JP3770074B2 - メタルマスクアライメント装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は液晶基板製造搬送ラインにおいてガラス基板とメタルマスクとを精度良く重ね合わせるためのメタルマスクアライメント装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
液晶基板製造搬送ラインにおいて、ガラス基板をスパッタ装置等の処理装置へ投入する場合、ガラス基板とメタルマスクとを精度良く重ね合せてから搬送する必要がある。メタルマスクの形状は、1枚のガラス基板のサイズや取枚数により、抜きパターンが決められていて、田の字状や目の字状のものが準備される。材質としては42アロイ(42%Ni−Fe合金)、板厚0.25mmのものが一般に用いられる。
メタルマスクを位置決めする従来のアライメント装置として図15に示すものが、また、ガラス基板やメタルマスクを取り扱うロボットハンドとして図16、図17に示すものがある。
図において、1は田の字状のメタルマスク、2はメタルマスク1を載置するためのマスクプレートである。3はガラス基板、4はマグネットホルダで磁気を帯びた板状の部材からなる。なお、メタルマスク1とガラス基板3のサイズは同一として以下に説明する。7はフレームでマスクプレート2を固定するものである。60はメタルマスク1の対角方向の2個所に設けられたシリンダで、60aはその固定端、60bはその可動端である。固定端60aはフレーム7に固定され、可動端60bには2個の位置決めピン61がそれぞれ固定される。50は搬送装置51の先端に固定されるロボットハンドで以下の部品からなる。52はハンド本体である。53はホルダ吸着パッドで、ハンド本体52に対して上下動可能に構成され、マグネットホルダ4を吸着し、上下方向に移動させるものである。54はガラス吸着パッドで、ハンド本体52に固定され、ガラス基板3を吸着するものである。
【0003】
このような従来のアライメント装置においてメタルマスク1の位置決めを行なう場合について説明する。図16に示すように、位置決めの済んでいないメタルマスク1、ガラス基板3、マグネットホルダ4を一体化したものを、搬送装置51に固定されたロボットハンド50を移動し、マスクプレート2上に位置させる。次にホルダ吸着パッド53を上方に移動させると、マグネットホルダ4はガラス基板3から離れ、ガラス基板3に磁力により装着されていたメタルマスク1は、ガラス基板3から離れてマスクプレート2上に落下する。次にシリンダ60は、その可動端60bに固定された2個の位置決めピン61を、そのストロークエンドで停止する位置まで押し付ける。メタルマスク1は、対角上において2個の位置決めピン61に挟み込まれ位置決めが行われる。メタルマスク1の位置決め後は、位置決めピン61を後退させて、ロボットハンド50により、ガラス基板3をメタルマスク1上に載置する。なお、ガラス基板3とロボットハンド50との位置決めを、例えば特開平10−329064号公報のように別のステージで行なっておくことにより、少なくともガラス基板3を精度良く認識させることができる。重ね合せ後は、ホルダ吸着パッド53で吸着したマグネットホルダ4をガラス基板3に向けて下降させると、その磁力によりガラス基板3を挟んでメタルマスク1が吸着される。これにより、メタルマスク1、マグネットホルダ4およびガラス基板3が位置決めされ一体化されて、搬送装置51により次の処理工程へと搬送される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来のアライメント装置では、位置決めピン61をメタルマスク1を対角上において、シリンダ60のストロークエンドまで押し付けて位置決めするため、メタルマスク1の寸法が大きいとメタルマスク1がたわんで浮き上がり、ガラス基板3を載置するために位置決めピン61を後退させたとき、メタルマスク1の位置がずれる現象が発生する。またメタルマスク1の寸法が小さいと押し付け不足が発生して、一方の位置決めピン61のみが接触して位置決めされる。このため、メタルマスク1とガラス基板3との間で、正確な位置決めができないという問題点があった。
さらに、位置決めのためメタルマスクをマスクプレート上で滑らせるために、発塵を起こし、後の処理工程において不良を発生させる原因にもなっていた。
【0005】
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたもので、メタルマスクを浮き上がらせることなく、また発塵を抑えて、正確な位置決めが可能なアライメント装置を得ることを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
