CN102778465A - X射线检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够根据对象物检索过去被拍摄的图像、或者能够根据过去拍摄的图像知道对象物或者对象物中的哪个部分的X射线检查装置。从过去被存储在表格中的由多个外观像构成的外观像群(I)中选择成为对象的外观像(I₁)。读取与被选择的外观像(I₁)相关联的、且过去被储存在表格中的X射线像(F₁₀₀)并显示于监视器(10M)上的话，可以根据被选择的外观像(I₁)的对象物(样本)显示与之相关联的X射线像(F₁₀₀)，能够根据对象物检索过去被拍摄的图像。

Description

X射线检查装置

技术领域

本发明涉及一种对对象物进行X射线检查的X射线检查装置，尤其涉及一种通过对对象物进行X射线透视拍摄或者CT拍摄而进行X射线检查的技术。

背景技术

以往，这种X射线检查装置装载有在X射线检查之前预先设定观察点(即检查位置)并进行登记的被称为“教学(テイ一チング)”的功能。通过预先进行该教学，能够根据通过教学登记了的观察点进行X射线检查。

另外，作为X射线检查的对象物，有安装基板、多层基板的通孔/图案/钎焊接合部、配置在垫板上的集成电路(IC：Integrated Circuit)那样的安装前的电子部件、金属等的铸件、录像机那样的成型品。

关于X射线检查装置，现在，为了示出进行X射线检查的部分为样本(对象物)整体的哪个部分，有一种使用光学照相机形成外观像的装置(例如，参照专利文献1)。X射线检查装置通常对样本进行放大拍摄从而进行细部的观察，但使用光学照相机的外观像的装置，预先采用光学照相机对样本的全景进行光学拍摄，在通过该光学拍摄得到的外观像上示出现在观察的部分，由此使得使用者明白正在观察样本中的哪个部分。

又，在X射线检查装置中有的具有将过去拍摄的X射线像(透视拍摄的情况下为X射线透视像)一览显示的功能。使用者从被一览显示的图像中选择目标图像，对该图像执行对比度的调整、印刷、尺寸测量等的各种各样的功能。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2006-343193号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在想要从过去拍摄的一系列的X射线透视像中检索目标样本图像的情况下，X射线透视像有时是对样本的一部分扩大拍摄的像，仅根据X射线透视像，有时候难以明白拍摄了哪个样本。又，即便在知道对哪个样本进行了拍摄的情况下，还存在着仅根据X射线透视像难以知道正对样本中的哪个部分进行拍摄这样的问题。

本发明正是鉴于这样的情况而作出的，其目的在于提供一种能够根据对象物检索过去拍摄的图像、或者能够根据过去拍摄的图像知道对象物或者对象物中的哪个部分的X射线检查装置。

解决课题的手段

为了达到这样的目标，本发明具有以下的构成。

即，本发明所涉及的X射线检查装置(前者的发明)是对对象物进行X射线检查的X射线检查装置，其特征在于，具有：X射线照射单元，所述X射线照射单元对对象物照射X射线；X射线检测单元，所述X射线检测单元通过检测被照射的所述X射线进行所述X射线检查来取得该对象物的X射线像；光学照相机，所述光学照相机通过对对象物进行光学拍摄来取得该对象物的外观像；存储单元，所述存储单元使得通过所述X射线检测单元取得的X射线像和通过所述光学照相机取得的外观像相对于每个同一对象物互相关联并分别予以储存；图像选择单元，所述图像选择单元从过去被存储在所述存储单元中的由多个所述X射线像构成的X射线像群或者由多个所述外观像构成的外观像群的某一方的图像群中选择成为对象的一方的图像；和显示单元，所述显示单元读取与所述图像选择单元所选择的所述一方的图像相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的另一方的图像并进行显示。

[作用、效果]采用本发明所涉及的检查装置(前者的发明)的话，使得通过X射线检测单元取得的X射线像和通过光学照相机取得的外观像相对于每个同一对象物互相关联，并分别储存在存储单元中。而且，图像选择单元从过去被存储在存储单元中的由多个X射线像构成的X射线像群或者由多个外观像构成的外观像群的某一方的图像群中选择成为对象的一方的图像。读取与该图像选择单元所选择的一方的图像相关联的、且过去被存储在存储单元中的另一方的图像并在显示单元中进行显示。如果在成为选择对象的一方的图像为外观像的情况下，能够根据被选择的外观像的对象物(样本)显示与之相关联的作为另一方的图像的X射线像，能够根据对象物检索过去拍摄的图像。如果在成为选择对象的一方的图像为X射线像的情况下，能够根据被选择的X射线像显示与之相关联的作为另一方的图像的外观像，能够根据过去拍摄的图像知道对象物。

上述前者的发明的一个实例为，图像选择单元从过去被存储在存储单元中的外观像群中选择成为对象的外观像，显示单元读取与图像选择单元所选择的外观像相关联的、且过去被存储在存储单元中的X射线像并进行显示。在这一个实例的情况下，能够根据被选择的外观像的对象物显示与之相关联的另一方的图像即X射线像，能够根据对象物检索过去拍摄的图像。

在这一个实例的情况下，要从过去被存储在存储单元中的外观像群中选择成为对象的外观像，如以下那样进行一览显示较为理想。即，显示单元读取过去被存储在存储单元中的外观像并一览显示多个外观像，图像选择单元从被一览显示在显示单元上的由多个外观像构成的外观像群中选择成为对象的外观像，由此从过去被存储在存储单元中的外观像群中选择成为对象的外观像。通过进行一览显示，能够在视觉上容易地进行外观像的选择。

在这一个实例中，较理想的是，显示单元显示图像选择单元所选择的外观像，并读取与该外观像相关联的、且过去被存储在存储单元中的X射线像进行显示。通过一并显示被选择了的外观像，可以使得其与X射线像的对应关系容易明白。

又，上述前者的发明的另一个实例为，图像选择单元从过去被存储在存储单元中的X射线群中选择成为对象的X射线像，显示单元读取与图像选择单元所选择的X射线像相关联的、且过去被存储在存储单元中的外观像并进行显示。在这一实例的情况下，能够根据被选择的X射线像显示与之相关联的作为另一方的图像的外观像，能够根据过去拍摄的图像知道对象物。

在这一个实例的情况下，要从过去被存储在存储单元中的X射线像群中选择成为对象的X射线像，如以下那样进行一览显示较为理想。即，显示单元读取过去被存储在存储单元中的X射线像并一览显示多个X射线像，图像选择单元从被一览显示在显示单元上的由多个X射线像构成的X射线像群中选择成为对象的X射线像，由此从过去被存储在存储单元中的X射线像群中选择成为对象的X射线像。通过进行一览显示，能够在视觉上容易地进行X射线像的选择。

在这一个实例中，较理想的是，显示单元显示图像选择单元所选择的X射线像，并读取与该X射线像相关联的、且过去被存储在存储单元中的外观像进行显示。通过一并显示被选择了的X射线像，可以使得其与外观像的对应关系容易明白。

