸び量p0 を実寸法p1 に換算するとともに、同図(B)に示すように、その時点におけるX線源1とステージ3とのX線光軸L方向への距離Z3 とから、ψ=tan-1 (p1 /Z3 )によって求められるψだけX線検出器2を傾動させる。
以上の本発明の実施の形態によると、光学カメラ30で撮影された被写体Wの外観像Wo上で、入力機器26の操作によってマーカーMを移動させることにより、透視位置と透視範囲、加えて回転角度と傾動角度を設定することができ、その設定に応じてコンピュータ24が自動的にマニピュレータ制御を行うので、従来のようにオペレータの勘や経験に頼ることなく、極めて簡単な一連の操作によって意図する透視像を得ることができ、オペレータの労力の軽減と所要時間の短縮化を図ることができる。
1 X線源
2 X線検出器
3 ステージ
11 xyz移動機構
12 回転機構
13 傾動機構
24 コンピュータ
25,31 画像データ取込回路
26 入力機器
26a ジョイスティック
26b 確定ボタン
27 表示器
30 光学カメラ
F 枠
M マーカー
W 被写体
Wx X線透視像
Wo 外観像
2 X線検出器
3 ステージ
11 xyz移動機構
12 回転機構
13 傾動機構
24 コンピュータ
25,31 画像データ取込回路
26 入力機器
26a ジョイスティック
26b 確定ボタン
27 表示器
30 光学カメラ
F 枠
M マーカー
W 被写体
Wx X線透視像
Wo 外観像
Claims (3)
- 互いに対向配置されたX線源とX線検出器の間に被写体を搭載するためのステージが設けられ、これらのX線源、X線検出器およびステージの3者のX線光軸方向を含む互いに直交する3軸方向への相対的位置関係を変更すべく当該3者のうちの少なくともいずれかを移動させる移動機構を備え、その3者の位置関係によって定まる透視位置並びに倍率のもとに被写体のX線透視像を表示するX線透視装置において、
上記ステージ上の被写体を撮影する光学カメラと、その光学カメラの出力に基づく被写体の外観像を表示する表示手段と、その表示手段により表示された被写体の外観像上でマーカーを移動させ、かつ、そのマーカーの移動による指令内容を、透視位置の変更および透視範囲の変更のいずれかに設定する入力手段と、その入力手段の操作による外観像上でのマーカーの移動により指定された透視位置および透視範囲のX線透視像が得られるように、当該入力手段によるマーカーの移動に連動して上記移動機構を駆動制御する制御手段を備えていることを特徴とするX線透視装置。 - 上記X線検出器とステージを相対回転させてX線透視像を回転させる回転機構を備え、上記入力手段は、上記マーカーの移動による指令内容に透視像の回転も含むように構成され、上記制御手段は、マーカーの移動により透視像の回転が指令されたときに、その指令に基づいて上記回転機構を駆動制御することを特徴とする請求項1に記載のX線透視装置。
- 上記ステージ上の被写体の透視方向を変更すべく、上記X線検出器の視野方向とステージとを相対的に傾動させる傾動機構を備え、上記入力手段は、上記マーカーの移動による指令内容に透視方向の変更も含むように構成され、上記制御手段は、マーカーの移動により透視方向の変更が指令されたときに、その指令に基づいて上記傾動機構を駆動制御することを特徴とする請求項1または2に記載のX線透視装置。
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