JP4670572B2

JP4670572B2 - Ｘ線検査装置

Info

Publication number: JP4670572B2
Application number: JP2005292275A
Authority: JP
Inventors: 敬嗣櫛引
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2005-10-05
Filing date: 2005-10-05
Publication date: 2011-04-13
Anticipated expiration: 2025-10-05
Also published as: JP2007101392A

Description

本発明は、工業製品などの透視検査またはＣＴ検査などを行うためのＸ線検査装置に関し、さらに詳細にはポインティングデバイスを用いた指示により、被測定物に対するＸ線測定光学系の視野調整を行うＸ線検査装置に関する。

工業製品などの透視検査を行うＸ線検査装置では、Ｘ線発生装置のＸ線源に対向するようにして、イメージインテンシファイア（以下、ＩＩと略す）とＣＣＤカメラとを組み合わせたＸ線検出器が配置してある。最近はＩＩ、ＣＣＤカメラからなるＸ線検出器に代えて、フラットパネルＸ線検出器を使用したＸ線検査装置も利用されている。
これらのＸ線検査装置は、Ｘ線源とＸ線検出器との間に、被測定物を載置するステージを配置し、ステージ上に載置された被測定物について透視Ｘ線像を撮影する。

Ｘ線検査装置による検査では、通常、位置合わせや測定倍率調整、測定角度調整のために視野移動を行う。視野移動は、ステージ駆動機構によりステージを移動しつつ、被測定物の透視Ｘ線画像を撮影するようにし、これにより被測定物の検査位置を探す。

一般に、ステージ駆動機構は、ステージの被測定物載置面方向に互いに直交するＸ軸、Ｙ軸を定義し、ステージの載置面に垂直な方向にＺ軸を定義すると、図１に示すようにステージ５１のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸それぞれの方向への並進移動と、Ｚ軸に対する回転移動との合計４軸方向に移動するための駆動機構を備えている。

また、Ｘ線検査装置には、Ｘ線源５３とＸ線検出器５４との対向配置を保ったままＸ線測定光学系が傾動することにより、ステージの被測定物載置面に対するＸ線の光軸方向を傾動させる傾動機構を備えたものがある。例えば、図１に示すように、アーム５２がＸ軸の周り（すなわちＹＺ面内）を傾動することで、ＹＺ面内で斜め方向から透視Ｘ線像を撮影することができるようにしてある。

そして、透視Ｘ線画像を見ながら、マウスやジョイスティックやキーボードなどの入力装置を用いて測定位置や測定角度の制御のための入力操作を行うことによりステージ５１やアーム５２を駆動し、視野の移動を行うようにしている。検査位置が見つかると視野移動を停止し、その状態で透視Ｘ線画像を撮影して測定（観察）を行う。

ステージの並進操作および回転操作、Ｘ線光軸の傾動操作のための入力は、できるだけ簡単な操作で行えるようにしてＸ線検査の作業効率を向上することが望ましい。そのため、ステージのＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向並進駆動機構、回転機構、傾動機構をそれぞれ駆動するための各操作部を表示装置の画面に一括表示した操作部表示エリアが設定され、その操作部表示エリアの各操作部を、マウスなどのポインティングデバイスで操作することにより、該当の駆動機構に対する駆動信号が与えられるようにした装置が開示されている（特許文献１参照）。
また、この文献によれば、操作部表示エリアに模擬被検体が表示されるとともに、表示された模擬被検体自体が模擬的に移動、回転、ズームアウトまたはズームインすることで、透視Ｘ線画像と定性的に同じ動きをするようにして、ゲーム感覚で位置決めなどを行うことができるようにすることが開示されている。
特開２００３−１１４２０１号公報

従来の入力操作では、上述したように、表示装置の画面に表示された各操作部をマウスなどポインティングデバイスで操作することにより、駆動機構に対する駆動制御信号が与えられるようにしている。操作者は、透視Ｘ線画像を見ながら、ポインティングデバイスによる入力操作を行って駆動信号をオンオフし、所望の状態に次第に近づけていく調整をしなければならない。しかし、表示される透視Ｘ線画像は通常は局所的な画像であるため全体像を把握できない。そのため、各操作部に対するポインティングデバイスの操作は、操作者の勘や経験に頼らざるを得ない。それゆえ、場合によっては目的とする状態になるまでに多大な時間を要しなければならないこともあった。

