JPH0440462A - 露光装置 - Google Patents

露光装置

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JPH0440462A
JPH0440462A JP2148372A JP14837290A JPH0440462A JP H0440462 A JPH0440462 A JP H0440462A JP 2148372 A JP2148372 A JP 2148372A JP 14837290 A JP14837290 A JP 14837290A JP H0440462 A JPH0440462 A JP H0440462A
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Yuji Takagi
高木 雄二
Hiroyuki Sato
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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、例えば回路基板などの基板に投影パターンを
露光させる露光装置に関する。
(従来の技術) 従来、例えばPWB (プリンティングワイヤーボード
)などの回路基板を作製する露光装置には、回路パター
ン等のパターンを形成した透光性の投影部材(パターン
フィルム)に、未露光状態の感光性の基板を当接させ、
投影部材を透して光を照射することにより、基板に回路
パターンを露光形成するものが知られている。
この露光装置は、露光ユニットとアライメントユニット
を備えている。アライメントユニットは、投影部材を搬
入するチーフルと、このテーブルの上の投影部材に設け
られたアライメントマークの位置を観察記録するCCD
カメラとを備えており、テーブルに投影部材が送られて
きた時に投影部材のアライメントマークをCCDカメラ
で捕らえてアライメントマークの位置をCPUに記憶さ
せるようになっている。アライメントマークの位置が記
憶された投影部材は、その姿勢を変えることなく露光ユ
ニットにスライド移送され、露光ユニットの透光板に両
面テープ等により固定される。露光ユニットに投影部材
が移送された後に、アライメントユニットのテーブルに
は、未露光の基板が搬入される。基板にはアライメント
マークに一致させるためのターゲットマーク(位置合わ
せ用の穴)が設けられており、このアライメントユニッ
トのテーブルに基板が搬入された時、基板のターゲット
マークがCCDカメラによって読み取られて、ターゲッ
トマークの位置がCPUに送信される。CPUに送信さ
れたターゲットマークの位置情報は、CPU内に保持さ
れたアライメントマークの位置情報と比較されて、ター
ゲットマークの位置がアライメントマークの許容範囲内
に位置するように、補正データが算出され、基板が投影
部材の所定位置に位置するように(アライメントマーク
の位置にターゲットマークの位置が重なるように)、テ
ーブルの駆動装置が駆動される。駆動装置の駆動により
テーブルが駆動され、基板の姿勢が変更されたら、基板
はアライメントテーブルから露光ユニットの透光板に固
定された投影部材の上にスライド移送され、露光ユニッ
トの発光手段が発光して露光が行なわれる。
このような露光装置で回路パターンが露光された基板は
、次の工程で化学処理されて回路パターンが形成され、
そのまま電子部品がボンディングされたり、他の基板と
の積層により立体的なより複雑な回路が形成される。こ
の露光済み基板のパターンチエツクは所望枚数行なわれ
る。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、このような従来の露光装置は、投影部材
並びに基板をアライメントユニットから露光ユニットの
透光板にスライド移送するときに、投影部材と基板との
間に僅かながら定量的な位置ずれを生じる場合がある。
このような状態で基板の露光を所望枚数行ない、露光済
み基板のパターンチエツクを行なうと、無駄な基板の製
造のために露光装置の運転時間が浪費されると共に、基
板の製造に無駄が生ずるという問題があった。
本発明は、かかる課題に着目してなされたものであり、
基板の浪費と露光装置の無駄な運転を回避するために、
