JPH0917710A - 露光フィルムの整合方法及び整合装置 - Google Patents
露光フィルムの整合方法及び整合装置Info
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- JPH0917710A JPH0917710A JP7161286A JP16128695A JPH0917710A JP H0917710 A JPH0917710 A JP H0917710A JP 7161286 A JP7161286 A JP 7161286A JP 16128695 A JP16128695 A JP 16128695A JP H0917710 A JPH0917710 A JP H0917710A
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0082—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the exposure method of radiation-sensitive masks
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】表裏両面の各露光フィルムのパターンの位置を
精度良く整合させることができる露光フィルムの整合方
法及び整合装置を提供する。 【構成】一対の露光フィルム１ａ，１ｂは各々移動枠３
と固定枠４とに支持される。移動枠３は変位機構部５に
より固定枠４に対する相対的な位置が変えられる。各露
光フィルム１ａ，１ｂにはパターン外にアライメントマ
ーク９ａ，９ｂが、パターン内に基準マーク１０ａ，１
０ｂがそれぞれ設けてある。両露光フィルム１ａ，１ｂ
の基準マーク１０ａ，１０ｂ同士を整合させたときのア
ライメントマーク９ａ，９ｂ同士のずれ量を制御部８に
おいて求める。そして、アライメントマーク９ａ，９ｂ
同士を整合させた後、上記ずれ量の方向（符号）を逆に
した補正量だけ移動枠３を変位すれば、基準マーク１０
ａ，１０ｂ同士を整合することができ、両露光フィルム
１ａ，１ｂのパターン位置を精度良く整合できる。
精度良く整合させることができる露光フィルムの整合方
法及び整合装置を提供する。 【構成】一対の露光フィルム１ａ，１ｂは各々移動枠３
と固定枠４とに支持される。移動枠３は変位機構部５に
より固定枠４に対する相対的な位置が変えられる。各露
光フィルム１ａ，１ｂにはパターン外にアライメントマ
ーク９ａ，９ｂが、パターン内に基準マーク１０ａ，１
０ｂがそれぞれ設けてある。両露光フィルム１ａ，１ｂ
の基準マーク１０ａ，１０ｂ同士を整合させたときのア
ライメントマーク９ａ，９ｂ同士のずれ量を制御部８に
おいて求める。そして、アライメントマーク９ａ，９ｂ
同士を整合させた後、上記ずれ量の方向（符号）を逆に
した補正量だけ移動枠３を変位すれば、基準マーク１０
ａ，１０ｂ同士を整合することができ、両露光フィルム
１ａ，１ｂのパターン位置を精度良く整合できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基板の表裏両面にパタ
ーンを転写するための一対の露光フィルム同士の位置を
整合させる露光フィルムの整合方法及び整合装置に関す
るものである。
ーンを転写するための一対の露光フィルム同士の位置を
整合させる露光フィルムの整合方法及び整合装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】表裏両面にパターン（回路パターン）が
形成された所謂両面プリント基板においては、例えば、
両面銅張積層板から成る基板の表裏両面に感光性ドライ
フィルムレジストを貼着し、その上からパターンが描写
された転写用の露光フィルムをそれぞれ重ね合わせた
後、露光装置を用いて光を照射し上記レジストを感光さ
せることで露光フィルムのパターンを基板の表裏両面に
転写する方法が取られている。
形成された所謂両面プリント基板においては、例えば、
両面銅張積層板から成る基板の表裏両面に感光性ドライ
フィルムレジストを貼着し、その上からパターンが描写
された転写用の露光フィルムをそれぞれ重ね合わせた
後、露光装置を用いて光を照射し上記レジストを感光さ
せることで露光フィルムのパターンを基板の表裏両面に
転写する方法が取られている。
【０００３】ところで、基板の表裏両面のパターンは互
いの位置が整合されている必要があるので、露光装置を
使って基板にパターンを転写する前に、両露光フィルム
間に基板を配置した状態で両露光フィルムのパターンの
位置を整合している。このような一対の露光フィルムの
パターンの位置の整合には、露光装置自体に具備された
整合機構を用いる場合もあれば、露光装置とは別に露光
フィルムの整合を行う整合装置を用いる場合もある。
いの位置が整合されている必要があるので、露光装置を
使って基板にパターンを転写する前に、両露光フィルム
間に基板を配置した状態で両露光フィルムのパターンの
位置を整合している。このような一対の露光フィルムの
パターンの位置の整合には、露光装置自体に具備された
整合機構を用いる場合もあれば、露光装置とは別に露光
フィルムの整合を行う整合装置を用いる場合もある。
【０００４】各露光フィルムは、アクリル板やガラス板
等から成る無色透明の板体に粘着テープにて固定される
か、あるいは板体がアクリル板の場合には板体に形成さ
れた吸着溝に吸引、吸着されて固定され、さらに、各板
体がそれぞれ枠体に支持される。板体を支持する一対の
枠体は、一方の枠体（固定枠）が固定されるとともに他
方の枠体（移動枠）が移動可能となっている。
等から成る無色透明の板体に粘着テープにて固定される
か、あるいは板体がアクリル板の場合には板体に形成さ
れた吸着溝に吸引、吸着されて固定され、さらに、各板
体がそれぞれ枠体に支持される。板体を支持する一対の
枠体は、一方の枠体（固定枠）が固定されるとともに他
方の枠体（移動枠）が移動可能となっている。
【０００５】一方、整合装置は移動枠を板体に略平行な
