JPH096016A - 基板およびその位置合わせ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 撮像視野内にレジスタマークを入れる予備的
な位置合わせの簡略化とその所要時間の短縮化を図る。 【構成】 レジスタマークＲＭをテレビカメラの撮像視
野内に入れてその位置合わせを行なう原稿１２は、レジ
スタマーク領域ＲＭＥにこのレジスタマークＲＭを有
し、レジスタマーク領域ＲＭＥを取り囲む広い領域であ
るレジスタマーク指示パターン領域ＩＰＥにレジスタマ
ーク指示パターンＩＰを有する。このレジスタマーク指
示パターンＩＰは、レジスタマークＲＭが特定する位置
合わせ点（クロスポイント）を中心とする同心円の集合
であるという規則性を有する。このため、この規則性に
より、現時点の撮像位置とレジスタマークＲＭの位置合
わせ点との位置関係やカメラ視野ＴＶVIEW内にレジスタ
マークＲＭを入れるに必要な移動方向を事前に判別でき
る。よって、この判別した位置関係や移動方向の誘導を
受けて、カメラ視野ＴＶVIEW内にレジスタマークＲＭを
容易に入れることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、印刷分野およびその他
の分野で用いられる基板と、当該基板の有するレジスタ
マークを介して基板の位置合わせを行なう方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】原板フィルムや原稿等の基板の位置合わ
せを行なうために、従来からレジスタマークが用いられ
ており、原稿等の位置合わせの自動化が図られている。
その自動化に当たっては、光電変換素子やテレビカメラ
等の撮像手段を用いてレジスタマークを撮像し、その得
られた画像からレジスタマークの位置を検出する。そし
て、その結果に応じて基板を正確に移動して位置合わせ
が行なわれている（特開平４−１４２５４７）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の位置合
わせ方法では、撮像手段の視野（撮像視野）内にレジス
タマークが入っている場合には、その後の位置合わせ処
理（レジスタマークの位置検出・演算処理，基板移動処
理等）が自動化されている。そして、撮像手段の視野内
にレジスタマークを入れるには、作業者の手作業に頼っ
ていた。この際には、例えば撮像手段と対向する位置に
レジスタマークが来るようこの両者を視認し、基板或い
は撮像手段を移動させることが必要であった。或いは、
撮像手段とレジスタマークとを直接視認することに替え
て、撮像手段の撮像画像をモニタに表示してこれを注視
し、モニタを見ながら基板或いは撮像手段を移動させる
ことが必要であった。

【０００４】ところで、レジスタマークは撮像手段のレ
ンズに比べて小さいために、撮像手段にレジスタマーク
が近づくと、レジスタマークは撮像手段に隠されてしま
う。また、撮像手段の視野領域はその多くが数ｍｍ四方
の大きさなため、当該狭い領域の画像をモニタを介して
見るに過ぎない。このため、撮像手段の視野からレジス
タマークが離れている場合には、現状撮像している位置
とレジスタマークとの位置関係を把握することは、直接
視認する場合であっても撮像画像を注視する場合であっ
ても容易ではなかった。よって、どの方向に移動させれ
ば撮像視野内にレジスタマークが入るかの判断ができな
いために、種々の方向への移動を試行錯誤して行なわざ
るを得ず、撮像視野内にレジスタマークを入れる予備的
な位置合わせが困難であった。また、この予備的な位置
合わせに長時間を要していた。

【０００５】本発明は、上記した問題点を解決するため
になされ、撮像視野内にレジスタマークを入れる予備的
な位置合わせの簡略化とその所要時間の短縮化を図るこ
とを、その目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めになされた請求項１記載の基板で採用した手段は、機
台に載置され、位置合わせのために撮像されるレジスタ
マークを有する基板であって、位置合わせ点を特定する
前記レジスタマークが形成された第１の領域と、該第１
の領域を取り囲む第２の領域を備え、該第２の領域に
は、前記第１の領域に属する所定箇所を中心とする又は
該所定箇所を通過する規則性を持ってパターン形成さ
れ、前記レジスタマークを取り囲む複数のマーク包囲パ
ターンを有することをその要旨とする。

【０００７】請求項２記載の基板では、前記第２の領域
の前記マーク包囲パターンを、前記位置合わせ点に対し
て前記位置合わせ点を中心とする又は前記位置合わせ点
を通過する規則性を持ってパターン形成されたものとし
た。

