JPH10329064A - 産業ロボット装置及び産業ロボットの制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 非接触認識を介して液晶ガラス基板の位置を
補正し、液晶ガラス基板の種類の相違に関わらず液晶ガ
ラス基板を、基板ホルダーの所定位置に能率よく容易に
載置できる生産性のよい産業ロボット装置を得る。 【解決手段】 産業ロボットにより液晶ガラス基板１８
を搬送し、対応したカメラ３１〜３３による非接触方式
により液晶ガラス基板１８の位置を認識する。これによ
り、液晶ガラス基板１８の品質を低下させず、また基板
ホルダーの位置認識と液晶ガラス基板１８の位置認識を
別の場所で別のカメラによって行い、液晶ガラス基板１
８の位置認識時の下側のマスクを省略することができ
る。したがって、マスクの種類による下方照明器１４〜
１６の位置を変更する段取り替えが不要になって、段取
り替えに起因する生産性の低下を防ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、産業ロボットに
より基板ホルダーの所定位置に液晶ガラス基板を載置す
る産業ロボットの制御方法及び産業ロボット装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図１１〜図１６は、従来の産業ロボット
装置を示す図で、図１１は産業ロボット装置の全体構成
を概念的に示す斜視図、図１２は図１１の産業ロボット
装置のカメラステーションでの機器構成を示す斜視図、
図１３は図１１のカメラステーションでの位置補正要領
の説明図、図１４は図１１の産業ロボット装置での位置
決め動作を説明するフローチャート、図１５は図１１の
産業ロボット装置においてマスクによって下方照明器の
光が遮りられた状態を説明する要部縦断面図、図１６は
図１５の互いに相違するマスクの形状を説明する平面図
である。

【０００３】図において、１は産業ロボット、２は産業
ロボット１の一側に対向して配置されたカメラステーシ
ョン、３は産業ロボット１の他側に対向して配置された
液晶ガラス基板カセット、４はカメラステーション２に
配置された基板ホルダーである。

【０００４】５は基板ホルダー４に設けられた位置決め
ピンからなる第一標識、６は基板ホルダー４に設けられ
た位置決めピンからなり第一標識５から離れて配置され
た第二標識、７は基板ホルダー４に設けられた位置決め
ピンからなり第一標識５及び第二標識６から離れて配置
された第三標識である。

【０００５】８は第一標識５の上方の固定部に設けられ
て第一標識５に対応する第一視野９を有する第一カメ
ラ、１０は第二標識６の上方の固定部に設けられて第二
標識６に対応する第二視野１１を有する第二カメラ、１
２は第三標識７の上方の固定部に設けられて第三標識７
に対応する第三視野１３を有する第三カメラである。

【０００６】１４は基板ホルダー４の下方の固定部に設
けられた第一下方照明器、１５は基板ホルダー４の下方
の固定部に設けられて第一下方照明器１４から離れて配
置された第二下方照明器、１６は基板ホルダー４の下方
の固定部に設けられて第一下方照明器１４及び第二下方
照明器１５から離れて配置された第三下方照明器であ
る。

【０００７】１７は基板ホルダー４の上方の固定部に設
けられた上方照明器、１８は基板ホルダー４の上に配置
された液晶ガラス基板、１９は産業ロボット１の作動
腕、２０は作動腕１９に装備されて液晶ガラス基板１８
を把持する把手である。また、図１５における２１は液
晶ガラス基板１８の所定載置位置である。

【０００８】また、図１５及び図１６における２２、２
３はそれぞれ液晶ガラス基板１８に印刷されたパターン
サイズに合わせて基板ホルダー４に配置されるマスク
で、２２は第一マスク、２３は第二マスクである。２４
は第一マスク２２の照明スポット位置、２５は第二マス
ク２３の照明スポット位置である。

【０００９】従来の産業ロボット装置は上記のように構
成され、液晶ガラス基板１８の縁部が第一視野９、第二
視野１１及び第三視野１３に配置され、第一カメラ８、
第二カメラ１０及び第三カメラ１２の三台によってそれ
ぞれの縁部が認識される。そして、把手２０によって把
持された状態の液晶ガラス基板１８の縁部が、それぞれ
第一下方照明器１４、第二下方照明器１５及び第三下方
照明器１６によって照明される。