他の入力操作方法として、回転駆動機構や傾動機構がなく、二次元的な並進移動が可能なＸ線検査装置において、ステージ上の被測定物を予め光学カメラにより被測定物全体の外観画像を撮影して画面に表示しておき、表示された外観画像上で、ポインティングデバイスにて測定位置を指定することにより、その指定された位置の座標が測定視野内にくるように並進駆動機構を動作するようにしているものがある。
この入力操作方法は、二次元的な並進移動については操作しやすいので優れているが、回転移動、傾動移動を含んだ三次元的な移動の場合には、ポインティングデバイスでの入力操作については困難なままである。

そこで本発明は、並進移動、回転移動、傾動を含んだ三次元的な移動が可能な駆動機構群を用いたＸ線検査装置において、ポインティングデバイスを用いた簡単な操作で所望の測定位置、測定角度に視野調整することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために本発明のＸ線検査装置では、被測定物を載置するステージと、ステージを挟んで対向配置されたＸ線源とＸ線検出器とからなるＸ線測定光学系と、ステージの被測定物載置面に垂直な方向であるＺ軸方向を含み互いに直交するＸＹＺ軸方向への並進移動を行う並進駆動機構、Ｚ軸に対する回転移動を行う回転駆動機構、載置面に対するＸ線測定光学系の光軸方向を傾斜させるための傾動を行う傾動駆動機構からなる駆動機構群と、駆動機構群への指示入力を受け付けるための操作画面を表示装置の画面上に表示する操作画面表示制御部と、操作画面上で指示入力を行うポインティングデバイスと、ポインティングデバイスによる指示入力に基づいて駆動機構群へ駆動制御信号を送ることにより視野調整を行う視野調整部と、Ｘ線測定光学系に対する位置が関係付けられるとともに被測定物全体の外観画像を撮影する光学カメラとを備えたＸ線検査装置であって、操作画面表示制御部は、被測定物の外観画像を表示してポインティングデバイスによる被測定物の並進移動の指示を促す外観画像表示領域と、Ｚ軸に対する回転角およびＸ線光軸の傾動角の指定が可能な観察方位図を表示してポインティングデバイスによるステージの回転移動とＸ線測定光学系の光軸の傾動との指示を促す観察方位図表示領域との表示を行うとともに、観察方位図にはベクトルマークが表示され、ベクトルマークの向きにより回転角を指示するとともに、ベクトルマークの長さにより傾動角を指示するようにしている。

ここで、ポインティングデバイスとは、具体的にはマウス、トラックパッド、トラックボールなどであり、表示装置の画面上に現在位置を表すカーソル（十字カーソル、ボックスカーソルなど）を表示し、カーソル位置を移動して所望の位置で入力操作（例えばマウスであればクリック操作）を行うことにより、その位置の位置座標を指定する入力装置をいう。

すなわち、本発明のＸ線検査装置によれば、操作画面表示制御部が、表示装置の画面上に駆動機構群への指示入力を受け付けるための操作画面を表示する。この操作画面には、光学カメラで撮影された被測定物全体の外観画像の表示と、回転角と傾動角とを示すとともにこれらの入力を行うための観察方位図とが含まれている。そして、並進駆動機構による並進移動についての入力操作は、外観画像上で移動先の位置座標をポインティングデバイスで指示することにより行い、回転移動、傾動についての入力操作は観察方位図を用いて回転角、傾動角を指定することにより入力操作を行い、外観画像上および観察方位図上で所望の測定位置、測定方向を指定することにより、指定した位置、角度方向に駆動機構が動くことで所望の測定を行う。また、回転移動、傾動についての入力操作では、観察方位図にベクトルマークが表示され、ベクトルマークの向きにより回転角を指示するとともに、ベクトルマークの長さにより傾動角を指示する。

本発明によれば、並進移動のみならず、回転移動、傾動を含む三次元的な移動を行う場合においても、ポインティングデバイスによる簡単な入力操作のみで、容易に所望の測定位置、測定角度についてのＸ線測定を行うことができる。
また、本発明によれば、局所的な透視Ｘ線画像を見ながら測定位置や測定角度を調整する必要がなく、予め、所望の測定位置、測定角度をポインティングデバイスにより入力するだけで、自動的所望の設定に調整することができる。

さらに、ポインティングデバイスでベクトルマークの方向と長さを指示することで回転角と傾動角とを個別に指定することができ、しかもベクトルの方向と長さを視覚的に確認して入力することができるので、回転角および傾動角の入力操作を容易にすることができる。