この発明に係わるメタルマスクアライメント装置は、メタルマスクの位置およびガラス基板の位置を位置検出手段により認識し、メタルマスクの位置およびガラス基板の位置が認識できた場合は、その認識結果からメタルマスクとガラス基板との間の位置補正量を算出し、また、メタルマスクの位置が認識でき、ガラス基板の位置が認識ができなかった場合には、搬送装置に把持されるガラス基板の位置と認識されたメタルマスクの位置とから位置補正量を算出し、算出された位置補正量により、マスクプレート上に載置されたメタルマスクの位置を位置決めテーブルで補正し、または、搬送手段に把持されるガラス基板の位置を補正し、または、メタルマスクとガラス基板の双方の位置を補正して、ガラス基板とメタルマスクとを重ね合わせるように構成したものである。
【0011】
この発明に係わるメタルマスクアライメント装置は、メタルマスクあるいはガラス基板のエッジ部分の位置検出手段を、カメラ、照明装置、画像処理装置からなる画像認識により構成したものである。
【0012】
この発明に係わるメタルマスクアライメント装置は、位置検出手段の設置位置に対応して、マスクプレートに切欠きを設けたものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1であるメタルマスクアライメント装置の斜視図、図2はメタルマスクの位置認識を説明する側面図、図3はメタルマスクとカメラの配置を示す平面図、図4はこの装置の制御回路を示すブロック図である。図5はメタルマスクとガラス基板の関係位置と補正方法を説明する平面図、図6はカメラの視野を表す図、図7は一連の動作を示すフローチャートである。
図において、1はメタルマスク、2はマスクプレート、3はガラス基板、4はマグネットホルダで従来と同様のものである。5は位置決めテーブルで、商品名「アライメントステージ」と呼ばれるTHK社製のもので、6a〜6cの3個のモータの制御により、XY方向への少量移動とθ方向(XY平面内での回転方向を示す)の少量回転を行わせるものである。また位置決めテーブル5の下面は、フレーム7の上面に固定され、位置決めテーブル5の上面にはマスクプレート2が固定される。8は、メタルマスク1のエッジ部分の画像を取り込むためのカメラで、図3に示すように、カメラ基準点41から距離D1、D2、D3で示す位置に配置される。C1、C2、C3は各カメラ8の視野中心点を示し、それぞれの座標を(x1,y1)、(x2,y2)、(x3,y3)で表す。視野中心点C1、C2およびカメラ基準点41を結ぶ直線は、位置決めテーブル5のX方向移動と平行に設定され、また、視野中心点C3とカメラ基準点41を結ぶ直線は、位置決めテーブル5のY方向移動と平行に設定される。また図3における二点鎖線は、3種類のメタルマスク1とガラス基板3の外形サイズを表していて、カメラ8の相互間の距離D1、D2、D3は、最小寸法のメタルマスク1に合わせて決定されている。9はカメラ8により位置認識のため、取り込み画像のコントラストを上げる透過照明で、各カメラ8に対向して位置決めテーブル5の上方に設けられる。透過照明9は、位置認識時は位置決めテーブル5の上方に位置し、メタルマスク1またはガラス基板3の搬出入時には後退するように設けて、ロボットハンド50と干渉しないように構成されている。なお、透過照明9は、搬出入時にロボットハンド50と干渉しない位置があれば固定しておいてもよい。2aは切欠きで、透過照明9の光を遮蔽することなく、メタルマスク1のエッジ部分の画像を取得するために、マスクプレート2の一部に設けられる。20は画像処理装置で、カメラ8により取得した画像からメタルマスク1の位置情報を取得するものである。30は制御ユニットで、画像処理装置20により取得したメタルマスク1の位置情報を処理し、位置決めテーブル5の補正量を算出し、位置決めテーブル5を駆動制御するものである。以下制御ユニット30の各ブロックについて説明する。31は位置決めユニットで、位置決めテーブル5に設けられたモータ6を駆動制御するためのサーボアンプを有する。32はCPUユニットで、制御ユニット30内の制御や画像処理装置20からの位置情報をもとに、位置補正量などの演算処理を行ったり、位置決めユニット31への移動指令を与えるものである。33は第一通信ユニットで、画像処理装置20からの位置情報を受信するものである。34は第二通信ユニットで、搬送装置51等の周辺装置間の制御信号の授受を行うものである。カメラ8の視野中心点C1、C2、C3の位置情報は補正量算出のため、予め制御ユニット30に記憶される。