【００１０】また、把手２０によって把持された状態の
液晶ガラス基板１８の縁部が、第一標識５、第二標識６
及び第三標識７と一緒にそれぞれ第一カメラ８、第二カ
メラ１０及び第三カメラ１２の視野に捉えられる。この
ような機器の配置により、第一標識５、第二標識６及び
第三標識７と、液晶ガラス基板１８の縁部を求めること
によって関連各所の位置の認識が行われる。なお、この
認識は第一カメラ８、第二カメラ１０及び第三カメラ１
２の三台によって三箇所について行われる。

【００１１】以上説明した機器配置によって、液晶ガラ
ス基板１８の位置補正が視覚センサによる非接触方式に
よって位置を認識し、液晶ガラス基板１８の品質を損な
うことなく基板ホルダー４の所定位置へ液晶ガラス基板
１８が載置される。なお、把手２０により液晶ガラス基
板１８を把持した状態で、産業ロボット１がカメラステ
ーション２において液晶ガラス基板１８の縁部を認識で
きる位置で停止し、基板ホルダー４の第一標識５、第二
標識６及び第三標識７と液晶ガラス基板１８位置とを同
時に認識するようになっている。

【００１２】すなわち、図１４に示すフローチャートに
おいて、ステップ１０１により基板ホルダー４がカメラ
ステーション２にセッティングされ、ステップ１０２に
より産業ロボット１によって液晶ガラス基板カセット３
から液晶ガラス基板１８が取り出される。次いで、ステ
ップ１０３により産業ロボット１によって液晶ガラス基
板１８がカメラステーション２へ搬送される。そして、
ステップ１０４へ進んでカメラステーション２にセッテ
ィングされた基板ホルダー４の第一標識５、第二標識６
及び第三標識７が認識される。

【００１３】そして、ステップ１０５により液晶ガラス
基板１８の図１３に示す基準把持位置２１が認識され
る。次いで、ステップ１０６により液晶ガラス基板１８
の基準把持位置２１と図１３に示す補正前位置２２との
補正演算処理が行われる。そして、この補正演算処理の
結果によってステップ１０７により産業ロボット１が動
作して液晶ガラス基板１８が所定位置へ載置されるよう
になっている。

【００１４】なお、液晶ガラス基板１８に印刷されたパ
ターンサイズに合わせた第一マスク２２等が基板ホルダ
ー４に配置されるが、マスク幅、マスク位置によって第
一下方照明器１４等の光が遮りられて安定した照明作用
が得られなくなる。このため、位置の認識に支障を生じ
るのでマスクの種類によって下方照明器の照明スポット
位置を印刷パターンの変更の都度、すなわち処理される
液晶ガラス基板１８の品種の変更の都度、下方照明器の
位置を変更する段取り替えが行われる。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の産
業ロボット装置において、液晶ガラス基板１８に印刷さ
れたパターンサイズに合わせたマスクが基板ホルダー４
に配置される。このときにマスクの種類によって、下方
照明器の位置を印刷パターンの変更の都度、すなわち液
晶ガラス基板１８の品種の変更の都度、下方照明器の位
置を変更する段取り替えが必要であって煩雑な手数が掛
かるという問題点があった。そして、処理される液晶ガ
ラス基板１８の品種数が多いほど段取り替えの頻度が高
くなって生産性が低下する。

【００１６】この発明は、かかる問題点を解消するため
になされたものであり、非接触認識により液晶ガラス基
板の位置を補正し、液晶ガラス基板の種類の相違に関わ
らず基板ホルダーの所定位置へ液晶ガラス基板を容易に
載置できる産業ロボットの制御方法及び産業ロボット装
置を得ることを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】この発明に係る産業ロボ
ット装置においては、液晶ガラス基板を搬送して基板ホ
ルダーの所定位置に載置する産業ロボットと、基板ホル
ダーに設けられた位置決め標識を認識する標識認識場所
の基板ホルダーの上方位置に設けられた上方照明器及び
複数台からなる固定式の基板ホルダー用カメラと、液晶
ガラス基板の位置を認識する位置認識場所の液晶ガラス
基板の上方位置に設けられた複数台からなる固定式の液
晶ガラス基板用カメラ及び液晶ガラス基板の下方位置に
設けられた下方照明器と、産業ロボットが液晶ガラス基
板を把持した状態で液晶ガラス基板の把持位置認識を指
令すると共に、この把持位置認識結果と基板ホルダーの
位置決め標識認識位置との差異補正動作を産業ロボット
に指令する制御装置とが設けられる。

