JPH0440462A

JPH0440462A - 露光装置

Info

Publication number: JPH0440462A
Application number: JP2148372A
Authority: JP
Inventors: Yuji Takagi; 高木　雄二; Hiroyuki Sato; 博之佐藤
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 1990-06-06
Filing date: 1990-06-06
Publication date: 1992-02-10
Anticipated expiration: 2012-10-27
Also published as: JP2669110B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、例えば回路基板などの基板に投影パターンを
露光させる露光装置に関する。

（従来の技術）従来、例えばＰＷＢ　（プリンティングワイヤーボード
）などの回路基板を作製する露光装置には、回路パター
ン等のパターンを形成した透光性の投影部材（パターン
フィルム）に、未露光状態の感光性の基板を当接させ、
投影部材を透して光を照射することにより、基板に回路
パターンを露光形成するものが知られている。

この露光装置は、露光ユニットとアライメントユニット
を備えている。アライメントユニットは、投影部材を搬
入するチーフルと、このテーブルの上の投影部材に設け
られたアライメントマークの位置を観察記録するＣＣＤ
カメラとを備えており、テーブルに投影部材が送られて
きた時に投影部材のアライメントマークをＣＣＤカメラ
で捕らえてアライメントマークの位置をＣＰＵに記憶さ
せるようになっている。アライメントマークの位置が記
憶された投影部材は、その姿勢を変えることなく露光ユ
ニットにスライド移送され、露光ユニットの透光板に両
面テープ等により固定される。露光ユニットに投影部材
が移送された後に、アライメントユニットのテーブルに
は、未露光の基板が搬入される。基板にはアライメント
マークに一致させるためのターゲットマーク（位置合わ
せ用の穴）が設けられており、このアライメントユニッ
トのテーブルに基板が搬入された時、基板のターゲット
マークがＣＣＤカメラによって読み取られて、ターゲッ
トマークの位置がＣＰＵに送信される。ＣＰＵに送信さ
れたターゲットマークの位置情報は、ＣＰＵ内に保持さ
れたアライメントマークの位置情報と比較されて、ター
ゲットマークの位置がアライメントマークの許容範囲内
に位置するように、補正データが算出され、基板が投影
部材の所定位置に位置するように（アライメントマーク
の位置にターゲットマークの位置が重なるように）、テ
ーブルの駆動装置が駆動される。駆動装置の駆動により
テーブルが駆動され、基板の姿勢が変更されたら、基板
はアライメントテーブルから露光ユニットの透光板に固
定された投影部材の上にスライド移送され、露光ユニッ
トの発光手段が発光して露光が行なわれる。

このような露光装置で回路パターンが露光された基板は
、次の工程で化学処理されて回路パターンが形成され、
そのまま電子部品がボンディングされたり、他の基板と
の積層により立体的なより複雑な回路が形成される。こ
の露光済み基板のパターンチエツクは所望枚数行なわれ
る。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、このような従来の露光装置は、投影部材
並びに基板をアライメントユニットから露光ユニットの
透光板にスライド移送するときに、投影部材と基板との
間に僅かながら定量的な位置ずれを生じる場合がある。

このような状態で基板の露光を所望枚数行ない、露光済
み基板のパターンチエツクを行なうと、無駄な基板の製
造のために露光装置の運転時間が浪費されると共に、基
板の製造に無駄が生ずるという問題があった。

本発明は、かかる課題に着目してなされたものであり、
基板の浪費と露光装置の無駄な運転を回避するために、
露光する時の基板と投影部材との位置ずれを早く検知し
て基板の姿勢を修正することを技術的目的とする。

