JP2018066798A - アライメントマーク、アライメントマーク対、及びアライメント方法 - Google Patents

Abstract

【課題】位置合わせ作業性を向上できるアライメントマークを提供する。【解決手段】アライメントマーク４０は、メインパターン４１と、メインパターン４１の周囲に放射状に配されると共に、相互に離間して配された少なくとも二つのサブパターン４２と、を含み、それぞれのサブパターン４２は、メインパターン４１の存在する方向を示す方向情報を含み、全てのサブパターン４２の方向情報に基づいた方向に延在する仮想直線４３同士の交点４３１は、メインパターン４１と実質的に一致している。【選択図】 図３

Description

本発明は、アライメントマーク、アライメントマーク対、及びアライメント方法に関するものである。

基板との位置合わせを行うためのアライメントマークと、アライメントマークの周囲に設けられ、アライメントマークの位置の情報を含む位置情報マークとを有するフォトマスクが知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１１−１７０１４４号公報

上記従来技術では、位置情報マークを複数回取得しなければ、アライメントマークの位置を検出できないため、位置合わせ作業性に劣る、という問題がある。

本発明が解決しようとする課題は、位置合わせ作業性を向上できるアライメントマーク、アライメントマーク対、及びアライメント方法を提供することができる。

［１］本発明に係るアライメントマークは、メインパターンと、前記メインパターンの周囲に放射状に配されると共に、相互に離間して配された少なくとも二つのサブパターンと、を含み、それぞれの前記サブパターンは、前記メインパターンの存在する方向を示す方向情報を含み、全ての前記サブパターンの前記方向情報に基づいた方向に延在する仮想直線同士の交点は、前記メインパターンと実質的に一致しているアライメントマークである。

［２］上記発明において、前記サブパターンは、その形状が線対称となる対称軸を有し、前記サブパターンの前記方向情報は、前記サブパターンの前記対称軸の延在方向を含んでいてもよい。

［３］上記発明において、前記サブパターンは、前記対称軸を１つのみ有してもよい。

［４］上記発明において、全ての前記サブパターンの形状は、同一であってもよい。

［５］本発明に係るアライメントマーク対は、第１のアライメント対象物に形成された第１のアライメントマークと、前記第１のアライメントマークに重ねられた第２のアライメント対象物に形成された第２のアライメントマークと、を備え、前記第１のアライメントマークは、第１のメインパターンと、前記第１のメインパターンの周囲に放射状に配される共に、相互に離間して配された少なくとも二つの第１のサブパターンと、を含み、それぞれの前記第１のサブパターンは、前記第１のメインパターンの存在する方向を示す第１の方向情報を含み、全ての前記第１のサブパターンの前記第１の方向情報に基づいた方向に延在する第１の仮想直線同士の第１の交点は、前記第１のメインパターンと実質的に一致しており、前記第２のアライメントマークは、第２のメインパターンと、前記第２のメインパターンの周囲に放射状に配されると共に、相互に離間して配された少なくとも二つの第２のサブパターンと、を含み、それぞれの前記第２のサブパターンは、前記第２のメインパターンの存在する方向を示す第２の方向情報を含み、全ての前記第２のサブパターンの前記第２の方向情報に基づいた方向に延在する第２の仮想直線同士の第２の交点は、前記第２のメインパターンと実質的に一致しており、前記第１のメインパターンと、前記第２のメインパターンとは、相互に異なる形状を有し、前記第１のサブパターンと、前記第２のサブパターンとは、相互に異なる形状を有するアライメントマーク対である。

［６］本発明に係るアライメント方法は、上記アライメントマークを用いてアライメント対象物の位置合わせをするアライメント方法であり、少なくとも前記サブパターンを含む画像を取得する第１の工程と、前記画像に前記メインパターンが含まれるか否かを判定する第２の工程と、前記第２の工程で前記画像に前記メインパターンが含まれないと判定された場合に、前記画像に含まれる前記サブパターンから前記交点の位置を算出する第３の工程と、前記第３の工程で算出された前記交点の位置に基づいて、前記アライメント対象物を平面方向に移動させる第４の工程と、を備えるアライメント方法である。

［７］上記発明において、前記第２の工程で前記画像に前記メインパターンが含まれると判定された場合に、前記画像に含まれる前記メインパターンの位置に基づいて、前記アライメント対象物を平面方向に移動させる第５の工程を実行してもよい。

［８］上記発明において、複数の前記仮想直線は、前記画像において、相互にずれて配されていてもよい。

［９］本発明に係るアライメント方法は、上記アライメントマーク対を用いて前記第１及び前記第２のアライメント対象物の位置合わせをするアライメント方法であり、前記第１及び前記第２のアライメント対象物が重ねられた状態で、少なくとも前記第１のサブパターンを含む第１の画像を取得する第１の工程と、前記第１の画像に前記第１のメインパターンが含まれるか否かを判定する第２の工程と、前記第２の工程で前記第１の画像に前記第１のメインパターンが含まれないと判定された場合に、前記第１の画像に含まれる前記第１のサブパターンから前記第１の交点の位置を算出する第３の工程と、前記第３の工程で算出された前記第１の交点の位置に基づいて、前記第１のアライメント対象物を平面方向に移動させる第４の工程と、前記第１及び前記第２のアライメント対象物が重ねられた状態で、少なくとも前記第２のサブパターンを含む第２の画像を取得する第５の工程と、前記第２の画像に第２のメインパターンが含まれるか否かを判定する第６の工程と、前記第６の工程で前記第２の画像に前記第２のメインパターンが含まれないと判定された場合に、前記第２の画像に含まれる前記第２のサブパターンから前記第２の交点の位置を算出する第７の工程と、前記第７の工程で算出された前記第２の交点の位置に基づいて、前記第２のアライメント対象物を平面方向に移動させる第８の工程と、を備えるアライメント方法である。

本発明によれば、全てのサブパターンの方向情報に基づいた方向に延在する仮想直線同士の交点が、メインパターンと実質的に一致している。このため、一度のサブパターンの取得動作によって、メインパターンの位置を推定することができるため、位置合わせ作業性の向上を図ることができる。