上記発明において、外観画像として、ステージの被測定物載置面に平行な方向で互いに直交する２方向からの外観画像を表示するようにしてもよい。例えば、Ｙ軸に垂直な面を正面方向として正面（ＺＸ面）と右側面(ＹＺ面)との外観画像を表示する。これにより、直交する２方向の外観画像の少なくともいずれかの画像上で所望の位置をポインティングデバイスで指定すれば、あらゆる三次元の並進移動について指定することができる。

上記発明において、外観画像に、Ｘ線透過範囲を示すＸ線透過範囲マーカを重ねて表示するようにしてもよい。
これにより、Ｘ線透過範囲マーカ部分を透視Ｘ線画像と見比べることで、測定箇所、測定状況を容易に把握することができる。

以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。

図２は、本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。このＸ線検査装置１は、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２とで構成されるＸ線測定光学系１３と、回転軸１４ａを中心にしてＸ線測定光学系１３を傾動可能に支持するアーム１４と、水平な載置面上に被測定物Ｓを載置するステージ１５と、ステージ１５を互いに直交するＸＹＺ方向（載置面をＸＹ面とし、載置面に垂直な方向をＺ軸方向とする）に並進し、ステージ１５をＺ軸の周りに回転するためのステージ駆動機構１６と、アーム１４を傾動するためのアーム傾動機構１７と、Ｘ線検出器１２に隣接させてアーム１４に取り付けた光学カメラ１８と、装置全体の制御を行う制御系２０とにより構成される。

Ｘ線測定光学系１３を構成するＸ線発生装置１１は、透視Ｘ線照射用のＸ線管を備えている。Ｘ線検出器１２は、Ｘ線管に対向するように配置されるＩＩと、このＩＩの後側に一体的に取り付けられたＣＣＤカメラとからなり、ＩＩが透視Ｘ線を検出することにより形成した蛍光像をＣＣＤカメラで撮影することにより、透視Ｘ線像の映像信号が出力されるようにしてある。

アーム１４は、回転軸１４ａがＸ軸方向に向けてあり、ＹＺ面内で傾動できるようにしてある。なお、アーム１４は初期状態（すなわち並進移動、回転移動、傾動移動を行う前の原点復帰状態）では、Ｘ線測定光学系１３のＸ線光軸および光学カメラ１８の光軸がＹ方向（水平方向）を向くように設定してある。
ステージ１５は、上部ステージと下部ステージとからなり、上部ステージはＺ軸の周りに回転し、下部ステージはＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に並進移動できるようにしてある。

ステージ駆動機構１６は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸それぞれの方向への並進移動とＺ軸に対する回転移動との合計４軸方向に移動するための各駆動軸モータが搭載され、ＣＰＵ２１からの制御信号に基づいてステージ１４を並進、回転する。
アーム傾動機構１７は、傾動用のモータが搭載され、ＣＰＵ２１からの制御信号に基づいてアーム１４を傾動する。

光学カメラ１８は、その光軸がＸ線測定光学系１３の光軸とほぼ平行にしてあり、また、ステージ全体を視野内に含めることができるようにしてある。
光学カメラ１８とＸ線測定光学系１３とは位置関係が固定されているため、光学カメラ１８による可視光像とＸ線検出器１２による透視Ｘ線像とは対応関係を有している。そこで、アーム１４やステージ１５を動かさず、透視Ｘ線像とともに、被測定物全体の可視光像とを撮影し、対応関係を後述するメモリ２５の透過Ｘ線範囲記憶領域４２に記憶させておくことにより、可視光像の中の一部領域を透視Ｘ線像測定範囲として特定することができるようにしてある。そして、可視光像の任意の領域について透視Ｘ線像を撮影したいときは、可視光像上で撮影したい位置を指定すれば、現在の透視Ｘ線像測定範囲までの距離、角度がわかるので、アーム１４やステージ１５をどれくらい移動すればよいかが座標変換計算で算出できる。

つづいて制御系２０について説明する。制御系２０はコンピュータ装置により構成されるが、そのハードウェアをさらにブロック化して説明すると、ＣＰＵ２１と、キーボード２２と、ポインティングデバイスのひとつであるマウス２３と、液晶パネルなどの表示装置２４と、メモリ２５とにより構成される。

また、ＣＰＵ２１が処理する機能をブロック化して説明すると、Ｘ線画像作成部３１、Ｘ線画像表示部３２、光学カメラ画像作成部３３、操作画面表示制御部３４、視野調整部３５とに分けられる。
また、メモリ２５には、外観画像蓄積領域４１と透過Ｘ線範囲蓄積領域４２が形成されている。