露光する時の基板と投影部材との位置ずれを早く検知し
て基板の姿勢を修正することを技術的目的とする。
(課題を解決するための手段) 上記課題を解決するために、本発明にかかる露光装置は
、  位置決め用の基準指標を有するパターン投影用の
投影部材が搬入、搬出された後に、前記基準指標に合致
させる位置決め指標を有する感光性の基板とが搬入、搬
出されるテーブルと、このテーブルに存在する前記投影
部材の基準指標及び前記基板の位置決め指標を観察する
第1の観察手段と、前記テーブルに前記投影部材がある
時にこの第1の観察手段にて観察された前記基準指標を
基準データとして記憶する第1の記憶手段と、前記テー
ブル上に前記基板がある時に前記撮像素子にて観察され
た前記位置決め指標を補正対象データとして保持する第
2の記憶手段と、この第2の記憶手段の補正対象データ
と前記第1の記憶手段の基準データとを比較して前記基
準指標と前記位置決め指標との位置ずれ量を補正データ
として算出する第1の演算手段と、この第1の演算手段
の補正データに基づいて前記位置決め指標が前記基準指
標の許容範囲内に位置するように前記チーフルを移動さ
せる駆動手段とを備えたアライメントユニットと、 前記テーブルから前記投影部材が搬入且つ固定された後
にこの投影部材の上に前記基板が搬入される透光板と、
この透光板と前記投影部材を介して前記基板を露光する
発光手段とを備えた露光ユニットと、 この露光ユニットに配設され、前記位置決め指標と前記
基準指標の重合像を観察する第2の観察手段と、 この第2の観察手段で観察した重合像より前記透光板上
の投影部材と基板の位置ずれ量を算出し、この算出結果
を第2の補正データとして前記駆動手段に出力する第2
の演算手段と、 を備えていることを特徴とする。
(作 用) 本発明にかかる露光装置によれば、露光ユニットの透光
板に投影部材が固定され、この投影部材の上に基板が位
置決めされた状態で発光手段から光を照射すると、透光
板及び投影部材を介して基板に投影パターンが露光され
る。この露光に際し、投影部材の基準指標と基板の位置
決め指標の重合像が第2の観察手段により観察される。
第2の演算手段上記課題を解決するために、本発明にか
かるの位置決め指標の重合像により投影部材と基板との
ずれが演算され、アライメントユニットから露光ユニッ
トに移送される間にどの程度投影部材又は基板に位置ず
れが生ずるかが第2の補正データとして算出てきる。こ
の第2の補正データを第1の補正データに加算して駆動
装置を駆動制御すると、その後の基板の投影パターンの
露光の位置を適正なものとすることができると共に、も
し、最初の露光位置が基準より外れていた場合、最初に
露光した基板を排除、回収することにより、基板の浪費
と露光装置の無駄な運転を回避することが出来る。
(実施例) 以下、本発明の実施例にかかる露光装置を図面を参照し
つつ説明する。
第1図は本実施例にかかる露光装置1の要部構成を示し
たものである。露光装置1は感光性のある基板2にパタ
ーンフィルム3(投影部材)の回路パターンを投影して
露光させるものであり、第3図、第4図に示すように、
基板2には位置合わせ指標としてのターゲットマーク2
a、2aが設けられ、パターンフィルム3には回路パタ
ーン3b及び位置合わせ用の基準指標としてのアライメ
ントマーク3a、3aが設けられている。
露光装置lは、一番上にパターンフィルム3が搭載され
た状態で多数の基板2が積層して収納されるプリアライ
メントユニット4と、このプリアライメントユニット4
からトラバーサユニット5を介してパターンフィルム3
及び基板2が搬入されるアライメントユニット6と、ト
ラバーサユニット5を介してパターンフィルム3及び基
板2がアライメントユニット6から搬入される露光ユニ
ット7とを備えている。
アライメントユニット6は、パターンフィルム3に対し
て基板2を位置合わせして露光ユニット7に搬出するも
ので、プリアライメントユニット4からパターンフィル
ム3が搬入されるテーブル8を備えている。テーブル8
には、テーブル8上に搬入された時に、パターンフィル
ム3のアライメントマーク3a、3aの位置及び形状並
びに基板2の一対のターゲットマーク2a、2aを観察
する一対の開口部9.9が形成されている。テーブル8
の一対の開口部9,9の下方には、アライメントマーク
3a、3a及びターゲットマーク2a 、 2aの位置