与上述这些发明所涉及的X射线检查装置(前者的发明)不同的X射线检查装置(后者的发明)，是对对象物进行X射线检查的X射线检查装置，其特征在于，具有：X射线照射单元，所述X射线照射单元对对象物照射X射线；X射线检测单元，所述X射线检测单元通过检测被照射的所述X射线进行所述X射线检查来取得该对象物的X射线像；光学照相机，所述光学照相机通过对对象物进行光学拍摄来取得该对象物的外观像；存储单元，所述存储单元使得通过所述X射线检测单元取得的X射线像和通过所述光学照相机取得的外观像相对于每个同一对象物互相关联，且使得X射线像和与之相应的外观像的划分部位相关联，并分别予以储存；图像选择单元，所述图像选择单元从过去被存储在该存储单元中的多个X射线像或者所述外观像中选择成为对象的X射线像或者外观像的划分部位的某一方的图像；和显示单元，所述显示单元读取与该图像选择单元所选择的所述一方的图像相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的另一方的图像进行显示，且将被选择的外观像的划分部位或者与被选择的X射线像相关联的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地进行显示。

[作用、效果]采用本发明所涉及的检查装置(后者的发明)的话，使得通过X射线检测单元取得的多个X射线像和通过光学照相机取得的外观像相对于每个同一对象物互相关联，且使得X射线像和与之相应的外观像的划分部位相关联，并分别储存在存储单元中。而且，图像选择单元从过去被存储在存储单元中的多个X射线像或者外观像中选择成为对象的X射线像或者外观像的划分部位中的某一方的图像。读取与该图像选择单元所选择的一方的图像相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的另一方的图像并显示于显示单元，且将被选择的外观像的划分部位或者与被选择的X射线像相关联的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地显示于显示单元。如果在成为选择对象的一方的图像为外观像的划分部位的情况下，能够根据被选择的外观像的对象物(样本)显示与之相关联的作为另一方的图像的X射线像，能够根据对象物检索过去拍摄的图像。如果在成为选择对象的一方的图像为X射线像的情况下，能够根据被选择的X射线像将与之相关联的作为另一方的图像的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地进行显示，能够根据过去拍摄的图像知道是对象物中的哪个部分。

又，也可以组合前者的发明和后者的发明。即，在前者的发明中，如后者的发明那样，存储单元将X射线像和与之相应的外观像的划分部位相关联地分别予以储存，图像选择单元从过去被存储在存储单元中的多个X射线像或者外观像中选择成为对象的X射线像或者外观像的划分部位的某一方的图像，显示单元读取与图像选择单元所选择的一方的图像相关联的、且过去被存储在存储单元中的另一方的图像进行显示，且将被选择的外观像的划分部位或者与被选择的X射线像相关联的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地进行显示。

(也包含组合了前者的发明和后者的发明的发明)上述后者的发明的一个实例为，图像选择单元从过去被存储在存储单元中的外观像中选择成为对象的外观像的划分部位，显示单元读取与图像选择单元所选择的外观像的划分部位相关联的、且过去被存储在存储单元中的X射线像进行显示，且将被选择的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地进行显示。在这一个实例的情况下，能够根据被选择的外观像的对象物显示与之相关联的作为另一方的图像的X射线像，能够根据对象物检索过去拍摄的图像。

在这一个实例的情况下，要从过去被存储在存储单元中的外观像中选择成为对象的外观像的划分部位，如以下那样进行一览显示较为理想。即，显示单元读取过去被存储在存储单元中的外观像的划分部位并一览显示多个划分部位，图像选择单元从被一览显示在显示单元上的多个划分部位中选择成为对象的划分部位，由此从过去被存储在存储单元中的外观像中选择成为对象的外观像的划分部位。通过进行一览显示，能够在视觉上容易地进行外观像的划分部位的选择。

在这一个实例中，较理想的是，显示单元显示图像选择单元所选择的外观像的划分部位，将被选择的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地显示，且读取与被选择的外观像的划分部位相关联的、且过去被存储在存储单元中的X射线像进行显示。通过一并显示被选择了的外观像的划分部位，可以使得其与X射线像的对应关系容易明白。

又，(也包含组合了前者的发明和后者的发明的发明)上述发明的另一个实例为，图像选择单元从过去被存储在存储单元中的多个X射线像中选择成为对象的X射线像，显示单元读取与图像选择单元所选择的X射线像相关联的、且过去被存储在存储单元中的外观像的划分部位进行显示，且将与被选择的X射线像相关联的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地进行显示。在这一个实例的情况下，能够根据被选择的X射线像将与之相关联的作为另一方的图像的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地进行显示，能够根据过去拍摄的图像知道是对象物中的哪个部分。

在这一个实例的情况下，要从过去被存储在存储单元中的多个X射线像中选择成为对象的X射线像，如以下那样进行一览显示较为理想。即，显示单元读取过去被存储在存储单元中的X射线像并一览显示多个X射线像，图像选择单元从被一览显示在显示单元上的多个X射线像中选择成为对象的X射线像，由此从过去被存储在存储单元中的多个X射线像中选择成为对象的X射线像。通过进行一览显示，能够在视觉上容易地进行X射线像的选择。

在这一个实例中，较理想的是，显示单元显示图像选择单元所选择的X射线像，读取与该X射线像相关联的、且过去被存储在存储单元中的外观像的划分部位进行显示，且将与被选择的X射线像相关联的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地进行显示。通过一并显示被选择了的X射线像，可以使得其与外观像的对应关系容易明白。

发明的效果

采用本发明所涉及的检查装置(前者的发明)的话，使得通过X射线检测单元取得的X射线像和通过光学照相机取得的外观像相对于每个同一对象物互相关联，并分别储存在存储单元中。而且，图像选择单元从过去被存储在存储单元中的由多个X射线像构成的X射线像群或者由多个外观像构成的外观像群的某一方的图像群中选择成为对象的一方的图像。读取与该图像选择单元所选择的一方的图像相关联的、且过去被存储在存储单元中的另一方的图像并在显示单元中进行显示。其结果，能够根据对象物检索过去拍摄的图像，或者能够根据过去拍摄的图像知道对象物。

又，采用与前者的发明不同的其他的X射线检查装置(后者的发明)的话，使得通过X射线检测单元取得的多个X射线像和通过光学照相机取得的外观像相对于每个同一对象物互相关联，且使得X射线像和与之相应的外观像的划分部位相关联，并分别储存在存储单元中。而且，图像选择单元从过去被存储在存储单元中的多个X射线像或者外观像中选择成为对象的X射线像或者外观像的划分部位中的某一方的图像。读取与该图像选择单元所选择的一方的图像相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的另一方的图像并显示于显示单元，且将被选择的外观像的划分部位或者与被选择的X射线像相关联的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地显示于显示单元。其结果，能够根据对象物检索过去拍摄的图像，或者能够根据过去拍摄的图像知道是对象物中的哪个部分。

附图说明

图1是各个实施例所涉及的X射线检查装置的概要构成图以及框图。

图2的(a)～(d)是使X射线透视像和外观像互相关联并进行登记的一个实施形态。

图3的(a)、(b)是关联后的各个文件名称的一个实施形态。

图4的(a)～(d)是实施例1所涉及的图像选择以及显示的一个实施形态。

图5的(a)～(d)是实施例1所涉及的图像选择以及显示的一个实施形态。

图6的(a)～(c)是实施例2所涉及的图像选择以及显示的一个实施形态。

图7的(a)、(b)是实施例2所涉及的图像选择以及显示的一个实施形态。

图8的(a)、(b)是实施例3所涉及的图像选择以及显示的一个实施形态、图8的(c)、(d)是实施例4所涉及的图像选择以及显示的一个实施形态。

符号说明

1…X射线检查装置

8…存储部

8a…表格

9…输入部

10…输出部

10M…监视器

12…光学照相机

21…X射线管

22…X射线检测器

F…X射线透视像

I…外观像

O…对象物。

具体实施方式

(实施例1)