図１は、本発明の一実施の形態に係るアライメント装置を示す概略側面図である。 図２は、本発明の一実施の形態に係る重ねられた第１及び第２の基板を上方から視た平面図である。 図３は、図２のIII部の部分拡大図である。 図４は、本発明の一実施の形態に係るアライメントマークに仮想直線を図示した平面図である。 図５は、本発明の一実施の形態に係るアライメント方法を示すフローチャートである。 図６（Ａ）は、図５のステップＳＴ１１を示す図であり、複数のサブパターンが撮像部の撮像領域内に含まれている状態を示し、図６（Ｂ）は、図５のステップＳＴ１３を示す図であり、二つのサブパターンに基づいて、二つの仮想直線の交点を算出している状態を示し、図６（Ｃ）は、図５のステップＳＴ１６を示す図であり、メインパターンを撮像部の撮像領域の中心位置に移動させた状態を示す。 図７は、本発明の他の実施の形態に係るアライメント装置を示す概略側面図である。 図８は、本発明の他の実施の形態に係る第１及び第２の基板を示す斜視図である。 図９は、本発明の他の実施の形態に係るアライメントマーク対を上方から視た平面図である。 図１０は、本発明の他の実施の形態に係る第２のアライメントマークを示す平面図である。 図１１は、本発明の他の実施の形態に係るアライメント方法を示すフローチャートである。 図１２は、図１０のステップＳＴ１１１を示す図であり、複数の第１及び第２のサブパターンが撮像部の撮像領域内に含まれている状態を示す。 図１３（Ａ）は、図１１のステップＳＴ１１７を示す図であり、複数の第２のサブパターンが撮像部の撮像領域内に含まれている状態を示し、図１３（Ｂ）は、図１１のステップＳＴ１１９を示す図であり、二つの第２のサブパターンに基づいて、二つの第２の仮想直線の第２の交点を算出している状態を示し、図１３（Ｃ）は、図１１のステップＳＴ１２２を示す図であり、第２のメインパターンを撮像部の撮像領域の中心位置に移動させた状態を示す。 図１４は、本発明の他の実施の形態に係るアライメント対象物をアライメント装置に保持させた状態を示す概略側面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の一実施の形態に係るアライメント装置を示す概略側面図である。

図１に示すアライメント装置１は、第１及び第２の基板１０、２０（いずれも図２参照）を重ね合わせ接合させる装置である。このアライメント装置１は、対向配置された上下プレート３、２と、上下プレート３、２を平面方向（ＸＹθ方向）に相対的に移動させる第１の移動部４と、上下プレート３、２をその並列方向（Ｚ方向）に相対的に移動させる第２の移動部５と、第２の基板２０を撮像する撮像部６と、第１及び第２の移動部４，５を制御する制御部７とを備えている。

下プレート２は、水平面に対して略平行となるように配された矩形状の板部材である。この下プレート２は、第１の基板１０を保持可能な第１の保持面２１を有している。この第１の保持面２１には、複数の吸引口（不図示）が開口しており、第１の基板１０を吸着固定することが可能となっている。

下プレート２には、下プレート２を上プレート３に対して平面方向（具体的には、Ｘ方向、Ｙ方向、及び水平回転方向（θ方向））に相対的に移動させる第１の移動部４が接続されている。この第１の移動部４に組み込まれた各軸方向のモータ（不図示）による駆動制御により、下プレート２が上プレート３に対してＸＹθ方向に移動する。この第１の移動部４は、制御部７からの制御信号に基づいて動作する。

上プレート３は、水平面に対して略平行となるように配された矩形の板状部材である。この上プレート３は、第２の基板２０を保持可能な第２の保持面３１を有している。この第２の保持面３１には、複数の吸引口（不図示）が開口しており、第２の基板２０を吸着固定することが可能となっている。

上プレート３には、上プレート３を下プレート２に対して並列方向（Ｚ方向）に相対的に移動させる第２の移動部５が接続されている。この第２の移動部５に組み込まれたＺ軸方向のモータ（不図示）による駆動制御により、上プレート３がＺ方向に移動して、上下プレート３、２が相互に接近又は離間する。この第２の移動部５は、制御部７からの制御信号に基づいて動作する。

本実施形態のアライメント装置１には、第１の基板１０の対角の角部に対応して２つの撮像部６が設けられている。それぞれの撮像部６は、第１の基板１０に形成されたアライメントマーク４０（後述）を撮像するＣＣＤカメラである。それぞれの撮像部６は、上下プレート３、２に対して略垂直な方向から、第１の基板１０を撮像可能に配されている。この撮像部６は、第１の基板１０を撮像し、その撮像結果（画像データ）を制御部７に出力する。なお、撮像部６の数や配置は、特に上述に限定されない。

撮像部６により撮像された撮像結果（画像データ）は、ＣＰＵ，ＲＯＭ,ＲＡＭ，Ａ／Ｄ変換器及び入出力インタフェースなどを含んで構成されるマイクロコンピュータからなる制御部７に入力される。制御部７は、撮像部６から送られる画像データに基づいて、第１及び第２の移動部４，５の動作を制御する。

具体的には、制御部７は、撮像部６により第１の基板１０の画像を取得し、この画像に含まれるアライメントマーク４０のパターン認識を行いながら、第１の移動部４により下プレート２の位置をＸＹθ方向に調整制御し、第１及び第２の基板１０，２０の位置合わせ（アライメント）を行う。そして、第１及び第２の基板１０，２０がアライメントされたら、制御部７は、第２の移動部５を駆動して、第１及び第２の基板１０，２０を相互に接近させる。これにより、第１及び第２の基板１０，２０が重ね合わされ接合される。

以上に説明したアライメント装置１に使用されるアライメントマーク４０について、図２〜図４を参照しながら、詳細に説明する。図２は本発明の一実施の形態に係る重ねられた第１及び第２の基板を上方から視た平面図、図３は図２のIII部の部分拡大図、図４は本発明の一実施の形態に係るアライメントマークに仮想直線を図示した平面図である。

アライメントマーク４０は、図２に示すように、第１の基板１０の上面の対角の角部に対応して２つ形成されている。なお、アライメントマーク４０の数や配置は、特に上述に限定されない。それぞれのアライメントマーク４０は、図３及び図４に示すように、一つのメインパターン４１と、複数のサブパターン４２とを含んでいる。

メインパターン４１は、第１及び第２の基板１０，２０をアライメントするために設けられている。本実施形態では、メインパターン４１の中心４１１が、第１及び第２の基板１０，２０をアライメントするための基準点として設定されている。なお、本明細書において、「中心」とは、平面視における重心の位置を示す。また、「重心」とは、平面視における輪郭の内部を一様の質量で分布させたときの質量中心を意味する。

メインパターン４１は、撮像部６の撮像領域に収まる大きさに形成されている。このメインパターン４１は、平面視において、真円形状を有している。なお、メインパターン４１の形状は、特に上述に限定されず、例えば、正三角形等の三角形でもよいし、正方形、菱型等の四角形でもよい。また、メインパターン４１が、六角形、八角形、十二角形、二十角形等のｎ角形や、星型、十字形状などでもよい。このように、種々の図形単位をメインパターン４１の形状として採用することができる。

