JP2014011287A - 半導体チップの送り装置 - Google Patents
半導体チップの送り装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014011287A JP2014011287A JP2012146346A JP2012146346A JP2014011287A JP 2014011287 A JP2014011287 A JP 2014011287A JP 2012146346 A JP2012146346 A JP 2012146346A JP 2012146346 A JP2012146346 A JP 2012146346A JP 2014011287 A JP2014011287 A JP 2014011287A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor chip
- suction
- reference mark
- camera
- collet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】移動ヘッドの吸着コレットに吸着された半導体チップと基準マークとを撮影するカメラとして安価の低解像度カメラを用いることができる半導体チップの送り装置を提供すること。
【解決手段】半導体チップ6を吸着する吸着コレット5を備えた移動ヘッド1は、駆動手段4で移動することで半導体チップ6を移送先である配線基板7へ送り、カメラ9は、吸着コレット5に吸着された半導体チップ6を基準マーク16と共に撮影し、この基準マーク16は、移動ヘッド1ではなく、吸着コレット5に設けられ、カメラ9で撮影された半導体チップ6と基準マーク16のそれぞれの位置に基づき制御装置14が半導体チップ6の位置誤差を演算し、制御装置14は駆動手段4を制御するときにこの位置誤差を修正して半導体チップ6を配線基板7に送る。
【選択図】図1
【解決手段】半導体チップ6を吸着する吸着コレット5を備えた移動ヘッド1は、駆動手段4で移動することで半導体チップ6を移送先である配線基板7へ送り、カメラ9は、吸着コレット5に吸着された半導体チップ6を基準マーク16と共に撮影し、この基準マーク16は、移動ヘッド1ではなく、吸着コレット5に設けられ、カメラ9で撮影された半導体チップ6と基準マーク16のそれぞれの位置に基づき制御装置14が半導体チップ6の位置誤差を演算し、制御装置14は駆動手段4を制御するときにこの位置誤差を修正して半導体チップ6を配線基板7に送る。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体チップを移動ヘッドに設けられた吸着コレットで吸着して移送先へ送るための送り装置に係り、例えば、LED(発光ダイオード、Light Emitting Diode)チップやIC(集積回路、Integrated Circuit)チップ等の半導体チップを配線基板に搭載するための実装装置として利用できるものである。
ウエーハをダイシング作業することで得られるLEDチップ等の半導体チップは、この半導体チップを配線基板に搭載するために、移動ヘッドに設けられている吸着コレットに吸着された後に、移動ヘッドの移動によって移送先である配線基板まで送られる。そして、吸着コレットへの吸着時における振動やその他の理由に基づき吸着コレットでの半導体チップの吸着位置に誤差が生じても、この誤差を解消して半導体チップを配線基板の正確な位置に送ることができるようにするために、下記の特許文献1では、移動ヘッドに基準マークを設けるとともに、移動ヘッドの移動経路の途中にカメラを配置し、このカメラにより、移動ヘッドの移動途中において、吸着コレットに吸着された半導体チップと基準マークとを撮影し、このカメラで撮影された半導体チップと基準マークのそれぞれの位置に基づき制御装置が半導体チップの位置誤差を演算し、この制御装置が位置誤差を修正して移動ヘッドの駆動手段を制御することにより、半導体チップが配線基板の正確な位置に送られるようになっている。
特許文献1では、基準マークが移動ヘッドに設けられており、この移動ヘッドの一部に半導体チップを吸着する吸着コレットが設けられているため、カメラにより撮影しなければならない撮影領域は、移動ヘッドを含む大きな領域となる。これによると、半導体チップの位置と基準マークの位置との間の距離が大きくなるため、この距離を所定の精度で測定可能とするためには高解像度カメラを用いなければならず、安価の低解像度カメラを用いることが困難である。
本発明の目的は、移動ヘッドの吸着コレットに吸着された半導体チップと基準マークとを撮影するカメラとして安価の低解像度カメラを用いることができる半導体チップの送り装置を提供するところにある。