次に、ＣＰＵ２１の各機能ブロックについて説明する。
Ｘ線画像作成部３１は、Ｘ線検出器１２から送られてきた透視Ｘ線像の映像信号を、次々とデジタル画像に変換し、コマ画像データを作成する制御を行う。
Ｘ線画像表示部３２は、作成されたコマ画像データを表示装置２４に送って表示することにより、透視Ｘ線画像２４ａを動画表示する。この透視Ｘ線画像２４ａは、主として被測定物の局所的な透視Ｘ線像であり、被測定物の検査に用いる画像である。

光学カメラ画像作成部３３は、光学カメラ１８から送られてきた被測定物Ｓの可視光映像信号をデジタル画像に変換し、被測定物Ｓの外観画像データとしてメモリ２５の外観画像蓄積領域４１に蓄積する制御を行う。この外観画像データは、Ｘ線測定を始める前に、予め、直交する２方向から取得する。２方向のうち１つは、アーム１４およびステージ１５が初期状態（原点復帰状態）、すなわち傾動角が０度、回転角が０度の状態で撮影し、被測定物Ｓの正面方向を撮影する。他の１つは、ステージ１５を９０度回転することにより傾動角が０度、回転角が９０度の状態で撮影し、被測定物Ｓの右側面方向を撮影する。なお、ステージ１５を回転しつつ全方位の外観画像データを取得し、このうちから直交する２方向の画像を選択してもよい。この場合は、選択した２方向が新たに正面方向（傾動角０度、回転角０度）、右側面方向(傾動角０度、回転角９０度）となるように座標系を再設定する。
このようにして取得された２方向の外観画像データは、正面方向（ＸＺ面）の外観画像データ４１ａ、右側面方向（ＹＺ面）の外観画像データ４１ｂとして、外観画像蓄積領域４１に蓄積される。

操作画面表示制御部３４は、表示装置２４の画面に外観画像表示エリア２４ｂ、２４ｃを形成して、外観画像データ４１ａ、４１ｂに基づいて外観画像Ｕ_１、Ｕ_２を表示する。図３は外観画像表示エリア２４ｂ、２４ｃに表示される外観画像Ｕ_１、Ｕ_２の一例を示す図である。外観表示エリア２４ｂ、２４ｃが画面に表示された状態でマウス２３を操作すると、ポインタＰが表示され、外観画像表示エリア２４ｂ、２４ｃ内で任意の移動先の位置をクリック操作で指定することにより、移動先の位置座標の入力指示ができるようにしてある。
また、操作画面表示制御部３４は、透過Ｘ線範囲記憶領域４２を参照することにより、外観画像Ｕ_１、Ｕ_２の上に、現在の透過Ｘ線範囲を示す透過Ｘ線範囲マーカ４５、４６を表示する。
さらに、操作画面表示制御部３４は、観察方位図表示エリア２４ｄを形成して、画面に観察方位図Ｖを表示する。図４は観察方位図の一例を示す図である。図中のベクトルマーク４７は、その指し示す方向がＺ軸に対する回転角（＋Ｙ軸方向を基準として０度〜３６０度で回転角を表示）を表現し、ベクトルマーク４７の長さがＹＺ面の傾動角（＋Ｙ軸方向を基準として０度〜６０度で傾動角を表示）を表現している。なお図中には、回転角用のスケールとして十字の直線マークが描かれ、傾動角用のスケールとして同心楕円マークが描かれてある。観察方位図表示エリア２４ｄが形成された状態でマウス２３を操作し、ポインタＰを表示させてベクトルマーク４７端の上でクリック操作を行うと、ベクトルマーク４７の角度Ａや長さＢの値を変更することができるようにしてあり、これにより、回転角および傾動角の入力指示を行うことができるようにしてある。

視野調整部３５は、外観画像表示エリア２４ｂ、２４ｃにより位置座標の入力指示が行われ、観察方位図表示エリア２４ｄにより回転角、傾動角の入力指示が行われると、その入力に対応する駆動制御信号をステージ駆動機構１６、アーム駆動機構１７に送り、ステージ１５、アーム１４を移動する制御を行う。

ステージ１５やアーム１４が移動することにより、透過Ｘ線範囲も変動するので、操作画面表示制御部３４は、再び透過Ｘ線範囲記憶領域４２を参照するとともに、ステージ１５、アーム１４の移動距離や移動角度に基づいて、現在の透過Ｘ線範囲を算出し、外観画像Ｕ_１、Ｕ_２の上に、透過Ｘ線範囲マーカ４５、４６で新しい範囲を表示する。