及び形状を記憶するCODカメラ10.10 (第1の
観察手段〉が開口部9,9に臨んて配設されている。テ
ーブル8は、テーブル8を駆動する駆動装置11の支持
ロッドIla上に設けられ、図示しない空気吸引手段に
よりテーブル8上に位置するパターンフィルム3などを
吸着できるようになっている。支持ロッドllaは、テ
ーブル8により基板2を吸着した状態で基板2の延在方
向に沿ってx、  y。
θ方向(即ち、水平面に沿って前後左右方向並びに回転
方向)に駆動されるようになっている。この駆動装置1
1には制御手段12が設けられており、制御手段12は
、CCDカメラ10.10にて観察されたパターンフィ
ルム3のアライメントマーク3a、3aの位置及び形状
の観察データを基準位置データとして記憶する第1の記
憶手段13と、CCDカメラ1010にて観察された基
板2のターゲットマーク2a、2aの位置及び形状を記
憶する第2の記憶手段14とを備えている。この第1の
記憶手段13と第2の記憶手段14は、第1の演算手段
15を備えており、この第1の演算手段15において、
アライメントマーク3a、3aに対するターゲットマー
ク2a、2aの位置ずれ量を算出する。第1の演算手段
15は、このずれ量に基づいてテーブル8の姿勢を補正
する第1の補正データを出力するように駆動装置110
制御装置16に接続されている。
トラバーサユニット5は、プリアライメントユニット4
からアライメントユニット6及びアライメントユニット
6から露光ユニット7にパターンフィルム3及び基板2
を搬送するものであり、図示しないトラバーサユニット
駆動装置により水平方向と垂1】 直方向に移動可能になっている。トラバーサユニット5
は、プリアライメントユニット4からチーフル8にパタ
ーンフィルム3及び基板2を搬送する吸着アーム部17
と、チーフル8から露光ユニット7にパターンフィルム
3及び基板2を移動させる吸着部本体18と、露光ユニ
ット7から基板2及びパターンフィルム3を搬出する吸
着アーム部19とを備えている。
吸着アーム部17と吸着アーム部】9は、吸着部本体1
8の移動方向の前後部に突設されている。吸着部本体1
8は駆動制御並びに空気吸引制御を行なう制御手段20
とガイド手段(図示省略)により、定方向に一定の距離
で精密にパターンフィルム3及び基板2を搬送てきるよ
うになっている。
このトラバーサユニット5の移動及び吸着動作は、チー
フル8及び露光ユニット7との動作と関連しており、プ
リアライメントユニット4或はテーブル8若しくは露光
ユニット7からパターンフィルム3及び基板2を吸着す
るとき、プリアライメントユニット4並びにアライメン
トユニット6及び露光ユニット7の透明なアクリル板2
1に向かって上下動する。
そして、吸着アーム部17.19及び吸着部本体18は
、パターンフィルム3及び基板2の搬送時に吸着及び吸
着解除を行なうように制御される。尚、トラバーサユニ
ット5の動作は露光装置1の動作の説明において併せて
説明する。
露光ユニット7は、透光板としての透明なアクリル板2
1と、発光手段としての超高圧水銀灯よりなるランプ2
2と、凹面鏡形状のミラー23とを備えている。アクリ
ル板21の下方には、パターンフィルム3のアライメン
トマーク3a、3aを観察するための第2の観察手段を
構成する一対のハーフミラ−24,24と一対のCCD
カメラ25.25とが配設されている。ハーフミラ−2
4,24は、92122発光時の光を透過すると共に、
基板2、パターンフィルム3からの反射光を一対のCC
Dカメラ25.25に導くように配設されている。一対
のCCDカメラ25.25は、アクリル板21上の所定
位置にパターンフィルム3が固定され、このパターンフ
ィルム3の上に基板2が搬入された時に、ターゲットマ
ーク2a 、 2aとアライメントマーク3a 、 3
aとの重合した像を観察するものであり、一対のCCD
カメラ25.25には、観察したターゲットマーク2a
、2aとアライメントマーク3a、3aとの位置を記憶
する第3の記憶手段26が接続されている。
この第3の記憶手段26には、観察したターゲットマー
ク2a 、 2aとアライメントマーク3a、3aとの
位置ずれ量を算出する第2の演算手段27が接続されて
いる。第2の演算手段27は、アクリル板21における