【００１８】また、この発明に係る産業ロボット装置の
制御方法においては、標識認識場所の上方位置に配置さ
れて基板ホルダーに設けられた位置決め標識を複数台か
らなる固定式の基板ホルダー用カメラによって認識し
て、基板ホルダーの載置基板ホルダー位置と基板ホルダ
ー基準位置との位置ずれを認識し、かつ位置認識場所の
上方位置に配置されて液晶ガラス基板の位置を複数台か
らなる固定式の液晶ガラス基板用カメラによって認識し
て、液晶ガラス基板が産業ロボットによって把持された
状態での液晶ガラス基板把持位置と液晶ガラス基板基準
位置との位置ずれを認識し、基板ホルダーの位置ずれ認
識及び液晶ガラス基板の位置ずれ認識に基づいて産業ロ
ボットを制御して基板ホルダーの所定位置に液晶ガラス
基板を載置する制御が行われる。

【００１９】また、この発明に係る産業ロボット装置の
制御方法においては、産業ロボットにより基板ホルダー
を標識認識場所に載置し、続いて産業ロボットによる液
晶ガラス基板の取り出しを指令し、その取り出し動作中
に、標識認識場所に配置された基板ホルダーの載置基板
ホルダー位置における基板ホルダーの位置決め標識の位
置認識が行われる。

【００２０】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．図１〜図１０は、この発明の実施の形態
の一例を示す図で、図１は産業ロボット装置の全体構成
を概念的に示す斜視図、図２は図１の産業ロボット装置
の機器の電気的接続を示す回路図、図３は図１の産業ロ
ボット装置の位置認識場所での機器構成を示す斜視図、
図４は図１の産業ロボット装置の標識認識場所での機器
構成を示す斜視図である。

【００２１】また、図５は図３の位置認識場所での位置
補正要領の説明図、図６は図４の標識認識場所での位置
補正要領の説明図、図７は図５及び図６の他の位置補正
要領の説明図、図８は図５における液晶ガラス基板の縁
部認識位置の説明図、図９は図６における基板ホルダー
の標識認識位置の説明図、図１０は図１の産業ロボット
装置での位置決め動作を説明するフローチャートであ
る。

【００２２】図において、１は産業ロボット、２６は産
業ロボット１の一側に対向して配置された第一カメラス
テーションからなる標識認識場所、３は産業ロボット１
の他側に対向して配置された液晶ガラス基板カセット、
４は標識認識場所２６に配置された基板ホルダーであ
る。

【００２３】５は基板ホルダー４に設けられた位置決め
ピンからなる第一標識、６は基板ホルダー４に設けられ
た位置決めピンからなり第一標識５から離れて配置され
た第二標識、７は基板ホルダー４に設けられた位置決め
ピンからなり第一標識５及び第二標識６から離れて配置
された第三標識である。

【００２４】２７は第一標識５の上方の固定部に設けら
れて第一標識５に対応する第一視野９を有する第一基板
ホルダー用カメラ、２８は第二標識６の上方の固定部に
設けられて第二標識６に対応する第二視野１１を有する
第二基板ホルダー用カメラ、２９は第三標識７の上方の
固定部に設けられて第三標識７に対応する第三視野１３
を有する第三基板ホルダー用カメラである。

【００２５】３０は産業ロボット１の一側に対向し、か
つ標識認識場所２６に隣接して配置された第二カメラス
テーションからなる位置認識場所、１４は位置認識場所
３０の後述する液晶ガラス基板の下方の固定部に設けら
れた第一下方照明器、１５は位置認識場所３０の後述す
る液晶ガラス基板の下方の固定部に設けられて第一下方
照明器１４から離れて配置された第二下方照明器、１６
は位置認識場所３０の後述する液晶ガラス基板の下方の
固定部に設けられて第一下方照明器１４及び第二下方照
明器１５から離れて配置された第三下方照明器である。

【００２６】１７は基板ホルダー４の上方の固定部に設
けられた上方照明器、１８は位置認識場所３０に配置さ
れた液晶ガラス基板、１９は産業ロボット１の作動腕、
２０は作動腕１９に装備されて液晶ガラス基板１８を把
持する把手である。