複数のサブパターン４２は、図３及び図４に示すように、メインパターン４１の周囲に分散して配されており、メインパターン４１の中心４１１を中心にして放射状に配されている。それぞれのサブパターン４２は、メインパターン４１と離間して配されており、それぞれのサブパターン４２同士も、相互に離間して配されている。

それぞれのサブパターン４２は、メインパターン４１の形状と異なる形状を有している。また、全てのサブパターン４２の形状は、同一となっている。それぞれのサブパターン４２は、撮像部６による撮像領域に収まる大きさに形成されている。また、隣接するサブパターン４２同士の間の間隔は、互いに最も隣接する二つのサブパターン４２の全体が撮像部６の撮像領域に収まるように設定されている。隣接するサブパターン４２は、等間隔で配されていてもよいし、異なる間隔が混在して配されていてもよい。

また、サブパターン４２は、メインパターン４１の中心４１１を中心とする放射方向に延在する長尺形状とされており、中心４１１に近づくに従い先細りとなる形状とされている。また、サブパターン４２は、その形状が線対称となる対称軸４２１を一つのみ有している。この対称軸４２１の延在方向は、本実施形態では、サブパターン４２の長手方向と実質的に一致しているが、長手方向と実質的に一致していなくてもよい。

本実施形態では、サブパターン４２は、平面視において、二等辺三角形状を有している。それぞれのサブパターン４２は、この二等辺三角形の等辺により構成される角部（本実施形態では、二等辺三角形のうち最も鋭角となる角部）が、メインパターン４１の存在する方向を向いて配されている。

このようなアライメントマーク４０において、全てのサブパターン４２の対称軸４２１を延長した仮想直線４３同士の交点４３１は、平面視において、メインパターン４１（具体的には、中心４１１）と実質的に一致している。また、それぞれの仮想直線４３は、互いに異なる角度に延在しており、全ての仮想直線４３が、平面視において相互にずれている。すなわち、一つの仮想直線４３を共有する二つ以上のサブパターン４２は存在しないようになっている。なお、撮像部６の撮像領域内に、一つの仮想直線４３を共有する二つ以上のサブパターン４２が存在しなければ、撮像部６の撮像領域の内外に、一つの仮想直線４３を共有する二つ以上のサブパターン４２が存在していてもよい。

なお、サブパターン４２は、メインパターン４１の存在する方向を示す方向情報を含むものであれば、特に上述に限定されない。例えば、本実施形態では、方向情報は、サブパターン４２の対称軸の延在方向を含む情報であったが、特にこれに限定されず、方向情報をサブパターン４２の外形を含む情報とし、このサブパターン４２の外形に基づいて、メインパターン４１の存在する方向が示されていてもよい。例えば、特に図示しないが、その外形の一部に直線部が形成されたサブパターンを形成し、このサブパターンの直線部を延長した仮想直線が他のサブパターンの仮想直線と交わる交点を、メインパターンと実質的に一致させてもよい。

また、本実施形態では、対称軸４２１を一つのみ有する二等辺三角形状をサブパターン４２の形状として採用しているが、対称軸４２１を一つのみ有する形状は特にこれに限定されず、例えば、等脚台形や矢印形状であってもよい。また、サブパターンの形状は、複数の対称軸を有する形状（但し、真円形状を除く。）であってもよい。また、サブパターンは、直線や曲線等の線状であってもよい。

次に、アライメントマーク４０を使用した第１及び第２の基板１０，２０のアライメント方法について図５、図６（Ａ）、図６（Ｂ）、及び図６（Ｃ）を参照しながら、詳細に説明する。図５は本発明の一実施の形態に係るアライメント方法を示すフローチャート、図６（Ａ）は図５のステップＳＴ１１を示す図であり、複数のサブパターンが撮像部の撮像領域内に含まれている状態を示す。図６（Ｂ）は図５のステップＳＴ１３を示す図であり、二つのサブパターンに基づいて、二つの仮想直線の交点を算出している状態を示す。図６（Ｃ）は図５のステップＳＴ１６を示す図であり、メインパターンを撮像部の撮像領域の中心位置に移動させた状態を示す。なお、図６（Ａ）〜図６（Ｃ）では、一点鎖線の枠線がステップＳＴ１１で撮像部６により取得した画像の輪郭線を表す。

まず、図５に示すステップＳＴ１０において、第１の基板１０を下プレート２に吸着保持させると共に、第２の基板２０を上プレート３に吸着保持させる。これによって、第１及び第２の基板１０，２０が相互に対向して配されることとなる。なお、このステップＳＴ１０では、第１及び第２の基板１０，２０を単にアライメント装置１に吸着保持させるだけであり、これらのアライメントを行う前では、当然に、第１及び第２の基板１０，２０の位置はずれている。

次に、ステップＳＴ１１において、図６（Ａ）に示すように、撮像部６により、少なくとも二つのサブパターン４２が含まれる第１の基板１０の画像を取得する。このような画像は、例えば、第１の基板１０を下プレート２に保持させる際に、予め位置決めピンや位置決め用ワーク等の位置決め手段を用いて第１の基板１０の仮アライメントを行うことで取得することができる。この場合、画像取得の作業性を向上する観点から、位置決め手段の位置決め精度のばらつき以上に大きな撮像範囲を有する撮像部６を用いることが好ましい。

次に、ステップＳＴ１２において、ステップＳＴ１１で取得した画像にメインパターン４１が含まれるか否かを判定する。取得した画像にメインパターン４１が含まれるか否かの判定は、制御部７によって行われる。具体的には、制御部７には、メインパターン４１の形状を表す形状情報が予め記憶されており、この形状情報に基づく形状と、実際に取得した画像に含まれる形状とを比較して、取得した画像にメインパターン４１が含まれるか否かを判定する。取得した画像にメインパターン４１が含まれないと判定された場合には、ステップＳＴ１３に進む。一方、取得した画像にメインパターン４１が含まれると判定された場合には、ステップＳＴ１５に進む。

取得した画像にメインパターン４１が含まれないと判定された場合には、ステップＳＴ１３において、取得した画像に含まれる二つのサブパターン４２，４２から、二つの仮想直線４３，４３を算出して、これらの交点４３１の位置を算出する。具体的には、制御部７には、サブパターン４２の形状を表す形状情報が予め記憶されており、この形状情報に基づく形状と、実際に取得した画像に含まれる形状とを比較して、取得した画像に含まれるサブパターン４２を認識する。そして、図６（Ｂ）に示すように、取得した画像に含まれるそれぞれのサブパターン４２と、制御部７に記憶されたサブパターン４２の形状情報に基づく形状とを比較して、画像に含まれる複数のサブパターン４２のうち形状情報に基づく形状に対して相関値の高い二つのサブパターン４２を選択する。なお、図６（Ｂ）では、選択されたサブパターン４２を実線で表示し、その他のサブパターン４２を破線で表示した。