アライメントマーク3a、3aとターゲットマーク2a
 、 2aとの重なった像よりそれぞれの円形のアライ
メントマーク3a、3a、ターゲットマーク2a 、 
2aの円の中心を求めて、アライメントマーク3a、3
aの中止位置のデータよりパターンフィルム3の位置を
得ると共に、ターゲットマーク2a、2aの中心位置の
データより基板2の位置を得、この二つの位置のデータ
を比較してパターンフィルム3に対して基板2がX、Y
θ力方向どの位ずれているかを演算する。第2の演算手
段27は、その位置ずれ量を第2の補正データとして制
御手段16に出力する。制御手段16に出力された第2
の補正データは、第1の演算手段15にて算出された第
1の補正データに加算されるように駆動装置11の制御
手段16に出力され、テーブル8を移動を制御する。
次に、本実施例にかかる露光装置1の動作について説明
する。
露光装置1の露光工程にはいる前に、プリアライメント
ユニット4には、一番上にパターンフィルム3が搭載さ
れた状態で、基板2が多数積層されて収納され、又、パ
ターンフィルム3と基板2とのアライメント調整が行な
われる。
即ち、先ず、制御手段20のからトラバーサユニット5
の駆動手段に対して吸着部本体】8をテーブル8に対向
させるように駆動命令が出力され、チーフル8の上方に
吸着部本体1Bが位置するようにトラバーサユニット5
が移動される。このとき、吸着アーム部】7はプリアラ
イメントユニット4の上方に位置し、吸着アーム部19
はアクリル板21の上方に位置して静止する。
次に、トラバーサユニット5全体が下降して吸着アーム
部17にパターンフィルム3が当接し、吸着部本体18
がテーブル8に接近し、吸着アーム部19がアクリル板
21に接近する。この状態で、吸着アーム部17の空気
吸引が行なわれ、吸着アーム部17にパターンフィルム
3がプリアライメントされた状態で吸着される。
吸着アーム部]7にパターンフィルム3が吸着されたら
、吸着アーム部17はパターンフィルム3を吸弓する状
態を保持しながら、トラバーサユニット5は上昇してプ
リアライメントユニット4あるいはアライメントユニッ
ト6及び露光ユニット7から遠ざかる。トラバーサユニ
ット5は上昇後パターンフィルム3を保持した状態で、
パターンフィルム3がチーフル8の上方に位置するよう
に移動する。パターンフィルム3がチーフル8の真上に
位置したら、トラバーサユニット5が下降する。トラバ
ーサユニット5の下降によりパターンフィルム3がテー
ブル8の上に位置したら、吸着アーム部17の空気吸引
が停止されると共に、テーブル8の空気吸引が行なわれ
る。
これによって、テーブル8上にパターンフィルム3が吸
着固定される。
パターンフィルム3がテーブル8の上に固定されたら、
CCDカメラ10.10によりテーブル8上のパターン
フィルム3のアライメントマーク3a、3aの観察が行
なわれる。CCDカメラ10.10によって観察された
アライメントマーク3a、3aの形状と位置は、第1の
記憶手段13に記憶されて保持される。
第1の記憶手段13によってアライメントマーク3a、
3aの記憶が完了したら、吸着アーム部17がテーブル
8から遠ざかるように、再びトラバーサユニット5は上
昇する。トラバーサユニット5は上昇緩、吸着アーム部
17がプリアライメントユニット50基板2の上方に位
置するように、プリアライメントユニット4側に移動す
る。
吸着アーム部17がプリアライメントユニット4の基板
2の真上に位置したら、トラバーサユニット5は下降し
、吸着アーム部17が基板2に当接する。吸着アーム部
17が基板2に当接したら、吸着アーム部17がら空気
の吸引が行なわれ、基板2が吸着アーム部17に吸着さ
れる。このとき、吸着部本体18においても空気の吸引
が行なわれ、吸着部本体18がパターンフィルム3の吸
引を行なうと共に、テーブル8の空気吸引が解除され、
吸着部本体18にパターンフィルム3が吸着される。
吸着アーム部17が基板2を吸着したら、トラバーサユ
ニット5は上昇した後に、吸着アーム部17がテーブル
8の真上に位置するように横移動する。このトラバーサ
ユニット5の横移動により、吸着部本体18は露光ユニ
ット7のアクリル板21の真上に位置する。吸着アーム
部17がテーブル8の真上に位置し、吸着部本体18が
アクリル板21の真上に位置したら、トラバーサユニッ