下面，参照附图说明该发明的实施例1。

图1是各个实施例所涉及的X射线检查装置的概要构成图以及框图。在本实施例1中，也包含后述的实施例2～4，都是将集成电路(IC)作为对象物(样本)并以此为例进行说明，并且还将X射线透视像作为X射线像并以此为例进行说明。

如图1所示，本实施例1～4所涉及的X射线检查装置1具有：对对象物O进行摄像的摄像部2、载置对象物O的载物台3、驱动该载物台3的载物台驱动部4、驱动摄像部2的摄像驱动部5、为了赋予摄像部2的X射线管21管电流或管电压而产生高电压的高电压产生部6、对通过摄像部2的X射线检测器22得到的X射线检测信号进行各种图像处理并输出X射线透视像的图像处理部7。

摄像部2具有对对象物O照射X射线的X射线管21、和对从X射线管21照射并透过对象物O的X射线进行检测的检测器22。关于X射线检测器22，如影像增强器(I.I)、平板型X射线检测器(FPD：Flat Panel Detector)等所例示的那样，并没有特别限定。在本实施例1中，也包含后述的实施例2～4，将平板型X射线检测器(FPD)作为X射线检测器22并以此为例进行说明。X射线管21相当于本发明的X射线照射单元，X射线检测器22相当于本发明的X射线检测单元。

FPD由与像素对应地纵横排列的多个检测元件构成，检测元件检测出X射线，将被检测的X射线的数据(电荷信号)作为X射线检测信号进行输出。这样一来，从X射线管21向对象物O照射X射线，由FPD构成的X射线检测器22检测出X射线而输出X射线检测信号，由此由X射线管21以及X射线检测器22构成的摄像部2对对象物O进行摄像。

载物台驱动部4由省略图示的电动机、驱动轴等构成，使得载物台3在图中的X、Y方向上水平移动、在Z方向上升降移动、或者围绕Z轴心在水平面内旋转。通过载物台3的移动对象物O也进行移动，使对象物O移动到摄像位置为止，并通过摄像部2进行摄像，以进行X射线检查。

摄像驱动部5与载物台驱动部4一样，由省略图示的电动机、驱动轴等构成，使得摄像部2在图中的X、Y方向上水平移动、在Z方向上升降移动、或者围绕Z轴心在水平面内旋转。以X射线管21与X射线检测器22相对的形态分别使得两者移动，之后进行X射线检查。又，也能够使得X射线管21或者X射线检测器22在铅垂方向(Z方向)上升降移动，以变更X射线检查的放大率、缩小率。又，也能够使得X射线管21或者X射线检测器22倾斜，从倾斜方向进行摄像(参照图中的二点划线)。

高电压产生部6产生高电压并将管电流或管电压赋予X射线管21，由此X射线从X射线管21产生从而照射X射线。图像处理部7通过对X射线检测信号施行增益校正、延迟校正、或灰度校正等的图像处理，输出与对象物O有关的X射线透视像。这样一来，图像处理部7对被摄像部2摄像了的X射线检测信号(即，从X射线检测器22输出的X射线检测信号)进行图像处理并输出X射线透视像，由此对对象物O进行X射线透视拍摄。从而，对对象物O进行X射线检查。另外，图像处理部7通过对采用后述的光学照相机12进行了光电转换的信号施行图像处理，也输出与对象物O有关的外观像。在图1中，图像处理部7兼用于X射线透视像的输出以及外观像的输出，但是分别分为X射线透视像用途和外观像用途当然也是可以的。

除此之外，X射线检查装置1具有存储部8、输入部9、输出部10和控制器11。存储部8相当于本发明的存储单元，输入部9相当于本发明的图像选择单元，输出部10相当于本发明的显示单元。

存储部8通过控制器11写入并储存由图像处理部7得到的X射线透视像等的数据，适当地根据需要进行读取，并通过控制器11将X射线透视像发送给输出部10进行输出。存储部8由ROM(只读存储器)、RAM(随机存取存储器)、硬盘等所代表的存储介质构成。在本实施例1以及后述的实施例2～4中，存储部8具有表格8a，该表格8a使得通过X射线检测器22取得的X射线像(在各实施例中为X射线透视像)和后述的通过光学照相机12取得的外观像对于每个同一对象物互相关联并分别进行储存，在本实施例1中，表格8a使得X射线像(在各实施例中为X射线透视像)和与之相应的外观像的划分部位相关联并分别进行储存。关于表格8a的具体功能，将在后面进行叙述。

输入部9将操作者所输入的数据、命令输送到控制器11中。输入部9由鼠标、键盘、操纵杆、轨迹球、触摸面板等所代表的指示设备构成。在本实施例1以及后述的实施例2～4中，输入部9具有以下功能，即，从过去被存储在表格8a中的由多个X射线像(在各实施例中为X射线透视像)构成的X射线像群或者由多个外观像构成的外观像群中的某一个图像群之中选择成为对象的一方的图像的功能，和从过去被存储在表格8a中的多个X射线像(在各实施例中为X射线透视像)或者外观像中选择成为对象的X射线像或者外观像的划分部位的某一方的图像的功能等。关于这些的功能，将在后文中说明。

输出部10由监视器等所代表的显示部、打印机等构成。在本实施例1以及后述的实施例2～4中，将摄像部2的摄像结果、后述的光学照相机12的摄像结果显示于输出部10的监视器上，且读取过去被存储在表格8a中的摄像结果，并将其显示在输出部10的监视器上。关于监视器的具体的构成，将在后面进行说明。

控制器11总括控制构成X射线检查装置1的各部分。上述的图像处理部7、控制器11由中央运算处理装置(中央处理器CPU)等构成。通过控制器11将由图像处理部7得到的X射线透视像等的数据写入存储部8中进行储存，或者将由图像处理部7得到的X射线透视像等的数据输送到输出部10予以输出。在输出部10为显示部的情况下进行输出显示，在输出部10为打印机的情况下进行输出印刷。

进一步地，X射线检查装置1具有对对象物O进行光学拍摄的光学照相机12。光学照相机12由固体摄像元件(CCD：电荷耦合器件(Charge Coupled Device))等构成，其对对象物O照射光，利用光学照相机12的透镜(图示省略)取得对象物O的光学像并通过CCD进行光电转换，由此来进行光学拍摄。从而，通过光学拍摄取得外观像。设定光学照相机12的位置以及拍摄倍率(放大率、缩小率)，以便能够取得与X射线透视像基本相同区域的外观像。又，光学照相机12也能够与X射线管21、X射线检测器22的倾斜联动地进行光学拍摄，或者独立地从倾斜方向进行光学拍摄(参照图中的二点划线)。光学照相机12相当于本发明的光学照相机。

接着，参照图2～图5对本实施例1所涉及的存储部8(表格8a)、输入部9、输出部10的具体构成进行说明。图2是使X射线透视像和外观像互相关联地登记的一个实施形态，图3是关联之后的各文件名称的一个实施形态，图4、图5是实施例1所涉及的图像选择以及显示的一个实施形态。