（課題を解決するための手段）上記課題を解決するために、本発明にかかる露光装置は
、　　位置決め用の基準指標を有するパターン投影用の
投影部材が搬入、搬出された後に、前記基準指標に合致
させる位置決め指標を有する感光性の基板とが搬入、搬
出されるテーブルと、このテーブルに存在する前記投影
部材の基準指標及び前記基板の位置決め指標を観察する
第１の観察手段と、前記テーブルに前記投影部材がある
時にこの第１の観察手段にて観察された前記基準指標を
基準データとして記憶する第１の記憶手段と、前記テー
ブル上に前記基板がある時に前記撮像素子にて観察され
た前記位置決め指標を補正対象データとして保持する第
２の記憶手段と、この第２の記憶手段の補正対象データ
と前記第１の記憶手段の基準データとを比較して前記基
準指標と前記位置決め指標との位置ずれ量を補正データ
として算出する第１の演算手段と、この第１の演算手段
の補正データに基づいて前記位置決め指標が前記基準指
標の許容範囲内に位置するように前記チーフルを移動さ
せる駆動手段とを備えたアライメントユニットと、前記テーブルから前記投影部材が搬入且つ固定された後
にこの投影部材の上に前記基板が搬入される透光板と、
この透光板と前記投影部材を介して前記基板を露光する
発光手段とを備えた露光ユニットと、この露光ユニットに配設され、前記位置決め指標と前記
基準指標の重合像を観察する第２の観察手段と、この第２の観察手段で観察した重合像より前記透光板上
の投影部材と基板の位置ずれ量を算出し、この算出結果
を第２の補正データとして前記駆動手段に出力する第２
の演算手段と、を備えていることを特徴とする。

（作　用）本発明にかかる露光装置によれば、露光ユニットの透光
板に投影部材が固定され、この投影部材の上に基板が位
置決めされた状態で発光手段から光を照射すると、透光
板及び投影部材を介して基板に投影パターンが露光され
る。この露光に際し、投影部材の基準指標と基板の位置
決め指標の重合像が第２の観察手段により観察される。

第２の演算手段上記課題を解決するために、本発明にか
かるの位置決め指標の重合像により投影部材と基板との
ずれが演算され、アライメントユニットから露光ユニッ
トに移送される間にどの程度投影部材又は基板に位置ず
れが生ずるかが第２の補正データとして算出てきる。こ
の第２の補正データを第１の補正データに加算して駆動
装置を駆動制御すると、その後の基板の投影パターンの
露光の位置を適正なものとすることができると共に、も
し、最初の露光位置が基準より外れていた場合、最初に
露光した基板を排除、回収することにより、基板の浪費
と露光装置の無駄な運転を回避することが出来る。

（実施例）以下、本発明の実施例にかかる露光装置を図面を参照し
つつ説明する。

第１図は本実施例にかかる露光装置１の要部構成を示し
たものである。露光装置１は感光性のある基板２にパタ
ーンフィルム３（投影部材）の回路パターンを投影して
露光させるものであり、第３図、第４図に示すように、
基板２には位置合わせ指標としてのターゲットマーク２
ａ、２ａが設けられ、パターンフィルム３には回路パタ
ーン３ｂ及び位置合わせ用の基準指標としてのアライメ
ントマーク３ａ、３ａが設けられている。

露光装置ｌは、一番上にパターンフィルム３が搭載され
た状態で多数の基板２が積層して収納されるプリアライ
メントユニット４と、このプリアライメントユニット４
からトラバーサユニット５を介してパターンフィルム３
及び基板２が搬入されるアライメントユニット６と、ト
ラバーサユニット５を介してパターンフィルム３及び基
板２がアライメントユニット６から搬入される露光ユニ
ット７とを備えている。

アライメントユニット６は、パターンフィルム３に対し
て基板２を位置合わせして露光ユニット７に搬出するも
ので、プリアライメントユニット４からパターンフィル
ム３が搬入されるテーブル８を備えている。テーブル８
には、テーブル８上に搬入された時に、パターンフィル
ム３のアライメントマーク３ａ、３ａの位置及び形状並
びに基板２の一対のターゲットマーク２ａ、２ａを観察
する一対の開口部９．９が形成されている。テーブル８
の一対の開口部９，９の下方には、アライメントマーク
３ａ、３ａ及びターゲットマーク２ａ　、　２ａの位置
及び形状を記憶するＣＯＤカメラ１０．１０　（第１の
観察手段〉が開口部９，９に臨んて配設されている。テ
ーブル８は、テーブル８を駆動する駆動装置１１の支持
ロッドＩｌａ上に設けられ、図示しない空気吸引手段に
よりテーブル８上に位置するパターンフィルム３などを
吸着できるようになっている。支持ロッドｌｌａは、テ
ーブル８により基板２を吸着した状態で基板２の延在方
向に沿ってｘ、　　ｙ。