本発明に係る半導体チップの送り装置は、駆動手段で移動することにより半導体チップを移送先へ送るための移動ヘッドと、この移動ヘッドに設けられ、前記半導体チップを吸着するための吸着コレットと、この吸着コレットで吸着された半導体チップを基準マークと共に撮影するためのカメラと、このカメラで撮影された前記半導体チップと前記基準マークのそれぞれの位置に基づき前記半導体チップの位置誤差を演算し、前記駆動手段を制御することにより前記位置誤差を修正して前記半導体チップを前記移送先へ送るための制御装置と、を備えている半導体チップの送り装置において、前記基準マークが前記吸着コレットに設けられていることを特徴とするものである。
この送り装置では、基準マークは移動ヘッドに設けられておらず、半導体チップを吸着するための吸着コレットに基準マークが設けられているため、カメラにより撮影しなければならない撮影領域は、移動ヘッドの一部に設けられている吸着コレットの領域だけでよくなる。したがって、半導体チップの位置と基準マークの位置との間の距離が小さくなるため、この距離を所定の精度で測定可能として、半導体チップと基準マークのそれぞれの位置に基づき半導体チップの位置誤差を制御装置で正確に演算できるようにするためのカメラは、安価の低解像度カメラでよいことになり、このため、送り装置全体のコストも低減できる。
また、基準マークは、半導体チップを吸着する吸着コレットに設けられるため、この基準マークを移動ヘッドに設けた場合と比較すると、移動ヘッドの振動や熱変形等によって生ずる基準マークの位置に関する誤差要因を解消でき、これにより、高精度制御が可能となる。
以上の本発明において、移動ヘッドに設ける吸着コレットの個数は、1個でもよく、複数個でもよい。
移動ヘッドに設ける吸着コレットの個数を複数個とする場合には、それぞれの吸着コレットごとに基準マークが設けられ、前記カメラは、吸着コレットごとに半導体チップと基準マークとを撮影し、前記制御装置は、吸着コレットごとに前記位置誤差を演算するとともに、前記駆動手段を制御することによりそれぞれの位置誤差を修正してそれぞれの半導体チップを前記移送先へ送るものとなる。
このように移動ヘッドに設ける吸着コレットの個数を複数個とする場合には、それぞれの吸着コレットが並ぶ方向は、互いに直交する二方向のうち、一方の方向又は他方の方向だけでもよく、また、両方の方向でもよい。また、移動ヘッドを、中心軸を中心とする回転式としてもよく、このように移動ヘッドを、中心軸を中心とする回転式とした場合には、それぞれの吸着コレットが並ぶ方向を、中心軸を中心とした円周方向としてもよい。
また、本発明に係る送り装置において、前記移送先が、半導体チップが搭載される配線基板である場合には、吸着コレットには、半導体チップを吸着するための吸着部を設けるとともに、この吸着部を、基準マークが設けられている吸着コレットの面から配線基板の側へ突出した突出部として形成する。
これによると、配線基板に半導体チップを搭載するために吸着コレットが配線基板に近づいたときに、既に配線基板に搭載されている別の半導体チップに、吸着コレットの前記面が接触することを防止でき、配線基板に半導体チップを順次搭載する作業を所定どおりに行うことができる。
また、基準マークが設けられている吸着コレットの前記面を、前記吸着部で吸着される半導体チップと平行又は略平行の平坦面とすることが好ましい。
これによると、吸着コレットの前記面に基準マークを設ける作業を容易に行え、また、カメラによる基準マークの撮影を確実に行える。
以上の本発明に係る送り装置の吸着コレットで吸着されて移送先に送られる半導体チップは、LEDチップでもよく、ICチップでもよく、その他の任意の半導体チップでよい。すなわち、本発明に係る送り装置は、各種の半導体チップについて適用できる。
本発明によると、移動ヘッドの吸着コレットに吸着された半導体チップと基準マークとを撮影するカメラとして安価の低解像度カメラを用いることができるという効果を得られる。
以下に本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。図1には、本発明の一実施形態に係る半導体チップの送り装置の全体についてのシステム図が示されている。移動ヘッド1は案内構造体2に吊り下げ状態で配置されており、この案内構造体2には、移動ヘッド1を互いに直交する水平二方向であるX方向とY方向(図1には、X方向とY方向のうち、X方向が示されている。)に移動させるためのボールねじ軸等の移動手段が配置されているとともに、移動ヘッド1と案内構造体2との接続部には、移動ヘッド1を昇降動させるためのシリンダ等の昇降手段が配置されており、これらの移動手段及び昇降手段は、駆動源3からの駆動力により駆動されるようになっている。このため、案内構造体2と、移動手段及び昇降手段と、駆動源3とにより、移動ヘッド1をX方向とY方向と上下方向とに移動させるための駆動手段4が構成されている。