面内でｘ軸及びｙ軸の直交座標軸に沿って移動させる移
動手段と、上記面内で移動枠を回動させる回動手段と、
後述する各露光フィルムのアライメントマークを撮像す
るための一対のＣＣＤカメラと、これらＣＣＤカメラで
撮像した画像を取り込み、取り込んだ画像から両露光フ
ィルムのアライメントマーク同士を整合させるために必
要な移動枠の移動量及び回動量とそのそれぞれの方向を
求める演算制御手段とを備えている。
面内でｘ軸及びｙ軸の直交座標軸に沿って移動させる移
動手段と、上記面内で移動枠を回動させる回動手段と、
後述する各露光フィルムのアライメントマークを撮像す
るための一対のＣＣＤカメラと、これらＣＣＤカメラで
撮像した画像を取り込み、取り込んだ画像から両露光フ
ィルムのアライメントマーク同士を整合させるために必
要な移動枠の移動量及び回動量とそのそれぞれの方向を
求める演算制御手段とを備えている。
【０００６】上記従来の整合装置においては、両露光フ
ィルム間に基板を配置した状態ではそれぞれのパターン
の位置を直接整合させることができないので、図５に示
すような一対の露光フィルムのパターンが描写されてい
る部分の周りの周縁の対角位置にφ２の黒丸から成るア
ライメントマーク９ａと、φ５の黒丸の中央にφ２の円
形の白抜きを有するドーナツ型のアライメントマーク９
ｂとを設け、固定枠と移動枠との間に基板を配置した状
態でＣＣＤカメラを使って各アライメントマーク９ａ，
９ｂを撮像し、演算制御手段においてアライメントマー
ク９ｂの白抜きにアライメントマーク９ｂを重ねるのに
必要な移動量及び回動量とそのそれぞれの方向を求め、
さらに、演算制御手段により移動手段及び回動手段を制
御して、求めた移動量及び回動量とそのそれぞれの方向
に移動枠を移動、回動させることにより、間接的に両露
光フィルム１ａ，１ｂのパターンの位置を整合してい
る。なお、このようなアライメントマーク９ａ，９ｂを
用いたパターンの整合機能及び機構を備えた露光装置も
ある。
ィルム間に基板を配置した状態ではそれぞれのパターン
の位置を直接整合させることができないので、図５に示
すような一対の露光フィルムのパターンが描写されてい
る部分の周りの周縁の対角位置にφ２の黒丸から成るア
ライメントマーク９ａと、φ５の黒丸の中央にφ２の円
形の白抜きを有するドーナツ型のアライメントマーク９
ｂとを設け、固定枠と移動枠との間に基板を配置した状
態でＣＣＤカメラを使って各アライメントマーク９ａ，
９ｂを撮像し、演算制御手段においてアライメントマー
ク９ｂの白抜きにアライメントマーク９ｂを重ねるのに
必要な移動量及び回動量とそのそれぞれの方向を求め、
さらに、演算制御手段により移動手段及び回動手段を制
御して、求めた移動量及び回動量とそのそれぞれの方向
に移動枠を移動、回動させることにより、間接的に両露
光フィルム１ａ，１ｂのパターンの位置を整合してい
る。なお、このようなアライメントマーク９ａ，９ｂを
用いたパターンの整合機能及び機構を備えた露光装置も
ある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
整合方法及び整合装置では両露光フィルム１ａ，１ｂの
アライメントマーク９ａ，９ｂ同士の位置の整合につい
ては充分な精度を得ることができるものの、両露光フィ
ルム１ａ，１ｂのパターン位置の整合の精度は露光フィ
ルム１ａ，１ｂにアライメントマーク９ａ，９ｂを設け
るときの位置精度に依存しており、アライメントマーク
９ａ，９ｂとパターンとは露光フィルム１ａ，１ｂに対
して別個独立に形成されるものであるから、パターンに
対するアライメントマーク９ａ，９ｂの位置精度が充分
に確保できず、結局、両露光フィルム１ａ，１ｂのパタ
ーンの位置の整合が精度良く行えないという問題があ
る。
整合方法及び整合装置では両露光フィルム１ａ，１ｂの
アライメントマーク９ａ，９ｂ同士の位置の整合につい
ては充分な精度を得ることができるものの、両露光フィ
ルム１ａ，１ｂのパターン位置の整合の精度は露光フィ
ルム１ａ，１ｂにアライメントマーク９ａ，９ｂを設け
るときの位置精度に依存しており、アライメントマーク
９ａ，９ｂとパターンとは露光フィルム１ａ，１ｂに対
して別個独立に形成されるものであるから、パターンに
対するアライメントマーク９ａ，９ｂの位置精度が充分
に確保できず、結局、両露光フィルム１ａ，１ｂのパタ
ーンの位置の整合が精度良く行えないという問題があ
る。
【０００８】本発明は上記問題に鑑みて為されたもので
あり、その目的とするところは、表裏両面の各露光フィ
ルムのパターンの位置を精度良く整合させることができ
る露光フィルムの整合方法及び整合装置を提供すること
にある。
あり、その目的とするところは、表裏両面の各露光フィ
ルムのパターンの位置を精度良く整合させることができ
る露光フィルムの整合方法及び整合装置を提供すること
にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、上記
目的を達成するために、基板の表裏両面にパターンを転
写するための一対の露光フィルム同士の位置を整合させ
る露光フィルムの整合方法であって、両露光フィルム間
に基板を配置せずに各露光フィルムのパターン内に設け
た複数の基準マーク同士を整合し、基準マーク同士が整
合された状態で各露光フィルムのパターン外に設けた複
数のアライメントマーク同士のずれ量を測定し、両露光
フィルム間に基板を配置した状態で一旦両露光フィルム
のアライメントマーク同士を整合した後、上記ずれ量に
基づいて両露光フィルムの基準マーク同士が整合される
ように各露光フィルムの相対的な位置を補正することを
特徴とする。
目的を達成するために、基板の表裏両面にパターンを転
写するための一対の露光フィルム同士の位置を整合させ
る露光フィルムの整合方法であって、両露光フィルム間
に基板を配置せずに各露光フィルムのパターン内に設け
た複数の基準マーク同士を整合し、基準マーク同士が整
合された状態で各露光フィルムのパターン外に設けた複
数のアライメントマーク同士のずれ量を測定し、両露光