そして、取得した画像の中心位置をＸＹ座標の原点に設定し、選択された二つのサブパターン４２のそれぞれの対称軸４２１を延長して下記（１）式及び（２）式で表される仮想直線４３，４３を算出する。そして、下記（１）式及び（２）式に基づいて、二つの仮想直線４３，４３同士の交点４３１の位置を算出する。
Ｙ＝ａ_１Ｘ＋ｂ_１ … （１）
Ｙ＝ａ_２Ｘ＋ｂ_２ … （２）

次に、ステップＳＴ１４において、算出された交点４３１のＸ座標をＸ方向への移動量に設定し、交点４３１のＹ座標をＹ方向への移動量に設定し、ステップＳＴ１６において、図６（Ｃ）に示すように、算出された交点４３１の位置に基づいて、第１の移動部４により、設定された移動量だけ下プレート２を平面方向に移動させる。これによって、撮像部６の撮像領域の中心位置にメインパターン４１が移動して、メインパターン４１が検出される。

なお、ステップＳＴ１２において、取得した画像にメインパターン４１が含まれると判定された場合には、ステップＳＴ１５において、取得した画像に含まれているメインパターン４１の中心４１１の位置を算出し、中心４１１のＸ座標をＸ方向への移動量に設定し、中心４１１のＹ座標をＹ方向への移動量に設定する。そして、ステップＳＴ１６において、第１の移動部４により、これらの移動量だけ下プレート２を平面方向に移動させる。これによって、撮像部６の撮像領域の中心位置にメインパターン４１が移動して、メインパターン４１が検出される。

次に、ステップＳＴ１７において、撮像部６に検出されたメインパターン４１に基づいて、第１の基板１０の位置を微調整して、第１及び第２の基板１０，２０を高精度にアライメントする。

次に、ステップＳＴ１８において、第２の移動部５により上プレート３を下プレート２に接近させて、第１及び第２の基板１０，２０を重ね合わせ接合させる。以上により、アライメント装置１の処理を終了する。

本実施形態のアライメントマーク４０及びアライメント方法は、以下の効果を奏する。

アライメントマークをＣＣＤカメラ等の撮像手段に撮像・認識させて行う位置合わせ方法では、アライメントマークが撮像手段の撮像領域内に入っている必要があるため、光学倍率を下げて、撮像領域を広げた状態とするのが一般的である。しかしながら、このように撮像領域を広げた状態では、撮像手段により撮像するアライメントマークが撮像手段の分解能に対して小さくなり、高精度な位置合わせを行うことが困難となる。このため、従来では、低倍率の撮像手段を用いて粗い位置合わせを行った後、高倍率の他の撮像手段を用いて高精度の位置合わせを行っていた。この場合、複数の撮像手段を用いるため、コストが高くなると共に、位置合わせ方法も複雑化してしまう、という問題があった。

一方、上記従来技術では、位置合わせを行うためのアライメントマークと、アライメントマークの周囲に設けられ、アライメントマークの位置の情報を含む位置情報マークとを形成することで、低倍率の撮像手段であっても、位置情報マークを取得することで、アライメントマークを検出している。このため、低倍率の撮像手段とは別に高倍率の撮像手段を設ける必要はない。しかしながら、この上記従来技術では、位置情報マークが示す位置情報にアライメントマークの正確な位置情報が含まれていない。このため、一の位置情報マークに基づいて撮像手段を移動し、移動した先に存在する他の位置情報マークに基づいてさらに撮像手段を移動し、このような位置情報マークの取得動作を複数回に亘り繰り返してアライメントマークを検出する必要があり、位置合わせ作業性に劣る、という問題がある。

これに対して、本実施形態では、全てのサブパターン４２の方向情報に基づいた方向に延在する仮想直線４３同士の交点４３１が、メインパターン４１と実質的に一致している。このため、一度のサブパターン４２の取得動作によって、メインパターン４１の位置を容易に推定することができるため、第１及び第２の基板１０，２０の位置合わせ作業性の向上を図ることができる。

また、本実施形態では、サブパターン４２の方向情報は、サブパターン４２の対称軸４２１の延在方向を含む情報とされている。このため、サブパターン４２の外観から、メインパターン４１の位置を推定し易くなっている。特に、本実施形態では、サブパターン４２が対称軸４２１を一つのみ有していることで、メインパターン４１の位置をより一層容易に推定することができる。

また、本実施形態のアライメント方法では、ステップＳＴ１１で取得した画像に含まれる二つのサブパターン４２，４２から、二つの仮想直線４３，４３同士の交点４３１を算出し、算出した交点４３１に基づいて、第１の基板１０を平面方向に移動させている。このため、撮像部６によりサブパターン４２が撮像・認識できれば、撮像部６によりメインパターン４１が撮像・認識されていなくとも、メインパターン４１を正確且つ容易に検出することができる。これにより、第１及び第２の基板１０，２０の位置合わせ作業性の向上を図ることができる。

また、本実施形態のアライメント方法では、ステップＳＴ１２において、取得した画像にメインパターン４１が含まれていると判定された場合には、サブパターン４２を使用することなく、メインパターン４１に基づいて、第１の基板１０を平面方向に移動させている。このため、第１及び第２の基板１０，２０の位置合わせ作業の簡略化を図ることができる。

また、本実施形態のアライメント方法では、ステップＳＴ１１において取得した画像に、一つの仮想直線４３を共有する二つ以上のサブパターン４２が存在しない。これにより、取得した画像に含まれるサブパターン４２から得られる複数の仮想直線４３は、相互にずれているため、仮想直線４３，４３同士の交点４３１を確実に算出することができる。

本実施形態における「第１の基板１０」が本発明における「アライメント対象物」の一例に相当し、本実施形態における「アライメントマーク４０」が本発明における「アライメントマーク」の一例に相当し、本実施形態における「メインパターン４１」が本発明における「メインパターン」の一例に相当し、本実施形態における「サブパターン４２」が本発明における「サブパターン」の一例に相当し、本実施形態における「対称軸４２１」が本発明における「対称軸」の一例に相当し、本実施形態における「仮想直線４３」が本発明における「仮想直線」の一例に相当し、本実施形態における「交点４３１」が本発明における「交点」の一例に相当する。