【０００８】また、請求項３記載の基板の位置合わせ方
法で採用した手順は、機台に載置される基板を、その有
するレジスタマークを介して位置合わせする方法であっ
て、請求項２記載の基板を、前記機台に載置する工程
と、該基板の有する前記マーク包囲パターンの前記規則
性を入力する工程と、前記機台に設けられた撮像手段で
前記基板を撮像し、該撮像手段の視野内に前記第２の領
域における前記マーク包囲パターンが入るまで待機する
工程と、前記入力した規則性と前記視野内の前記マーク
包囲パターンの撮像画像とに基づいて、前記マーク包囲
パターンの撮像位置と前記レジスタマークの位置合わせ
点との位置関係を演算する工程と、該演算した位置関係
に応じた方向に前記撮像手段又は前記基板の少なくとも
いずれかを移動し、前記撮像手段の視野内に前記第１の
領域における前記レジスタマークを入れる工程と、を備
えることをその要旨とする。

【０００９】

【作用】上記構成を有する請求項１記載の基板では、レ
ジスタマークが形成された第１の領域を取り囲む第２の
領域に、この第２の領域に亘って複数のマーク包囲パタ
ーンを有する。よって、撮像手段の視野がレジスタマー
クが離れている場合にこの視野内にレジスタマークを入
れるには、次のようにすればよい。

【００１０】まず、撮像手段の視野内に第２の領域のマ
ーク包囲パターンが入っている場合について説明する。
この場合に撮像手段の視野内にレジスタマークを入れる
ための撮像手段と基板との相対的な移動方向は、レジス
タマークを取り囲んだ複数のマーク包囲パターンの規則
性、即ち当該パターンは第１の領域に属する所定箇所を
中心とする又は該所定箇所を通過することに則って判別
できる。つまり、撮像視野内にレジスタマークを入れる
予備的な位置合わせのための移動方向を、事前に判別で
きる。そして、この判別した移動方向に誘導されて撮像
手段と基板を相対的に移動すれば、撮像手段の視野は第
２の領域から当該領域が取り囲む第１の領域に至る。こ
のように撮像視野が第１の領域に至れば、当該領域は狭
くその領域内にレジスタマークは存在することから、そ
の後は若干の相対移動で撮像視野内にこの第１の領域の
レジスタマークを入れることができる。

【００１１】一方、撮像手段の視野内に第２の領域のマ
ーク包囲パターンが入っていない場合には、まず、第２
の領域に亘った複数のマーク包囲パターンを撮像視野内
に入れる。この第２の領域は、第１の領域を取り囲むこ
とから当該第１の領域より広い領域であり、マーク包囲
パターンも複数あることから、撮像手段の視野内に第２
の領域のマーク包囲パターンを入れるに際しての労力
は、レジスタマークだけしかない場合に撮像手段の視野
内に第１の領域のレジスタマークを直接入れるに際して
の労力より少なくて済む。そして、その後は上記した移
動方向の判別を経て撮像視野内に第１の領域のレジスタ
マークを入れることができる。

【００１２】そして、請求項２記載の基板では、マーク
包囲パターンは位置合わせ点を中心とすること又は位置
合わせ点を通過するというマーク包囲パターンの規則性
に則って、予備的な位置合わせのための移動方向を事前
に判別できる。そして、この判別した移動方向に誘導さ
れて撮像手段と基板を相対的に移動すれば、撮像手段の
視野は第２の領域から当該領域が取り囲む第１の領域に
至り、引き続いてその視野内にこの第１の領域のレジス
タマークが入ることになる。

【００１３】請求項３記載の基板の位置合わせ方法で
は、まず、基板を機台に載置して、基板の位置合わせに
備える。この載置済みの基板は、位置合わせ点を特定す
るレジスタマークが形成された第１の領域を取り囲む第
２の領域に、上記の複数のマーク包囲パターンを有す
る。そして、この基板の有するマーク包囲パターンの規
則性、即ち位置合わせ点を中心とするパターンであるこ
と又は位置合わせ点を通過するパターンであることが入
力される。