図5における二点鎖線は、メタルマスク1およびガラス基板3が同一寸法の場合の基準位置を示し、メタルマスク1の端面1aおよびガラス基板3の端面3aは位置決めテーブル5のX方向移動と平行に設定される。40は、位置決め目標であるメタルマスク1のコーナ部分の基準点であり、搬送装置51に把持されるガラス基板3のコーナの基準点でもある。O1、O2、O3は、メタルマスク1の基準位置から算出される各カメラ8の認識点で、それぞれの座標を(x7,y7)、(x8,y8)、(x9,y9)で表す。M1、M2、M3は、各カメラ8により実際に認識されるメタルマスク1の認識点で、(x4,y4)、(x5,y5)、(x6,y6)で表す。41は実際に載置されたメタルマスク1のコーナ点を示し、認識点M1、M2、M3から算出される点である。ΔX、ΔYは基準点40と演算により求められるメタルマスク1のコーナ点41とのX方向およびY方向の相対ずれ量、Δθは認識点M1、M2から求められる補正傾斜角度を示す。
【0014】
以上のように構成されたアライメント装置の動作について説明する。
アライメント装置へのメタルマスク1の搬送と載置は、従来の技術で説明した図15と同じように行われる。まず、搬送装置51によりメタルマスク1、ガラス基板3、マグネットホルダ4を一体化した状態でマスクプレート2上の所定位置まで搬送し、次にホルダ吸着パッド53を上昇させて、マグネットホルダ4をガラス基板3から引き離し、マグネットホルダ4の磁気により保持されていたメタルマスク1を、ロボットハンド50から落下させて載置する(ステップ1)。マスクプレート2上に載置されたメタルマスク1のエッジ部分は、3台のカメラ8によって画像が取り込まれ、画像処理装置20により各カメラ8の画像情報が取得される(ステップ2)。取得された画像情報は、第一通信ユニット33に送られた後、CPUユニット32において、画像情報から得られた認識点M1、M2、M3の座標を基に、メタルマスク1のコーナ点41と点M1とM2を通る直線から補正角度Δθとが求められる。
【0015】
以下に補正量ΔX、ΔY、Δθを求める方法について、図8を用いて説明する。図において、点Pa、Pb、Pcは、カメラ8による認識点で、それぞれの座標を(xa,ya)、(xb,yb)、(xc,yc)とする。また点Pdは、その座標を(xd,yd)で表し、点Paと点Pbを通る直線Bと、点Pcを通り直線Bに垂直な直線Aと交わる点とする。点Pdはメタルマスク1やガラス基板3のコーナ点に相当する。L1は点Paと点Pd間の距離、L2は点Paと点Pb間の距離、L3は点Pcと点Pd間の距離、L4は点Paと点Pc間の距離、L5は点Paと点Pc間の距離とする。Δθは直線BのX軸に対する傾斜角度とする。
ピタゴラスの定理から式1と式2が求められる。
L4 2=L3 2+L1 2 (式1)
L5 2=L3 2+(L1+L2)2 (式2)
式2から式1を減算するとL3 2が消去されて式3が導き出せる。
L1=(L5 2−L4 2−L2 2)/2L2 (式3)
L1とL2 は直線の傾きが同じであることから式4と式5が成立する。
L1/L2=(xa−xd)/(xb−xa) (式4)
L1/L2=(ya−yd)/(yb−ya) (式5)
式4、式5から交点の座標 xd、ydを導き出すと式6、式7となる。
xd=xa−L1(xb−xa)/L2 (式6)
yd=ya−L1(yb−ya)/L2 (式7)
式3をそれぞれ式6と式7に代入すると、式8および式9が導き出せる。
xd=xa−(L5 2−L4 2−L2 2)(xb−xa)/2L2 2 (式8)
yd=ya−(L5 2−L4 2−L2 2)(yb−ya)/2L2 2 (式9)
なお、以下のL1、L2、L3は、認識点の座標から既知であるため、式8および式9に代入することで、点Pdの座標(xd,yd)が求められる。
L2 2=(xb−xa )2+(yb−ya )2 (式10)
L4 2=(xa−xc )2+(ya−yc )2 (式11)
L5 2=(xb−xc )2+(yb−yc )2 (式12)
また傾斜角度Δθは、式13から導き出すことができる。
tan(Δθ)=(yb−ya)/(xb−xa) (式13)
ガラス基板3の基準点40の座標も同様に、基準点O1、O2、O3から、上式に代入し、予め求めておき、制御装置に記憶させておく。
【0016】
以上の計算に基づいて求められたメタルマスク1のコーナ点41と基準点40との間の差、すなわちXY方向の補正量ΔX、ΔYと、補正角度Δθとが計算され、位置決めユニット31に送られる(ステップ3)。
位置決めユニット31は、送られた補正移動量をもとにXY方向の補正移動とθ方向の補正回転を行う(ステップ4)。