θ方向（即ち、水平面に沿って前後左右方向並びに回転
方向）に駆動されるようになっている。この駆動装置１
１には制御手段１２が設けられており、制御手段１２は
、ＣＣＤカメラ１０．１０にて観察されたパターンフィ
ルム３のアライメントマーク３ａ、３ａの位置及び形状
の観察データを基準位置データとして記憶する第１の記
憶手段１３と、ＣＣＤカメラ１０１０にて観察された基
板２のターゲットマーク２ａ、２ａの位置及び形状を記
憶する第２の記憶手段１４とを備えている。この第１の
記憶手段１３と第２の記憶手段１４は、第１の演算手段
１５を備えており、この第１の演算手段１５において、
アライメントマーク３ａ、３ａに対するターゲットマー
ク２ａ、２ａの位置ずれ量を算出する。第１の演算手段
１５は、このずれ量に基づいてテーブル８の姿勢を補正
する第１の補正データを出力するように駆動装置１１０
制御装置１６に接続されている。

トラバーサユニット５は、プリアライメントユニット４
からアライメントユニット６及びアライメントユニット
６から露光ユニット７にパターンフィルム３及び基板２
を搬送するものであり、図示しないトラバーサユニット
駆動装置により水平方向と垂１】直方向に移動可能になっている。トラバーサユニット５
は、プリアライメントユニット４からチーフル８にパタ
ーンフィルム３及び基板２を搬送する吸着アーム部１７
と、チーフル８から露光ユニット７にパターンフィルム
３及び基板２を移動させる吸着部本体１８と、露光ユニ
ット７から基板２及びパターンフィルム３を搬出する吸
着アーム部１９とを備えている。

吸着アーム部１７と吸着アーム部】９は、吸着部本体１
８の移動方向の前後部に突設されている。吸着部本体１
８は駆動制御並びに空気吸引制御を行なう制御手段２０
とガイド手段（図示省略）により、定方向に一定の距離
で精密にパターンフィルム３及び基板２を搬送てきるよ
うになっている。

このトラバーサユニット５の移動及び吸着動作は、チー
フル８及び露光ユニット７との動作と関連しており、プ
リアライメントユニット４或はテーブル８若しくは露光
ユニット７からパターンフィルム３及び基板２を吸着す
るとき、プリアライメントユニット４並びにアライメン
トユニット６及び露光ユニット７の透明なアクリル板２
１に向かって上下動する。

そして、吸着アーム部１７．１９及び吸着部本体１８は
、パターンフィルム３及び基板２の搬送時に吸着及び吸
着解除を行なうように制御される。尚、トラバーサユニ
ット５の動作は露光装置１の動作の説明において併せて
説明する。

露光ユニット７は、透光板としての透明なアクリル板２
１と、発光手段としての超高圧水銀灯よりなるランプ２
２と、凹面鏡形状のミラー２３とを備えている。アクリ
ル板２１の下方には、パターンフィルム３のアライメン
トマーク３ａ、３ａを観察するための第２の観察手段を
構成する一対のハーフミラ−２４，２４と一対のＣＣＤ
カメラ２５．２５とが配設されている。ハーフミラ−２
４，２４は、９２１２２発光時の光を透過すると共に、
基板２、パターンフィルム３からの反射光を一対のＣＣ
Ｄカメラ２５．２５に導くように配設されている。一対
のＣＣＤカメラ２５．２５は、アクリル板２１上の所定
位置にパターンフィルム３が固定され、このパターンフ
ィルム３の上に基板２が搬入された時に、ターゲットマ
ーク２ａ　、　２ａとアライメントマーク３ａ　、　３
ａとの重合した像を観察するものであり、一対のＣＣＤ
カメラ２５．２５には、観察したターゲットマーク２ａ
、２ａとアライメントマーク３ａ、３ａとの位置を記憶
する第３の記憶手段２６が接続されている。