フィルム間に基板を配置した状態で一旦両露光フィルム
のアライメントマーク同士を整合した後、上記ずれ量に
基づいて両露光フィルムの基準マーク同士が整合される
ように各露光フィルムの相対的な位置を補正することを
特徴とする。
【００１０】請求項２の発明は、上記目的を達成するた
めに、基板の表裏両面にパターンを転写するための一対
の露光フィルム同士の位置を整合させる露光フィルムの
整合装置であって、各露光フィルムのパターン内に複数
の基準マークを設けるとともにパターン外に複数のアラ
イメントマークを設け、少なくとも一方の露光フィルム
をパターン面に略平行な平面内で移動及び回動自在に保
持して両露光フィルムの相対的な位置を変位させる変位
手段と、露光フィルムのパターン面に略直交する方向か
ら基準マーク及びアライメントマークを撮像する撮像手
段と、撮像手段の撮像画像に基づいて両露光フィルムの
基準マーク同士あるいはアライメントマーク同士が整合
するような変位量を求めて変位手段を制御する制御手段
とを備え、制御手段は、両露光フィルム間に基板を配置
しない状態で基準マーク同士を整合させたときのアライ
メントマーク同士の整合に必要な変位量に基づき、両露
光フィルム間に基板を配置してアライメントマーク同士
を整合させた状態から変位手段を制御して両露光フィル
ムの相対的な位置を変位させて成ることを特徴とする。
めに、基板の表裏両面にパターンを転写するための一対
の露光フィルム同士の位置を整合させる露光フィルムの
整合装置であって、各露光フィルムのパターン内に複数
の基準マークを設けるとともにパターン外に複数のアラ
イメントマークを設け、少なくとも一方の露光フィルム
をパターン面に略平行な平面内で移動及び回動自在に保
持して両露光フィルムの相対的な位置を変位させる変位
手段と、露光フィルムのパターン面に略直交する方向か
ら基準マーク及びアライメントマークを撮像する撮像手
段と、撮像手段の撮像画像に基づいて両露光フィルムの
基準マーク同士あるいはアライメントマーク同士が整合
するような変位量を求めて変位手段を制御する制御手段
とを備え、制御手段は、両露光フィルム間に基板を配置
しない状態で基準マーク同士を整合させたときのアライ
メントマーク同士の整合に必要な変位量に基づき、両露
光フィルム間に基板を配置してアライメントマーク同士
を整合させた状態から変位手段を制御して両露光フィル
ムの相対的な位置を変位させて成ることを特徴とする。
【００１１】
【作用】請求項１の発明によれば、両露光フィルム間に
基板を配置せずに各露光フィルムのパターン内に設けた
複数の基準マーク同士を整合し、基準マーク同士が整合
された状態で各露光フィルムのパターン外に設けた複数
のアライメントマーク同士のずれ量を測定し、両露光フ
ィルム間に基板を配置した状態で一旦両露光フィルムの
アライメントマーク同士を整合した後、上記ずれ量に基
づいて両露光フィルムの基準マーク同士が整合されるよ
うに各露光フィルムの相対的な位置を補正するので、両
露光フィルムのパターン外に設けられたアライメントマ
ーク同士を整合させたときに生じる基板の表裏両面に対
する露光フィルムのパターンの位置ずれを、パターン内
に設けられているためにパターンに対する位置精度が高
い基準マークに基づいて補正することができ、基板の表
裏両面に対する各露光フィルムのパターンの位置を精度
良く整合可能な露光フィルムの整合方法を提供すること
ができる。
基板を配置せずに各露光フィルムのパターン内に設けた
複数の基準マーク同士を整合し、基準マーク同士が整合
された状態で各露光フィルムのパターン外に設けた複数
のアライメントマーク同士のずれ量を測定し、両露光フ
ィルム間に基板を配置した状態で一旦両露光フィルムの
アライメントマーク同士を整合した後、上記ずれ量に基
づいて両露光フィルムの基準マーク同士が整合されるよ
うに各露光フィルムの相対的な位置を補正するので、両
露光フィルムのパターン外に設けられたアライメントマ
ーク同士を整合させたときに生じる基板の表裏両面に対
する露光フィルムのパターンの位置ずれを、パターン内
に設けられているためにパターンに対する位置精度が高
い基準マークに基づいて補正することができ、基板の表
裏両面に対する各露光フィルムのパターンの位置を精度
良く整合可能な露光フィルムの整合方法を提供すること
ができる。
【００１２】請求項２の発明の構成では、各露光フィル
ムのパターン内に複数の基準マークを設けるとともにパ
ターン外に複数のアライメントマークを設け、少なくと
も一方の露光フィルムをパターン面に略平行な平面内で
移動及び回動自在に保持して両露光フィルムの相対的な
位置を変位させる変位手段と、露光フィルムのパターン
面に略直交する方向から基準マーク及びアライメントマ
ークを撮像する撮像手段と、撮像手段の撮像画像に基づ
いて両露光フィルムの基準マーク同士あるいはアライメ
ントマーク同士が整合するような変位量を求めて変位手
段を制御する制御手段とを備え、制御手段が、両露光フ
ィルム間に基板を配置しない状態で基準マーク同士を整
合させたときのアライメントマーク同士の整合に必要な
変位量に基づき、両露光フィルム間に基板を配置してア
ライメントマーク同士を整合させた状態から変位手段を
制御して両露光フィルムの相対的な位置を変位させて成
るので、両露光フィルムのパターン外に設けられたアラ
イメントマーク同士を整合させたときに生じる基板の表
裏両面に対する露光フィルムのパターンの位置ずれを、
パターン内に設けられているためにパターンに対する位
置精度が高い基準マークに基づいて補正することがで
き、基板の表裏両面に対する各露光フィルムのパターン
の位置を精度良く整合可能な露光フィルムの整合装置を
提供することができる。
ムのパターン内に複数の基準マークを設けるとともにパ
ターン外に複数のアライメントマークを設け、少なくと
も一方の露光フィルムをパターン面に略平行な平面内で
移動及び回動自在に保持して両露光フィルムの相対的な
位置を変位させる変位手段と、露光フィルムのパターン
面に略直交する方向から基準マーク及びアライメントマ