【００１４】次に、機台に設けられた撮像手段で基板を
撮像してその視野内に第２の領域におけるマーク包囲パ
ターンが入るまで待機し、このマーク包囲パターンの撮
像画像の取得を図る。そして、視野内のマーク包囲パタ
ーンが入ってその撮像画像が取得できれば、基板のマー
ク包囲パターンについて入力済みの規則性と視野内のマ
ーク包囲パターンの撮像画像とに基づいて、マーク包囲
パターンの撮像位置とレジスタマークの位置合わせ点と
の位置関係が演算され、この位置関係が事前に判別でき
る。この場合、この位置関係の演算に当たっては、視野
内のマーク包囲パターンの撮像画像の画像処理を通して
パターンの規則性が解析される。

【００１５】そして、演算した位置関係に応じた方向に
撮像手段又は基板の少なくともいずれかを移動して、撮
像手段の視野内に第１の領域におけるレジスタマークが
入れられ、撮像視野内にレジスタマークを入れる予備的
な位置合わせが完了する。

【００１６】

【実施例】以上説明した本発明の構成・作用を一層明ら
かにするために、以下本発明の好適な実施例について説
明する。図１は本発明を適用した実施例としてのレジス
タマーク位置検出装置１の概略構成図である。なお、こ
のレジスタマーク位置検出装置１は、撮像視野内にレジ
スタマークを入れる予備的な位置合わせに留まらず、最
終的な原稿の位置合わせまで行なう機能を備えている。

【００１７】図示するように、このレジスタマーク位置
検出装置１は、透明なベースシート３をピン５により位
置決めして載置する透明ガラスのテーブル７、このテー
ブル７を胯ぐように配置された門型移動台１０、門型移
動台１０上に設けられてベースシート３上に置かれた原
稿１２を押さえる原稿押さえ機構１５、この原稿押さえ
機構１５をテーブル７の幅方向（図１矢印Ｘ方向）に移
動させるＸ軸駆動装置１７、門型移動台１０を前後方向
（図１矢印Ｙ方向）に移動させるＹ軸駆動装置１９、Ｃ
ＲＴモニタ２０等を備えた制御パネル２２、等から構成
されている。

【００１８】ベースシート３の上面に載置される原稿１
２は、後述するレジスタマークＲＭと所定の規則性を持
って形成されたレジスタマーク指示パターンＩＰをそれ
ぞれ３つずつ有する。そして、透明ガラスのテーブル７
の下には、これらマークおよびパターンを撮像するため
の３台のテレビカメラ２４，２５，２６がモータにより
それぞれ移動可能に設置されている。

【００１９】原稿押さえ機構１５は、原稿１２をベース
シート３に押圧する２本の押さえ足３０、この押さえ足
３０を回転自在に軸支する回転軸３２、回転軸３２の端
部に設けられたプーリ３４をベルト３５によりドライブ
して回転軸３２を回転するモータ３７、等から構成され
ている。なお、原稿押さえ機構１５には、押さえ足３０
を上下に移動して、原稿１２を押圧または押圧を解除す
る図示しない上下機構や、押さえ足３０の原稿１２に当
接する面を負圧にして原稿１２を吸着する図示しない吸
着機構等も設けられている。

【００２０】Ｘ軸駆動装置１７は、図１に示したよう
に、モータ４１と、このモータの回転を直線運動に変換
するボールネジ４３等から構成されている。また、Ｙ軸
駆動装置１９も同様に、モータ５１と、ボールネジ５３
等から構成されている。

【００２１】ここで、原稿１２の有するレジスタマーク
ＲＭとレジスタマーク指示パターンＩＰとについて説明
する。原稿１２は、図２に示すように、十字に直交した
レジスタマークＲＭを所定位置のレジスタマーク領域Ｒ
ＭＥに有し、このレジスタマークＲＭのクロスポイント
を位置合わせ点として特定する。また、原稿１２は、こ
のレジスタマーク領域ＲＭＥを取り囲み当該領域より広
い領域のレジスタマーク指示パターン領域ＩＰＥには、
点線で描画された複数の同心円からなるレジスタマーク
指示パターンＩＰをレジスタマーク指示パターン領域Ｉ
ＰＥに亘って有する。このレジスタマーク指示パターン
ＩＰは、レジスタマークＲＭの特定する位置合わせ点
（クロスポイント）を中心とする同心円の集合であり、
このことがレジスタマーク指示パターンＩＰが位置合わ
せ点に対して有する規則性である。