この第３の記憶手段２６には、観察したターゲットマー
ク２ａ　、　２ａとアライメントマーク３ａ、３ａとの
位置ずれ量を算出する第２の演算手段２７が接続されて
いる。第２の演算手段２７は、アクリル板２１における
アライメントマーク３ａ、３ａとターゲットマーク２ａ
　、　２ａとの重なった像よりそれぞれの円形のアライ
メントマーク３ａ、３ａ、ターゲットマーク２ａ　、　
２ａの円の中心を求めて、アライメントマーク３ａ、３
ａの中止位置のデータよりパターンフィルム３の位置を
得ると共に、ターゲットマーク２ａ、２ａの中心位置の
データより基板２の位置を得、この二つの位置のデータ
を比較してパターンフィルム３に対して基板２がＸ、Ｙ
θ力方向どの位ずれているかを演算する。第２の演算手
段２７は、その位置ずれ量を第２の補正データとして制
御手段１６に出力する。制御手段１６に出力された第２
の補正データは、第１の演算手段１５にて算出された第
１の補正データに加算されるように駆動装置１１の制御
手段１６に出力され、テーブル８を移動を制御する。

次に、本実施例にかかる露光装置１の動作について説明
する。

露光装置１の露光工程にはいる前に、プリアライメント
ユニット４には、一番上にパターンフィルム３が搭載さ
れた状態で、基板２が多数積層されて収納され、又、パ
ターンフィルム３と基板２とのアライメント調整が行な
われる。

即ち、先ず、制御手段２０のからトラバーサユニット５
の駆動手段に対して吸着部本体】８をテーブル８に対向
させるように駆動命令が出力され、チーフル８の上方に
吸着部本体１Ｂが位置するようにトラバーサユニット５
が移動される。このとき、吸着アーム部】７はプリアラ
イメントユニット４の上方に位置し、吸着アーム部１９
はアクリル板２１の上方に位置して静止する。

次に、トラバーサユニット５全体が下降して吸着アーム
部１７にパターンフィルム３が当接し、吸着部本体１８
がテーブル８に接近し、吸着アーム部１９がアクリル板
２１に接近する。この状態で、吸着アーム部１７の空気
吸引が行なわれ、吸着アーム部１７にパターンフィルム
３がプリアライメントされた状態で吸着される。

吸着アーム部］７にパターンフィルム３が吸着されたら
、吸着アーム部１７はパターンフィルム３を吸弓する状
態を保持しながら、トラバーサユニット５は上昇してプ
リアライメントユニット４あるいはアライメントユニッ
ト６及び露光ユニット７から遠ざかる。トラバーサユニ
ット５は上昇後パターンフィルム３を保持した状態で、
パターンフィルム３がチーフル８の上方に位置するよう
に移動する。パターンフィルム３がチーフル８の真上に
位置したら、トラバーサユニット５が下降する。トラバ
ーサユニット５の下降によりパターンフィルム３がテー
ブル８の上に位置したら、吸着アーム部１７の空気吸引
が停止されると共に、テーブル８の空気吸引が行なわれ
る。

これによって、テーブル８上にパターンフィルム３が吸
着固定される。

パターンフィルム３がテーブル８の上に固定されたら、
ＣＣＤカメラ１０．１０によりテーブル８上のパターン
フィルム３のアライメントマーク３ａ、３ａの観察が行
なわれる。ＣＣＤカメラ１０．１０によって観察された
アライメントマーク３ａ、３ａの形状と位置は、第１の
記憶手段１３に記憶されて保持される。

第１の記憶手段１３によってアライメントマーク３ａ、
３ａの記憶が完了したら、吸着アーム部１７がテーブル
８から遠ざかるように、再びトラバーサユニット５は上
昇する。トラバーサユニット５は上昇緩、吸着アーム部
１７がプリアライメントユニット５０基板２の上方に位
置するように、プリアライメントユニット４側に移動す
る。

吸着アーム部１７がプリアライメントユニット４の基板
２の真上に位置したら、トラバーサユニット５は下降し
、吸着アーム部１７が基板２に当接する。吸着アーム部
１７が基板２に当接したら、吸着アーム部１７がら空気
の吸引が行なわれ、基板２が吸着アーム部１７に吸着さ
れる。このとき、吸着部本体１８においても空気の吸引
が行なわれ、吸着部本体１８がパターンフィルム３の吸
引を行なうと共に、テーブル８の空気吸引が解除され、
吸着部本体１８にパターンフィルム３が吸着される。