【００２７】３１は位置認識場所３０の上方の固定部に
設けられて第一下方照明器１４に対応して配置された第
一液晶ガラス基板用カメラ、３２は位置認識場所３０の
上方の固定部に設けられて第二下方照明器１５に対応し
て配置された第二液晶ガラス基板用カメラ、３３は位置
認識場所３０の上方の固定部に設けられて第三下方照明
器１６に対応して配置された第三液晶ガラス基板用カメ
ラである。

【００２８】３４は産業ロボット１に接続された制御装
置、３５は画像処理装置で、第一基板ホルダー用カメラ
２７、第二基板ホルダー用カメラ２８、第三基板ホルダ
ー用カメラ２９、第一液晶ガラス基板用カメラ３１、第
二液晶ガラス基板用カメラ３２、第三液晶ガラス基板用
カメラ３３及び制御装置３４に接続されている。３６は
画像処理装置３５に接続されたＴＶモニターである。

【００２９】３７は液晶ガラス基板基準位置、３８は液
晶ガラス基板基準位置３７における液晶ガラス基板把持
位置である。また、３９は第一液晶ガラス基板用カメラ
３１の第一カメラ座標系、４０は第二液晶ガラス基板用
カメラ３２の第二カメラ座標系、４１は第三液晶ガラス
基板用カメラ３３の第三カメラ座標系、４２は原点座標
系である。

【００３０】４３は基板ホルダー基準位置、４４は基板
ホルダー基準位置４３における載置基板ホルダー位置、
４５は産業ロボット１のフランジ、４６は液晶ガラス基
板用カメラの第一カメラ視野、４７は中点位置、４８は
液晶ガラス基板１８の縁部直線、４９は第一基板ホルダ
ー用カメラ２７の第一視野９に対応した認識視野、５０
は認識視野４９における第一標識５の映像、５１は標識
５０と認識視野４９の下部接線との交点で、第一標識５
の認識位置である。

【００３１】上記のように構成された産業ロボット装置
において、標識認識場所２６における基板ホルダー４の
上方に、上方照明器１７、第一基板ホルダー用カメラ２
７、第二基板ホルダー用カメラ２８及び第三基板ホルダ
ー用カメラ２９が配置される。また、位置認識場所３０
における液晶ガラス基板１８の上方に、第一液晶ガラス
基板用カメラ３１、第二液晶ガラス基板用カメラ３２及
び第三液晶ガラス基板用カメラ３３が配置される。

【００３２】そして、第一下方照明器１４、第二下方照
明器１５及び第三下方照明器１６よって把手１９に把持
された状態の液晶ガラス基板１８の縁部が下方から照明
される。これによって、液晶ガラス基板１８の位置認識
を行うときに、産業ロボット１によって液晶ガラス基板
１８が把持された状態で、液晶ガラス基板１８の把持位
置を認識する。

【００３３】なお、第一下方照明器１４等は対応したカ
メラによって撮影するため液晶ガラス基板１８を適宜に
照明する。そして、この照明は透過式照明であって液晶
ガラス基板１８の透明縁部を明るく照明する。また、第
一下方照明器１４等は液晶ガラス基板１８面に対して斜
光となり、しかも適当な照度を有する例えばファイバー
式の照明器が使用される。

【００３４】また、位置認識については液晶ガラス基板
１８の位置を産業ロボット１に教示するときに予め認識
させて、基準認識位置を記録させておく。同様に基板ホ
ルダー４についても基板ホルダー４の位置を産業ロボッ
ト１に教示するときに予め認識させて、基準認識位置を
記録させておく。そして、液晶ガラス基板１８及び基板
ホルダー４の位置に対して、それぞれの基準認識位置に
対するずれ量が補正される。

【００３５】以上のような構成により、液晶ガラス基板
１８の位置認識時に下側にマスクが存在しないので、マ
スクの種類によって下方照明器による照明作用が損なわ
れることはない。そして、液晶ガラス基板１８及び基板
ホルダー４の位置に対して、それぞれの基準認識位置に
対するずれ量が、図５〜図７に示す補正方式の原理によ
って補正される。

【００３６】すなわち、基板ホルダー４の第一標識５等
の位置、液晶ガラス基板１８の縁部位置を対応したカメ
ラで撮影した画像を処理すことにより求められる。そし
て、対応したカメラによる位置撮影は標識認識場所２
６、位置認識場所３０においてそれぞれ行われる。そし
て、位置認識及び基準認識位置に対する差異量補正が次
に述べるように行われる。