次に、ロボットハンド50に装着されたガラス基板3を、メタルマスク1上に載せ、さらにマグネットホルダ4をガラス基板3の上に載せ、メタルマスク1、ガラス基板3、マグネットホルダ4を、精度良く重ね合わせて一体化させる(ステップ5)。以後はロボットハンド50により次の処理工程に搬送される。
なお、図3の二点鎖線で示すように、メタルマスク1やガラス基板3のサイズが変更となっても、カメラ8の位置は最小寸法のメタルマスク1やガラス基板3に合わせて設置されるので、カメラ8の位置や透過照明9の位置を変更する段取り替え作業は不要である。
【0017】
なお、実施の形態1では、位置決めテーブル5を用いたものにつき説明したが、位置決めテーブル5を省略し、搬送装置51によりガラス基板3の位置を補正するように構成することも可能である。
【0018】
実施の形態2.
図9はこの発明の実施の形態2であるメタルマスクアライメント装置の斜視図、図10はメタルマスクの搬送およびガラス基板の位置認識を説明する側面図、図11はメタルマスクとガラス基板の関係位置と補正方法を説明する平面図、図12はガラス基板を認識する場合のカメラ視野を表す図、図13は一連の動作を示すフローチャートである。なお、実施の形態2における図3のメタルマスクとカメラの配置を示す平面図、図4の制御回路を示すブロック図、図6のメタルマスクを認識する場合の視野を表す図は、実施の形態1と同一である。
図において、実施の形態1と同一の符号は実施の形態2と同一の機能であるためその説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
10はカメラ8に対応して設けられ、比較的均一な照度が得られるファイバー照明で、透明なガラス基板3のエッジ部分を斜め横方向から照射し、カメラ8で得られる画像の認識率の向上を目的として用いられる。
【0019】
次に動作について説明する。
アライメント装置へのメタルマスク1の搬送と載置は、図10で示すように行われる。まず、搬送装置51によりメタルマスク1、ガラス基板3、マグネットホルダ4を一体化した状態でマスクプレート2上の所定位置まで搬送し、次にホルダ吸着パッド53を上昇させて、マグネットホルダ4をガラス基板3から引き離し、マグネットホルダ4の磁気により保持されていたメタルマスク1を、ロボットハンド50から落下させて載置する(ステップ11)。
マスクプレート2上に載置されたメタルマスク1のエッジ部分は、3台のカメラ8によって画像が取り込まれ、画像処理装置20により各カメラ8の画像情報が取得される(ステップ12)。
取得された画像情報は、実施の形態1と同様に、第一通信ユニット33に送られた後、CPUユニット32において、画像情報から得られた認識点M1、M2、M3の3点の座標を基に、メタルマスク1のコーナ点42の座標と点M1とM2を通る直線からメタルマスク1の傾斜角度ΔθMとが求められる(ステップ13)。
【0020】
次に、ガラス基板3を、図10中のΔTで示す距離分、マスクプレート2の上方に位置させ、かつ、カメラ8の同一視野内に画像が収まるようXY方向にそれぞれHoffの距離をロボットハンド50により移動させ停止させる(ステップ14)。
次に、ファイバー照明10が点灯されて、ガラス基板3のエッジ部分は3台のカメラ8によって画像が取り込まれ、画像処理装置20により各カメラ8の画像情報が取得される(ステップ15)。
取得された画像情報は、実施の形態1と同様に、第一通信ユニット33に送られた後、CPUユニット32において、画像情報から得られた認識点G1、G2、G3の3点の座標を基に、ガラス基板3のコーナ点43の座標と点G1とG2を通る直線からガラス基板3の傾斜角度ΔθGとが求められる(ステップ16)。
【0021】
メタルマスク1のコーナ点42とガラス基板3のコーナ点43のX座標の差からオフセット量Hoffを引いた値が補正量ΔX、同様にY座標の差からオフセット量Hoffを引いた値が補正量ΔY、またメタルマスク1の傾斜角度ΔθMとガラス基板3の傾斜角度ΔθGとの差が補正角度Δθとして、位置決めユニット31に送られる(ステップ17)。
ガラス基板3を測定するためにロボットハンド50をオフセット量Hoffだけずらした量を、元に戻すとともに、位置決めユニット31は、送られた補正移動量をもとにXY方向の補正移動とθ方向の補正回転を行う(ステップ18)。
次に、ロボットハンド50に装着されたガラス基板3を、メタルマスク1上に載せ、さらにマグネットホルダ4をガラス基板3の上に載せ、メタルマスク1、ガラス基板3、マグネットホルダ4を、精度良く重ね合わせて一体化させる(ステップ19)。
【0022】
実施の形態3.