また、本実施形態における「ステップＳＴ１１」が本発明における「第１の工程」の一例に相当し、本実施形態における「ステップＳＴ１２」が本発明における「第２の工程」の一例に相当し、本実施形態における「ステップＳＴ１３」が本発明における「第３の工程」の一例に相当し、本実施形態における「ステップＳＴ１６」が本発明における「第４の工程」の一例に相当し、本実施形態における「ステップＳＴ１５」が本発明における「第５の工程」の一例に相当する。

図７は本発明の他の実施の形態に係るアライメント装置を示す概略側面図である。

図７に示すアライメント装置１Ｂは、第１の基板１０と第２の基板２０Ｂ（図８参照）とを重ね合わせ接合させるための装置であり、第２の移動部５Ｂを備える点、及び、撮像部６により第１及び第２の基板１０，２０Ｂを撮像する点で、上述のアライメント装置１と相違する。以下の説明では、上述の実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、繰り返しの説明を省略して、上述の実施形態においてした説明を援用し、上述の実施形態と相違する点についてのみ、詳細に説明する。

第２の移動部５Ｂは、上プレート３に接続されている。この第２の移動部５Ｂには、Ｚ軸方向のモータ（不図示）が組み込まれており、このモータによる駆動制御により、上プレート３がＺ方向に移動して、上下プレート３，２が相互に接近又は離間することができる。また、第２の移動部５Ｂには、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及び水平回転軸方向のモータ（不図示）が組み込まれており、これらのモータによる駆動制御により、上プレート３が下プレート２に対してＸＹθ方向に移動することができる。この第２の移動部５Ｂは、制御部７からの制御信号に基づいて動作する。

本実施形態の撮像部６は、第１及び第２の基板１０，２０Ｂに形成されたアライメントマーク対３０（後述）を撮像可能に配されている。この場合、撮像部６により、第１及び第２の基板１０，２０Ｂの上方からアライメントマーク対３０を一度に撮像可能とするため、第２の基板２０Ｂを構成する材料は、透明な材料が採用されている。

以上に説明したアライメント装置１Ｂに使用されるアライメントマーク対３０について、図８〜図１０を参照しながら、詳細に説明する。図８は本発明の他の実施の形態に係る第１及び第２の基板を示す斜視図、図９は本発明の他の実施の形態に係るアライメントマーク対を上方から視た平面図、図１０は本発明の他の実施の形態に係る第２のアライメントマークを示す平面図である。

アライメントマーク対３０は、図８及び図９に示すように、第１のアライメントマーク４０と、第２のアライメントマーク５０と、を備えている。第１及び第２のアライメントマーク４０，５０は、第１及び第２の基板１０，２０Ｂのアライメントがされた状態で、上下に重なる位置に配されている。

第１のアライメントマーク４０は、第１の基板１０に形成されている。この第１のアライメントマーク４０は、上述の実施形態で説明したアライメントマーク４０と同様の構成を有している。このため、第１のアライメントマーク４０については、上述の実施形態と同一の符号を付し、繰り返しの説明を省略して、上述の実施形態においてした説明を援用する。

第２のアライメントマーク５０は、第２の基板２０Ｂの各角部に対応して形成されている。それぞれの第２のアライメントマーク５０は、一つの第２のメインパターン５１と、複数の第２のサブパターン５２と、を含んでいる。第２のメインパターン５１は、第１及び第２の基板１０，２０Ｂをアライメントするために設けられている。本実施形態では、第２のメインパターン５１の中心５１１が、第１及び第２の基板１０，２０Ｂをアライメントするための基準点として設定されている。

この第２のメインパターン５１は、図１０に示すように、第１のメインパターン４１と異なる形状を有している。具体的には、第２のメインパターン５１は、平面視において、真円形状の外形を有する環状とされており、その内部に中心５１１と同心状に配された真円形状の開口５１２を有している。この開口５１２は、平面視において、第１のメインパターン４１よりも大きく形成されている。

複数の第２のサブパターン５２は、第１のサブパターン４２と同様、第２のメインパターン５１の周囲に分散して配されており、第２のメインパターン５１の中心５１１を中心にして放射状に配されている。この第２のサブパターン５２は、第１のサブパターン４２と異なる形状を有している。具体的には、第２のサブパターン５２は、平面視において、二等辺三角形状の外形を有し、その内部に第２のサブパターン５２の外形と相似の外形を有する開口５２２を有している。この開口５２２は、平面視において、第１のメインパターン４１よりも大きく形成されている。

この第２のアライメントマーク５０においても、全ての第２のサブパターン５２の対称軸５２１を延長した第２の仮想直線５３同士の第２の交点５３１は、平面視において、第１のメインパターン５１（具体的には、中心５１１）と実質的に一致している。なお、第２のアライメントマーク５０においても、第２のサブパターン５２は、第１のメインパターン５１の存在する方向を示す方向情報を含むものであれば、特に上述に限定されない。

次に、アライメントマーク対３０を使用した第１及び第２の基板１０，２０Ｂのアライメント方法について、図１１、図１２、及び図１３（Ａ）〜図１３（Ｃ）を参照しながら、詳細に説明する。図１１は本発明の他の実施の形態に係るアライメント方法を示すフローチャート、図１２は図１０のステップＳＴ１１１を示す図であり、複数の第１及び第２のサブパターンが撮像部の撮像領域内に含まれている状態を示す。図１３（Ａ）は図１１のステップＳＴ１１７を示す図であり、複数の第２のサブパターンが撮像部の撮像領域内に含まれている状態を示す。図１３（Ｂ）は図１１のステップＳＴ１１９を示す図であり、二つの第２のサブパターンに基づいて、二つの第２の仮想直線の第２の交点を算出している状態を示す。図１３（Ｃ）は図１１のステップＳＴ１２２を示す図であり、第２のメインパターンを撮像部の撮像領域の中心位置に移動させた状態を示す。なお、図１２では、一点鎖線の枠線がステップＳＴ１１１で撮像部６により取得した画像の輪郭線を表し、図１３（Ａ）〜図１３（Ｃ）では、一点鎖線の枠線がステップＳＴ１１７で撮像部６により取得した画像の輪郭線を表す。