ークを撮像する撮像手段と、撮像手段の撮像画像に基づ
いて両露光フィルムの基準マーク同士あるいはアライメ
ントマーク同士が整合するような変位量を求めて変位手
段を制御する制御手段とを備え、制御手段が、両露光フ
ィルム間に基板を配置しない状態で基準マーク同士を整
合させたときのアライメントマーク同士の整合に必要な
変位量に基づき、両露光フィルム間に基板を配置してア
ライメントマーク同士を整合させた状態から変位手段を
制御して両露光フィルムの相対的な位置を変位させて成
るので、両露光フィルムのパターン外に設けられたアラ
イメントマーク同士を整合させたときに生じる基板の表
裏両面に対する露光フィルムのパターンの位置ずれを、
パターン内に設けられているためにパターンに対する位
置精度が高い基準マークに基づいて補正することがで
き、基板の表裏両面に対する各露光フィルムのパターン
の位置を精度良く整合可能な露光フィルムの整合装置を
提供することができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳
細に説明する。図１は本実施例における整合装置を示す
概略ブロック図であり、従来例と同じく一対の露光フィ
ルム１ａ，１ｂが固定された無色透明のアクリル板から
成る板体２を支持する移動枠３及び固定枠４と、移動枠
３を板体２に略平行な面内でｘ軸及びｙ軸の直交座標軸
に沿って移動させ、且つ上記面内で移動枠３を回動させ
ることで固定枠４に対する移動枠３の相対的な位置を変
位させる変位機構部５と、移動枠３の板体２に略直交す
る方向から露光フィルム１ａ，１ｂを撮像する一対のＣ
ＣＤカメラ６1 ，６2 と、固定枠４の側から露光フィル
ム１ａ，１ｂを照明するための光源７と、ＣＣＤカメラ
６1 ，６2 から取り込んだ画像に基づいて変位機構部５
を制御して移動枠３の位置を変位させる制御部８とを少
なくとも備えている。
細に説明する。図１は本実施例における整合装置を示す
概略ブロック図であり、従来例と同じく一対の露光フィ
ルム１ａ，１ｂが固定された無色透明のアクリル板から
成る板体２を支持する移動枠３及び固定枠４と、移動枠
３を板体２に略平行な面内でｘ軸及びｙ軸の直交座標軸
に沿って移動させ、且つ上記面内で移動枠３を回動させ
ることで固定枠４に対する移動枠３の相対的な位置を変
位させる変位機構部５と、移動枠３の板体２に略直交す
る方向から露光フィルム１ａ，１ｂを撮像する一対のＣ
ＣＤカメラ６1 ，６2 と、固定枠４の側から露光フィル
ム１ａ，１ｂを照明するための光源７と、ＣＣＤカメラ
６1 ，６2 から取り込んだ画像に基づいて変位機構部５
を制御して移動枠３の位置を変位させる制御部８とを少
なくとも備えている。
【００１４】変位機構部５は、詳しい構造の図示及び説
明は省略するが、従来の整合装置や露光装置にも用いら
れている周知の構成を有し、直交座標系のｘ軸及びｙ軸
に沿って移動枠３を移動させることができるとともに、
ある点を基準点として移動枠３をその基準点の周りに回
動させることのできるものである。また、制御部８はマ
イクロコンピュータを具備し、ＣＣＤカメラ６1 ，６2
から取り込んだ画像中の任意の点の座標（ｘ，ｙ）と、
その点の直交座標軸（ｘ軸あるいはｙ軸）に対する角度
θを求め、複数の点の座標及び角度に四則演算や１次変
換などの演算処理を行う機能を有している。
明は省略するが、従来の整合装置や露光装置にも用いら
れている周知の構成を有し、直交座標系のｘ軸及びｙ軸
に沿って移動枠３を移動させることができるとともに、
ある点を基準点として移動枠３をその基準点の周りに回
動させることのできるものである。また、制御部８はマ
イクロコンピュータを具備し、ＣＣＤカメラ６1 ，６2
から取り込んだ画像中の任意の点の座標（ｘ，ｙ）と、
その点の直交座標軸（ｘ軸あるいはｙ軸）に対する角度
θを求め、複数の点の座標及び角度に四則演算や１次変
換などの演算処理を行う機能を有している。
【００１５】図２に示すように一対の露光フィルム１
ａ，１ｂには従来例と同様にそれぞれ一対のアライメン
トマーク９ａ，９ｂが設けられているが、さらに、本実
施例では露光フィルム１ａ，１ｂのパターン内の複数の
同一箇所に基準マーク１０ａ，１０ｂが設けてある。こ
れらの基準マーク１０ａ，１０ｂは、本来基板にパター
ンを転写した後の穿孔時の位置合わせの基準となるもの
である。なお、基準マーク１０ａ，１０ｂの形状は両者
の重なり具合を判別し易いものであればよく、例えば、
単なる黒丸でも、また、アライメントマーク９ａ，９ｂ
と同一の形状であってもよい。
ａ，１ｂには従来例と同様にそれぞれ一対のアライメン
トマーク９ａ，９ｂが設けられているが、さらに、本実
施例では露光フィルム１ａ，１ｂのパターン内の複数の
同一箇所に基準マーク１０ａ，１０ｂが設けてある。こ
れらの基準マーク１０ａ，１０ｂは、本来基板にパター
ンを転写した後の穿孔時の位置合わせの基準となるもの
である。なお、基準マーク１０ａ，１０ｂの形状は両者
の重なり具合を判別し易いものであればよく、例えば、
単なる黒丸でも、また、アライメントマーク９ａ，９ｂ
と同一の形状であってもよい。
【００１６】次に、本実施例における露光フィルム１
ａ，１ｂの整合方法について説明する。まず、移動枠３
及び固定枠４の板体２に従来例で説明したような方法に
て各露光フィルム１ａ，１ｂを固定した後、移動枠３と
固定枠４との間に基板を配置せずに両者を近接させた状
況にて、移動枠３を変位機構部５により移動及び回動し
固定枠４に対する移動枠３の相対的な位置を変位するこ
とにより、図３に示すように両露光フィルム１ａ，１ｂ
の同一箇所に設けられた基準マーク１０ａ，１０ｂ同士
を整合させる。なお、このような基準マーク１０ａ，１
０ｂ同士の整合は、ＣＣＤカメラ６1 ，６2 による画像
を適宜ディスプレイ装置などに映し出し、変位機構部５
を手動で操作しながら目視によって行ったり、あるいは
従来の整合装置におけるアライメントマーク９ａ，９ｂ
の整合と同様に自動的に行うようにすればよい。ここ
で、基準マーク１０ａ，１０ｂ同士が整合された状態で