移動ヘッド1には、1個の吸着コレット5が下向きに配置され、この吸着コレット5に半導体チップ6が吸着可能となっている。この半導体チップ6は、本実施形態ではLEDチップである。移動ヘッド1の一つの移動方向である図1のX方向の一方のエンド箇所は、移動ヘッド1が、吸着コレット5に吸着された半導体チップ6の送りを開始するための送り開始箇所となっており、この箇所において移動ヘッド1が下降することにより、ウエーハをダイシング作業することで得られて図示外の装置で上下逆にされてピックアップされた半導体チップ6が吸着コレット5に吸着される。そして、移動ヘッド1が上昇してX方向の他方のエンド箇所に向かって移動することにより、半導体チップ6は、移送先となっている配線基板7に送られる。この配線基板7は、テーブル8に位置決め状態で固定配置されている。
X方向における移動ヘッド1の移動経路の途中には、吸着コレット5及びこの吸着コレット5に吸着された半導体チップ6を、移動ヘッド1の移動中に下から撮影するCCDカメラ9が配置され、このカメラ9には、モニタ画面10付きの画像処理手段11が接続されている。また、画像処理手段11は、各種の情報を処理するコンピュータ12の演算処理部12Aに接続され、コンピュータ12の記録部12Bと操作部12Cと表示部12Dとが接続されているこの演算処理部12Aには、カメラ9に隣接して配置されたセンサ13も接続されている。そして、前記駆動手段4の駆動源3は、演算処理部12Aからの信号により制御され、また、センサ13からの信号が演算処理部12Aに入力し、この演算処理部12Aからの信号をカメラ9が受けたときに、このカメラ9は、吸着コレット5及びこの吸着コレット5に吸着された半導体チップ6を撮影する。
本実施形態では、以上のモニタ画面10付きの画像処理手段11と、コンピュータ12と、センサ13とにより、駆動手段4の駆動制御を行うための制御装置14が構成されており、この制御装置14により、本実施形態に係る送り装置の送り作動全体が制御される。
図2には、吸着コレット5の要部を拡大した正面図が示されており、図3には、吸着コレット5の底面図が示されている。図3に示されているように、吸着コレット5の底面5Aは、半導体チップ6よりも大きい面積を有する円形となっており、この底面5Aの中央に吸着部5Bが設けられ、図2に示されているように、この吸着部5Bは、底面5Aから下向きに突出した突出部として底面5Aの中央に形成されている。また、底面5Aは、吸着部5Bに吸着される半導体チップ6と平行又は略平行の平坦面となっている。
吸着部5Bを含む吸着コレット5の内部には、吸気通路15が形成されており、コンプレッサ等の吸気装置に接続されているこの吸気通路15による吸気作用により、半導体チップ6は吸着部5Bに吸着される。上記吸気装置は図1で示したコンピュータ12の演算処理部12Aからの信号で制御され、これにより、吸着部5Bでの半導体チップ6の吸着及び吸着解除が行われるようになっている。
また、図3に示されているように、吸着コレット5の底面5Aには、吸着部5Bに吸着される半導体チップ6の外側において、基準マーク16が設けられている。この基準マーク16は、例えば、吸着コレット5を、表面を黒色に着色したステンレス製の部材とした場合には、表面の一部を掘り込み加工することでステンレスの地を露出させることや、吸着コレット5の先端部を黒色ジルコニア製とした場合には、この先端部に設けた掘り込み部に、黒色とは別の色の金属製又は合成樹脂製のマーク用部材を埋設することにより、吸着コレット5の底面5Aに設けられている。
次に、本実施形態に係る送り装置により、移動ヘッド1の吸着コレット5で吸着された半導体チップ6を移送先である配線基板7へ送るための作業について説明する。
図1で示したコンピュータ12の記録部12Bには、上記作業のためのプログラムが記録されており、このプログラムで規定される作業順序により演算処理部12Aが駆動手段4を制御して移動ヘッド1が移動することにより、半導体チップ6は配線基板7へ送られ、また、半導体チップ6を配線基板7へ送った移動ヘッド1は、前述の送り開始箇所に戻るための移動を行うようになっている。
また、コンピュータ12の操作部12Cを操作することにより、記録部12Bには、吸着コレット5の底面5Aにおける吸着部5Bの位置と基準マーク16の位置との間の距離に関するデータが予め記録されている。このデータは、前述のX方向とY方向の両方についてのものとなっており、このデータは、コンピュータ12の表示部12Dに表示されている。