次に、種々の入力操作（並進操作、回転操作、傾動操作）を行ったときの外観画像表示エリア２４ｂ、２４ｃおよび観察方位図表示エリア２４ｄの表示と、透視Ｘ線画像２４ａとの関係について説明する。
図５〜図８は、それぞれアーム１４またはステージ１５を移動させたときの状態を説明する図である。各図中の（ａ）はＸ線測定光学系１３と被測定物Ｓとの位置関係を示す平面図、（ｂ）は外観画像表示エリア２４ｂ、２４ｃを示す図、（ｃ）は観察方位図表示エリア２４ｄを示す図、（ｄ）は透視Ｘ線画像２４ａを示す図である。
ここで、ステージ１５に載置されている被測定物Ｓは、中央部分に角孔が形成された板状部材が用いられており、初期状態（原点復帰状態）のときに、Ｘ線測定光学系１３の光軸が板状部材の正面から角孔を垂直に貫くように配置してある。

（１）図５は、初期状態（原点復帰状態）、すなわち、ステージ１５の回転角が０度、アームの傾動角が０度の状態を示している。図５（ｂ）に見られるように、透過Ｘ線範囲４５、４６は大部分が角孔を通過し角孔の上辺部分だけが被測定物Ｓを透過する。また図５（ｃ）に見られるように、初期状態ではベクトルマーク４７は観測方位図で回転角０度を示している。このときの透視Ｘ線像２４ａは図５（ｄ）に示すように、透過Ｘ線範囲４５を拡大した形状になっている。

（２）図６は、図５の状態から３０度回転した状態を示している。この状態にするには、図６（ｃ）に示すように、観察方位図表示エリア２４ｄにおいて、ベクトルマーク４７の末端を、マウス２３によりクリックした状態で３０度回転した位置までドラッグする。この操作により、ステージ駆動機構１６に駆動制御信号が送られ、ステージ１５が回転する。
ステージ１５が３０度回転したことにより、被測定物Ｓに対する透過Ｘ線範囲４５、４６が再び計算される。被測定物Ｓに対するＸ線測定光学系１３の光軸が右斜め方向になったことにより、図６（ｂ）に見られるように透過Ｘ線範囲４５が左右方向に広がっている。このときの透視Ｘ線像は、図６（ｄ）に示すように角孔の左右辺部分についても被測定物Ｓを透過している。

（３）図７は、図６の状態からさらに６０度傾動した状態を示している。この状態にするには、図７（ｃ）に示すように、観察方位図表示エリア２４ｄにおいて、ベクトルマーク４７の末端を、マウス２３によりクリックした状態で半径方向に延ばし、傾動角６０度を示す同心楕円に届くようにする。この操作により、アーム駆動機構１７に駆動制御信号が送られ、アーム１４が６０度傾動する。
アーム１４が６０度傾動したことにより、被測定物Ｓに対する透過Ｘ線範囲４５、４６が再び計算される。Ｘ線測定光学系１３の光軸が縦方向に傾斜したことにより、図７（ｂ）に見られるように被測定物Ｓの透過Ｘ線範囲が上下方向に広がっている。このときの透視Ｘ線像は、図７（ｄ）に見られるように角孔の上下左右辺部分の被測定物Ｓを透過している。

（４）図８は、図７の状態から左方向に並進移動した状態を示している。この状態にするには、図８（ｂ）に示すように、マウス２３の操作により外観画像表示エリア２４ｂの上にポインタＰを表示し、移動先の位置でポインタＰをクリックする。この操作によりステージ駆動機構１６に駆動制御信号が送られ、ステージ１５が右方向に移動する。
ステージ１５が移動したことにより、被測定物Ｓに対する透過Ｘ線範囲が再び計算される。Ｘ線測定光学系１３の光軸が被測定物Ｓに対し左方向に移動したことにより、図８（ｂ）に見られるように被測定物Ｓの透過Ｘ線範囲マーカ４５が移動している。このときの透視Ｘ線像は、図８（ｄ）に示すように、角孔の左部分の被測定物Ｓを透過している。

なお、図８では左方向に並進移動させたが、前後方向に並進移動する場合は、マウス２３操作により外観画像表示エリア２４ｃの上にポインタＰを表示し、移動先の位置でポインタＰをクリックする。また、上下方向の並進移動する場合は、外観表示エリア２４ｂまたは外観表示エリア２４ｃのいずれかにおいて、ポインタＰを表示させ、移動先でクリックする。
上下左右前後いずれの方向に並進移動した場合でも、透過Ｘ線範囲は再計算され、透過Ｘ線範囲マーカ４５、４６が更新される。