【００２２】次に、レジスタマーク位置検出装置１の種
々の移動機構やテレビカメラ等を制御する制御装置の構
成について説明する。図３の概略ブロック図に示すよう
に、レジスタマーク位置検出装置１の電子制御装置６０
は、周知のＣＰＵ６１，ＲＯＭ６２，ＲＡＭ６３等から
算術論理演算回路として構成された制御回路部６４を有
する。そして、コモンバス６５を介してこれらと相互に
接続されたＩ／Ｏポート６６には、ホストコンピュータ
との通信を行なう図示しないシリアル通信ポートや、上
記した原稿押さえ機構１５に関するモータ３７，４１，
５１と、テレビカメラ２４ないし２６およびこれら各カ
メラの位置を制御するモータ７４ないし７６と、ＣＲＴ
モニタ２０が接続されている。この場合、電子制御装置
６０は、原稿１２を撮像する３台のテレビカメラ２４な
いし２６からの画像信号を入力して、これを画像処理装
置７８に送信する。この画像処理装置７８では、送信を
受けた画像信号をディジタル信号に変換して、これを画
像処理する。

【００２３】次に、原稿１２のレジスタマークＲＭを各
テレビカメラの撮像視野内に入れる予備的な位置合わせ
と、原稿１２の最終的な位置合わせとを行なう処理につ
いて説明する。ＣＰＵ６１は、ＲＯＭ６２に記憶された
プログラムを読み出し、その手順に従って、テレビカメ
ラ２４ないし２６により撮像した画像から原稿１２上の
レジスタマークＲＭを認識して原稿１２の位置を求め、
各モータを駆動して、原稿１２の位置を予め定めた位置
まで修正するといった原稿貼込工程の一連の作業を行な
う。この一連の作業の概要を図４のフローチャートに示
した。

【００２４】原稿貼込工程では、まずテーブル７上にベ
ースシート３を固定し（ステップＳ１０）、その後は、
レジスタマーク指示パターンＩＰの有する規則性が制御
パネル２２の所定キーから入力されているか否かを判断
する（ステップＳ１２）。つまり、今回使用する原稿１
２のレジスタマーク指示パターンＩＰは、上記したよう
にレジスタマークＲＭの特定する位置合わせ点（クロス
ポイント）を中心とする同心円の集合であるので、この
規則性が本原稿貼込工程に先だって入力されているか否
かを判断する。なお、位置合わせ点（クロスポイント）
からの各同心円の半径は、この同心円の集合としての画
像データとして予めＲＯＭ６２に記憶されているので、
この同心円の集合である旨の規則性が入力されれば、画
像処理装置７８では、テレビカメラ２４ないし２６が実
際に撮像するレジスタマーク指示パターンＩＰの軌跡が
判明する。

【００２５】ステップＳ１２で規則性の入力があると判
断すれば、原稿１２の予備的な位置合わせ（予備的位置
調整）を行なう（ステップＳ１４）。原稿１２の粗位置
調整は、原稿１２をおよその位置に位置合わせすること
であり、その処理の詳細を図５のフローチャートに示
す。この図５に示すように、粗位置調整の最初の処理で
は、各テレビカメラがレジスタマーク指示パターンＩＰ
を撮像しているか否か、即ち各テレビカメラの撮像視野
内にレジスタマーク指示パターンＩＰが入っているか否
かを判断し（ステップＳ１６）、肯定判断するまで待機
する。具体的に説明すると、図２に示すカメラ視野ＴＶ
VIEWにレジスタマーク指示パターンＩＰが入っていない
場合には、このステップＳ１６では否定判断され、その
後の処理を行なわず待機する。しかし、この否定判断の
間にも各テレビカメラでの撮像は継続されているので、
操作者により手動で原稿１２が移動されると（例えば、
図中矢印Ａに沿って移動されると）、カメラ視野ＴＶVI
EWにレジスタマーク指示パターンＩＰが入ることにな
る。よって、この時点でステップＳ１６では肯定判断さ
れ、その後の処理に進むことになる。

【００２６】この間の原稿１２の手動による移動距離
は、レジスタマーク指示パターン領域ＩＰＥ外にあるカ
メラ視野ＴＶVIEWがこのレジスタマーク指示パターン領
域ＩＰＥに重なるだけの移動距離である。また、原稿１
２を手動で移動させてもカメラ視野ＴＶVIEWがレジスタ
マーク指示パターン領域ＩＰＥに重なることはない場合
のカメラ視野ＴＶVIEWの相対的な移動方向は、図２に示
すカメラ視野ＴＶVIEWの場合には、当該位置から左右方
向と下方および斜め左上方に限られる。つまり、カメラ
視野ＴＶVIEWが相対的に真上の方向や斜め右上方に僅か
に移動すれば、カメラ視野ＴＶVIEWにレジスタマーク指
示パターンＩＰが入ることになる。

