JP2669110B2 - 露光装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、例えば回路基板などの基板に投影パターン
を露光させる露光装置に関する。

（従来の技術） 従来、例えばPWB（プリンティングワイヤーボード）
などの回路基板を作製する露光装置には、回路パターン
等のパターンを形成した透光性の投影部材（パターンフ
ィルム）に、未露光状態の感光性の基板を当接させ、投
影部材を透して光を照射することにより、基板に回路パ
ターンを露光形成するものが知られている。

この露光装置は、露光ユニットとアライメントユニッ
トを備えている。アライメントユニットは、投影部材を
搬入するテーブルと、このテーブルの上の投影部材に設
けられたアライメントマークの位置を観察記録するCCD
カメラとを備えており、テーブルに投影部材が送られて
きた時に投影部材のアライメントマークをCCDカメラで
捕らえてアライメントマークの位置をCPUに記憶させる
ようになっている。アライメントマークの位置が記憶さ
れた投影部材は、その姿勢を変えることなく露光ユニッ
トにスライド移送され、露光ユニットの透光板に両面テ
ープ等により固定される。露光ユニットに投影部材が移
送された後に、アライメントユニットのテーブルには、
未露光の基板が搬入される。基板にはアライメントマー
クに一致させるためのターゲットマーク（位置合わせ用
の穴）が設けられており、このアライメントユニットの
テーブルに基板が搬入された時、基板のターゲットマー
クがCCDカメラによって読み取られて、ターゲットマー
クの位置がCPUに送信される。CPUに送信されたターゲッ
トマークの位置情報は、CPU内に保持されたアライメン
トマークの位置情報と比較されて、ターゲットマークの
位置がアライメントマークの許容範囲内に位置するよう
に、補正データが算出され、基板が投影部材の所定位置
に位置するように（アライメントマークの位置にターゲ
ットマークの位置が重なるように）、テーブルの駆動装
置が駆動される。駆動装置の駆動によりテーブルが駆動
され、基板の姿勢が変更されたら、基板はアライメント
テーブルから露光ユニットの透光板に固定された投影部
材の上にスライド移送され、露光ユニットの発光手段が
発光して露光が行なわれる。

このような露光装置で回路パターンが露光された基板
は、次の工程で化学処理されて回路パターンが形成さ
れ、そのまま電子部品がボンディングされたり、他の基
板との積層により立体的なより複雑な回路が形成され
る。この露光済み基板のパターンチェックは所望枚数行
なわれる。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、このような従来の露光装置は、投影部
材並びに基板をアライメントユニットから露光ユニット
の透光板にスライド移送するときに、投影部材と基板と
の間に僅かながら定量的な位置ずれを生じる場合があ
る。このような状態で基板の露光を所望枚数行ない、露
光済み基板のパターンチェックを行なうと、無駄な基板
の製造のために露光装置の運転時間が浪費されると共
に、基板の製造に無駄が生ずるという問題があった。

本発明は、かかる課題に着目してなされたものであ
り、基板の消費と露光装置の無駄な運転を回避するため
に、露光する時の基板と投影部材との位置ずれを早く検
知して基板の姿勢を修正することを技術的目的とする。