は、図３に示すように露光フィルム１ａ，１ｂの各一対
のアライメントマーク９ａ，９ｂはパターンに対する位
置精度に起因するずれが生じている。一方、図２に示す
ように基準マーク１０ａ，１０ｂは露光フィルム１ａ，
１ｂのパターン内に設けられているため、例えばＣＡＤ
システムを用いてパターンを設計する際に同時にパター
ン内に形成することができるから、基準マーク１０ａ，
１０ｂのパターンに対する位置精度はアライメントマー
ク９ａ，９ｂのそれとは比較にならない程高くなる。し
たがって、上記のように基準マーク１０ａ，１０ｂを整
合させた状態における両露光フィルム１ａ，１ｂのパタ
ーン位置の整合の精度も非常に高くなっている。
ａ，１ｂの整合方法について説明する。まず、移動枠３
及び固定枠４の板体２に従来例で説明したような方法に
て各露光フィルム１ａ，１ｂを固定した後、移動枠３と
固定枠４との間に基板を配置せずに両者を近接させた状
況にて、移動枠３を変位機構部５により移動及び回動し
固定枠４に対する移動枠３の相対的な位置を変位するこ
とにより、図３に示すように両露光フィルム１ａ，１ｂ
の同一箇所に設けられた基準マーク１０ａ，１０ｂ同士
を整合させる。なお、このような基準マーク１０ａ，１
０ｂ同士の整合は、ＣＣＤカメラ６1 ，６2 による画像
を適宜ディスプレイ装置などに映し出し、変位機構部５
を手動で操作しながら目視によって行ったり、あるいは
従来の整合装置におけるアライメントマーク９ａ，９ｂ
の整合と同様に自動的に行うようにすればよい。ここ
で、基準マーク１０ａ，１０ｂ同士が整合された状態で
は、図３に示すように露光フィルム１ａ，１ｂの各一対
のアライメントマーク９ａ，９ｂはパターンに対する位
置精度に起因するずれが生じている。一方、図２に示す
ように基準マーク１０ａ，１０ｂは露光フィルム１ａ，
１ｂのパターン内に設けられているため、例えばＣＡＤ
システムを用いてパターンを設計する際に同時にパター
ン内に形成することができるから、基準マーク１０ａ，
１０ｂのパターンに対する位置精度はアライメントマー
ク９ａ，９ｂのそれとは比較にならない程高くなる。し
たがって、上記のように基準マーク１０ａ，１０ｂを整
合させた状態における両露光フィルム１ａ，１ｂのパタ
ーン位置の整合の精度も非常に高くなっている。
【００１７】次に、制御部８において上記の状態におけ
る両露光フィルム１ａ，１ｂの各アライメントマーク９
ａ，９ｂの直交座標Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄと、パターンの描写
されている部分の縦寸法（基板の縦寸法に対応する寸
法）とを求め、このパターンの描写されている部分の縦
寸法により、上記直交座標Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを求めた直交
座標系を、図４に示すような上記回動の基準点を中心と
する移動枠３における直交座標系にシフト変換する。こ
こで、露光フィルム１ａ，１ｂに対するパターンの描写
位置はパターンの描写範囲の大きさに応じて変化するも
のであり、また、移動枠３及び固定枠４に対する露光フ
ィルム１ａ，１ｂの固定位置にもばらつきがある。しか
も、図５（ａ）（ｂ）に示すように露光フィルム１ａ，
１ｂに対するパターンの描写位置は、矩形状のパターン
描写範囲Ｍ1 ，Ｍ2 ，Ｍ3 の一辺を基準としていること
から、パターンの描写範囲Ｍ1 ，Ｍ2 ，Ｍ3 の寸法（基
板の寸法）によってパターンの描写範囲Ｍ1 ，Ｍ2 ，Ｍ
3 の中心と露光フィルム１ａ，１ｂの中心とが必ずしも
一致しなくなっている。そこで、上記のようにパターン
の描写範囲Ｍ1 ，Ｍ2 ，Ｍ3 の寸法（基板の寸法）を求
めて直交座標系を移動枠３における直交座標系にシフト
変換することにより、基板寸法の違いに依らずに常に移
動枠３における直交座標系（移動枠３の回動中心を中心
とする直交座標系）でのアライメントマーク９ａ，９ｂ
及び基準マーク１０ａ，１０ｂの直交座標を得ることが
できる。以降の説明での直交座標は全て移動枠３におけ
る直交座標系におけるものとする。
る両露光フィルム１ａ，１ｂの各アライメントマーク９
ａ，９ｂの直交座標Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄと、パターンの描写
されている部分の縦寸法（基板の縦寸法に対応する寸
法）とを求め、このパターンの描写されている部分の縦
寸法により、上記直交座標Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを求めた直交
座標系を、図４に示すような上記回動の基準点を中心と
する移動枠３における直交座標系にシフト変換する。こ
こで、露光フィルム１ａ，１ｂに対するパターンの描写
位置はパターンの描写範囲の大きさに応じて変化するも
のであり、また、移動枠３及び固定枠４に対する露光フ
ィルム１ａ，１ｂの固定位置にもばらつきがある。しか
も、図５（ａ）（ｂ）に示すように露光フィルム１ａ，
１ｂに対するパターンの描写位置は、矩形状のパターン
描写範囲Ｍ1 ，Ｍ2 ，Ｍ3 の一辺を基準としていること
から、パターンの描写範囲Ｍ1 ，Ｍ2 ，Ｍ3 の寸法（基
板の寸法）によってパターンの描写範囲Ｍ1 ，Ｍ2 ，Ｍ
3 の中心と露光フィルム１ａ，１ｂの中心とが必ずしも
一致しなくなっている。そこで、上記のようにパターン
の描写範囲Ｍ1 ，Ｍ2 ，Ｍ3 の寸法（基板の寸法）を求
めて直交座標系を移動枠３における直交座標系にシフト
変換することにより、基板寸法の違いに依らずに常に移
動枠３における直交座標系（移動枠３の回動中心を中心
とする直交座標系）でのアライメントマーク９ａ，９ｂ
及び基準マーク１０ａ，１０ｂの直交座標を得ることが
できる。以降の説明での直交座標は全て移動枠３におけ
る直交座標系におけるものとする。
【００１８】次に、図４に示すように各露光フィルム１
ａ，１ｂのアライメントマーク９ａ，９ｂの座標Ａ，
Ｂ，Ｃ，Ｄから、線分ＡＢの中点Ｐ1 （ｘP1，ｙP1）及