【００３７】すなわち、図３において第一液晶ガラス基
板用カメラ３１等の視野内に液晶ガラス基板１８の縁部
が置かれたときに、第一下方照明器１４等により液晶ガ
ラス基板１８面に対して斜に透過光を当てる。これによ
り、上方から見ると液晶ガラス基板１８の縁部が光って
見える。

【００３８】そして、この光った縁部を画像処理するこ
とによって液晶ガラス基板１８縁部の位置を求めること
ができる。なお、第一液晶ガラス基板用カメラ３１の視
野４６を示す図８において、液晶ガラス基板１８の縁部
直線２８を二等分した中点位置４７を第一液晶ガラス基
板用カメラ３１の認識位置とする。

【００３９】また、第一下方照明器１４等はハロゲン灯
のように比較的に高い照度が得られるが、照明光は局部
に限定されるような照明器が使用される。これにより、
液晶ガラス基板１８縁部を第一液晶ガラス基板用カメラ
３１等で撮影する場合に、上方照明器１７に影響される
ことなく、液晶ガラス基板１８縁部と他の部分とのコン
トラストを確保することができる。すなわち、Ｓ／Ｎ比
がよく安定した画像処理を行うことができる。

【００４０】上記の状況と同様に、第二液晶ガラス基板
用カメラ３２と第二下方照明器１５、第二液晶ガラス基
板用カメラ３３と第三下方照明器１６により、それぞれ
対応した液晶ガラス基板１８縁部を局部的に検定する。
そして、第一液晶ガラス基板用カメラ３１による位置検
定と合わせて三箇所を検定することによって、産業ロボ
ット１が把持している液晶ガラス基板１８の位置が認識
される。

【００４１】また、図４において基板ホルダー４に第一
標識５、第二標識６及び第三標識７が設けられる。ま
た、標識認識場所２６に基板ホルダー４の第一標識５等
の位置認識のために、それぞれの標識の上方に第一基板
ホルダー用カメラ２７、第二基板ホルダー用カメラ２８
及び第三基板ホルダー用カメラ２９が設けられる。そし
て、第一基板ホルダー用カメラ２７等にはそれぞれ第一
視野９、第二視野１１及び第三視野１３が設定される。

【００４２】そして、例えば図９に示す第一基板ホルダ
ー用カメラ２７の第一視野９に対応した認識視野４９に
おいて、第一標識５の映像５０と認識視野４９の下部の
接線との交点５１を第一標識５の認識位置とする。ま
た、第一基板ホルダー用カメラ２７等による撮影のため
の上方照明器１７が配置される。

【００４３】そして、図７に示す状態によって位置補正
前の液晶ガラス基板１８が位置補正されて、第一標識
５、第二標識６及び第三標識７の三点に接する状態に配
置される。すなわち、求める補正ベクトルはＨＯＳであ
り、産業ロボット１のフランジ４５位置からの補正ベク
トルである。

【００４４】また、基板ホルダー４の補正ベクトルをＨ
ＯＳＧ、液晶ガラス基板１８の補正ベクトルをＨＯＳＴ
とする。そして、液晶ガラス基板１８の教示位置をＬＴ
Ｅ、ここから目的位置までの相対位置、すなわち液晶ガ
ラス基板１８を第一標識５、第二標識６及び第三標識７
位置に載置する位置をＬＴＰとする。

【００４５】ＨＯＳ＝ＨＯＳＴ^-1：ＬＴＰ^-1：ＨＯＳＧ 産業ロボット１の目的位置は ＬＧＲ＝ＬＳＦ：ＨＯＳ となる。

【００４６】また、図５において、液晶ガラス基板基準
位置３７は液晶ガラス基板１８を始めに産業ロボット１
により基準位置として教示しておく位置である。また、
液晶ガラス基板把持位置３８は位置補正対象となる産業
ロボット装置の運転時に供給される補正対象となる液晶
ガラス基板１８位置である。

【００４７】そして、液晶ガラス基板把持位置３８は産
業ロボット１により荷扱いした状態で画像認識を行い、
長方形である液晶ガラス基板１８縁部の三点を位置認識
する。これにより、液晶ガラス基板１８の隅部位置を求
めることができる。このようにして、非接触方式によっ
て補正動作を行うことができる。なお、ここで求める補
正ベクトルはＨＯＳＴである。