（課題を解決するための手段） 上記課題を解決するために、本発明にかかる露光装置
は、位置決め用の基準指標を有するパターン投影用の投
影部材が搬入、搬出された後に、前記基準指標に合致さ
せる位置決め指標を有する感光性の基板とが搬入、搬出
されるテーブルと、このテーブルに存在する前記投影部
材の基準指標及び前記基板の位置決め指標を観察する第
１の観察手段と、前記テーブルに前記投影部材がある時
にこの第１の観察手段にて観察された前記基準指標を基
準データとして記憶する第１の記憶手段と、前記テーブ
ル上に前記基板がある時に前記第１の観察手段にて観察
された前記位置決め指標を補正対象データとして保持す
る第２の記憶手段と、この第２の記憶手段の補正対象デ
ータと前記第１の記憶手段の基準データとを比較して前
記基準指標と前記位置決め指標との位置ずれ量を補正デ
ータとして算出する第１の演算手段と、この第１の演算
手段の補正データに基づいて前記位置決め指標が前記基
準指標の許容範囲内に位置するように前記テーブルを移
動させる駆動手段を備えたアライメントユニットと、 前記テーブルから前記投影部材が搬入且つ固定された
後にこの投影部材の上に前記基板が搬入される透光板
と、この透光板と前記投影部材を介して前記基板を露光
する発光手段とを備えた露光ユニットと、 この露光ユニットに配設され、前記位置決め指標と前
記基準指標の重合像を観察する第２の観察手段と、 この第２の観察手段で観察した重合像より前記透光板
上の投影部材と基板の位置ずれ量を算出し、この算出結
果を第２の補正データとして前記駆動手段に出力する第
２の演算手段と、 を備えていることを特徴とする。

（作 用） 本発明にかかる露光装置によれば、露光ユニットの透
光板に投影部材が固定され、この投影部材の上に基板が
位置決めされた状態で発光手段から光を照射すると、透
光板及び投影部材を介して基板に投影パターンが露光さ
れる。この露光に際し、投影部材の基準指標と基板の位
置決め指標の重合像が第２の観察手段により観察され
る。第２の演算手段上記課題を解決するために、本発明
にかかるの位置決め指標の重合像により投影部材と基板
とのずれが演算され、アライメントユニットから露光ユ
ニットに移送される間にどの程度投影部材又は基板に位
置ずれが生ずるかが第２の補正データとして算出でき
る。この第２の補正データを第１の補正データに加算し
て駆動装置を駆動制御すると、その後の基板の投影パタ
ーンの露光の位置を適正なものとすることができると共
に、もし、最初の露光位置が基準より外れていた場合、
最初に露光した基板を排除、回収することにより、基板
の浪費と露光装置の無駄な運転を回避することが出来
る。

（実施例） 以下、本発明の実施例にかかる露光装置を図面を参照
しつつ説明する。

第１図は本実施例にかかる露光装置１の要部構成を示
したものである。露光装置１は感光性のある基板２にパ
ターンフィルム３（投影部材）の回路パターンを投影し
て露光させるものであり、第３図、第４図に示すよう
に、基板２には位置合わせ指標としてのターゲトマーク
2a,2aが設けられ、パターンフィルム３には回路パター
ン3b及び位置合わせ用の基準指標としてのアライメント
マーク3a,3aが設けられている。

露光装置１は、一番上にパターンフィルム３が搭載さ
れた状態で多数の基板２が積層して収納されるプリアラ
イメントユニット４と、このプリアライメントユニット
４からトラバーサユニット５を介してパターンフィルム
３及び基板２が搬入されるアライメントユニット６と、
トラバーサユニット５を介してパターンフィルム３及び
基板２がアライメントユニット６から搬入される露光ユ
ニット７とを備えている。

アライメントユニット６は、パターンフィルム３に対
して基板２を位置合わせして露光ユニット７に搬出する
もので、プリアライメントユニット４からパターンフィ
ルム３が搬入されるテーブル８を備えている。テーブル
８には、テーブル８上に搬入された時に、パターンフィ
ルム３のアライメントマーク3a,3aの位置及び形状並び
に基板２の一対のターゲットマーク2a,2aを観察する一
対の開口部9,9が形成されている。テーブル８の一対の
開口部9,9の下方には、アライメントマーク3a,3a及びタ
ーゲットマーク2a,2aの位置及び形状を記憶するCCDカメ
ラ10,10（第１の観察手段）が開口部9,9に臨んで配設さ
れている。テーブル８は、テーブル８を駆動する駆動装
置11の支持ロッド11a上に設けられ、図示しない空気吸
引手段によりテーブル８上に位置するパターンフィルム
３などを吸着できるようになっている。支持ロッド11a
は、テーブル８により基板２を吸着した状態で基板２の
延在方向に沿ってX,Y,θ方向（即ち、水平面に沿って前
後左右方向並びに回転方向）に駆動されるようになって
いる。この駆動装置11には制御手段12が設けられてお
り、制御手段12は、CCDカメラ10,10にて観察されたパタ
ーンフィルム３のアライメントマーク3a,3aの位置及び
形状の観察データを基準位置データとして記憶する第の
記憶手段13と、CCDカメラ10,10にて観察された基板２の
ターゲットマーク2a,2aの位置及び形状を記憶する第２
の記憶手段14とを備えている。この第１の記憶手段13と
第２の記憶手段14は、第１の演算手段15を備えており、
この第１の演算手段15において、アライメントマーク3
a,3aに対するターゲットマーク2a,2aの位置ずれ量を算
出する。第１の演算手段15は、このずれ量に基づいてテ
ーブル８の姿勢を補正する第１の補正データを出力する
ように駆動装置11の制御装置16に接続されている。