びｘ軸と線分ＡＢとの角度θ1 と、線分ＣＤの中点Ｐ2
（ｘP2，ｙP2）及びｘ軸と線分ＣＤとの角度θ2 とを制
御部８において求め、さらに、２つの線分ＡＢ，ＣＤが
なす角度θ0 （＝θ2 −θ1 ）を算出する。そして、次
式で示す１次変換により線分ＣＤの中点Ｐ2 （ｘP2，ｙ
P2）を原点の周りにθ0 だけ回転させた点Ｑ2 （ｘq2，
ｙq2）を求める。
ａ，１ｂのアライメントマーク９ａ，９ｂの座標Ａ，
Ｂ，Ｃ，Ｄから、線分ＡＢの中点Ｐ1 （ｘP1，ｙP1）及
びｘ軸と線分ＡＢとの角度θ1 と、線分ＣＤの中点Ｐ2
（ｘP2，ｙP2）及びｘ軸と線分ＣＤとの角度θ2 とを制
御部８において求め、さらに、２つの線分ＡＢ，ＣＤが
なす角度θ0 （＝θ2 −θ1 ）を算出する。そして、次
式で示す１次変換により線分ＣＤの中点Ｐ2 （ｘP2，ｙ
P2）を原点の周りにθ0 だけ回転させた点Ｑ2 （ｘq2，
ｙq2）を求める。
【００１９】
【式１】
【００２０】そして、求めた点Ｑ2 を線分ＣＤの中点Ｐ
2 に一致させるような平行移動量（Δｘ，Δｙ）を、Δ
ｘ＝ｘP2−ｘq2，Δｙ＝ｙP2−ｙq2の式から求める。し
たがって、変位機構部５に対して移動量Δｘ，Δｙ、回
動量Δθ（＝θ0 ）とする制御信号を制御部８より出力
して移動枠３の相対的な位置を変位させれば、図６に示
すように両露光フィルム１ａ，１ｂのアライメントマー
ク９ａ，９ｂを整合させることができる。言い換えれ
ば、両露光フィルム１ａ，１ｂのアライメントマーク９
ａ，９ｂが整合している状態で、上記移動量Δｘ，Δｙ
及び回動量Δθの符号を反転させた補正移動量（−Δ
ｘ，−Δｙ）及び補正回動量（−Δθ）だけ移動枠３の
位置を変位させてやれば、両露光フィルム１ａ，１ｂの
基準マーク１０ａ，１０ｂを自動的に整合させることが
できる。
2 に一致させるような平行移動量（Δｘ，Δｙ）を、Δ
ｘ＝ｘP2−ｘq2，Δｙ＝ｙP2−ｙq2の式から求める。し
たがって、変位機構部５に対して移動量Δｘ，Δｙ、回
動量Δθ（＝θ0 ）とする制御信号を制御部８より出力
して移動枠３の相対的な位置を変位させれば、図６に示
すように両露光フィルム１ａ，１ｂのアライメントマー
ク９ａ，９ｂを整合させることができる。言い換えれ
ば、両露光フィルム１ａ，１ｂのアライメントマーク９
ａ，９ｂが整合している状態で、上記移動量Δｘ，Δｙ
及び回動量Δθの符号を反転させた補正移動量（−Δ
ｘ，−Δｙ）及び補正回動量（−Δθ）だけ移動枠３の
位置を変位させてやれば、両露光フィルム１ａ，１ｂの
基準マーク１０ａ，１０ｂを自動的に整合させることが
できる。
【００２１】つまり、従来と同様にそれぞれ露光フィル
ム１ａ，１ｂが固定された移動枠３と固定枠４との間に
基板を配置し、図７に示すように固定枠４に対する移動
枠３の相対的な位置を変位させて一旦両露光フィルム１
ａ，１ｂのアライメントマーク９ａ，９ｂ同士を整合さ
せた後、上記補正移動量及び補正回動量だけ移動枠３の
位置を変位させれば、両露光フィルム１ａ，１ｂの間に
基板を配置した状態で基準マーク１０ａ，１０ｂ同士が
整合することになり、結果的に図３に示すように両露光
フィルム１ａ，１ｂのパターンの位置を高精度で整合す
ることができるのである。そして、このように基準マー
ク１０ａ，１０ｂ同士を整合させた状態を保持したまま
移動枠３，固定枠４及び基板を露光装置の露光部に搬送
し露光すれば、高精度で位置の整合が行われたパターン
を基板の表裏両面に転写することができる。あるいは、
上記整合状態で露光用の光源等を移動させて移動枠３及
び固定枠４に対向配置し露光するようにしてもよい。
ム１ａ，１ｂが固定された移動枠３と固定枠４との間に
基板を配置し、図７に示すように固定枠４に対する移動
枠３の相対的な位置を変位させて一旦両露光フィルム１
ａ，１ｂのアライメントマーク９ａ，９ｂ同士を整合さ
せた後、上記補正移動量及び補正回動量だけ移動枠３の
位置を変位させれば、両露光フィルム１ａ，１ｂの間に
基板を配置した状態で基準マーク１０ａ，１０ｂ同士が
整合することになり、結果的に図３に示すように両露光
フィルム１ａ，１ｂのパターンの位置を高精度で整合す
ることができるのである。そして、このように基準マー
ク１０ａ，１０ｂ同士を整合させた状態を保持したまま
移動枠３，固定枠４及び基板を露光装置の露光部に搬送
し露光すれば、高精度で位置の整合が行われたパターン
を基板の表裏両面に転写することができる。あるいは、
上記整合状態で露光用の光源等を移動させて移動枠３及
び固定枠４に対向配置し露光するようにしてもよい。
【００２２】なお、本実施例では整合装置が露光装置と
別体になっている場合について説明したが、露光装置に
整合装置（あるいは整合機能）が付加されている場合で
も、本発明の技術的思想を適用可能であることは言うま
でもない。
別体になっている場合について説明したが、露光装置に
整合装置（あるいは整合機能）が付加されている場合で
も、本発明の技術的思想を適用可能であることは言うま
でもない。
【００２３】
【発明の効果】請求項１の発明は、基板の表裏両面にパ
ターンを転写するための一対の露光フィルム同士の位置
を整合させる露光フィルムの整合方法であって、両露光
フィルム間に基板を配置せずに各露光フィルムのパター
ン内に設けた複数の基準マーク同士を整合し、基準マー
ク同士が整合された状態で各露光フィルムのパターン外
に設けた複数のアライメントマーク同士のずれ量を測定
し、両露光フィルム間に基板を配置した状態で一旦両露
光フィルムのアライメントマーク同士を整合した後、上
記ずれ量に基づいて両露光フィルムの基準マーク同士が
整合されるように各露光フィルムの相対的な位置を補正
するので、両露光フィルムのパターン外に設けられたア
ライメントマーク同士を整合させたときに生じる基板の
表裏両面に対する露光フィルムのパターンの位置ずれ
を、パターン内に設けられているためにパターンに対す
る位置精度が高い基準マークに基づいて補正することが
でき、基板の表裏両面に対する各露光フィルムのパター