使用者将对象物O(参照图1)载置在载物台3(参照图1)上并进行设置之后，通过光学照相机12(参照图1)进行光学拍摄，如图2(a)所示那样取得外观像I并将其表示于输出部10(参照图1)的监视器10M上。使用者一边参考外观像I一边使载物台3移动，以使得想要进行观察(X射线检查)的地方显示在X射线透视像上，一旦所希望的部位的X射线透视像显示在监视器10M上，则通过摄像部2(参照图1)进行摄像。

另外，进行监测直到摄像部2进行摄像为止，所述监测是从摄像部2的X射线管21(参照图1)照射比摄像时弱的照射剂量的X射线，将通过摄像部2的X射线检测器22(参照图1)检测该X射线而得到的X射线透视像表示在监视器10M上。而且，一边通过载物台3的移动等进行微调整一边继续进行检测，直到所希望的部位的X射线透视像显示于监视器10M上为止。一旦所希望的部位的X射线透视像显示在监视器10M上，则从X射线管21照射比监测时强的照射剂量的X射线，通过X射线检测器22检测该X射线，从而取得摄像时的X射线透视像。

如图2(b)所示，将拍摄时的X射线透视像F显示在监视器10M上，使得监视器10M上的X射线透视像F与外观像I互相关联，并通过输入部9(参照图1)进行登记。对于输入部9的登记并没有特别地限定，例如，可以通过按下登记用的按钮进行登记，可以通过用鼠标将指针对准登记用的按钮并进行点击来进行登记，也可以通过触摸被搭载在监视器10M上的登记用的触摸面板来进行登记。

又，在X射线透视像F不是对象物(样本)的全景而是与对象物O的一部分的部位有关的像的情况下，如图2(c)所示，使得X射线透视像F与外观像I的该一部分的部位(以下，称为“划分部位”)P相关联并通过输入部9进行登记。关于该输入部9的登记并没有特别限定，例如，可以通过用鼠标将指针对准划分部位P并进行点击来进行登记，也可以通过触摸被搭载在监视器10M上的触摸面板上的划分部位P来进行登记，也可以通过从键盘直接输入划分部位P的坐标位置来进行登记。如图2(d)所示，对于相同的对象物O，使得其他的划分部位P′与新的X射线透视像F′相关联的情况下，通过和图2(c)相同的步骤，使得该X射线透视像F′与外观像I的该划分部位P′相关联并通过输入部9进行登记。

对于同一对象物O使得X射线透视像F和外观像I互相关联地进行登记，一旦该登记结束，则对于其他的对象物O使用者判断是否具有成为登记的对象的样本，在具有成为登记的对象的样本的情况下，通过和图2的(a)～图2的(d)相同的步骤进行登记。另外，对于每个对象物O的登记未必需要连续地进行，只要在每次X射线检查时进行登记即可。

通过进行这样的登记，对于每个同一的对象物O使得X射线透视像F与外观像I互相关联，并将其分别储存在存储部8(参照图1)的表格8a(参照图1)中。进一步地，通过使得X射线透视像F与外观像I的划分部位P相关联地进行登记，使得X射线透视像F和与该X射线透视像F相应的外观像I的划分部位相关联，并分别将它们储存在表格8a中。

关于关联之后的实施形态，例如，如图3(a)所示，对于同一对象物制作文件夹，已相互关联的X射线像的文件和外观像的文件被保存在同一文件夹中。如图3(a)所示，对象物为“Sample#A”的情况下，制作例如“Sample#A”这样的文件夹，有关“Sample#A”的X射线透视像的文件和有关“Sample#A”的外观像的文件“image_A”被保存在同一文件夹“Sample#A”中。如果在使X射线透视像和与该X射线透视像相应的外观像的划分部位相关联的情况下，如图3(a)所示，例如划分部位的坐标“#01”的X射线透视的文件“address01_A”被保存在同一文件夹“Sample#A”中，划分部位的坐标“#02”的X射线透视的文件“address02_A”被保存在同一文件夹“Sample#A”中，对象物为“Sample#B”时也是同样的。

另外，通过图2(a)～图2(d)所示的步骤，自动地制作图3(a)所示的文件夹，各个文件分别被自动地保存，但使用者通过输入部9手动地制作文件夹，手动地保存各文件，由此使得X射线透视像和外观像互相关联并分别存储在表格8a中，或者使得X射线透视像和与之相应的外观像相关联并分别储存在表格8a中也是可以的。又，也可以如图3(b)所示，制作索引文件等，通过从索引文件参照各文件来进行相互关联。这时，未必需要将各个文件保存在相同的文件夹中。

接下来，参照图4、图5对根据过去被存储在表格8a中的图像进行图像选择以及显示的各个形态进行说明。首先，如图4(a)所示，监视器10M读取过去被存储在表格8a(参照图1)中的外观像群I(在这里，为四个外观像I₁，I₂，I₃，I₄)并一览地显示多个外观像(在这里为四个)。而且，通过输入部9(参照图1)从被一览显示在监视器10M上的外观像群I中选择成为对象的外观像(在图4(a)中用粗框表示的外观像I₁)。通过这样进行选择，利用输入部9从过去被存储在表格8a中的外观像群之中选择出成为对象的外观像。关于输入部9的图像选择并没有特别限定，例如，可以通过用鼠标将指针对准成为对象的外观像并进行点击来进行图像选择，也可以通过触摸被搭载在监视器10M上的触摸面板上的成为对象的外观像来进行图像选择，也可以通过从键盘直接输入与成为对象的外观像相对应的键来进行图像选择。

接着，如图4的(b)所示，监视器10M显示被选择的外观像I₁，同时读取并显示与该外观像I₁相关联的、且过去被存储在表格8a中的X射线透视像(在这里是由16个X射线透视像构成的X射线透视像群F₁₀₀)。如图4的(c)所示，该X射线透视像群F₁₀₀由16个X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆构成，各个X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆分别与外观像的各个划分部位相关联地被储存在表格8a中。

在一览显示了被存储在表格8a中的16个X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆的状态下，通过输入部9，从被一览显示在监视器10M上的16个X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆中选择成为对象的X射线透视像(在图4(d)中为X射线透视像F₁₀₄)。通过这样进行选择，利用输入部9从过去被存储在表格8a中的多个X射线透视像之中选择出成为对象的X射线透视像。在选择与划分部位相关联的X射线透视像的情况下，关于通过输入部9进行的图像选择并没有特别限定，例如，可以通过用鼠标将指针对准成为对象的X射线透视像并进行点击来进行图像选择，也可以通过触摸被搭载在监视器10M上的触摸面板上的成为对象的X射线透视像来进行图像选择，也可以通过从键盘直接输入与成为对象的X射线透视像相对应的键来进行图像选择。

进一步地，如图4(d)所示，监视器10M显示被选择的X射线透视像F₁₀₄，读取与该X射线透视像F₁₀₄相关联的外观像I₁的划分部位P进行显示，同时将与被选择的X射线透视像F₁₀₄相关联的外观像I₁的划分部位P与该外观像I₁的其他的部位相区别地进行显示。在图4(d)中，为了与其他部位相区别地显示划分部位P而采用框来进行识别，但只要能够识别拍摄了哪个部分即可，并不限定于框，例如也可以通过带颜色的标志等来进行识别。又，为了强调从被一览显示的X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆中选择的X射线透视像F₁₀₄，也可以不显示X射线透视像F₁₀₄以外的X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆而以原来尺寸显示或者放大显示X射线透视像F₁₀₄。又，为了明确地显示关联，如图4(d)所示，也可以显示连结两图像(X射线透视像F₁₀₄、外观像I₁的划分部分P)的带箭头的线。