吸着コレット5で半導体チップ6を吸着した移動ヘッド1が、前述の送り開始箇所から配線基板7の側へ移動を開始し、この移動ヘッド1が図1で示したセンサ13の配置箇所に達して、移動中の移動ヘッド1がセンサ13で検出されると、センサ13からの信号が入力した演算処理部12Aがカメラ9に撮影指令を発信し、このカメラ9により、吸着コレット5の底面5Aの吸着部5Bで吸着された半導体チップ6と、底面5Aに設けられている基準マーク16とが撮影される。なお、カメラ9の近接箇所に発光装置を配置し、カメラ9による撮影時にこの発光装置を発光させるようにしてもよい。
カメラ9で撮影された半導体チップ6と基準マーク16の画像は、画像処理手段11に送られ、この画像処理手段11において、半導体チップ6の幾何学中心部が算出されるとともに、この幾何学中心部の位置と基準マーク16の位置との間の距離が、前述のX方向とY方向の両方について演算される。そして、コンピュータ12の記録部12Bに予め記録されている吸着部5Bの位置と基準マーク16の位置との間のX方向とY方向の両方についての距離が、演算処理部12Aから画像処理手段11に送られることにより、吸着コレット5の吸着部5Bに吸着されている半導体チップ6のX方向とY方向の両方についての位置誤差が、画像処理手段11において演算される。
すなわち、半導体チップ6が、この半導体チップ6の幾何学中心部で正確に吸着部5Bに吸着されているときには、半導体チップ6に、X方向とY方向の両方についての位置誤差が生じていないことになり、半導体チップ6が幾何学中心部からX方向及び/又はY方向にずれた位置で吸着部5Bに吸着されているときには、半導体チップ6に、このずれた側への位置誤差が生じていることになり、このようなX方向及び/又はY方向の位置誤差は、カメラ9で撮影された半導体チップ6と基準マーク16のそれぞれの位置に基づき、画像処理手段11において演算される。
なお、このような演算は、コンピュータ12の演算処理部12Aにおいて行ってもよい。また、上記位置誤差は、例えば、前述の送り開始箇所で半導体チップ6が吸着コレット5に吸着されるときの移動ヘッド1の振動や、送り開始箇所での移動ヘッド1の停止位置誤差等が原因となって生ずる。
上記位置誤差は、コンピュータ12の表示部12Dに表示され、また、演算処理部12Aは、カメラ9の上を通過した移動ヘッド1を、前述の駆動手段4を駆動制御することにより配線基板7へ送るときに、上記位置誤差を修正値として駆動手段4の駆動量に加算又は減算することになる。このため、本実施形態では、カメラ9で撮影された半導体チップ6と基準マーク16のそれぞれの位置に基づき、半導体チップ6の位置誤差を演算した前述の画像処理手段11や演算処理部12Aを有する前述の制御装置14によって駆動手段4が駆動制御されることにより、半導体チップ6は、X方向及び/又はY方向の位置誤差が修正されて配線基板7の上に達する。この後に、図4に示されているように、移動ヘッド1が前述の昇降手段により下降することで半導体チップ6は配線基板7の正確な位置に搭載され、この搭載後に、移動ヘッド1は上昇して前述の送り開始箇所に戻る。そして、移動ヘッド1は、次の半導体チップ6を配線基板7に搭載するために上述した作動と同じ作動を繰り返す。
以上説明した本実施形態によると、基準マーク16は移動ヘッド1に設けられておらず、半導体チップ6を吸着するために移動ヘッド1に配置されている吸着コレット5に基準マーク16が設けられているため、カメラ9により撮影しなければならない撮影領域は、移動ヘッド1の一部に設けられている吸着コレット5の小さな領域だけでよいことになり、そして、半導体チップ6の位置と基準マーク16の位置との間の距離が小さくなっている。このため、この距離を所定の精度で測定可能として、半導体チップ6と基準マーク16のそれぞれ位置に基づき半導体チップ6の位置誤差を制御装置14で正確に演算できるようにするためのカメラ9は、安価の低解像度カメラでよくなり、この結果、送り装置全体のコストも低減できるようになる。
また、基準マーク16は、半導体チップ6を吸着する吸着コレット5に設けられているため、この基準マーク16を移動ヘッド1に設けた場合と比較すると、移動ヘッド1に振動や熱変形等が生じても、これらが基準マーク16の位置に関する誤差要因となることはなく、このため、半導体チップ6の配線基板7への搭載を高精度で行うことが可能となる。
さらに、吸着コレット5には、半導体チップ6を吸着するための吸着部5Bが設けられているとともに、この吸着部5Bは、図4に示されているように、基準マーク16が設けられている吸着コレット5の底面5Aから配線基板7の側へ突出した突出部となっているため、配線基板7に半導体チップ6を搭載するために吸着コレット5が下降して配線基板7に近づいたときに、既に配線基板7に搭載されている別の半導体チップ6に、吸着コレット5の底面5Aが接触することを防止でき、これにより、配線基板7にそれぞれの半導体チップ6を順次搭載する作業を所定どおりに行うことができる。