ンの位置を精度良く整合可能な露光フィルムの整合方法
を提供することができるという効果がある。
ターンを転写するための一対の露光フィルム同士の位置
を整合させる露光フィルムの整合方法であって、両露光
フィルム間に基板を配置せずに各露光フィルムのパター
ン内に設けた複数の基準マーク同士を整合し、基準マー
ク同士が整合された状態で各露光フィルムのパターン外
に設けた複数のアライメントマーク同士のずれ量を測定
し、両露光フィルム間に基板を配置した状態で一旦両露
光フィルムのアライメントマーク同士を整合した後、上
記ずれ量に基づいて両露光フィルムの基準マーク同士が
整合されるように各露光フィルムの相対的な位置を補正
するので、両露光フィルムのパターン外に設けられたア
ライメントマーク同士を整合させたときに生じる基板の
表裏両面に対する露光フィルムのパターンの位置ずれ
を、パターン内に設けられているためにパターンに対す
る位置精度が高い基準マークに基づいて補正することが
でき、基板の表裏両面に対する各露光フィルムのパター
ンの位置を精度良く整合可能な露光フィルムの整合方法
を提供することができるという効果がある。
【００２４】請求項２の発明は、基板の表裏両面にパタ
ーンを転写するための一対の露光フィルム同士の位置を
整合させる露光フィルムの整合装置であって、各露光フ
ィルムのパターン内に複数の基準マークを設けるととも
にパターン外に複数のアライメントマークを設け、少な
くとも一方の露光フィルムをパターン面に略平行な平面
内で移動及び回動自在に保持して両露光フィルムの相対
的な位置を変位させる変位手段と、露光フィルムのパタ
ーン面に略直交する方向から基準マーク及びアライメン
トマークを撮像する撮像手段と、撮像手段の撮像画像に
基づいて両露光フィルムの基準マーク同士あるいはアラ
イメントマーク同士が整合するような変位量を求めて変
位手段を制御する制御手段とを備え、制御手段が、両露
光フィルム間に基板を配置しない状態で基準マーク同士
を整合させたときのアライメントマーク同士の整合に必
要な変位量に基づき、両露光フィルム間に基板を配置し
てアライメントマーク同士を整合させた状態から変位手
段を制御して両露光フィルムの相対的な位置を変位させ
て成るので、両露光フィルムのパターン外に設けられた
アライメントマーク同士を整合させたときに生じる基板
の表裏両面に対する露光フィルムのパターンの位置ずれ
を、パターン内に設けられているためにパターンに対す
る位置精度が高い基準マークに基づいて補正することが
でき、基板の表裏両面に対する各露光フィルムのパター
ンの位置を精度良く整合可能な露光フィルムの整合装置
を提供することができるという効果がある。
ーンを転写するための一対の露光フィルム同士の位置を
整合させる露光フィルムの整合装置であって、各露光フ
ィルムのパターン内に複数の基準マークを設けるととも
にパターン外に複数のアライメントマークを設け、少な
くとも一方の露光フィルムをパターン面に略平行な平面
内で移動及び回動自在に保持して両露光フィルムの相対
的な位置を変位させる変位手段と、露光フィルムのパタ
ーン面に略直交する方向から基準マーク及びアライメン
トマークを撮像する撮像手段と、撮像手段の撮像画像に
基づいて両露光フィルムの基準マーク同士あるいはアラ
イメントマーク同士が整合するような変位量を求めて変
位手段を制御する制御手段とを備え、制御手段が、両露
光フィルム間に基板を配置しない状態で基準マーク同士
を整合させたときのアライメントマーク同士の整合に必
要な変位量に基づき、両露光フィルム間に基板を配置し
てアライメントマーク同士を整合させた状態から変位手
段を制御して両露光フィルムの相対的な位置を変位させ
て成るので、両露光フィルムのパターン外に設けられた
アライメントマーク同士を整合させたときに生じる基板
の表裏両面に対する露光フィルムのパターンの位置ずれ
を、パターン内に設けられているためにパターンに対す
る位置精度が高い基準マークに基づいて補正することが
でき、基板の表裏両面に対する各露光フィルムのパター
ンの位置を精度良く整合可能な露光フィルムの整合装置
を提供することができるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す概略ブロック図であ
る。
る。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は同上における露光フィルム
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図３】同上の動作を説明するための説明図である。
【図４】同上の動作を説明するための説明図である。
【図５】同上の動作を説明するための説明図である。
【図６】同上の動作を説明するための説明図である。
【図７】同上の動作を説明するための説明図である。
１ａ，１ｂ 露光フィルム ２ 板体 ３ 移動枠 ４ 固定枠 ５ 変位機構部 ６1 ，６2 ＣＣＤカメラ ７ 光源 ８ 制御部 ９ａ，９ｂ アライメントマーク １０ａ，１０ｂ 基準マーク
Claims (2)
- 【請求項１】 基板の表裏両面にパターンを転写するた
めの一対の露光フィルム同士の位置を整合させる露光フ
ィルムの整合方法であって、両露光フィルム間に基板を
配置せずに各露光フィルムのパターン内に設けた複数の
基準マーク同士を整合し、基準マーク同士が整合された
状態で各露光フィルムのパターン外に設けた複数のアラ
イメントマーク同士のずれ量を測定し、両露光フィルム
間に基板を配置した状態で一旦両露光フィルムのアライ
メントマーク同士を整合した後、上記ずれ量に基づいて
両露光フィルムの基準マーク同士が整合されるように各
露光フィルムの相対的な位置を補正することを特徴とす
る露光フィルムの整合方法。 - 【請求項２】 基板の表裏両面にパターンを転写するた
めの一対の露光フィルム同士の位置を整合させる露光フ
ィルムの整合装置であって、各露光フィルムのパターン
内に複数の基準マークを設けるとともにパターン外に複
数のアライメントマークを設け、少なくとも一方の露光