ト5は下降し、チーフル8の上に基板2を搭載する。こ
のとき、吸着アーム部17の空気吸引が解除されると共
に、チーフル8の空気吸引が開始される。又、このとき
、吸着部本体18のパターンフィルム3がアクリル板2
1の上面に張り付けられた両面テープに当接し、吸着部
本体18の空気吸引が解除されてアクリル板21上にパ
ターンフィルム3が固定される。
テーブル8に基板2が固定され、アクリル板21にパタ
ーンフィルム3が固定されたら、トラバーサニア− ニット5が上昇して吸着部本体18がテーブル8の真上
に位置し、吸着アーム部17がプリアライメントユニッ
ト4の真上に位置するように横移動すると共に、CCD
カメラ10.10によって基板2のターゲットマーク2
a、2aが観察される。
CCDカメラ10.10によってill察されたターゲ
ットマーク2a 、 2aの観察データは、第2の記憶
手段14に送信されて記憶される。この第2の記憶手段
]4に記憶されたターゲットマーク2a、2aの観察デ
ータと、第1の記憶手段13に記憶されたアライメント
マーク3a、3aの観察データとは、第1の演算手段1
5に送信されてアライメントマーク3a、3aに対する
ターゲットマーク2a、2aの位置ずれ量が算出される
第1の演算手段15にて算出されたアライメントマーク
3a、3aに対するターゲットマーク2a 、 2aの
位置ずれ量に関するデータは、第1の補正データとして
制御手段16に送信され、アライメントマーク3a、3
aの許容範囲内にターゲットマーク2a、2aが位置す
るように、制御手段16から駆動手段11に姿勢を変え
る命令信号が送信され、テーブル8がx、  y、  
θ方向に移動する。このテーブル8の移動はトラバーサ
ユニット5が上昇している間に行なわれる。
チーフル8が第1の補正データに基づいて移動する事に
より基板2を受は取る位置が適正に補正されたら、トラ
バーサユニット5が下降して吸着アーム部17に基板2
゛が吸着され、吸着部本体18にテーブル8の基板2が
吸着される。このときの吸着アーム部17と吸着部本体
18並びにテーブル8における空気吸引動作は前述の通
っであるので、その説明を援用する。トラバーサユニッ
ト5の下降時に吸着アーム部17に基板2′が吸着され
、吸着部本体18に基板2が吸着されたら、トラバーサ
ユニット5は上昇して、吸着アーム部17がテーブル8
の真上に位置し、吸着部本体18がパターンフィルム3
の真上に位置するように、トラバーサユニット5が横移
動する。吸着アーム部17がテーブル8の真上に位置し
、吸着部本体18がパターンフィルム3の真上に位置し
たら、トラバーサユニット5が下降して基板2′がテー
ブル8の上に固定されると共に、基板2がパターンフィ
ルム3の上に固定される。パターンフィルム3上の基板
2は、図示しない抑圧手段により基板2の周縁部がアク
リル板21に押圧されることにより行なわれる。基板2
がパターンフィルム3の上に固定されたら、ランプ22
が発光する。ランプ22の紫外光はハーフミラ−24,
24及びアクリル板21及びパターンフィルム3の透明
部分を通過して基板2に照射され、基板2が露光される
。このとき、基板2がらの反射光により、アライメント
マーク3a、3aとターゲットマーク2a 、 2aの
像が、ハーフミラ−24,24を介してCCDカメラ2
5.25によって観察される。
CCDカメラ25.25によって観察されたアライメン
トマーク3a、3aとターゲットマーク2a 、 2a
の像は、第3の記憶手段26に記憶される。第3の記憶
手段26に記憶されたアライメントマーク3a、3aと
ターゲットマーク2a、2aの観察データは、第2の演
算手段27においてアライメントマーク3a、3aに対
するターゲットマーク2a、2aのx、  y、  θ
方向のずれ量が演算される。この第2の演算手段27に
おけるずれ量のデータは第2の補正データとして制御手
段16に送信される。制御手段]6では、第1の補正デ
ータに第2の補正データを加算してその加算されたデー
タが駆動装置11に送信される。駆動装置11は、この
加算されたデータに基づいてアクリル板21のパターン
フィルム3の上に次の基板2′がより正規な位置に位置
するようにテーブル8を駆動する。
即ち、吸着アーム部17によってテーブル8の上に搬送
された基板2′についても、前述のCCDカメラ10.