また、基準マーク16が設けられている吸着コレット5の底面5Aは、吸着部5Bで吸着される半導体チップ6と平行又は略平行の平坦面となっているため、底面5Aを、例えば、下向きの円錐面等とした場合よりも、底面5Aに基準マーク16を設ける作業を容易に行え、また、カメラ9による基準マーク16の撮影を確実に行える。
図5は、移動ヘッド21に複数個の吸着コレット25を配置し、それぞれの吸着コレット25に基準マーク36を設けた実施形態を示している。
この実施形態では、移動ヘッド21がカメラ9の上を通過するときに、カメラ9は、吸着コレット25ごとに半導体チップ6と基準マーク36とを撮影し、制御装置14は、吸着コレット25ごとに半導体チップ6のX方向及び/又はY方向についての前述した位置誤差を演算するとともに、駆動手段4を制御することにより、それぞれの位置誤差を修正してそれぞれの半導体チップ6を配線基板7へ送る。
なお、この実施形態において、移動ヘッド21に複数個配置される吸着コレット25は、X方向に並べてもよく、Y方向に並べてもよく、X方向とY方向の両方に並べてもよい。移動ヘッド21に、Y方向に並べられた複数個の吸着コレット25を設ける場合には、前述の送り開始箇所からX方向に移動してカメラ9の上に達した移動ヘッド21を、X方向の移動を停止させてY方向に移動させ、これにより、吸着コレット25ごとに半導体チップ6と基準マーク36とを撮影する。
図6は、X方向とY方向に移動する移動ヘッド41が、鉛直中心軸42を中心に回転式となっている実施形態を示し、この図6では、移動ヘッド41の底面41Aが示されている。この底面41Aには、鉛直中心軸42を中心として複数個の吸着コレット45が円周方向に等間隔で配置され、それぞれの吸着コレット45の底面45Aには、これまでの実施形態と同様に、半導体チップ6を吸着する吸着部45Bが突出部として形成されているとともに、基準マーク56が設けられている。
この実施形態では、移動ヘッド41が前述の送り開始箇所からX方向に移動してカメラ9の上に達したときに、移動ヘッド1は、X方向の移動を停止して鉛直中心軸42を中心に回転する。これにより、カメラ9は、図5の実施形態と同様に、吸着コレット45ごとに半導体チップ6と基準マーク56とを撮影し、また、制御装置14は、吸着コレット45ごとに半導体チップ6の位置誤差を演算する。この位置誤差は、X方向及びY方向についての位置誤差と、鉛直線を中心とする回転方向の位置誤差とである。このような鉛直線を中心とする回転方向の位置誤差は、コンピュータ12の記録部12Bに予め記録しておいた鉛直線を中心とする回転方向に回転していないときの半導体チップ6の幾何学形状と、カメラ9で撮影された鉛直線を中心とする回転方向に回転している半導体チップ6の幾何学的形状とを、制御装置14の画像処理手段11や演算処理部12Aにおいて比較して演算することによって得られる。
そして、この実施形態でも、制御装置14が移動ヘッド41を駆動させる駆動手段4を制御することにより、それぞれの半導体チップ6は位置誤差が修正されて、これらの半導体チップ6は配線基板7へ送られる。この送り時における制御装置14による駆動手段4の制御内容には、鉛直中心軸42を中心にして移動ヘッド41を回転させることも含まれ、これにより、それぞれの半導体チップ6の位置は、X方向とY方向に加えて、鉛直線を中心する回転方向についても修正されることになり、このため、半導体チップ6は、鉛直線を中心する回転方向についても正確に位置決めされて配線基板7の正確な位置に搭載されることになる。
本発明は、各種の半導体チップを移動ヘッドに設けられた吸着コレットで吸着して配線基板等の移送先へ送るために利用することができる。
1,21,41 移動ヘッド
4 駆動手段
5,25,45 吸着コレット
5A,45A 基準マークが設けられた面である底面
5B,45B 吸着部
6 半導体チップ
7 移送先である配線基板
9 カメラ
14 制御装置
16,36,56 基準マーク
42 鉛直中心軸
4 駆動手段
5,25,45 吸着コレット
5A,45A 基準マークが設けられた面である底面
5B,45B 吸着部
6 半導体チップ
7 移送先である配線基板
9 カメラ
14 制御装置
16,36,56 基準マーク
42 鉛直中心軸
Claims (5)