図14は実施の形態3のフローチャートを示す。実施の形態2において、ガラス基板3の認識が完了したかを判断して、完了しない場合はメタルマスク1の認識結果の位置とロボットハンド50に把持されているガラス基板3の位置との間で、補正と位置決めを行う。また完了した場合はメタルマスク1とガラス基板3の認識結果の位置の両方から、補正と位置決めを行うように構成したものである。以下に実施の形態2と異なる部分につき説明する。
すなわち、図14においてガラス基板3の認識動作(ステップ16)の後、ガラス基板3の位置が、カメラ8で取得した画像から認識できたかどうかを判断する(ステップ20)。
認識できた場合は、実施の形態2と同様に、メタルマスク1のコーナ点42とガラス基板3のコーナ点43のX座標の差からオフセット量Hoffを引いた値が補正量ΔX、同様にY座標の差からオフセット量Hoffを引いた値が補正量ΔY、またメタルマスク1の傾斜角度ΔθMとガラス基板3の傾斜角度ΔθGとの差が補正角度Δθとして算出される(ステップ17)。
認識できない場合は、実施の形態1と同様に、搬送装置51に把持されるガラス基板3と認識されたメタルマスク1から補正量が算出される。すなわち、搬送装置51に把持されるガラス基板3のコーナの基準点40とメタルマスク1のコーナ点42とのX座標の差が補正量ΔX、同様にY座標の差が補正量ΔY、またメタルマスク1の傾斜角度ΔθMが補正角度Δθとして算出される(ステップ21)。ステップ17またはステップ21で算出された補正値は、位置決めユニットに出力され、メタルマスク1の位置を補正移動(ステップ18)した後、メタルマスク1とガラス基板3とを重ね合わせる(ステップ19)。
【0023】
以上の実施の形態では、位置決めテーブル5を使用して、メタルマスク1の位置を補正するものにつき説明したが、位置決めテーブル5を省略して、搬送装置51によってガラス基板3の角度補正と位置補正を行い、メタルマスクとガラス基板を重ね合わせることもできる。
【0024】
また、角度補正と位置補正を行う場合、搬送装置51側でθ方向の補正を行い、位置決めテーブル5側でXY方向の補正を行うなど、XYθ方向の補正を、ガラス基板3(搬送装置51側)とメタルマスク1(位置決めテーブル5側)とに分配することもできる。また、メタルマスク1、またはガラス基板3、またはメタルマスク1とガラス基板3の双方のいずれかの位置を補正して、メタルマスク1とガラス基板3とを重ね合わせることもできる。
【0025】
以上説明した実施の形態では、メタルマスク1、ガラス基板3、マグネットホルダ4を一体化したものを、1つの搬送装置51により搬送するようにしたが、メタルマスク1専用の搬送装置により搬送して、マスクプレート2上に載置するようにした後、ガラス基板3とマグネットホルダ4を搬送装置51により搬送して一体化するように構成してもよい。
また、メタルマスク1、ガラス基板3、マグネットホルダ4のそれぞれに、専用の搬送装置を設けるよう構成することもできる。
【0026】
以上の実施の形態では、位置検出手段として、カメラ、照明装置、画像処理装置で構成したものにつき説明したが、位置検出にあたりメタルマスクが移動しない程度の測定力の小さな検出手段を用いることができる。たとえば電気的接触を検出してその位置を検出するもの、リミットスイッチ等のアクチエータを押し付けてスイッチのオンオフで検出する検出手段などがあげられる。
【0027】
また、以上説明した実施の形態では、画像処理装置20を制御ユニット30とは別に設けた実施の形態で説明したが、制御ユニット30内に配置して処理することも可能である。この場合はCPUユニット31により、カメラ8から直接画像情報を制御ユニット30に取り込み、メタルマスク1の認識点M1、M2、M3やガラス基板3の認識点G1、G2、G3を求めるように構成すればよい。
【0028】
【発明の効果】
この発明は、以上説明したように構成されているので、以下に示すような効果を奏する。
【0029】