如图4(c)以及图4(d)所示，通过输入部9从过去被存储在表格8a中的多个X射线透视像(在这里为16个X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆)中选择成为对象的X射线透视像F₁₀₄，监视器10M读取与被选择的X射线透视像F₁₀₄相关联的、且过去被存储在表格8a中的外观像I₁的划分部位P进行显示，且与该外观像I₁的其他部位相区别地显示与被选择的X射线透视像F104相关联的外观像I₁的划分部位P。相反，如图5(a)以及图5(b)所示，通过输入部9从过去被存储在表格8a中的外观像(在图5(a)中为外观像I₁)中选择成为对象的外观像I₁的划分地方P，监视器10M读取与被选择的外观像I₁的划分部位P相关联的、且过去被存储在表格8a中的X射线透视像(在这里为16个X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆)进行显示，且与该外观像I₁的其他部位相区别地显示被选择的外观像I₁的划分部位P也是可以的。

具体来说，如图5(a)所示，通过输入部9从被存储在表格8a中的外观像I₁中任意选择成为对象的外观像I₁的划分部位P。在选择划分部位的情况下，关于通过输入部9进行的图像选择并没有特别限定，例如，可以通过用鼠标将指针对准成为对象的划分部位并进行点击来进行图像选择，也可以通过触摸被搭载在监视器10M上的触摸面板上的成为对象的划分部位来进行图像选择，也可以通过从键盘直接输入与成为对象的划分部位相对应的键或者直接输入成为对象的划分部位的坐标位置来进行图像选择。

进一步地，如图5(b)所示，监视器10M显示被选择的外观像I₁的划分部位P，与该外观像I₁的其他部位相区别地(在这里用框来区别)显示被选择的外观像I₁的划分部位P，且显示与该外观像I₁的划分部位P相关联的X射线透视像(在这里，为X射线透视像F₁₀₁)。相同地，除了框以外，还可以通过带有颜色的标记等来区别。又，为了强调从被一览显示的X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆中选择的与划分部位P相关联的X射线透视像F₁₀₁，也可以不显示X射线透视像F₁₀₁以外的X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆而以原来尺寸显示或者放大显示X射线透视像F₁₀₁。又，为了明确地显示关联，如图5(b)所示，也可以显示连结两图像(X射线透视像F₁₀₁、外观像I₁的划分部分P)的带箭头的线。

又，如图5(c)以及图5(d)那样，监视器10M读取过去被储存在表格8a中的外观像I₁的划分部位P并一览地显示多个(在这里为16个)，通过利用输入部9从被一览显示在监视器10M上的多个划分部位P中选择成为对象的划分部位，也能够从过去被存储在表格8a中的外观像I₁中选择成为对象的外观像I₁的划分部位。

具体来说，如图5(c)所示，监视器10M读取过去被存储在表格8a中的外观像I₁的划分部位P并一览显示多个(在这里为16个)。而且，通过输入部9从被一览显示在监视器10M中的多个划分部位P中选择成为对象的划分部位。通过这样进行选择，利用输入部9从过去被存储在表格8a中的外观像I₁之中选择出成为对象的外观像I₁的划分部位。

进一步地，如图5(d)所示，监视器10M显示被选择的外观像I₁的划分部位，与被选择的外观像I₁的划分部位的其他部位相区别地(例如通过带有颜色的标记等区别)进行显示，且显示与该外观像I₁的划分部位相关联的X射线透视像。相同地，为了明确地显示关联，如图5(d)所示，也可以显示连结两图像(X射线透视像、外观像I₁的划分部分)的带箭头的线。

采用具有上述构成的本实施例1所涉及的X射线检查装置的话，对于同一对象物使得通过X射线检测器22取得的X射线像(在各实施例中的X射线透视像)和通过光学照相机12取得的外观像互相关联，并将它们分别储存在表格8a中。而且，通过输入部9从过去被存储在表格8a中的由多个X射线像构成的X射线像群或者由多个外观像构成的外观像群的某一方的图像群中选择成为对象的一方的图像(在本实施例1中为外观像)。读取与该通过输入部9选择了的一方的图像(外观像)相关联的、且过去被存储在表格8a中的另一方的图像(在本实施例1中为X射线透视像)并在监视器10M上进行显示。在如图4(a)所示那样成为选择对象的一方的图像为外观像的情况下，能够根据被选择的外观像的对象物(样本)显示与该外观像相关联的作为另一方的图像的X射线像(X射线透视像)，能够根据对象物检索过去被拍摄了的图像。

在本实施例1中，如图4(a)所示，通过输入部9从过去被存储在表格8a中的外观像群中选择成为对象的外观像，监视器10M读取与通过输入部9选择的外观像相关联的、且过去被存储在表格8a中的X射线像(X射线透视像)并进行显示。这时，能够根据被选择的外观像的对象物显示与之相关联的作为另一方的图像的X射线像(X射线透视像)，能够根据对象物检索过去被拍摄的图像。

在本实施例1的情况下，从过去被存储在表格8a中的外观像群中选择成为对象的外观像时，如图4(a)那样一览显示较为理想。即，监视器10M读取过去被存储在表格8a中的外观像并一览显示多个外观像，通过输入部9从被一览显示在监视器10M上的由多个外观像构成的外观像群中选择成为对象的外观像，从过去被存储在表格8a中的外观像群中选择成为对象的外观像。通过进行一览显示，能够在视觉上容易地进行外观像的选择。

在本实施例1中，理想的是，如图4(b)所示，监视器10M显示通过输入部9所选择的外观像，并读取与该外观像相关联的、且过去被存储在表格8a中的X射线像(X射线透视像)进行显示。通过一并显示被选择了的外观像，可以使得其与X射线像(X射线透视像)的对应关系容易明白。

又，采用本实施例1所涉及的X射线检查装置的话，对于每个同一对象物使得通过X射线检测器22取得的多个X射线像(X射线透视像)和通过光学照相机12取得的外观像互相关联，并使得X射线像(X射线透视像)和与之对应的外观像的划分部位相关联，将它们分别储存在表格8a中。而且，通过输入部9从过去被存储在表格8a中的多个X射线像或者外观像中选择成为对象的X射线像或者外观像的划分部位中的某一方的图像(在图4的(c)、图4的(d)中为X射线透视像)。读取与通过输入部9所选择的一方的图像(X射线透视像)相关联的、且过去被存储在表格8a中的另一方的图像(在图4的(c)、图4的(d)中为外观像)，并在监视器10M上进行显示，并且将被选择的外观像的划分部位或者与被选择的X射线像相关联的外观像的划分部位(在图4的(c)、图4的(d)中为与被选择的X射线透视像相关联的外观像的划分部位)与该外观像的其他部位相区别地在监视器10M上进行显示。在如图4(c)所示那样成为选择对象的一方的图像为X射线像(X射线透视像)的情况下，能够根据被选择的X射线像(X射线透视像)将与之相关联的作为另一方的图像的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地进行显示，能够根据过去被拍摄的图像知道是对象物中的哪个部分。