【００４８】また、図５の補正ベクトルはＨＯＳＴを回
転成分θと平行移動成分ａ，ｂとに分解する。一般式
（二次元）として、例えばベクトルはＨＯＳＴは

【数１】

【００４９】

【数２】 とする。なお、ＨＯＳＴは回転、平行移動を同時にあら
わすベクトルとする。また、θはＣＴＥ₁ とＨＬＥ₁ と
の間の角度であらわされる。

【数３】

【００５０】ここで、液晶ガラス基板１８の把持位置か
ら基準位置までの補正ベクトルは ＨＯＳＴ＝ＨＬＥ₁ ^-1：ＣＬＥ₁ ^-1：ＣＴＥ₁ ：ＨＴＥ₁ （式４） であらわされる。また、ＨＬＥ₁ 、ＨＴＥ₁ は ＨＬＥ₁ ＝ｍ×（ＬＣ₁ ^-1：ＣＬＥ₁ ^-1：ＣＬＥ₂ ：ＬＣ₂ ） （式５） ここに、ｍ：実数 ＨＴＥ₁ ＝ｎ×（ＬＣ₁ ^-1：ＣＴＥ₁ ^-1：ＣＴＥ₂ ：ＬＣ₂ ） （式６） ここに、ｎ：実数を得る。

【００５１】なお、ＨＬＥ₁ とＨＴＥ₁ は、液晶ガラス
基板１８の隅部が直角である条件において ＨＬＥ₁ ・ＨＬＥ₂ ＝０ （式７） ＨＴＥ₁ ・ＨＴＥ₂ ＝０ （式８） を得る。

【００５２】また、ＣＬＥ₃ からＨＬＥ₁ のあらわす直
線に降ろした垂線の足を求めることによってＨＬＥ₁ を
求めることができる。また、ＨＴＥ₁ についても同様に
求めることができる。さらに、 ＨＬＥ₂ ＝ＬＣ₃ ^-1：ＣＬＥ₃ ^-1：ＬＣ₁ ：ＣＬＥ₁ ：ＨＬＣ₁ ）（式９） ＨＴＥ₂ ＝ＬＣ₃ ^-1：ＣＴＥ₃ ^-1：ＬＣ₁ ：ＣＴＥ₁ ：ＨＴＣ₁ ）（式１０） を得る。

【００５３】また、図６において、基板ホルダー基準位
置４３、基板ホルダー基準位置４３に対応した載置基板
ホルダー位置４４に対して、教示時に使用する基板ホル
ダー４によって第一標識５、第二標識６及び第三標識７
の位置を認識することにより基板ホルダー基準位置４３
を認識しておく。また、ＨＯＳＧは載置基板ホルダー位
置４４から基板ホルダー基準位置４３への補正ベクトル
をあらわす。

【００５４】そして、図５の基板ホルダー４位置の補正
ベクトルと同じように、 ＨＯＳＧ＝ＨＴＰ₁ ^-1：ＣＴＰ₁ ^-1：ＣＬＰ₁ ：ＨＬＰ₁ （式１１） を得る。そして、以上説明したような補正方式の原理に
よって、図１０に示すフローチャートの動作により、基
準認識位置に対するずれ量が補正される。

【００５５】すなわち、ステップ２０１により基板ホル
ダー４が標識認識場所２６に載置され、ステップ２０２
により産業ロボット１によって液晶ガラス基板カセット
３から液晶ガラス基板１８が取り出される。この間に、
ステップ２０３により基板ホルダー４の第一標識５、第
二標識６及び第三標識７が認識される。これによって、
産業ロボット装置における処理進行が促進されて能率を
向上することができる。次いで、ステップ２０４へ進ん
で液晶ガラス基板１８が位置認識場所３０へ搬送され
る。

【００５６】そして、ステップ２０５へ進み液晶ガラス
基板把持位置３８の認識が行われ、ステップ２０６によ
り液晶ガラス基板把持位置３８と液晶ガラス基板基準位
置３７との補正演算処理が行われる。そして、この補正
演算処理の結果によってステップ２０７により産業ロボ
ット１が動作して液晶ガラス基板１８が所定位置へ載置
される。