【００２７】ステップＳ１６の肯定判断に続いては、カ
メラ視野ＴＶVIEWに入ったレジスタマーク指示パターン
ＩＰの撮像画像を画像解析し、その結果とステップＳ１
２で入力済みのレジスタマーク指示パターンＩＰの規則
性とから、現時点の撮像位置とレジスタマークＲＭの位
置合わせ点（クロスポイント）との位置関係を演算する
（ステップＳ１８）。この際の演算の過程を詳細に説明
すると、まず、画像処理装置７８は、カメラ視野ＴＶVI
EW内のレジスタマーク指示パターンＩＰのそれぞれの同
心円の円弧について、その画像データから各円弧の円の
半径や視野内領域の円弧軌跡を数式化する。そして、こ
れら半径と数式化された円弧軌跡とを入力済みの規則性
における各同心円の半径と円の数式とに照合して、上記
した位置関係を求める。

【００２８】次いで、演算した位置関係から、カメラ視
野ＴＶVIEW内にレジスタマークＲＭが入り込むために必
要な各テレビカメラの移動方向とその移動量を決定し
（ステップＳ２０）、各テレビカメラを決定した移動方
向と移動量で移動すべく、各テレビカメラのモータを駆
動制御する（ステップＳ２２）。図を持って説明する
と、図に示すようにレジスタマーク指示パターンＩＰが
入っているカメラ視野ＴＶVIEWの移動方向は、レジスタ
マークＲＭの位置合わせ点（クロスポイント）を通る図
中矢印Ｂとして決定され、その移動量は、レジスタマー
ク領域ＲＭＥがカメラ視野ＴＶVIEWに重なりカメラ視野
ＴＶVIEW内に僅かでもレジスタマークＲＭが入るに足り
る移動量である。もっとも、この移動量を、カメラ視野
ＴＶVIEWの中心にレジスタマークＲＭが位置するに必要
な移動量として演算することもできる。

【００２９】こうして、原稿１２の予備的位置調整が完
了すれば、静電吸着をオンとし、原稿１２をベースシー
ト３に吸着・固定する。

【００３０】次に、レジスタマークＲＭの位置を検出す
る工程を行ない（ステップＳ２４）、検出されたレジス
タマークＲＭの位置から原稿１２のズレ量を演算する
（ステップＳ２６）。ズレ量が分かれば、原稿１２を吸
着し、ベースシート３への静電吸着をオフにし（ステッ
プＳ２８）、原稿１２の位置を微調整してズレ量を補正
する（ステップＳ３０）。その後、原稿１２をベースシ
ート３上にテープ等で貼り込んで固定し（ステップＳ３
２）、全工程を完了する。なお、本実施例では、３個の
レジスタマークの位置を検出しているから、これらの位
置合わせ点の位置に基づいて、テーブル７上における原
稿１２の位置を検出し、所望の位置からのズレ量を知っ
てこれを補正することは容易である。

【００３１】以上説明したように、本実施例のレジスタ
マーク位置検出装置１では、ベースシート３に載置した
原稿１２の位置合わせをする際に、各テレビカメラのカ
メラ視野ＴＶVIEW内にレジスタマーク指示パターン領域
ＩＰＥにおけるレジスタマーク指示パターンＩＰが入る
まで待機する（ステップＳ１６）。そして、原稿１２が
移動されてこのレジスタマーク指示パターンＩＰが各テ
レビカメラに撮像されその撮像画像を取得すると、この
レジスタマーク指示パターンＩＰについて入力済みの規
則性（位置合わせ点（クロスポイント）を中心とする同
心円の集合であること）と撮像画像とに基づいて、現時
点の撮像位置とレジスタマークＲＭの位置合わせ点との
位置関係を事前に判別する（ステップＳ１８）。そし
て、その後に、この位置関係から、カメラ視野ＴＶVIEW
内に僅かでもレジスタマークＲＭが入り込むための移動
方向（図２における矢印Ｂ）とその移動量を決定し（ス
テップＳ２０）、実際にモータを駆動して各テレビカメ
ラを移動する（ステップＳ２２）。