10によりターゲットマーク2’a、2°aの観察が行
なわれ、第1の演算手段15において第1の記憶手段1
3において記憶されている観察データとの比較演算が行
なわれおり、基板2′に関する第1の補正データが算出
される。
この第1の補正データに以降代2の補正データがくわえ
られて駆動装置11が駆動されて、テーブル8上の基板
2“の位置が調整される。これにより、基板2°′がア
ライメントユニット6から露光ユニット7に移送される
間にずれてしまう量も考慮されて位置調整される。
基板2°のアライメント調整が完了したら、トラバーサ
ユニット5が下降し、前述の動作の如く吸着=22− 部本体18に基板2′が吸着されるとともに、吸着アー
ム部17に新たな基板2′”が吸着され、吸着アーム部
19最初の基板2が吸着される。この状態でトラバーサ
ユニット5は上昇し、吸着部本体18がアクリル板21
の真上に位置するようにトラバーサユニット5が横移動
する。吸着部本体18がアクリル板21の真」二に位置
したら、トラバーサユニット5の横移動は停止した後に
下降して、吸着部本体18の基板2′をアクリル板21
の上に固定し、吸着アーム部17の基板2パをテーブル
8の上に固定し、吸着アーム部19の基板2を露光ユニ
ット7の後工程に配設されたスタッカ29に積層する。
第2の補正データは最初の基板2が露光ユニット7に固
定された時に1回得れば充分であり、以降の基板2′、
2″の露光に共通に用いることが出来るので、第2の補
正データを得たのちには、ハーフミラ−24,24は露
光の光路より引き込むようにしても良い。
その後は、2番目の基板2”と同様な処理が繰り返され
るので、その1にの説明は基板2”の処理の説明を援用
する。露光装置1の動作は、プリアライメントユニット
4の基板2が無くなることあるいはメインスイッチのオ
フによって終了する。
スタッカ29に収納された基板2.2′、2″はその後
取出され、基板2はターゲットマーク2a、2aの位置
ずれが許容範囲外であるときには、廃棄される。
基板2”並びにその後の基板2”、、、、、は、第2の
補正データによりアライメント調整され、適正な露光が
行なわれるので、化学処理されてプリント基板として作
製される。
本発明は前記実&i例に限定されるものではなく、例え
ば、2枚目以降の基板2゛、2パの露先の際は、ハーフ
ミラ−24,24、CCDカメラ25.25は取り外す
ようにしてもよく、又、2枚目以降も常にCCDカメラ
25.25てずれを!lI察し、位置調整をするようt
こしても良い。又、CCDカメラ25.25の観察光源
は、発光手段22によらず、例えば光ファイバー等の別
途に透過の照明光源を設けても良い。
(発明の効果) 本発明にかかる露光装置は、以上説明した構成から明ら
かなように、姿勢制御手段から露光装置本体に移送され
る間にどの程度基板に位置ずれが生ずるかが、搬送装置
などに起因するずれ量として撮像素子により検出できる
ため、この観察したデータを正規な基準データと比較し
てずれ量を補正して姿勢制御装置を駆動制御することに
より、その後の基板の投影パターンを正規なものとする
ことができる。従って、最初に露光した基板のみを排除
、回収することにより基板の浪費と露光装置の無駄な運
転を回避することが出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の実施例にかかる露光装置の概略構成
を示し且つ露光ユニットにパターンフィルムを搬送する
状態の説明図である。 第2図は、第1図の露光装置によって基板を露光ユニッ