トラバーサユニット５は、プリアライメントユニット
４からアライメントユニット６及びアライメントユニッ
ト６から露光ユニット７にパターンフィルム３及び基板
２を搬送するものであり、図示しないトラバーサユニッ
ト駆動装置により水平方向と垂直方向に移動可能になっ
ている。トラバーサユニット５は、プリアライメントユ
ニット４からテーブル８にパターンフィルム３及び基板
２を搬送する吸着アーム部17と、テーブル８から露光ユ
ニット７にパターンフィルム３及び基板２を移動させる
吸着部本体18と、露光ユニット７から基板２及びパター
ンフィルム３を搬出する吸着アーム部19とを備えてい
る。

吸着アーム部17と吸着アーム部19は、吸着部本体18の
移動方向の前後部に突設されている。吸着部本体18は駆
動制御並びに空気吸引制御を行なう制御手段20とガイド
手段（図示省略）により、一定方向に一定の距離で精密
にパターンフィルム３及び基板２を搬送できるようにな
っている。

このトラバーサユニット５の移動及び吸着動作は、テ
ーブル８及び露光ユニット７との動作と関連しており、
プリアライメントユニット４或はテーブル８若しくは露
光ユニット７からパターンフィルム３及び基板２を吸着
するとき、プリアライメントユニット４並びにアライメ
ントユニット６及び露光ユニット７の透明なアクリル板
21に向かって上下動する。そして、吸着アーム部17、19
及び吸着部本体18は、パターンフィルム３及び基板２の
搬送時に吸着及び吸着解除を行なうように制御される。
尚、トラバーサユニット５の動作は露光装置１の動作の
説明において併せて説明する。

露光ユニット７は、透光板としての透明なアクリル板
21と、発光手段としての超高圧水銀灯よりなるランプ22
と、凹面鏡形状のミラー23とを備えている。アクリル板
21の下方には、パターンフィルム３のアライメントマー
ク3a,3aを観察するための第２の観察手段を構成する一
対のハーフミラー24、24と一対のCCDカメラ25、25とが
配設されている。ハーフミラー24、24は、ランプ22発光
時の光を透過すると共に、基板２、パターンフィルム３
からの反射光を一対のCCDカメラ25、25に導くように配
設されている。一対のCCDカメラ25、25は、アクリル板2
1上の所定位置にパターンフィルム３が固定され、この
パターンフィルム３の上に基板２が搬入された時に、タ
ーゲットマーク2a,2aとアライメントマーク3a,3aとの重
合した像を観察するものであり、一対のCCDカメラ25,25
には、観察したターゲットマーク2a,2aとアライメント
マーク3a,3aとの位置を記憶する第３の記憶手段26が接
続されている。