在本实施例1中，组合图4的(a)以及图4的(b)的显示形态和图4的(c)以及图4的(d)的显示形态，将图4的(a)～图4的(d)作为一系列的图像选择以及显示依次地进行。即，在图4的(a)以及图4的(b)的显示形态之后，如图4的(c)以及图4的(d)的显示形态那样，表格8a将X射线像(X射线透视像)和与之相应的外观像的划分部位相关联地分别储存，通过输入部9从过去被存储在表格8a中的多个X射线像或者外观像中选择成为对象的X射线像或者外观像的划分部位中的某一方的图像(在图4的(c)、图4的(d)中为X射线透视像)，监视器10M读取与通过输入部9所选择的一方的图像(X射线透视像)相关联的、且过去被存储在表格8a中的另一方的图像(外观像)并进行显示，并且将被选择的外观像的划分部位或者与被选择的X射线像相关联的外观像的划分部位(在图4的(c)、图4的(d)中为与被选择的X射线透视像相关联的外观像的划分部位)与该外观像的其他部位相区别地进行显示。

在本实施例1中，如图5的(a)所示，通过输入部9从过去被存储在表格8a中的外观像中选择成为对象的外观像的划分部位，监视器10M读取与通过输入部9所选择的外观像的划分部位相关联的、且过去被存储在表格8a中的X射线像(X射线透视像)进行显示，且将被选择的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地进行显示。这时，能够根据被选择的外观像的对象物显示与之相关联的作为另一方的图像的X射线像(X射线透视像)，能够根据对象物检索过去被拍摄的图像。

在本实施例1中，理想的是，如图5的(b)所示，监视器10M显示通过输入部9所选择的外观像的划分部位，将被选择的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地进行显示，并读取与该外观像的划分部位相关联的、且过去被存储在表格8a中的X射线像(X射线透视像)进行显示。通过一并显示被选择了的外观像的划分部位，可以使得其与X射线像(X射线透视像)的对应关系容易明白。

在本实施例1中，如图5的(c)所示，与图5的(a)相同地，通过输入部9选择成为对象的外观像的划分部分，监视器10M显示与该划分部位相关联的X射线像(X射线透视像)，将被选择的外观像的划分部分与该外观像的其他部位相区别地进行显示。

在本实施例1的情况下，从过去被存储在表格8a中的外观像中选择成为对象的外观像的划分部分时，如图5的(c)那样一览显示较为理想。即，监视器10M读取过去被存储在表格8a中的外观像的划分部位并一览显示多个划分部位，通过输入部9从被一览显示在监视器10M上的多个划分部位中选择成为对象的划分部位，由此从过去被存储在表格8a中的外观像中选择成为对象的外观像的划分部位。通过进行一览显示，能够在视觉上容易地进行外观像的划分部位的选择。

(实施例2)

下面，参照附图说明本发明的实施例2。

图6、图7是实施例2所涉及的图像选择以及显示的一个实施形态。关于与上述实施例1共同的部位，标注相同的符号并省略其说明。又，如图1所示，本实施例2所涉及的X射线检查装置1的构成与实施例1所涉及的X射线检查装置1的构成相同。

在上述实施例1中，在图4的(a)以及图4的(b)的显示形态之后，进行了图4的(c)以及图4的(d)的显示形态、图5的(a)以及图5的(b)的显示形态或者图5的(c)以及图5的(d)的显示形态，但在本实施例2中，不进行图4的(a)以及图4的(b)的显示形态，而是从图6的(a)～图6的(c)的显示形态或者图7的(a)以及图7的(b)的显示形态开始。即，不像上述实施例1那样在从X射线像群或者外观像群的某一方的图像群中选择了成为对象的一方的图像(在实施例1中为外观像)之后，显示与该一方的图像(外观像)相关联的另一方的图像(在实施例1中为X射线透视像)，在本实施例2中，是在从多个X射线像或者外观像中选择了成为对象的X射线像或者外观像的划分部位的某一方的图像(在本实施例2中为外观像的划分部位)之后，如图6的(a)～图6的(c)或者图7的(a)以及图7的(b)所示那样显示与该一方的图像(外观像的划分部位)相关联的另一方的图像(在本实施例2中为X射线透视像)。

具体来说，如图6(a)所示，读取被存储在表格8a(参照图1)中的外观像I并在监视器10M上显示。而且，如图6(b)所示，通过输入部9(参照图1)从外观像I中任意地选择成为对象的外观像I的划分部位P。在选择划分部位的情况下，关于通过输入部9进行的图像选择并没有特别限定，例如，可以通过用鼠标将指针对准成为对象的划分部位并进行点击来进行图像选择，也可以通过触摸被搭载在监视器10M上的触摸面板上的成为对象的划分部位来进行图像选择，也可以通过从键盘直接输入与成为对象的划分部位相对应的键或者直接输入成为对象的划分部位的坐标位置来进行图像选择。

进一步地，如图6的(c)所示，监视器10M显示被选择的外观像I的划分部位P，与该外观像I的其他部位相区别地(在这里用框来区别)显示被选择的外观像I的划分部位P，且显示与该外观像I的划分部位P相关联的X射线透视像F。相同地，除了框以外，还可以通过带有颜色的标记等来区别。又，为了明确地显示关联，如图6的(c)所示，也可以显示连结两图像(X射线透视像F、外观像I的划分部分P)的带箭头的线。

又，如图7的(a)所示，监视器10M读取过去被存储在表格8a中的外观像I的划分部位P并一览显示多个划分部位(在这里为16个)。而且，通过输入部9从被一览显示在监视器10M中的多个划分部位P中选择成为对象的划分部位。通过这样进行选择，利用输入部9从过去被存储在表格8a中的外观像I之中选择出成为对象的外观像I的划分部位。

进一步地，如图7的(b)所示，监视器10M显示被选择的外观像I的划分部位，与被选择的外观像I的划分部位的其他部位相区别地(例如通过带有颜色的标记等区别)进行显示，且显示与该外观像I的划分部位相关联的X射线透视像F。相同地，为了明确地显示关联，如图7的(b)所示，也可以显示连结两图像(X射线透视像F、外观像I的划分部分)的带箭头的线。

关于本实施例2的作用、效果，图6的(a)～图6的(c)的显示形态与图5的(a)以及图5的(b)的显示形态相同，因此省略其说明。又，图7的(a)以及图7的(b)的显示形态也与图5的(c)以及图5的(d)的显示形态相同，因此省略其说明。

(实施例3)

下面，参照附图说明本发明的实施例3。

图8的(a)、图8的(b)是实施例3所涉及的图像选择以及显示的一个实施形态。关于与上述实施例1、2共同的部位，标注相同的符号并省略其说明。又，如图1所示，本实施例3所涉及的X射线检查装置1的构成与实施例1、2所涉及的X射线检查装置1的构成相同。

在上述实施例1中，从由多个X射线像构成的X射线像群或者由多个外观像构成的外观像群的某一方的图像群中选择的成为对象的一方的图像为外观像，在选择了作为一方的图像的外观像之后显示作为另一方的图像的X射线透视像，但在实施例3中，一方的图像为X射线透视像，在选择了作为一方的图像的X射线透视像之后显示作为另一方的图像的外观像。