吸着アーム部１７が基板２を吸着したら、トラバーサユ
ニット５は上昇した後に、吸着アーム部１７がテーブル
８の真上に位置するように横移動する。このトラバーサ
ユニット５の横移動により、吸着部本体１８は露光ユニ
ット７のアクリル板２１の真上に位置する。吸着アーム
部１７がテーブル８の真上に位置し、吸着部本体１８が
アクリル板２１の真上に位置したら、トラバーサユニッ
ト５は下降し、チーフル８の上に基板２を搭載する。こ
のとき、吸着アーム部１７の空気吸引が解除されると共
に、チーフル８の空気吸引が開始される。又、このとき
、吸着部本体１８のパターンフィルム３がアクリル板２
１の上面に張り付けられた両面テープに当接し、吸着部
本体１８の空気吸引が解除されてアクリル板２１上にパ
ターンフィルム３が固定される。

テーブル８に基板２が固定され、アクリル板２１にパタ
ーンフィルム３が固定されたら、トラバーサニア− ニット５が上昇して吸着部本体１８がテーブル８の真上
に位置し、吸着アーム部１７がプリアライメントユニッ
ト４の真上に位置するように横移動すると共に、ＣＣＤ
カメラ１０．１０によって基板２のターゲットマーク２
ａ、２ａが観察される。

ＣＣＤカメラ１０．１０によってｉｌｌ察されたターゲ
ットマーク２ａ　、　２ａの観察データは、第２の記憶
手段１４に送信されて記憶される。この第２の記憶手段
］４に記憶されたターゲットマーク２ａ、２ａの観察デ
ータと、第１の記憶手段１３に記憶されたアライメント
マーク３ａ、３ａの観察データとは、第１の演算手段１
５に送信されてアライメントマーク３ａ、３ａに対する
ターゲットマーク２ａ、２ａの位置ずれ量が算出される
。

第１の演算手段１５にて算出されたアライメントマーク
３ａ、３ａに対するターゲットマーク２ａ　、　２ａの
位置ずれ量に関するデータは、第１の補正データとして
制御手段１６に送信され、アライメントマーク３ａ、３
ａの許容範囲内にターゲットマーク２ａ、２ａが位置す
るように、制御手段１６から駆動手段１１に姿勢を変え
る命令信号が送信され、テーブル８がｘ、　　ｙ、　　
θ方向に移動する。このテーブル８の移動はトラバーサ
ユニット５が上昇している間に行なわれる。

チーフル８が第１の補正データに基づいて移動する事に
より基板２を受は取る位置が適正に補正されたら、トラ
バーサユニット５が下降して吸着アーム部１７に基板２
゛が吸着され、吸着部本体１８にテーブル８の基板２が
吸着される。このときの吸着アーム部１７と吸着部本体
１８並びにテーブル８における空気吸引動作は前述の通
っであるので、その説明を援用する。トラバーサユニッ
ト５の下降時に吸着アーム部１７に基板２′が吸着され
、吸着部本体１８に基板２が吸着されたら、トラバーサ
ユニット５は上昇して、吸着アーム部１７がテーブル８
の真上に位置し、吸着部本体１８がパターンフィルム３
の真上に位置するように、トラバーサユニット５が横移
動する。吸着アーム部１７がテーブル８の真上に位置し
、吸着部本体１８がパターンフィルム３の真上に位置し
たら、トラバーサユニット５が下降して基板２′がテー
ブル８の上に固定されると共に、基板２がパターンフィ
ルム３の上に固定される。パターンフィルム３上の基板
２は、図示しない抑圧手段により基板２の周縁部がアク
リル板２１に押圧されることにより行なわれる。基板２
がパターンフィルム３の上に固定されたら、ランプ２２
が発光する。ランプ２２の紫外光はハーフミラ−２４，
２４及びアクリル板２１及びパターンフィルム３の透明
部分を通過して基板２に照射され、基板２が露光される
。このとき、基板２がらの反射光により、アライメント
マーク３ａ、３ａとターゲットマーク２ａ　、　２ａの
像が、ハーフミラ−２４，２４を介してＣＣＤカメラ２
５．２５によって観察される。