まず、図１１に示すステップＳＴ１１０において、上述の実施形態と同様、第１及び第２の基板１０，２０Ｂをアライメント装置１に吸着保持させる。

次に、ステップＳＴ１１１において、上述の実施形態で説明したステップＳＴ１１と同様に、第１及び第２の基板１０，２０Ｂが重ねられた状態で、撮像部６により、少なくとも二つの第１のサブパターン４２が含まれる第１及び第２の基板１０，２０Ｂの画像を取得する。そして、ステップＳＴ１１２において、取得した画像に第１のメインパターン４１が含まれているか否かを判定する。そして、取得した画像に第１のメインパターン４１が含まれない場合には、ステップＳＴ１１３において、取得した画像に含まれる二つの第１のサブパターン４２，４２から、第１の仮想直線４３，４３同士の第１の交点４３１の位置を算出する。

なお、ステップＳＴ１１１では、図１２に示すように、第１及び第２のサブパターン４２，５２が混在する画像が取得されている。この場合、第１のサブパターン４２と第２のサブパターン５２とは、相互に異なる形状を有しているため、ステップＳＴ１１１で取得した画像に第１のサブパターン４２が含まれるか否かを判定する際に、第２のサブパターン５２を誤認識するおそれは低い。また、第２のサブパターン５２は、第１のサブパターン４２の外形よりも大きい開口５２２を有しているため、第１及び第２のサブパターン４２，５２が重なっても、第１のサブパターン４２が第２のサブパターン５２に遮られて、撮像部６に第１のサブパターン４２が撮像されなくなるおそれは低い。

次に、ステップＳＴ１１４において、算出された第１の交点４３１のＸ座標をＸ方向への移動量に設定し、第１の交点４３１のＹ座標をＹ方向への移動量に設定し、ステップＳＴ１１６において、算出された第１の交点４３１の位置に基づいて、第１及び第２の移動部４、５により、設定された移動量だけ上下プレート３、２を平面方向に移動させる。これによって、第１及び第２の基板１０，２０Ｂの相対的な位置関係を維持したまま、撮像部６の撮像領域の中心位置に第１のメインパターン４１が移動して、第１のメインパターン４１が検出される。

なお、ステップＳＴ１１２において、取得した画像に第１のメインパターン４１が含まれると判定された場合には、上述の実施形態と同様、ステップＳＴ１１５において、取得した画像に含まれている第１のメインパターン４１の中心４１１の位置を算出し、中心４１１のＸ座標をＸ方向への移動量に設定し、中心４１１のＹ座標をＹ方向への移動量に設定する。そして、ステップＳＴ１１６において、中心４１１の位置に基づいて、第１及び第２の移動部４，５Ｂにより、設定された移動量だけ第１及び第２の基板１０，２０Ｂを平面方向に移動させる。これによって、第１のメインパターン４１を撮像部６の撮像領域の中心位置に移動させ、第１のメインパターン４１を検出する。

次に、ステップＳＴ１１７において、図１３（Ａ）に示すように、第１及び第２の基板１０，２０Ｂが重ねられた状態で、撮像部６により、少なくとも二つの第２のサブパターン５２が含まれる第１及び第２の基板１０，２０Ｂの画像を取得する。

次に、ステップＳＴ１１８において、ステップＳＴ１１７で取得した画像に第２のメインパターン５１が含まれるか否かを判定する。取得した画像に第２のメインパターン５１が含まれるか否かの判定は、制御部７によって行われる。具体的には、制御部７には、第２のメインパターン５１の形状を表す形状情報が予め記憶されており、この形状情報に基づく形状と、実際に取得した画像に含まれる形状とを比較して、取得した画像に第２のメインパターン５１が含まれるか否かを判定する。取得した画像に第２のメインパターン５１が含まれないと判定された場合には、ステップＳＴ１１９に進む。一方、取得した画像に第２のメインパターン５１が含まれると判定された場合には、ステップＳＴ１２１に進む。

次に、ステップＳＴ１１９において、取得した画像に含まれる二つの第２のサブパターン５２，５２から、第２の仮想直線５３，５３同士の第２の交点５３１の位置を算出する。具体的には、制御部７には、第２のサブパターン５２の形状を表す形状情報が予め記憶されており、この形状情報に基づく形状と、実際に取得した画像に含まれる形状とを比較して、取得した画像に含まれる第２のサブパターン５２を認識する。そして、図１３（Ｂ）に示すように、取得した画像に含まれるそれぞれの第２のサブパターン５２と、制御部７に記憶された形状情報に基づく形状とを比較して、画像に含まれる第２のサブパターン５２のうち形状情報に基づく形状に対して相関値の高い二つの第２のサブパターン５２を選択する。なお、図１３（Ｂ）では、選択された第２のサブパターン５２を実線で表示し、その他の第２のサブパターン５２を破線で表示した。

そして、選択された二つの第２のサブパターン５２のそれぞれの対称軸５２１を延長して下記（３）式及び（４）式で表される第２の仮想直線５３，５３を算出する。そして、下記（３）式及び（４）式に基づいて、第２の仮想直線５３，５３同士の第２の交点５３１の位置を算出する。
Ｙ＝ａ_３Ｘ＋ｂ_３ … （３）
Ｙ＝ａ_４Ｘ＋ｂ_４ … （４）

次に、ステップＳＴ１２０において、ステップＳＴ１１９で算出された第２の交点５３１のＸ座標をＸ方向への移動量に設定し、第２の交点５３１のＹ座標をＹ方向への移動量に設定し、ステップＳＴ１２２において、図１３（Ｃ）に示すように、算出された第２の交点５３１の位置に基づいて、第２の移動部５Ｂにより、設定された移動量だけ上プレート３を平面方向に移動させる。これによって、撮像部６の撮像領域の中心位置に第２のメインパターン５１が移動して、撮像部６により第２のメインパターン５１が検出される。

この場合、ステップＳＴ１２２において、撮像部６の撮像領域の中心位置には、既に第１のメインパターン４１が配されており、第２のメインパターン５１を撮像部６の領域の中心位置に移動させることで、第１及び第２のメインパターン４１，５１（具体的には、これらの中心４１１，５１１）が、平面視において、実質的に一致して配されることになる。

この場合、第１のメインパターン４１と第２のメインパターン５１とは、相互に異なる形状を有しているため、撮像部６の撮像領域内に第１及び第２のメインパターン４１，５１が存在しても、これらを誤認識するおそれは低い。また、第２のメインパターン５１は、第１のメインパターン４１の外形よりも大きい開口５１２を有しているため、第１及び第２のメインパターン４１，５１が重なっても、第１のメインパターン４１が第２のメインパターン５１に遮られて、撮像部６に第１のメインパターン４１が撮像されなくなるおそれは低い。