- 駆動手段で移動することにより半導体チップを移送先へ送るための移動ヘッドと、この移動ヘッドに設けられ、前記半導体チップを吸着するための吸着コレットと、この吸着コレットで吸着された半導体チップを基準マークと共に撮影するためのカメラと、このカメラで撮影された前記半導体チップと前記基準マークのそれぞれの位置に基づき前記半導体チップの位置誤差を演算し、前記駆動手段を制御することにより前記位置誤差を修正して前記半導体チップを前記移送先へ送るための制御装置と、を備えている半導体チップの送り装置において、
前記基準マークが前記吸着コレットに設けられていることを特徴とする半導体チップの送り装置。 - 請求項1に記載の半導体チップの送り装置において、前記移動ヘッドに設けられている前記吸着コレットの個数は、1個であることを特徴とする半導体チップの送り装置。
- 請求項1に記載の半導体チップの送り装置において、前記移動ヘッドに設けられている前記吸着コレットの個数は、複数個であり、これらの吸着コレットごとに前記基準マークが設けられ、前記カメラは、前記吸着コレットごとに前記半導体チップと前記基準マークとを撮影し、前記制御装置は、前記吸着コレットごとに前記位置誤差を演算するとともに、前記駆動手段を制御することによりそれぞれの前記位置誤差を修正してそれぞれの前記半導体チップを前記移送先へ送るものとなっていることを特徴とする半導体チップの送り装置。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の半導体チップの送り装置において、前記移送先は、前記半導体チップが搭載される配線基板であり、前記吸着コレットには、前記半導体チップを吸着するための吸着部が設けられ、この吸着部が、前記基準マークが設けられている前記吸着コレットの面から前記配線基板の側へ突出した突出部として形成されていることを特徴とする半導体チップの送り装置。
- 請求項4に記載の半導体チップの送り装置において、前記基準マークが設けられている前記吸着コレットの前記面は、前記吸着部で吸着される前記半導体チップと平行又は略平行の平坦面となっていることを特徴とする半導体チップの送り装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012146346A JP2014011287A (ja) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | 半導体チップの送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012146346A JP2014011287A (ja) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | 半導体チップの送り装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014011287A true JP2014011287A (ja) | 2014-01-20 |
Family
ID=50107713
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012146346A Pending JP2014011287A (ja) | 2012-06-29 | 2012-06-29 | 半導体チップの送り装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014011287A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103945681A (zh) * | 2014-04-08 | 2014-07-23 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | Led插件机上料装置 |
KR20160144701A (ko) * | 2015-06-09 | 2016-12-19 | 세메스 주식회사 | 반도체 칩을 픽업하기 위한 피커 |
CN107204302A (zh) * | 2016-03-17 | 2017-09-26 | 捷进科技有限公司 | 芯片贴装机以及芯片贴装方法 |
CN114758969A (zh) * | 2022-04-18 | 2022-07-15 | 无锡九霄科技有限公司 | 晶圆片背面视觉检测结构、检测方法和相关设备 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002057497A (ja) * | 2000-08-14 | 2002-02-22 | Murata Mfg Co Ltd | 部品装着装置 |
-
2012