ＣＣＤカメラ２５．２５によって観察されたアライメン
トマーク３ａ、３ａとターゲットマーク２ａ　、　２ａ
の像は、第３の記憶手段２６に記憶される。第３の記憶
手段２６に記憶されたアライメントマーク３ａ、３ａと
ターゲットマーク２ａ、２ａの観察データは、第２の演
算手段２７においてアライメントマーク３ａ、３ａに対
するターゲットマーク２ａ、２ａのｘ、　　ｙ、　　θ
方向のずれ量が演算される。この第２の演算手段２７に
おけるずれ量のデータは第２の補正データとして制御手
段１６に送信される。制御手段］６では、第１の補正デ
ータに第２の補正データを加算してその加算されたデー
タが駆動装置１１に送信される。駆動装置１１は、この
加算されたデータに基づいてアクリル板２１のパターン
フィルム３の上に次の基板２′がより正規な位置に位置
するようにテーブル８を駆動する。

即ち、吸着アーム部１７によってテーブル８の上に搬送
された基板２′についても、前述のＣＣＤカメラ１０．
１０によりターゲットマーク２’ａ、２°ａの観察が行
なわれ、第１の演算手段１５において第１の記憶手段１
３において記憶されている観察データとの比較演算が行
なわれおり、基板２′に関する第１の補正データが算出
される。

この第１の補正データに以降代２の補正データがくわえ
られて駆動装置１１が駆動されて、テーブル８上の基板
２“の位置が調整される。これにより、基板２°′がア
ライメントユニット６から露光ユニット７に移送される
間にずれてしまう量も考慮されて位置調整される。

基板２°のアライメント調整が完了したら、トラバーサ
ユニット５が下降し、前述の動作の如く吸着＝２２− 部本体１８に基板２′が吸着されるとともに、吸着アー
ム部１７に新たな基板２′”が吸着され、吸着アーム部
１９最初の基板２が吸着される。この状態でトラバーサ
ユニット５は上昇し、吸着部本体１８がアクリル板２１
の真上に位置するようにトラバーサユニット５が横移動
する。吸着部本体１８がアクリル板２１の真」二に位置
したら、トラバーサユニット５の横移動は停止した後に
下降して、吸着部本体１８の基板２′をアクリル板２１
の上に固定し、吸着アーム部１７の基板２パをテーブル
８の上に固定し、吸着アーム部１９の基板２を露光ユニ
ット７の後工程に配設されたスタッカ２９に積層する。

第２の補正データは最初の基板２が露光ユニット７に固
定された時に１回得れば充分であり、以降の基板２′、
２″の露光に共通に用いることが出来るので、第２の補
正データを得たのちには、ハーフミラ−２４，２４は露
光の光路より引き込むようにしても良い。

その後は、２番目の基板２”と同様な処理が繰り返され
るので、その１にの説明は基板２”の処理の説明を援用
する。露光装置１の動作は、プリアライメントユニット
４の基板２が無くなることあるいはメインスイッチのオ
フによって終了する。

スタッカ２９に収納された基板２．２′、２″はその後
取出され、基板２はターゲットマーク２ａ、２ａの位置
ずれが許容範囲外であるときには、廃棄される。

基板２”並びにその後の基板２”、、、、、は、第２の
補正データによりアライメント調整され、適正な露光が
行なわれるので、化学処理されてプリント基板として作
製される。

本発明は前記実＆ｉ例に限定されるものではなく、例え
ば、２枚目以降の基板２゛、２パの露先の際は、ハーフ
ミラ−２４，２４、ＣＣＤカメラ２５．２５は取り外す
ようにしてもよく、又、２枚目以降も常にＣＣＤカメラ
２５．２５てずれを！ｌＩ察し、位置調整をするようｔ
こしても良い。又、ＣＣＤカメラ２５．２５の観察光源
は、発光手段２２によらず、例えば光ファイバー等の別
途に透過の照明光源を設けても良い。