トに搬送する状態の説明図である。 第3図は、パターンフィルムの説明図である。 第4図は、基板の説明図である。 第5図は、第1図のテーブルにおける仮想のアライメン
ト調整前のパターンフィルムと基板の位置ずれ状態の説
明図である。 第6図は、第1図のテーブルにおける仮想のアライメン
ト調整後のパターンフィルムと基板の位置調整状態の説
明図である。 第7図は、第1図のアクリル板上のパターンフィルムと
基板の位置ずれ状態の説明図である。 第8図は、第1図のアクリル板上のパターンフィルムと
基板の位置調整状態の説明図である。 1・・・露光装置 2.2”、2パ・・・基板 2a、2’a・・・ターゲットマーク(位置合わせ指標
)3・・・パターンフィルム(投影部材)3a・・・ア
ライメントマーク(基準指標)4・・・プリアライメン
トユニット 5・・・トラバーサユニット 6・・・アライメントユニット 7・・・露光ユニット 8・・・テーブル 9・・・開口部 10・・・CCDカメラ 11・・・駆動装置 11a・・・支持ロッド 】2・・・制御装置 13・・・第1の記憶手段 14・・・第2の記憶手段 15・・・第1の演算手段 16・・・制御装置 17・・・吸着アーム部 18・・・吸着部本体 19・・・吸着アーム部 20・・・制御装置 21・・・アクリル板(透光板) 22・・・ランプ(発光手段) 23・・・ミラー 24・・・ハーフミラ− 25・・・CCDカメラ 26・・・第3の記憶手段 (第2の観察手段) (第1の観察手段) (第2の観察手段) 27・・・第2の演算手段 29・・・スタッカー

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  位置決め用の基準指標を有するパターン投影用の投影
    部材が搬入、搬出された後に、前記基準指標に合致させ
    る位置決め指標を有する感光性の基板とが搬入、搬出さ
    れるテーブルと、このテーブルに存在する前記投影部材
    の基準指標及び前記基板の位置決め指標を観察する第1
    の観察手段と、前記テーブルに前記投影部材がある時に
    この第1の観察手段にて観察された前記基準指標を基準
    データとして記憶する第1の記憶手段と、前記テーブル
    上に前記基板がある時に前記撮像素子にて観察された前
    記位置決め指標を補正対象データとして保持する第2の
    記憶手段と、この第2の記憶手段の補正対象データと前
    記第1の記憶手段の基準データとを比較して前記基準指
    標と前記位置決め指標との位置ずれ量を補正データとし
    て算出する第1の演算手段と、この第1の演算手段の補
    正データに基づいて前記位置決め指標が前記基準指標の
    許容範囲内に位置するように前記テーブルを移動させる
    駆動手段とを備えたアライメントユニットと、 前記テーブルから前記投影部材が搬入且つ固定された後
    にこの投影部材の上に前記基板が搬入される透光板と、
    この透光板と前記投影部材を介して前記基板を露光する
    発光手段とを備えた露光ユニットと、 この露光ユニットに配設され、前記位置決め指標と前記
    基準指標の重合像を観察する第2の観察手段と、 この第2の観察手段で観察した重合像より前記透光板上
    の投影部材と基板の位置ずれ量を算出し、この算出結果
    を第2の補正データとして前記駆動手段に出力する第2
    の演算手段と、 を備えていることを特徴とする露光装置。
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