首先，如图8的(a)所示，监视器10M读取过去被存储在表格8a(参照图1)中的X射线透视像群F(在这里，为四个X射线透视像F₁，F₂，F₃，F₄)并一览地显示多个X射线透视像(在这里为四个)。而且，通过输入部9(参照图1)从被一览显示在监视器10M上的X射线透视像群F中选择成为对象的X射线透视像(在图8的(a)中用粗框表示的X射线透视像F₁)。通过这样进行选择，利用输入部9从过去被存储在表格8a中的X射线透视像群之中选择出成为对象的X射线透视像。关于输入部9的图像选择并没有特别限定，例如，可以通过用鼠标将指针对准成为对象的X射线透视像并进行点击来进行图像选择，也可以通过触摸被搭载在监视器10M上的触摸面板上的成为对象的X射线透视像来进行图像选择，也可以通过从键盘直接输入与成为对象的X射线透视像相对应的键来进行图像选择。

接着，如图8的(b)所示，监视器10M显示被选择的X射线透视像F₁，并读取与该X射线透视像F₁相关联的、且过去被存储在表格8a中的外观像I₁进行显示。

采用具有上述构成的本实施例3所涉及的X射线检查装置的话，通过输入部9从过去被存储在表格8a中的由多个X射线像构成的X射线像群或者由多个外观像构成的外观像群的某一方的图像群中选择成为对象的一方的图像(在本实施例3中为X射线透视像)。读取与该通过输入部9所选择了的一方的图像(X射线透视像)相关联的、且过去被存储在表格8a中的另一方的图像(在本实施例3中为外观像)并在监视器10M上进行显示。在如图8的(a)所示那样成为选择对象的一方的图像为X射线像(X射线透视像)的情况下，能够根据被选择的X射线像(X射线透视像)显示与之相关联的作为另一方的图像的外观像，能够根据过去被拍摄的图像知道对象物。

在本实施例3中，如图8的(a)所示，通过输入部9从过去被存储在表格8a中的X射线像群中选择成为对象的X射线像(X射线透视像)，监视器10M读取与通过输入部9选择的X射线像(X射线透视像)相关联的、且过去被存储在表格8a中的外观像并进行显示。这时，能够根据被选择的X射线像(X射线透视像)显示与之相关联的作为另一方的图像的外观像，能够根据过去被拍摄的图像知道对象物。

在本实施例3的情况下，从过去被存储在表格8a中的X射线像群中选择成为对象的X射线像(X射线透视像)时，如图8的(a)那样一览显示较为理想。即，监视器10M读取过去被存储在表格8a中的X射线像(X射线透视像)并一览显示多个X射线像，通过输入部9从被一览显示在监视器10M上的由多个X射线像(X射线透视像)构成的X射线像群中选择成为对象的X射线像(X射线透视像)，从过去被存储在表格8a中的X射线像群中选择成为对象的X射线像。通过进行一览显示，能够在视觉上容易地进行X射线像(X射线透视像)的选择。

在本实施例3中，理想的是，如图8(b)所示，监视器10M显示通过输入部9所选择的X射线像(X射线透视像)，并读取与该X射线像(该X射线透视像)相关联的、且过去被存储在表格8a中的外观像进行显示。通过一并显示被选择的X射线像(X射线透视像)，容易明白该X射线像与外观像的对应关系。

(实施例4)

下面，参照附图说明本发明的实施例4。

图8的(c)、图8的(d)是实施例4所涉及的图像选择以及显示的一个实施形态。关于与上述实施例1～3共同的部位，标注相同的符号并省略其说明。又，如图1所示，本实施例4所涉及的X射线检查装置1的构成与实施例1～3所涉及的X射线检查装置1的构成相同。

在上述实施例1中，在图4的(a)以及图4的(b)的显示形态之后，进行了图4的(c)以及图4的(d)的显示形态、图5的(a)以及图5的(b)的显示形态或者图5的(c)以及图5的(d)的显示形态，但在本实施例4中，不进行图4的(a)以及图4的(b)的显示形态，而是从图8的(c)以及图8的(d)的显示形态开始。即，不像上述实施例1那样在从X射线像群或者外观像群的某一方的图像群中选择了成为对象的一方的图像(在实施例1中为外观像)之后，显示与该一方的图像(外观像)相关联的另一方的图像(在实施例1中为X射线透视像)，在本实施例4中，是在从多个X射线像或者外观像中选择了成为对象的X射线像或者外观像的划分部位的某一方的图像(在本实施例4中为X射线透视像)之后，如图8的(c)以及图8的(d)所示那样，显示与该一方的图像(X射线透视像)相关联的另一方的图像(在实施例4中为外观像)。

具体来说，如图8的(c)所示，监视器10M读取过去被存储在表格8a中的X射线透视像(在这里为由16个X射线透视像构成的X射线透视像群F₁₀₀)并一览显示多个X射线透视像(在这里为16个)。与实施例1的图4的(c)相同，如图8的(c)所示，该X射线透视像群F₁₀₀由16个X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆构成，各个X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆分别与外观像的各个划分部位相关联地被储存在表格8a中。

在一览显示了被存储在表格8a中的16个X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆的状态下，通过输入部9，从被一览显示在监视器10M上的16个X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆中选择成为对象的X射线透视像(在图8的(d)中为X射线透视像F₁₀₄。通过这样进行选择，利用输入部9从过去被存储在表格8a中的多个X射线透视像之中选择出成为对象的X射线透视像。在选择与划分部位相关联的X射线透视像的情况下，关于通过输入部9进行的图像选择并没有特别限定，例如，可以通过用鼠标将指针对准成为对象的X射线透视像并进行点击来进行图像选择，也可以通过触摸被搭载在监视器10M上的触摸面板上的成为对象的X射线透视像来进行图像选择，也可以通过从键盘直接输入与成为对象的X射线透视像相对应的键来进行图像选择。

进一步地，如图8的(d)所示，监视器10M显示被选择的X射线透视像F₁₀₄，读取与该X射线透视像F₁₀₄相关联的外观像I₁的划分部位P进行显示，并将与被选择的X射线透视像F₁₀₄相关联的外观像I₁的划分部位P与该外观像I₁的其他的部位相区别(例如通过带有颜色的标记等来区别)地进行显示。又，和实施例1的图4的(d)相同地，为了强调从被一览显示的X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆中选择的X射线透视像F₁₀₄，也可以不显示X射线透视像F₁₀₄以外的X射线透视像F₁₀₁～F₁₁₆而以原来尺寸显示或者放大显示X射线透视像F₁₀₄。又，为了明确地显示关联，如图8的(d)所示，也可以显示连结两图像(X射线透视像F₁₀₄、外观像I₁的划分部分P)的带箭头的线。

关于本实施例4的作用、效果，图8的(c)以及图8的(d)的显示形态与图4的(c)以及图4的(d)的显示形态相同，因此省略其说明。

本发明并不限于上述实施形态，也可以如下文那样变形实施。

(1)在上述各个实施例中，是以集成电路(IC)作为对象物(样本)并以此为例进行了说明，但并不限定于此。如多层基板的通孔/图案/钎焊接合部、金属等的铸件、录像机那样的成型品等所例示的那样，只要能够通过对对象物进行透视拍摄进行对于对象物的X射线检查即可。

(2)在上述各个实施例中，是通过对对象物进行透视拍摄来进行对于对象物的X射线检查，但是在通过对对象物进行CT拍摄来进行对于对象物的X射线检查的情况下也可以适用。又，在组合X射线透视拍摄以及CT拍摄进行X射线检查的情况下也可以适用。