【００５７】なお、図１及び図２の装置構成は、一枚の
液晶ガラス基板１８を載置する構成である。しかし、例
えば図１に示すように液晶ガラス基板１８をそれぞれ一
枚ずつ二台の産業ロボットで搬送して載置する構成のと
きには、二組の標識認識場所２６、位置認識場所３０が
必要になる。この構成は図２の機器の電気的接続を示す
回路図における六台のカメラに対し、位置認識場所３０
のカメラを兼用するとして九台のカメラが配置される。

【００５８】

【発明の効果】この発明は以上説明したように、液晶ガ
ラス基板を搬送して基板ホルダーの所定位置に載置する
産業ロボットと、基板ホルダーに設けられた位置決め標
識を認識する標識認識場所の基板ホルダーの上方位置に
設けられた上方照明器及び複数台からなる固定式の基板
ホルダー用カメラと、液晶ガラス基板の位置を認識する
位置認識場所の液晶ガラス基板の上方位置に設けられた
複数台からなる固定式の液晶ガラス基板用カメラ及び液
晶ガラス基板の下方位置に設けられた下方照明器と、産
業ロボットが液晶ガラス基板を把持した状態で液晶ガラ
ス基板の把持位置認識を指令し、この把持位置認識結果
と基板ホルダーの位置決め標識認識位置との差異補正動
作を産業ロボットに指令する制御装置とを設けたもので
ある。

【００５９】これによって、液晶ガラス基板用カメラに
よる非接触方式により液晶ガラス基板の位置を認識する
ので液晶ガラス基板の品質を低下させることがない。ま
た、基板ホルダーの位置認識と液晶ガラス基板の位置認
識が別の場所で別のカメラによって行われるので、液晶
ガラス基板の位置認識時に下側にマスクが存在しない。
したがって、マスクの種類によって下方照明器の位置を
変更する段取り替えが不要になり、生産性を向上する効
果がある。特に、液晶ガラス基板の品種数が多い場合の
段取り替えに起因する生産性の低下を防ぐ効果がある。

【００６０】また、この発明は以上説明したように、標
識認識場所の上方位置に配置されて基板ホルダーに設け
られた位置決め標識を複数台からなる固定式の基板ホル
ダー用カメラによって認識して、基板ホルダーの載置基
板ホルダー位置と基板ホルダー基準位置との位置ずれを
認識し、かつ位置認識場所の上方位置に配置されて液晶
ガラス基板の位置を複数台からなる固定式の液晶ガラス
基板用カメラによって認識して、液晶ガラス基板が産業
ロボットによって把持された状態での液晶ガラス基板把
持位置と液晶ガラス基板基準位置との位置ずれを認識
し、基板ホルダーの位置ずれ認識及び液晶ガラス基板の
位置ずれ認識に基づいて産業ロボットを制御して基板ホ
ルダーの所定位置に液晶ガラス基板を載置する制御を行
うものである。

【００６１】これによって、基板ホルダーの位置ずれ認
識及び液晶ガラス基板の位置ずれ認識がそれぞれに行わ
れる。そして、基板ホルダー基準位置及び液晶ガラス基
板基準位置がそれぞれ教示されるので、教示位置に対す
る補正量を小さく設定することができる。したがって、
位置補正の精度が向上し液晶ガラス基板の品質を安定化
する効果がある。

【００６２】また、この発明は以上説明したように、産
業ロボットにより基板ホルダーを標識認識場所に載置
し、続いて産業ロボットによる液晶ガラス基板の取り出
しを指令し、その取り出し動作中に、標識認識場所に配
置された基板ホルダーの載置基板ホルダー位置における
基板ホルダーの位置決め標識の位置認識を行うものであ
る。

【００６３】これによって、産業ロボットによる液晶ガ
ラス基板の取り出し動作中に、標識認識場所に載置され
た基板ホルダーの位置決め標識の位置認識が行われる。
したがって、産業ロボット装置における処理進行を促進
することができて処理時間を短縮することができ、処理
能率が向上して費用を低減する効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１を示す図で、産業ロ
ボット装置の全体構成を概念的に示す斜視図。