【００３２】従って、本実施例のレジスタマーク位置検
出装置１では、各テレビカメラのカメラ視野ＴＶVIEW内
にレジスタマークＲＭを入れる予備的な位置合わせに際
して、狭い領域におけるレジスタマークＲＭを手動でカ
メラ視野ＴＶVIEWに入れることを必要としない。そし
て、各テレビカメラのカメラ視野ＴＶVIEW内には、レジ
スタマーク領域ＲＭＥを取り囲む広い領域のレジスタマ
ーク指示パターン領域ＩＰＥにおけるレジスタマーク指
示パターンＩＰを手動にて入れさえすればよく、その後
は、自動的にカメラ視野ＴＶVIEWにレジスタマークＲＭ
を入れることができる。このため、本実施例のレジスタ
マーク位置検出装置１によれば、テレビカメラのカメラ
視野ＴＶVIEW内にレジスタマークＲＭを入れる予備的な
位置合わせを簡略化できると共に、その所要時間の短縮
化を図ることができる。

【００３３】また、カメラ視野ＴＶVIEW内にレジスタマ
ーク指示パターンＩＰを入れるに当たっての手動での移
動方向に対する制約は、レジスタマーク指示パターン領
域ＩＰＥがレジスタマーク領域ＲＭＥを取り囲みその領
域より広いために、カメラ視野ＴＶVIEW内に直接レジス
タマークＲＭを入れる場合より緩やかとなる。よって、
本実施例のレジスタマーク位置検出装置１によれば、予
備的な位置合わせの簡略化と所要時間の短縮化とをより
推進することができる。

【００３４】以上本発明の実施例について説明したが、
本発明はこの実施例に限定されるものではなく、本発明
の要旨を逸脱しない範囲内において、種々なる態様で実
施し得ることは勿論である。

【００３５】例えば、上記のレジスタマーク位置検出装
置１では、ステップＳ１４の詳細処理において、現時点
の撮像位置とレジスタマークＲＭの位置合わせ点との位
置関係を事前に判別するよう構成し（ステップＳ１
８）、カメラ視野ＴＶVIEWへのレジスタマークＲＭの入
れ込みを自動化したが（ステップＳ１６〜２２）、本実
施例の原稿１２を従来のレジスタマーク位置検出装置に
ただ単に用いるだけの構成とすることもできる。この構
成を採用した場合には、各テレビカメラでの撮像画像を
常時ＣＲＴモニタ２０に映し出すように構成する。そし
て、この構成では、操作者は、カメラ視野ＴＶVIEW内に
レジスタマーク指示パターンＩＰが入った場合における
ＣＲＴモニタ２０の表示画像を見れば、レジスタマーク
指示パターンＩＰの有する規則性から、カメラ視野ＴＶ
VIEW内にレジスタマークＲＭを入れるに必要な移動方向
を操作者自身が事前に判別できる。よって、その後は、
ＣＲＴモニタ２０を見ながら判別済みの移動方向への誘
導を受けて引き続き手動で原稿１２を移動すれば、カメ
ラ視野ＴＶVIEW内にレジスタマークＲＭを容易に入れる
ことができる。このため、本実施例の原稿１２を用いた
だけでも、予備的な位置合わせの簡略化とその所要時間
の短縮化とを図ることができる。

【００３６】また、原稿１２のレジスタマーク指示パタ
ーン領域ＩＰＥにおけるレジスタマーク指示パターンＩ
Ｐは、その有する規則性が図２に示す同心円の集合であ
ることに限られるわけではなく、次のようなものであっ
てもよいことは勿論である。図６〜図１２にその例を示
す。図６のレジスタマーク指示パターンＩＰは、レジス
タマーク領域ＲＭＥのレジスタマークＲＭの特定する位
置合わせ点（クロスポイント）を中心とする同心の楕円
の集合である。そして、カメラ視野ＴＶVIEWが図示する
位置であれば、移動方向は図中矢印Ｃで示される方向と
なる。図７のレジスタマーク指示パターンＩＰは、レジ
スタマークＲＭの特定する位置合わせ点（クロスポイン
ト）を中心とする同心の相似形の四角形（正方形）の集
合であり、各四角形の辺の間隔は、位置合わせ点に近づ
くほど狭くなるようされている。そして、カメラ視野Ｔ
ＶVIEWが図示する位置であれば、移動方向は図中矢印Ｄ
で示される方向となる。なお、この図７のレジスタマー
ク指示パターンＩＰの変形としては、各正方形が等ピッ
チであるものや、相似形の長方形の集合とするものがあ
る。