- 2012-06-29 JP JP2012146346A patent/JP2014011287A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002057497A (ja) * | 2000-08-14 | 2002-02-22 | Murata Mfg Co Ltd | 部品装着装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103945681A (zh) * | 2014-04-08 | 2014-07-23 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | Led插件机上料装置 |
KR20160144701A (ko) * | 2015-06-09 | 2016-12-19 | 세메스 주식회사 | 반도체 칩을 픽업하기 위한 피커 |
KR102350553B1 (ko) * | 2015-06-09 | 2022-01-14 | 세메스 주식회사 | 반도체 칩을 픽업하기 위한 피커 |
CN107204302A (zh) * | 2016-03-17 | 2017-09-26 | 捷进科技有限公司 | 芯片贴装机以及芯片贴装方法 |
KR101923274B1 (ko) * | 2016-03-17 | 2018-11-28 | 파스포드 테크놀로지 주식회사 | 다이 본더 및 본딩 방법 |
CN107204302B (zh) * | 2016-03-17 | 2020-06-30 | 捷进科技有限公司 | 芯片贴装机以及芯片贴装方法 |
CN114758969A (zh) * | 2022-04-18 | 2022-07-15 | 无锡九霄科技有限公司 | 晶圆片背面视觉检测结构、检测方法和相关设备 |
CN114758969B (zh) * | 2022-04-18 | 2023-09-12 | 无锡九霄科技有限公司 | 晶圆片背面视觉检测结构、检测方法和相关设备 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6279708B2 (ja) | 部品装着装置 | |
JP6333250B2 (ja) | 部品保持状態検出方法および部品実装装置 | |
JP6309830B2 (ja) | 部品装着装置 | |
JP6524250B2 (ja) | 部品実装装置 | |
WO2016203638A1 (ja) | 部品実装装置および部品実装方法 | |
JP2008218706A5 (ja) | ||
JP2014011287A (ja) | 半導体チップの送り装置 | |
JP6190229B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP5052302B2 (ja) | 部品実装方法及び装置 | |
JPWO2017064776A1 (ja) | 部品実装装置 | |
JP5755502B2 (ja) | 位置認識用カメラ及び位置認識装置 | |
JP4824641B2 (ja) | 部品移載装置 | |
JP2005072046A (ja) | 電子部品実装装置 | |
JP4494922B2 (ja) | 電子部品実装装置の搭載誤差検出方法及び装置 | |
JP6446282B2 (ja) | 部品実装装置、及び部品実装方法 | |
JP6773891B2 (ja) | 部品実装機、ノズル高さ制御方法 | |
JP2009016673A5 (ja) | ||
JP2007048921A (ja) | 電子部品の画像取得方法及び装置 | |
JP2009117488A (ja) | 部品実装装置ならびに部品吸着方法および部品搭載方法 | |
JP6470469B2 (ja) | 部品実装機及びそのノズル撮像方法 | |
JP2009164277A (ja) | 部品実装装置におけるヘッド移動位置補正方法及び同装置 | |
JP2005322802A (ja) | 部品搭載装置 | |
JP2003142891A (ja) | 電子部品実装装置 | |
WO2018146732A1 (ja) | 部品実装装置 | |
JPWO2019012576A1 (ja) | 撮像装置、表面実装機及び検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141017 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150811 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150818 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160105 |