この第３の記憶手段26には、観察したターゲットマー
ク2a,2aとアライメントマーク3a,3aとの位置ずれ量を算
出する第２の演算手段27が接続されている。第２の演算
手段27は、アクリル板21におけるアラアイメントマーク
3a,3aとターゲットマーク2a,2aとの重なった像よりそれ
ぞれの円形のアライメントマーク3a,3a、ターゲットマ
ーク2a,2aの円の中心を求めて、アライメントマーク3a,
3aの中止位置のデータよりパターンフィルム３の位置を
得ると共に、ターゲットマーク2a,2aの中心位置のデー
タより基板２の位置を得、この二つの位置のデータを比
較してパターンフィルム３に対して基板２がX,Y,θ方向
にどの位ずれているかを演算する。第２の演算手段27
は、その位置ずれ量を第２の補正データとして制御手段
16に出力する。制御手段16に出力された第２の補正デー
タは、第１の演算手段15にて算出された第１の補正デー
タに加算されるように駆動装置11の制御手段16に出力さ
れ、テーブル８を移動を制御する。

次に、本実施例にかかる露光装置１の動作について説
明する。

露光装置１の露光工程にはいる前に、プリアライメン
トユニット４には、一番上にパターンフィルム３が搭載
された状態で、基板２が多数積層されて収納され、又、
パターンフィルム３と基板２とのアライメント調整が行
なわれる。

即ち、先ず、制御手段20のからトラバーサユニット５
の駆動手段に対して吸着部本体18をテーブル８に対向さ
せるように駆動命令が出力され、テーブル８の上方に吸
着部本体18が位置するようにトラバーサユニット５が移
動される。このとき、吸着アーム部17はプリアライメン
トユニット４の上方に位置し、吸着アーム部19はアクリ
ル板21の上方に位置して静止する。

次に、トラバーサユニット５全体が下降して吸着アー
ム部17にパターンフィルム３が当接し、吸着部本体18が
テーブル８に接近し、吸着アーム部19がアクリル板21に
接近する。この状態で、吸着アーム部17の空気吸引が行
なわれ、吸着アーム部17にパターンフィルム３がプリア
ライメントされた状態で吸着される。

吸着アーム部17にパターンフィルム３が吸着された
ら、吸着アーム部17はパターンフィルム３を吸引する状
態を保持しながら、トラバーサユニット５は上昇してプ
リアライメントユニット４あるいはアライメントユニッ
ト６及び露光ユニット７から遠ざかる。トラバーサユニ
ット５は上昇後パターンフィルム３を保持した状態で、
パターンフィルム３がテーブル８の上方に位置するよう
に移動する。パターンフィルム３がテーブル８の真上に
位置したら、トラバーサユニット５が下降する。トラバ
ーサユニット５の下降によりパターンフィルム３がテー
ブル８の上に位置したら、吸着アーム部17の空気吸引が
停止されると共に、テーブル８の空気吸引が行なわれ
る。これによって、テーブル８上にパターンフィルム３
が吸着固定される。

パターンフィルム３がテーブル８の上に固定された
ら、CCDカメラ10、10によりテーブル８上のパターンフ
ィルム３のアライメントマーク3a,3aの観察が行なわれ
る。CCDカメラ10、10によって観察されたアライメント
マーク3a,3aの形状と位置は、第１の記憶手段13に記憶
されて保持される。

第１の記憶手段13によってアライメントマーク3a,3a
の記憶が完了したら、吸着アーム部17がテーブル８から
遠ざかるように、再びトラバーサユニット５は上昇す
る。トラバーサユニット５は上昇後、吸着アーム部17が
プリアライメントユニット５の基板２の上方に位置する
ように、プリアライメントユニット４側に移動する。

吸着アーム部17がプリアライメントユニット４の基板
２の真上に位置したら、トラバーサユニット５は下降
し、吸着アーム部17が基板２に当接する。吸着アーム部
17が基板２に当接したら、吸着アーム部17から空気の吸
引が行なわれ、基板２が吸着アーム部17に吸着される。
このとき、吸着部本体18においても空気の吸引が行なわ
れ、吸着部本体18がパターンフィルム３の吸引を行なう
と共に、テーブル８の空気吸引が解除され、吸着部本体
18にパターンフィルム３が吸着される。