【００３７】図８のレジスタマーク指示パターンＩＰ
は、位置合わせ点（クロスポイント）を中心とする同心
の相似形の長方形の集合であるが、外側の長方形にあっ
ては各辺の一部が省略されコーナー部のみが残されてい
る。そして、カメラ視野ＴＶVIEWが図示する位置であれ
ば、移動方向は図中矢印Ｅで示される方向となる。図９
のレジスタマーク指示パターンＩＰは、位置合わせ点
（クロスポイント）を中心とする同心の相似形の菱形の
集合であり、各菱形の辺の間隔は、位置合わせ点に近づ
くほど狭くなるようされている。そして、カメラ視野Ｔ
ＶVIEWが図示する位置であれば、移動方向は図中矢印Ｆ
で示される方向となる。なお、この図９のレジスタマー
ク指示パターンＩＰの変形としては、各菱形が等ピッチ
であるもの等がある。

【００３８】図１０のレジスタマーク指示パターンＩＰ
は、レジスタマーク領域ＲＭＥのレジスタマークＲＭの
特定する位置合わせ点（クロスポイント）を中心に点線
からなる複数の直線を放射状に配列させた直線の集合で
あり、各直線は位置合わせ点（クロスポイント）を通過
する。また、各直線は、その適宜箇所に位置合わせ点を
指し示す矢印を合わせ持つ。よって、この場合のレジス
タマーク指示パターンＩＰの有する規則性は、位置合わ
せ点（クロスポイント）を通過することであり、矢印は
この規則性を強調するものとなる。そして、カメラ視野
ＴＶVIEWが図示する位置であれば、移動方向は図中矢印
Ｇで示される方向となる。なお、この図１０のレジスタ
マーク指示パターンＩＰの変形としては、各直線が矢印
を有しない単純な点線からなる直線の集合であるもの等
がある。

【００３９】また、図１１のレジスタマーク指示パター
ンＩＰは、位置合わせ点（クロスポイント）を中心に点
線からなる複数の直線を放射状に配列させた直線の集合
であり、各直線は位置合わせ点（クロスポイント）を通
過する。また、各直線は、位置合わせ点から近づくほど
線分の太さが細くされていなるようされており、線分の
太さで規則性を強調する。そして、カメラ視野ＴＶVIEW
が図示する位置であれば、移動方向は図中矢印Ｈで示さ
れる方向となる。

【００４０】更に、図１２に示すように、レジスタマー
ク指示パターンＩＰを、複数の三角形を１列に並べその
頂点が位置合わせ点（クロスポイント）を向くようにし
た列をこの位置合わせ点（クロスポイント）から放射状
に配列させたものとすることもできる。この場合には、
各列が位置合わせ点（クロスポイント）を通過する規則
性があり、その規則性は、各三角形の頂点で強調されて
いる。

【００４１】上記した各レジスタマークＲＭは、直線が
十字に直交したものとしたがこれに限るわけではなく、
種々の形状のレジスタマークであってもよいことは勿論
である。また、レジスタマーク領域ＲＭＥ，レジスタマ
ーク指示パターン領域ＩＰＥは、図６〜図１２に示した
ように正方形の領域である必要はなく、長方形の領域等
であってもよいことは勿論である。また、それぞれのレ
ジスタマーク指示パターンＩＰが有する規則性をレジス
タマークＲＭの特定する位置合わせ点（クロスポイン
ト）と関連するものとしたが、レジスタマーク指示パタ
ーンＩＰは、レジスタマーク領域ＲＭＥに属する任意の
ポイント、例えば図２に示す任意ポイントＲＭＰを中心
とする又はこれを通過する規則性を持ったパターンであ
ってもよいことは勿論である。

【００４２】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１ないし請
求項２記載の基板では、撮像手段の視野内にレジスタマ
ークが形成された第１の領域より広い領域の第２の領域
における複数のマーク包囲パターンを入れれば、このマ
ーク包囲パターンの有する規則性により、撮像手段の視
野内にレジスタマークを入れるための予備的な位置合わ
せの際の移動方向を、事前に判別できる。よって、請求
項１ないし請求項２記載の基板によれば、この判別した
移動方向への誘導を受けた撮像手段と基板の相対的な移
動を経て、撮像視野内に第１の領域のレジスタマークを
入れることができるため、予備的な位置合わせの簡略化
とその所要時間の短縮化を図ることができる。