(3)在上述各个实施例中，在任意选择外观像的划分部位时(参照图5的(a)或图6的(b))、或者在一览显示多个图像(外观像或X射线像)之后选择图像时，都是在显示图像之后再进行选择，但也可以在表格中相对应地预先储存与图像相对应的键或者坐标，在不显示图像的状态下通过直接输入键或者坐标来分别选择图像。

(4)在上述各个实施例中，为了使得划分部位与其他的部位相区别，例示了框或者带有颜色的标记等方法，但只要是通常能辨别的方法即可，并没有特别限定。例如，可以将划分部位作成白色图像(像素值高的图像)或者黑色图像(像素值低的图像)，也可以通过更改像素值使得划分部位与周围的部位形成对比来区别，或者也可以打上马赛克来区别。

(5)在上述实施例1中，在图4的(a)以及图4的(b)的显示形态之后，进行了图4的(c)以及图4的(d)的显示形态、图5的(a)以及图5的(b)的显示形态或者图5的(c)以及图5的(d)的显示形态，但也可以仅进行图4的(a)以及图4的(b)的显示形态。

Claims (15)

1.一种X射线检查装置，其是对对象物进行X射线检查的X射线检查装置，其特征在于，具有：

X射线照射单元，所述X射线照射单元对对象物照射X射线；

X射线检测单元，所述X射线检测单元通过检测被照射的所述X射线进行所述X射线检查来取得该对象物的X射线像；

光学照相机，所述光学照相机通过对对象物进行光学拍摄来取得该对象物的外观像；

存储单元，所述存储单元使得通过所述X射线检测单元取得的X射线像和通过所述光学照相机取得的外观像相对于每个同一对象物互相关联并分别予以储存；

图像选择单元，所述图像选择单元从过去被存储在所述存储单元中的由多个所述X射线像构成的X射线像群或者由多个所述外观像构成的外观像群的某一方的图像群中选择成为对象的一方的图像；和

显示单元，所述显示单元读取与所述图像选择单元所选择的所述一方的图像相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的另一方的图像并进行显示。

2.根据权利要求1所述X射线检查装置，其特征在于，

所述图像选择单元从过去被存储在所述存储单元中的所述外观像群中选择成为对象的外观像，

所述显示单元读取与所述图像选择单元所选择的所述外观像相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的X射线像并进行显示。

3.根据权利要求2所述X射线检查装置，其特征在于，

所述显示单元读取过去被存储在所述存储单元中的所述外观像并一览显示多个所述外观像，

所述图像选择单元从被一览显示在所述显示单元上的由多个所述外观像构成的外观像群中选择成为对象的外观像，由此从过去被存储在所述存储单元中的所述外观像群中选择成为对象的外观像。

4.根据权利要求2或3所述X射线检查装置，其特征在于，

所述显示单元显示所述图像选择单元所选择的所述外观像，并读取与该外观像相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的X射线像进行显示。

5.根据权利要求1所述X射线检查装置，其特征在于，

所述图像选择单元从过去被存储在所述存储单元中的所述X射线像群中选择成为对象的X射线像，

所述显示单元读取与所述图像选择单元所选择的所述X射线像相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的外观像并进行显示。

6.根据权利要求5所述X射线检查装置，其特征在于，

所述显示单元读取过去被存储在所述存储单元中的所述X射线像并一览显示多个所述X射线像，

所述图像选择单元从被一览显示在所述显示单元上的由多个所述X射线像构成的X射线像群中选择成为对象的X射线像，由此从过去被存储在所述存储单元中的所述X射线像群中选择成为对象的X射线像。

7.根据权利要求5或6所述X射线检查装置，其特征在于，

所述显示单元显示所述图像选择单元所选择的所述X射线像，并读取与该X射线像相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的外观像进行显示。

8.根据权利要求1至7中任一项所述X射线检查装置，其特征在于，

所述存储单元将所述X射线像和与之相应的外观像的划分部位相关联地分别予以储存，

所述图像选择单元从过去被存储在所述存储单元中的多个X射线像或者所述外观像中选择成为对象的X射线像或者外观像的划分部位的某一方的图像，

所述显示单元读取与所述图像选择单元所选择的所述一方的图像相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的另一方的图像进行显示，且将被选择的外观像的划分部位或者与被选择的X射线像相关联的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地进行显示。

9.一种X射线检查装置，其是对对象物进行X射线检查的X射线检查装置，其特征在于，具有：

X射线照射单元，所述X射线照射单元对对象物照射X射线；

X射线检测单元，所述X射线检测单元通过检测被照射的所述X射线进行所述X射线检查来取得该对象物的X射线像；

光学照相机，所述光学照相机通过对对象物进行光学拍摄来取得该对象物的外观像；

存储单元，所述存储单元使得通过所述X射线检测单元取得的X射线像和通过所述光学照相机取得的外观像相对于每个同一对象物互相关联，且使得X射线像和与之相应的外观像的划分部位相关联，并分别予以储存；

图像选择单元，所述图像选择单元从过去被存储在所述存储单元中的多个X射线像或者所述外观像中选择成为对象的X射线像或者外观像的划分部位的某一方的图像；和

显示单元，所述显示单元读取与所述图像选择单元所选择的所述一方的图像相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的另一方的图像进行显示，且将被选择的外观像的划分部位或者与被选择的X射线像相关联的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地进行显示。

10.根据权利要求8或9所述X射线检查装置，其特征在于，

所述图像选择单元从过去被存储在所述存储单元中的所述外观像中选择成为对象的外观像的划分部位，

所述显示单元读取与所述图像选择单元所选择的所述外观像的划分部位相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的X射线像进行显示，且将被选择的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地进行显示。

11.根据权利要求10所述X射线检查装置，其特征在于，

所述显示单元读取过去被存储在所述存储单元中的所述外观像的划分部位并一览显示多个所述划分部位，

所述图像选择单元从被一览显示在所述显示单元上的多个所述划分部位中选择成为对象的划分部位，由此从过去被存储在所述存储单元中的所述外观像中选择成为对象的外观像的划分部位。

12.根据权利要求10或11所述X射线检查装置，其特征在于，

所述显示单元显示所述图像选择单元所选择的所述外观像的划分部位，将被选择的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地显示，且读取与该外观像的划分部位相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的X射线像进行显示。

13.根据权利要求8或9所述X射线检查装置，其特征在于，

所述图像选择单元从过去被存储在所述存储单元中的多个所述X射线像中选择成为对象的X射线像，

所述显示单元读取与所述图像选择单元所选择的所述X射线像相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的外观像的划分部位进行显示，且将与被选择的X射线像相关联的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地进行显示。

14.根据权利要求13所述X射线检查装置，其特征在于，

所述显示单元读取过去被存储在所述存储单元中的所述X射线像并一览显示多个所述X射线像，

所述图像选择单元从被一览显示在所述显示单元上的多个所述X射线像中选择成为对象的X射线像，由此从过去被存储在所述存储单元中的多个所述X射线像中选择成为对象的X射线像。

15.根据权利要求13或14所述X射线检查装置，其特征在于，

所述显示单元显示所述图像选择单元所选择的所述X射线像，读取与该X射线像相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的外观像的划分部位进行显示，且将与被选择的X射线像相关联的外观像的划分部位与该外观像的其他部位相区别地进行显示。

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