吸着アーム部17が基板２を吸着したら、トロバーサユ
ニット５は上昇した後に、吸着アーム部17がテーブル８
の真上に位置するように横移動する。このトラバーサユ
ニット５の横移動により、吸着部本体18は露光ユニット
７のアクリル板21の真上に位置する。吸着アーム部17が
テーブル８の真上に位置し、吸着部本体18がアクリル板
21の真上に位置したら、トラバーサユニット５は下降
し、テーブル８の上に基板２を搭載する。このとき、吸
着アーム部17の空気吸引が解除されると共に、テーブル
８の空気吸引が開始される。又、このとき、吸着部本体
18のパターンフィルム３がアクリル板21の上面に張り付
けられた両面テープに当接し、吸着部本体18の空気吸引
が解除されてアクリル板21上にパターンフィルム３が固
定される。

テーブル８に基板２が固定され、アクリル板21にパタ
ーンフィルム３が固定されたら、トラバーサユニット５
が上昇して吸着部本体18がテーブル８の真上に位置し、
吸着アーム部17がプリアライメントユニット４の真上に
位置するように横移動すると共に、CCDカメラ10、10に
よって基板２のターゲットマーク2a,2aが観察される。

CCDカメラ10、10によって観察されたターゲットマー
ク2a,2aの観察データは、第２の記憶手段14に送信され
て記憶される。この第２の記憶手段14に記憶されたター
ゲットマーク2a,2aの観察データと、第１の記憶手段13
に記憶されたアライメントマーク3a,3aの観察データと
は、第１の演算手段15に送信されてアライメントマーク
3a,3aに対するターゲットマーク2a,2aの位置ずれ量が算
出される。第１の演算手段15にて算出されたアライメン
トマーク3a,3aに対するターゲットマーク2a,2aの位置ず
れ量に関するデータは、第１の補正データとして制御手
段16に送信され、アライメントマーク3a,3aの許容範囲
内にターゲットマーク2a,2aが位置するように、制御手
段16から駆動手段11に姿勢を変える命令信号が送信さ
れ、テーブル８がX,Y,θ方向に移動する。このテーブル
８の移動はトラバーサユニット５が上昇している間に行
なわれる。

テーブル８が第１の補正データに基づいて移動する事
により基板２を受け取る位置が適正に補正されたら、ト
ラバーサユニット５が下降して吸着アーム部17に基板
２′が吸着され、吸着部本体18にテーブル８の基板２が
吸着される。このときの吸着アーム部17と吸着部本体18
並びにテーブル８における空気吸引動作は前述の通りで
あるので、その説明を援用する。トラバーサユニット５
の下降時に吸着アーム部17に基板２′が吸着され、吸着
部本体18に基板２が吸着されたら、トラバーサユニット
５は上昇して、吸着アーム部17がテーブル８の真上に位
置し、吸着部本体18がパターンフィルム３の真上に位置
するように、トラバーサユニット５が横移動する。吸着
アーム部17がテーブル８の真上に位置し、吸着部本体18
がパターンフィルム３の真上に位置したら、トラバーサ
ユニット５が下降して基板２′がテーブル８の上に固定
されると共に、基板２がパターンフィルム３の上に固定
される。パターンフィルム３上の基板２は、図示しない
押圧手段により基板２の周縁部がアクリル板21に押圧さ
れることにより行なわれる。基板２がパターンフィルム
３の上に固定されたら、ランプ22が発光する。ランプ22
の紫外光はハーフミラー24、24及びアクリル板21及びパ
ターンフィルム３の透明部分を通過して基板２に照射さ
れ、基板２が露光される。このとき、基板２からの反射
光により、アライメントマーク3a,3aとターゲットマー
ク2a,2aの像が、ハーフミラー24、24を介してCCDカメラ
25、25によって観察される。CCDカメラ25、25によって
観察されたアライメントマーク3a,3aとターゲットマー
ク2a,2aの像は、第３の記憶手段26に記憶される。第３
の記憶手段26に記憶されたアライメントマーク3a,3aと
ターゲットマーク2a,2aの観察データは、第２の演算手
段27においてアライメントマーク3a,3aに対するターゲ
ットマーク2a,2aのX,Y,θ方向のずれ量が演算される。
この第２の演算手段27におけるズレ量のデータは第２の
補正データとして制御手段16に送信される。制御手段16
では、第１の補正データに第２の補正データを加算して
その加算されたデータが駆動装置11に送信される。駆動
装置11は、この加算されたデータに基づいてアクリル板
21のパターンフィルム３上に次の基板２′がより正規な
位置に位置するようにテーブル８を駆動する。