上記実施形態では、初期状態において、Ｘ線測定光学系の光軸をステージの被測定物載置面に水平な方向としたが、これに限らず初期状態での光軸方向を垂直方向としてもよい。
また、上記実施形態ではＹＺ面内で傾動するようにしたが、ＸＺ面など他の面で傾動するようにしてもよい。
また、上記実施形態では２方向の外観画像データとして、正面方向（ＸＺ面）と、右側面方向（ＹＺ面）とを用いているが、直交する二方向からの外観画像データであれば、これに限られず、他の方向であってもよい。

本発明は、ポインティングデバイスを用いた指示により、被測定物に対するＸ線測定光学系の視野調整を行うＸ線検査装置に利用することができる。

Ｘ線検査装置における並進、回転、傾動移動を説明する図。本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図。表示装置の画面に表示される外観画像表示エリアを説明する図。表示装置の画面に表示される観察方位図表示エリアを説明する図。初期状態でのＸ線測定光学系の配置、画面表示、透視Ｘ線像との関係を説明する図。図５の状態から回転操作したときのＸ線測定光学系の配置、画面表示、透視Ｘ線像の関係を説明する図。図６の状態から傾動操作したときのＸ線測定光学系の配置、画面表示、透視Ｘ線像の関係を説明する図。図７の状態から並進操作したときのＸ線測定光学系の配置、画面表示、透視Ｘ線像の関係を説明する図。

符号の説明

１：Ｘ線検査装置
１１：Ｘ線発生装置（Ｘ線源）
１２：Ｘ線検出器
１３：Ｘ線測定光学系
１４：アーム
１５：ステージ
１６：ステージ駆動機構
１７：アーム駆動機構
１８：光学カメラ
２０：制御系
２１：ＣＰＵ
２３：マウス
２４：表示装置
２４ａ：透視Ｘ線像表示エリア
２４ｂ：外観画像表示エリア（正面）
２４ｃ：外観画像表示エリア（右側面）
２４ｄ：観察方位図表示エリア
２５：メモリ
３１：Ｘ線画像作成部
３２：Ｘ線画像表示制御部
３３：光学カメラ画像作成部
３４：操作画面表示制御部
３５：視野調整部
４１：外観画像蓄積領域
４２：透過Ｘ線範囲記憶領域
４５、４６：透過Ｘ線範囲マーカ
４７：ベクトルマーク
Ｐ：ポインタ

Claims

被測定物を載置するステージと、
ステージを挟んで対向配置されたＸ線源とＸ線検出器とからなるＸ線測定光学系と、
ステージの被測定物載置面に垂直な方向であるＺ軸方向を含み互いに直交するＸＹＺ軸方向への並進移動を行う並進駆動機構、Ｚ軸に対する回転移動を行う回転駆動機構、載置面に対するＸ線測定光学系の光軸方向を傾斜させるための傾動を行う傾動駆動機構からなる駆動機構群と、
駆動機構群への指示入力を受け付けるための操作画面を表示装置の画面上に表示する操作画面表示制御部と、
操作画面上で指示入力を行うポインティングデバイスと、
ポインティングデバイスによる指示入力に基づいて駆動機構群へ駆動制御信号を送ることにより視野調整を行う視野調整部と、
Ｘ線測定光学系に対する位置が関係付けられるとともに被測定物全体の外観画像を撮影する光学カメラとを備えたＸ線検査装置であって、
操作画面表示制御部は、被測定物の外観画像を表示してポインティングデバイスによる被測定物の並進移動の指示を促す外観画像表示領域と、Ｚ軸に対する回転角およびＸ線光軸の傾動角の指定が可能な観察方位図を表示してポインティングデバイスによるステージの回転移動とＸ線測定光学系の光軸の傾動との指示を促す観察方位図表示領域との表示を行うとともに、観察方位図にはベクトルマークが表示され、ベクトルマークの向きにより回転角を指示するとともに、ベクトルマークの長さにより傾動角を指示することを特徴とするＸ線検査装置。
外観画像として、ステージの被測定物載置面に平行な方向で互いに直交する２方向からの外観画像を表示することを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
外観画像に、Ｘ線透過範囲を示すＸ線透過範囲マーカを重ねて表示することを特徴とする請求項1に記載のＸ線検査装置。