なお、ステップＳＴ１１８において、取得した画像に第２のメインパターン５１が含まれると判定された場合には、ステップＳＴ１２１において、取得した画像に含まれている第２のメインパターン５１の中心５１１の位置を算出する。そして、中心５１１のＸ座標をＸ方向への移動量に設定し、中心５１１のＹ座標をＹ方向への移動量に設定し、ステップＳＴ１２２において、第２の移動部５Ｂにより、設定された移動量だけ上プレート３を平面方向に移動させる。これによって、撮像部６の撮像領域の中心位置に第２のメインパターン５１が移動して、第２のメインパターン５１が検出されると共に、第１及び第２のメインパターン４１，５１が、平面視において、実質的に一致して配されることとなる。

次に、ステップＳＴ１２３において、検出された第１及び第２のメインパターン４１，５２に基づいて、第１及び第２の移動部４，５Ｂの少なくとも一方を動作させて、第１及び第２の基板１０，２０Ｂの位置を微調整し、第１及び第２の基板１０，２０Ｂを高精度にアライメントする。

次に、ステップＳＴ１２４において、第２の移動部５Ｂにより上プレート３を下プレート２に接近させて、第１及び第２の基板１０，２０Ｂを重ね合わせ接合させる。以上により、アライメント装置１Ｂの処理を終了する。

本実施形態のアライメントマーク対３０及びアライメント方法は、以下の効果を奏する。

本実施形態のアライメントマーク対３０を使用することで、第１及び第２の基板１０，２０Ｂのアライメントを行う際に、上述の実施形態で説明した作用・効果と同様の作用・効果を得ることができる。

また、本実施形態では、第１のメインパターン４１と第２のメインパターン５１とは、相互に異なる形状を有している。このため、撮像部６の撮像領域内に第１及び第２のメインパターン４１，５１が存在しても、これらを誤認識するおそれは低い。このため、第１及び第２の基板１０，２０Ｂの位置合わせ作業性の向上を図ることができる。

また、第２のメインパターン５１は、第１のメインパターン４１の外形よりも大きい開口５１２を有しているため、第１及び第２のメインパターン４１，５１が重なっても、第１のメインパターン４１が第２のメインパターン５１に遮られて、撮像部６に第１のメインパターン４１が撮像されなくなるおそれは低い。このため、第１及び第２の基板１０，２０Ｂをより高精度に位置合わせすることができる。

また、本実施形態では、第１のサブパターン４２と第２のサブパターン５２とは、相互に異なる形状を有している。このため、ステップＳＴ１１７において取得した画像に第１のサブパターン４２が含まれるか否かを判定する際に、第２のサブパターン５２を誤認識するおそれは低い。このため、第１及び第２の基板１０，２０Ｂの位置合わせ作業性の向上を図ることができる。

また、第２のサブパターン５２は、第１のサブパターン４２の外形よりも大きい開口５２２を有しているため、第１及び第２のサブパターン４１，５２が重なっても、第１のサブパターン４２が第２のサブパターン５２に遮られて、撮像部６に第１のサブパターン４２が撮像されなくなるおそれは低い。このため、第１及び第２の基板１０，２０Ｂをより高精度に位置合わせすることができる。

本実施形態における「第１の基板１０」が本発明における「第１のアライメント対象物」の一例に相当し、本実施形態における「第２の基板２０Ｂ」が本発明における「第２のアライメント対象物」の一例に相当し、本実施形態における「アライメントマーク対３０」が本発明における「アライメントマーク対」の一例に相当し、本実施形態における「第１のアライメントマーク４０」が本発明のおける「第１のアライメントマーク」の一例に相当し、本実施形態における「第１のメインパターン」が本発明における「第１のメインパターン」の一例に相当し、本実施形態における「第１のサブパターン」が本発明における「第１のサブパターン」の一例に相当し、本実施形態における「第１の仮想直線４３」が本発明における「第１の仮想直線」の一例に相当し、本実施形態における「第２のアライメントマーク５０」が本発明における「第２のアライメントマーク」の一例に相当し、本実施形態における「第２のメインパターン５１」が本発明における「第２のメインパターン」の一例に相当し、本実施形態における「第２のサブパターン５２」が本発明における「第２のサブパターン」の一例に相当し、本実施形態における「第２の仮想直線５３」が本発明における「第２の仮想直線」の一例に相当する。

また、本実施形態における「ステップＳＴ１１１」が本発明における「第１の工程」の一例に相当し、本実施形態における「ステップＳＴ１１２」が本発明における「第２の工程」の一例に相当し、本実施形態における「ステップＳＴ１１３」が本発明における「第３の工程」の一例に相当し、本実施形態における「ステップＳＴ１１６」が本発明における「第４の工程」の一例に相当し、本実施形態における「ステップＳＴ１１７」が本発明における「第５の工程」の一例に相当し、本実施形態における「ステップＳＴ１１８」が本発明における「第６の工程」の一例に相当し、本実施形態における「ステップＳＴ１１９」が本発明における「第７の工程」の一例に相当し、本実施形態における「ステップＳＴ１２２」が本発明における「第８の工程」の一例に相当する。

なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

例えば、上述の実施形態では、ステップＳＴ１１１〜ステップＳＴ１１６を実行した後に、ステップＳＴ１１７〜ステップＳＴ１２２を実行しているが、特にこれに限定されず、ステップＳＴ１１１〜ステップＳＴ１１６と、ステップＳＴ１１７〜ステップＳＴ１２２とを同時に実行してもよい。

また、例えば、上述の実施形態では、下プレート２及び上プレート３の両方のプレートを相互に独立して平面方向に移動可能なアライメント装置１Ｂを用いて、アライメントマーク対３０を使用した第１及び第２の基板１０，２０Ｂのアライメントを行っていたが、特にこれに限定されず、下プレート２のみが平面方向に移動可能なアライメント装置１を用いてアライメントマーク対３０を使用した第１及び第２の基板１０，２０Ｂのアライメントを行ってもよい。

具体的には、まず、第２の基板２０Ｂを上プレート３に保持させず、第１及び第２の基板１０，２０Ｂを重ねた状態で下プレート２に吸着保持させる。そして、第２のアライメントマーク５０（具体的には、第２のサブパターン５２）に基づいて第１の移動部４を動作させ、下プレート２を平面方向に移動する。これにより、第２のアライメントマーク５０の第２のメインパターン５１が検出される。

そして、第２のメインパターン５１を検出した状態で、第２の移動部５により上プレート３を下降させ、第２の基板２０Ｂを上プレート３に吸着保持させる。そして、第１の移動部４を動作させ、下プレート２を平面方向に移動させる。この場合、第２の基板２０Ｂは上プレート３に吸着保持されているため、第１の基板１０のみが平面方向に移動する。そして、第１のアライメントマーク４０（具体的には、第１のサブパターン４２）に基づいて下プレート２を平面方向に移動させることで、第１のアライメントマーク４０の第１のメインパターン４１が検出される。以上により、第１及び第２のメインパターン４１，５２が実質的に一致した状態となる。