ロボット等の搬送装置により搬送されたメタルマスクをマスクプレートの上方から載置した状態で、位置検出手段によりメタルマスクの位置認識を実行し、メタルマスクの位置ずれ分を、ガラス基板の位置で補正し、ガラス基板を重ね合わせる際に、 ガラス基板の位置認識が完了したか否かの判断装置を設けたので、透明なガラス基板の位置認識に失敗した場合に、少なくともメタルマスクの位置補正を行うことができ、所望の重ね合わせ精度が得られ、連続運転が可能となる効果がある。位置認識が成功した場合には、メタルマスク、ガラス基板の相対位置を補正するので、重ね合わせ精度が一層向上する効果がある。
【0033】
位置検出手段を、カメラ、照明装置、画像処理装置から構成すると、同じカメラの視野内でメタルマスク、ガラス基板のエッジ部分の位置を認識できるので、装置が簡略化できる効果が得られる。
【0034】
マスクプレートに切欠きを設けると、メタルマスクがマスクプレートよりオーバハングすることがなくなり、メタルマスクの浮き上がり等の変形を防止でき、ガラス基板を載せたときの浮き上がりによる位置ずれを防止でき、メタルマスクとガラス基板の位置決め精度の低下を防止できる効果がある。
【0035】
マスクプレートに切欠きを設けると、カメラ、照明装置、画像処理装置からなる位置検出手段の場合に、外部からの余分な照明を遮蔽することができ、エッジ部分の認識効率を向上できる。
【0036】
厚さ0.25mmのメタルマスクのエッジ部分に測定子を接触させて位置を検出する場合、測定子とマスクプレートが接触する恐れがあるが、マスクプレートの位置検出部付近に切欠きを設けることにより、付近のスペースが広がって、測定子のサイズの制限がなくなる。このため画像処理による検出装置に比較して、安価に装置を構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1を示すメタルマスクアライメント装置の斜視図である。
【図2】 この発明の実施の形態1を示すメタルマスクアライメント装置の側面図である。
【図3】 この発明の実施の形態1における位置検出手段の位置を示す平面図である。
【図4】 この発明の実施の形態1における制御回路のブロック図である。
【図5】 この発明の実施の形態1におけるメタルマスクとガラス基板の関係を示す平面図である。
【図6】 この発明の実施の形態1における位置検出手段であるカメラの視野を示す図である。
【図7】 この発明の実施の形態1の動作を示すフローチャートである。
【図8】 この発明の実施の形態1において、3点の認識点からコーナ点座標、傾斜角度を求める場合の説明図である。
【図9】 この発明の実施の形態2を示すメタルマスクアライメント装置の斜視図である。
【図10】 この発明の実施の形態2を示すメタルマスクアライメント装置の側面図である。
【図11】 この発明の実施の形態2におけるメタルマスクとガラス基板の関係を示す平面図である。
【図12】 この発明の実施の形態2における位置検出手段であるカメラの視野を示す図である。
【図13】 この発明の実施の形態2の動作を示すフローチャートである。
【図14】 この発明の実施の形態3の動作を示すフローチャートである。
【図15】 従来の装置を示す斜視図である。
【図16】 メタルマスク、ガラス基板を把持するロボットハンドを示す側面図である。
【図17】 メタルマスク、ガラス基板を把持するロボットハンドを示す側面図である。
【符号の説明】
1 メタルマスク、2 マスクプレート、2a 切欠き、3 ガラス基板、
5 位置決めテーブル、8 カメラ、9 透過照明、20 画像処理装置、
30 制御ユニット、40 基準点位置、41 メタルマスクのコーナ点、
43 ガラス基板のコーナ点、51 搬送装置
Claims (4)
- 搬送装置により搬送され、予め規定された基準辺角度および基準点位置が認識されたガラス基板と、搬送装置により搬送されるメタルマスクとを、所定の位置に重ね合わせるメタルマスクアライメント装置において、
上記メタルマスクを載置するマスクプレートと、
上記マスクプレートを支持するフレームと、
上記メタルマスクおよび上記ガラス基板のエッジ部分の位置を認識する位置検出手段と、