【図２】 図１の産業ロボット装置の機器の電気的接続
を示す回路図。

【図３】 図１の産業ロボット装置の位置認識場所での
機器構成を示す斜視図。

【図４】 図１の産業ロボット装置の標識認識場所での
機器構成を示す斜視図。

【図５】 図３の位置認識場所での位置補正要領の説明
図。

【図６】 図４の標識認識場所での位置補正要領の説明
図。

【図７】 図３及び図４の他の位置補正要領の説明図。

【図８】 図５における液晶ガラス基板の縁部認識位置
の説明図。

【図９】 図６における基板ホルダーの標識認識位置の
説明図。

【図１０】 図１の産業ロボット装置での位置決め動作
を説明するフローチャート。

【図１１】 従来の産業ロボット装置を示す図で、産業
ロボット装置の全体構成を概念的に示す斜視図。

【図１２】 図１１の産業ロボット装置のカメラステー
ションでの機器構成を示す斜視図。

【図１３】 図１１のカメラステーションでの位置補正
要領の説明図。

【図１４】 図１１の産業ロボット装置での位置決め動
作を説明するフローチャート。

【図１５】 図１１の産業ロボット装置においてマスク
によって下方照明器の光が遮りられた状態を説明する要
部縦断面図。

【図１６】 図１５の互いに相違するマスクの形状を説
明する平面図。

【符号の説明】

１ 産業ロボット、４ 基板ホルダー、５ 第一標識、
６ 第二標識、７ 第三標識、１４ 第一下方照明器、
１５ 第二下方照明器、１６ 第三下方照明器、１７
上方照明器、１８ 液晶ガラス基板、２６ 標識認識場
所、２７ 第一基板ホルダー用カメラ、２８ 第二基板
ホルダー用カメラ、２９ 第三基板ホルダー用カメラ、
３０ 位置認識場所、３１ 第一液晶ガラス基板用カメ
ラ、３２第二液晶ガラス基板用カメラ、３３ 第三液晶
ガラス基板用カメラ、３４ 制御装置、３７ 液晶ガラ
ス基板基準位置、３８ 液晶ガラス基板把持位置、４３
基板ホルダー基準位置、４４ 載置基板ホルダー位置。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶ガラス基板を搬送して基板ホルダー
   の所定位置に載置する産業ロボットと、上記基板ホルダ
   ーに設けられた位置決め標識を認識する標識認識場所の
   上記基板ホルダーの上方位置に設けられた上方照明器及
   び複数台からなる固定式の基板ホルダー用カメラと、上
   記液晶ガラス基板の位置を認識する位置認識場所の上記
   液晶ガラス基板の上方位置に設けられた複数台からなる
   固定式の液晶ガラス基板用カメラ及び上記液晶ガラス基
   板の下方位置に設けられた下方照明器と、上記産業ロボ
   ットが上記液晶ガラス基板を把持した状態で上記液晶ガ
   ラス基板の把持位置認識を指令し、この把持位置認識結
   果と上記基板ホルダーの位置決め標識認識位置との差異
   補正動作を上記産業ロボットに指令する制御装置とを備
   えた産業ロボット装置。
2. 【請求項２】 標識認識場所の上方位置に配置されて基
   板ホルダーに設けられた位置決め標識を複数台からなる
   固定式の基板ホルダー用カメラによって認識して、上記
   基板ホルダーの載置基板ホルダー位置と基板ホルダー基
   準位置との位置ずれを認識し、かつ位置認識場所の上方
   位置に配置されて液晶ガラス基板の位置を複数台からな
   る固定式の液晶ガラス基板用カメラによって認識して、
   上記液晶ガラス基板が産業ロボットによって把持された
   状態での液晶ガラス基板把持位置と液晶ガラス基板基準
   位置との位置ずれを認識し、上記基板ホルダーの位置ず
   れ認識及び上記液晶ガラス基板の位置ずれ認識に基づい
   て上記産業ロボットを制御して上記基板ホルダーの所定
   位置に上記液晶ガラス基板を載置する産業ロボットの制
   御方法。
3. 【請求項３】 産業ロボットにより基板ホルダーを標識
   認識場所に載置し、続いて上記産業ロボットによる液晶
   ガラス基板の取り出しを指令し、その取り出し動作中
   に、上記標識認識場所に配置された上記基板ホルダーの
   載置基板ホルダー位置における上記基板ホルダーに設け
   られた位置決め標識の位置認識を行うことを特徴とする
   請求項２記載の産業ロボットの制御方法。