フィルムをパターン面に略平行な平面内で移動及び回動
自在に保持して両露光フィルムの相対的な位置を変位さ
せる変位手段と、露光フィルムのパターン面に略直交す
る方向から基準マーク及びアライメントマークを撮像す
る撮像手段と、撮像手段の撮像画像に基づいて両露光フ
ィルムの基準マーク同士あるいはアライメントマーク同
士が整合するような変位量を求めて変位手段を制御する
制御手段とを備え、制御手段は、両露光フィルム間に基
板を配置しない状態で基準マーク同士を整合させたとき
のアライメントマーク同士の整合に必要な変位量に基づ
き、両露光フィルム間に基板を配置してアライメントマ
ーク同士を整合させた状態から変位手段を制御して両露
光フィルムの相対的な位置を変位させて成ることを特徴
とする露光フィルムの整合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16128695A JP3180004B2 (ja) | 1995-06-27 | 1995-06-27 | 露光フィルムの整合方法及び整合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16128695A JP3180004B2 (ja) | 1995-06-27 | 1995-06-27 | 露光フィルムの整合方法及び整合装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0917710A true JPH0917710A (ja) | 1997-01-17 |
| JP3180004B2 JP3180004B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=15732227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16128695A Expired - Fee Related JP3180004B2 (ja) | 1995-06-27 | 1995-06-27 | 露光フィルムの整合方法及び整合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3180004B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030055837A (ko) * | 2001-12-27 | 2003-07-04 | 한맥전자 (주) | 리드프레임인쇄회로기판용 노광기 |
| JP2006126400A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Toppan Printing Co Ltd | 両面マスクの表裏パターンずれの測定方法および両面マスクの作成方法 |
| WO2007049640A1 (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-03 | San Ei Giken Inc. | 露光方法及び露光装置 |
| CN102768475A (zh) * | 2012-07-26 | 2012-11-07 | 四川聚能核技术工程有限公司 | 曝光机对位修复系统及方法 |
| CN110196533A (zh) * | 2019-04-12 | 2019-09-03 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种对位曝光装置 |
| KR20230024113A (ko) * | 2021-08-11 | 2023-02-20 | 주식회사 에이아이더뉴트리진 | 전사필름을 이용한 미세유체장비의 제조방법 |
-
1995
- 1995-06-27 JP JP16128695A patent/JP3180004B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030055837A (ko) * | 2001-12-27 | 2003-07-04 | 한맥전자 (주) | 리드프레임인쇄회로기판용 노광기 |
| JP2006126400A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Toppan Printing Co Ltd | 両面マスクの表裏パターンずれの測定方法および両面マスクの作成方法 |
| JP4591039B2 (ja) * | 2004-10-28 | 2010-12-01 | 凸版印刷株式会社 | 両面マスクの表裏パターンずれの測定方法および両面マスクの作成方法 |
| WO2007049640A1 (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-03 | San Ei Giken Inc. | 露光方法及び露光装置 |
| CN102768475A (zh) * | 2012-07-26 | 2012-11-07 | 四川聚能核技术工程有限公司 | 曝光机对位修复系统及方法 |
| CN110196533A (zh) * | 2019-04-12 | 2019-09-03 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种对位曝光装置 |
| CN110196533B (zh) * | 2019-04-12 | 2021-07-16 | 深圳市大族数控科技股份有限公司 | 一种对位曝光装置 |
| KR20230024113A (ko) * | 2021-08-11 | 2023-02-20 | 주식회사 에이아이더뉴트리진 | 전사필름을 이용한 미세유체장비의 제조방법 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3180004B2 (ja) | 2001-06-25 |
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