（発明の効果）本発明にかかる露光装置は、以上説明した構成から明ら
かなように、姿勢制御手段から露光装置本体に移送され
る間にどの程度基板に位置ずれが生ずるかが、搬送装置
などに起因するずれ量として撮像素子により検出できる
ため、この観察したデータを正規な基準データと比較し
てずれ量を補正して姿勢制御装置を駆動制御することに
より、その後の基板の投影パターンを正規なものとする
ことができる。従って、最初に露光した基板のみを排除
、回収することにより基板の浪費と露光装置の無駄な運
転を回避することが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例にかかる露光装置の概略構成
を示し且つ露光ユニットにパターンフィルムを搬送する
状態の説明図である。第２図は、第１図の露光装置によって基板を露光ユニッ
トに搬送する状態の説明図である。第３図は、パターンフィルムの説明図である。第４図は、基板の説明図である。第５図は、第１図のテーブルにおける仮想のアライメン
ト調整前のパターンフィルムと基板の位置ずれ状態の説
明図である。第６図は、第１図のテーブルにおける仮想のアライメン
ト調整後のパターンフィルムと基板の位置調整状態の説
明図である。第７図は、第１図のアクリル板上のパターンフィルムと
基板の位置ずれ状態の説明図である。第８図は、第１図のアクリル板上のパターンフィルムと
基板の位置調整状態の説明図である。１・・・露光装置２．２”、２パ・・・基板２ａ、２’ａ・・・ターゲットマーク（位置合わせ指標
）３・・・パターンフィルム（投影部材）３ａ・・・ア
ライメントマーク（基準指標）４・・・プリアライメン
トユニット５・・・トラバーサユニット６・・・アライメントユニット７・・・露光ユニット８・・・テーブル９・・・開口部１０・・・ＣＣＤカメラ１１・・・駆動装置１１ａ・・・支持ロッド】２・・・制御装置１３・・・第１の記憶手段１４・・・第２の記憶手段１５・・・第１の演算手段１６・・・制御装置１７・・・吸着アーム部１８・・・吸着部本体１９・・・吸着アーム部２０・・・制御装置２１・・・アクリル板（透光板）２２・・・ランプ（発光手段）２３・・・ミラー２４・・・ハーフミラ− ２５・・・ＣＣＤカメラ２６・・・第３の記憶手段（第２の観察手段）（第１の観察手段）（第２の観察手段）２７・・・第２の演算手段２９・・・スタッカー

Claims

【特許請求の範囲】　位置決め用の基準指標を有するパターン投影用の投影
部材が搬入、搬出された後に、前記基準指標に合致させ
る位置決め指標を有する感光性の基板とが搬入、搬出さ
れるテーブルと、このテーブルに存在する前記投影部材
の基準指標及び前記基板の位置決め指標を観察する第１
の観察手段と、前記テーブルに前記投影部材がある時に
この第１の観察手段にて観察された前記基準指標を基準
データとして記憶する第１の記憶手段と、前記テーブル
上に前記基板がある時に前記撮像素子にて観察された前
記位置決め指標を補正対象データとして保持する第２の
記憶手段と、この第２の記憶手段の補正対象データと前
記第１の記憶手段の基準データとを比較して前記基準指
標と前記位置決め指標との位置ずれ量を補正データとし
て算出する第１の演算手段と、この第１の演算手段の補
正データに基づいて前記位置決め指標が前記基準指標の
許容範囲内に位置するように前記テーブルを移動させる
駆動手段とを備えたアライメントユニットと、前記テーブルから前記投影部材が搬入且つ固定された後
にこの投影部材の上に前記基板が搬入される透光板と、
この透光板と前記投影部材を介して前記基板を露光する
発光手段とを備えた露光ユニットと、この露光ユニットに配設され、前記位置決め指標と前記
基準指標の重合像を観察する第２の観察手段と、この第２の観察手段で観察した重合像より前記透光板上
の投影部材と基板の位置ずれ量を算出し、この算出結果
を第２の補正データとして前記駆動手段に出力する第２
の演算手段と、を備えていることを特徴とする露光装置。