【００４３】請求項３記載の基板の位置合わせ方法で
は、機台に載置済みの基板を撮像してその視野内に第２
の領域におけるマーク包囲パターンが入るまで待機す
る。そして、このマーク包囲パターンの撮像画像を取得
すると、基板のマーク包囲パターンについて入力済みの
規則性と合わせて、マーク包囲パターンの撮像位置とレ
ジスタマークの位置合わせ点との位置関係を事前に判別
し、その後は、この位置関係に応じた方向への撮像手段
又は基板の少なくともいずれかの移動を経て、撮像手段
の視野内に第１の領域におけるレジスタマークを入れ予
備的な位置合わせを完了させる。よって、請求項３記載
の基板の位置合わせ方法によれば、第２の領域における
マーク包囲パターンの撮像画像の取得に続いて撮像視野
内に第１の領域のレジスタマークを入れることができる
ため、予備的な位置合わせの簡略化とその所要時間の短
縮化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した実施例としてのレジスタマー
ク位置検出装置１の外観を示す斜視図。

【図２】原稿１２の有するレジスタマークＲＭとレジス
タマーク指示パターンＩＰを説明するための説明図。

【図３】電子制御装置６０の構成を示す概略ブロック
図。

【図４】原稿貼込工程を示すフローチャート。

【図５】原稿貼込工程における処理の詳細を示すフロー
チャート。

【図６】レジスタマーク指示パターンＩＰの変形例を説
明する説明図。

【図７】レジスタマーク指示パターンＩＰの変形例を説
明する説明図。

【図８】レジスタマーク指示パターンＩＰの変形例を説
明する説明図。

【図９】レジスタマーク指示パターンＩＰの変形例を説
明する説明図。

【図１０】レジスタマーク指示パターンＩＰの変形例を
説明する説明図。

【図１１】レジスタマーク指示パターンＩＰの変形例を
説明する説明図。

【図１２】レジスタマーク指示パターンＩＰの変形例を
説明する説明図。

【符号の説明】

１…レジスタマーク位置検出装置 ３…ベースシート ７…テーブル １０…門型移動台 １２…原稿 １５…原稿押さえ機構 １７…Ｘ軸駆動装置 １９…Ｙ軸駆動装置 ２０…ＣＲＴモニタ ２２…制御パネル ２４，２５，２６…テレビカメラ ６０…電子制御装置 ６４…制御回路部 ７８…画像処理装置 ＩＰ…レジスタマーク指示パターン ＩＰＥ…レジスタマーク指示パターン領域 ＲＭ…レジスタマーク ＲＭＥ…レジスタマーク領域 ＲＭＰ…任意ポイント ＴＶVIEW…カメラ視野

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 機台に載置され、位置合わせのために撮
   像されるレジスタマークを有する基板であって、 位置合わせ点を特定する前記レジスタマークが形成され
   た第１の領域と、該第１の領域を取り囲む第２の領域を
   備え、 該第２の領域には、前記第１の領域に属する所定箇所を
   中心とする又は該所定箇所を通過する規則性を持ってパ
   ターン形成され、前記レジスタマークを取り囲む複数の
   マーク包囲パターンを有することを特徴とする基板。
2. 【請求項２】 請求項１記載の基板であって、 前記第２の領域の前記マーク包囲パターンは、前記位置
   合わせ点に対して前記位置合わせ点を中心とする又は前
   記位置合わせ点を通過する規則性を持ってパターン形成
   されている基板。
3. 【請求項３】 機台に載置される基板を、その有するレ
   ジスタマークを介して位置合わせする方法であって、 請求項２記載の基板を、前記機台に載置する工程と、 該基板の有する前記マーク包囲パターンの前記規則性を
   入力する工程と、 前記機台に設けられた撮像手段で前記基板を撮像し、該
   撮像手段の視野内に前記第２の領域における前記マーク
   包囲パターンが入るまで待機する工程と、 前記入力した規則性と前記視野内の前記マーク包囲パタ
   ーンの撮像画像とに基づいて、前記マーク包囲パターン
   の撮像位置と前記レジスタマークの位置合わせ点との位
   置関係を演算する工程と、 該演算した位置関係に応じた方向に前記撮像手段又は前
   記基板の少なくともいずれかを移動し、前記撮像手段の
   視野内に前記第１の領域における前記レジスタマークを
   入れる工程と、を備えることを特徴とする基板の位置合
   わせ方法。