上記位置検出手段によって得られた位置情報から、上記メタルマスクおよび上記ガラス基板の両者の基準辺角度と基準点位置を求める演算手段と、
上記演算手段によって上記メタルマスクおよび上記ガラス基板の両者の基準辺角度と基準点位置が求められたか否かを判断する判断手段と、
上記判断手段が、上記メタルマスクと上記ガラス基板の両者の上記基準辺角度と基準点位置が求められたと判断した場合、上記判断手段で求められた両者の基準辺角度と基準点位置とが、所定の位置関係になるように角度補正値と位置補正値を算出し、上記判断手段が、上記メタルマスクの上記基準辺角度と基準点位置が求められたと判断し、上記ガラス基板の上記基準辺角度と基準点位置が求められないと判断した場合、上記メタルマスクの上記判断手段で求められた基準辺角度と基準点位置に対して、上記ガラス基板の予め規定された基準辺角度および基準点位置が所定の位置となるように角度補正値と位置補正値を算出する補正値演算手段と、
上記補正値演算手段の上記角度補正値および上記位置補正値を出力する補正手段とを備え、
上記マスクプレート上に載置された上記メタルマスクと、上記搬送装置により搬送される上記ガラス基板とを、上記補正手段からの出力に基づいて、上記ガラス基板の位置を補正し、重ね合わせることを特徴とするメタルマスクアライメント装置。 - 搬送装置により搬送され、予め規定された基準辺角度および基準点位置が認識されたガラス基板と、搬送装置により搬送されるメタルマスクとを、所定の位置に重ね合わせるメタルマスクアライメント装置において、
上記搬送装置により搬送される上記メタルマスクを載置するマスクプレートと、
上記マスクプレートを移動させ、上記メタルマスクの位置を補正する位置決めテーブルと、
上記位置決めテーブルを支持するフレームと、
上記メタルマスクおよび上記ガラス基板のエッジ部分の位置を認識する位置検出手段と、
上記位置検出手段によって得られた位置情報から、上記メタルマスクおよび上記ガラス基板の両者の基準辺角度と基準点位置を求める演算手段と、
上記演算手段によって上記メタルマスクおよび上記ガラス基板の両者の基準辺角度と基準点位置が求められたか否かを判断する判断手段と、
上記判断手段が、上記メタルマスクと上記ガラス基板の両者の上記基準辺角度と基準点位置が求められたと判断した場合、上記判断手段で求められた両者の基準辺角度と基準点位置とが、所定の位置関係になるように角度補正値と位置補正値を算出し、上記判断手段が、上記メタルマスクの上記基準辺角度と基準点位置が求められたと判断し、上記ガラス基板の上記基準辺角度と基準点位置が求められないと判断した場合、上記メタルマスクの上記判断手段で求められた基準辺角度と基準点位置に対して、上記ガラス基板の予め規定された基準辺角度および基準点位置が所定の位置となるように角度補正値と位置補正値を算出する補正値演算手段と、
上記補正値演算手段の上記角度補正値および上記位置補正値を出力する補正手段とを備え、
上記マスクプレート上に載置された上記メタルマスクと、上記搬送装置により搬送される上記ガラス基板とを、上記補正手段からの出力に基づいて、
上記メタルマスクの位置
上記ガラス基板の位置
上記メタルマスクの位置と上記ガラス基板の位置
のいずれかを補正し、重ね合わせることを特徴とするメタルマスクアライメント装置。 - 位置検出手段がメタルマスクのエッジ部分を認識するためのカメラと、上記カメラに対向して設けられた照明装置と、上記カメラにより取得した画像の処理によって、上記メタルマスクの基準辺角度と基準点位置を求める画像処理装置と、からなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のメタルマスクアライメント装置。
- 位置検出手段の設置位置に対応して、マスクプレートに切欠きを設けたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のメタルマスクアライメント装置。
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