また、例えば、上述の実施形態では、第１及び第２の基板１０，２０をアライメントした後に、上プレート３を下降させて、第１及び第２の基板１０，２０を重ね合わせているが、特に上述に限定されず、上プレート３を下降させて、第１及び第２の基板１０，２０を重ね合わせた後に、第１及び第２の基板１０，２０をアライメントしてもよい。この場合、図１４に示すように、第１及び第２の基板１０，２０の間に未硬化の状態で流動性を有する樹脂材料６０を介在させてもよい。本例では、未硬化の状態の樹脂材料６０を介在させた状態で、第１及び第２の基板１０，２０を相互に平面方向に移動させて、これらのアライメントを行っている。

１，１Ｂ…アライメント装置
２…下プレート
２１…第１の保持面
３…上プレート
３１…第２の保持面
４…第１の移動部
５，５Ｂ…第２の移動部
６…撮像部
７…制御部
１０…第１の基板
２０，２０Ｂ…第２の基板
３０…アライメントマーク対
４０…アライメントマーク（第１のアライメントマーク）
４１…メインパターン（第１のメインパターン）
４１１…中心
４２…サブパターン（第１のサブパターン）
４２１…対称軸
４３…仮想直線（第１の仮想直線）
４３１…交点（第１の交点）
５０…第２のアライメントマーク
５１…第２のメインパターン
５１１…中心
５１２…開口
５２…第２のサブパターン
５２１…対称軸
５２２…開口
５３…第２の仮想直線
５３１…第２の交点
６０…樹脂材料

Claims (9)

1. メインパターンと、
   前記メインパターンの周囲に放射状に配されると共に、相互に離間して配された少なくとも二つのサブパターンと、を含み、
   それぞれの前記サブパターンは、前記メインパターンの存在する方向を示す方向情報を含み、
   全ての前記サブパターンの前記方向情報に基づいた方向に延在する仮想直線同士の交点は、前記メインパターンと実質的に一致しているアライメントマーク。
2. 請求項１に記載のアライメントマークであって、
   前記サブパターンは、その形状が線対称となる対称軸を有し、
   前記サブパターンの前記方向情報は、前記サブパターンの前記対称軸の延在方向を含むアライメントマーク。
3. 請求項２に記載のアライメントマークであって、
   前記サブパターンは、前記対称軸を一つのみ有するアライメントマーク。
4. 請求項１〜３の何れか１項に記載のアライメントマークであって、
   全ての前記サブパターンの形状は、同一であるアライメントマーク。
5. 第１のアライメント対象物に形成された第１のアライメントマークと、
   前記第１のアライメントマークに重ねられた第２のアライメント対象物に形成された第２のアライメントマークと、を備え、
   前記第１のアライメントマークは、
   第１のメインパターンと、
   前記第１のメインパターンの周囲に放射状に配される共に、相互に離間して配された少なくとも二つの第１のサブパターンと、を含み、
   それぞれの前記第１のサブパターンは、前記第１のメインパターンの存在する方向を示す第１の方向情報を含み、
   全ての前記第１のサブパターンの前記第１の方向情報に基づいた方向に延在する第１の仮想直線同士の第１の交点は、前記第１のメインパターンと実質的に一致しており、
   前記第２のアライメントマークは、
   第２のメインパターンと、
   前記第２のメインパターンの周囲に放射状に配されると共に、相互に離間して配された少なくとも二つの第２のサブパターンと、を含み、
   それぞれの前記第２のサブパターンは、前記第２のメインパターンの存在する方向を示す第２の方向情報を含み、
   全ての前記第２のサブパターンの前記第２の方向情報に基づいた方向に延在する第２の仮想直線同士の第２の交点は、前記第２のメインパターンと実質的に一致しており、
   前記第１のメインパターンと、前記第２のメインパターンとは、相互に異なる形状を有し、
   前記第１のサブパターンと、前記第２のサブパターンとは、相互に異なる形状を有するアライメントマーク対。
6. 請求項１〜４の何れか１項に記載のアライメントマークを用いてアライメント対象物の位置合わせをするアライメント方法であって、
   少なくとも前記サブパターンを含む画像を取得する第１の工程と、
   前記画像に前記メインパターンが含まれるか否かを判定する第２の工程と、
   前記第２の工程で前記画像に前記メインパターンが含まれないと判定された場合に、前記画像に含まれる前記サブパターンから前記交点の位置を算出する第３の工程と、
   前記第３の工程で算出された前記交点の位置に基づいて、前記アライメント対象物を平面方向に移動させる第４の工程と、を備えるアライメント方法。
7. 請求項６に記載のアライメント方法であって、
   前記第２の工程で前記画像に前記メインパターンが含まれると判定された場合に、前記画像に含まれる前記メインパターンの位置に基づいて、前記アライメント対象物を平面方向に移動させる第５の工程を実行するアライメント方法。
8. 請求項６又は７に記載のアライメント方法であって、
   複数の前記仮想直線は、前記画像において、相互にずれて配されているアライメント方法。
9. 請求項５に記載のアライメントマーク対を用いて前記第１及び前記第２のアライメント対象物の位置合わせをするアライメント方法であって、
   前記第１及び前記第２のアライメント対象物が重ねられた状態で、少なくとも前記第１のサブパターンを含む第１の画像を取得する第１の工程と、
   前記第１の画像に前記第１のメインパターンが含まれるか否かを判定する第２の工程と、
   前記第２の工程で前記第１の画像に前記第１のメインパターンが含まれないと判定された場合に、前記第１の画像に含まれる前記第１のサブパターンから前記第１の交点の位置を算出する第３の工程と、
   前記第３の工程で算出された前記第１の交点の位置に基づいて、前記第１のアライメント対象物を平面方向に移動させる第４の工程と、
   前記第１及び前記第２のアライメント対象物が重ねられた状態で、少なくとも前記第２のサブパターンを含む第２の画像を取得する第５の工程と、
   前記第２の画像に第２のメインパターンが含まれるか否かを判定する第６の工程と、
   前記第６の工程で前記第２の画像に前記第２のメインパターンが含まれないと判定された場合に、前記第２の画像に含まれる前記第２のサブパターンから前記第２の交点の位置を算出する第７の工程と、
   前記第７の工程で算出された前記第２の交点の位置に基づいて、前記第２のアライメント対象物を平面方向に移動させる第８の工程と、を備えるアライメント方法。

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