即ち、吸着アーム部17によってテーブル８の上に搬送
された基板２′についても、前述のCCDカメラ10、10に
よりターゲットマーク２′a,2′ａの観察が行なわれ、
第１の演算手段15において第１の記憶手段13において記
憶されている観察データとの比較演算が行なわれてお
り、基板２′に関する第１の補正データが算出される。

この第１の補正データに以降代２の補正データがくわ
えられて駆動装置11が駆動されて、テーブル８上の基板
２″の位置が調整される。これにより、基板２″がアラ
イメントユニット６から露光ユニット７に移送される間
にずれてしまう量も考慮されて位置調整される。

基板２′のアライメント調整が完了したら、トラバー
サユニット５が下降し、前述の動作の如く吸着部本体18
に基板２′が吸着されるとともに、吸着アーム部17に新
たな基板２″が吸着され、吸着アーム部19最初の基板２
が吸着される。この状態でトラバーサユニット５は上昇
し、吸着部本体18がアクリル板21の真上に位置するよう
にトラバーサユニット５が横移動する。吸着部本体18が
アクリル板21の真上に位置したら、トラバーサユニット
５の横移動は停止した後に下降して、吸着部本体18の基
板２′をアクリル板21の上に固定し、吸着アーム部17の
基板２″をテーブル８の上に固定し、吸着アーム部19の
基板２を露光ユニット７の後工程に配設されたスタッカ
29に積層する。

第２の補正データは最初の基板２が露光ユニット７に
固定された時に１回得れば充分であり、以降の基板
２′、２″の露光に共通に用いることが出来るので、第
２の補正データを得たのちには、ハーフミラー24、24は
露光の光路より引き込むようにしても良い。

その後は、２番目の基板２′と同様な処理が繰り返さ
れるので、その後の説明は基板２′の処理の説明を援用
する。露光装置１の動作は、プリアライメントユニット
４の基板２が無くなることあるいはメインスイッチのオ
フによって終了する。

スタッカ29に収納された基板２、２′、２″はその後
取出され、基板２はターゲットマーク2a,2aの位置ずれ
が許容範囲外であるときには、廃棄される。基板2'並び
にその後の基板２″,,,,,は、第２の補正データにより
アライメント調整され、適正な露光が行なわれるので、
化学処理されてプリント基板として作製される。

本発明は前記実施例に限定されるものではなく、例え
ば、２枚目以降の基板２′、２″の露光の際は、ハーフ
ミラー24、24、CCDカメラ25、25は取り外すようにして
もよく、又、２枚目以降も常にCCDカメラ25、25でずれ
を観察し、位置調整をするようにしても良い。又、CCD
カメラ25、25の観察光源は、発光手段22によらず、例え
ば光ファイバー等の別途に透過の照明光源を設けても良
い。

（発明の効果） 本発明にかかる露光装置は、以上説明した構成から明
らかなように、姿勢制御手段から露光装置本体に移送さ
れる間にどの程度基板に位置ずれが生ずるかが、搬送装
置などに起因するずれ量として第１の観察手段により検
出できるため、この観察したデータを正規な基準データ
と比較してずれ量を補正して姿勢制御装置を駆動制御す
ることにより、その後の基板の投影パターンを正規なも
のとすることができる。従って、最初に露光した基板の
みを排除、回収することにより基板の浪費と露光装置の
無駄な運転を回避することが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例にかかる露光装置の概略構成
を示す且つ露光ユニットにパターンフィルムを搬送する
状態の説明図である。 第２図は、第１図の露光装置によって基板を露光ユニッ
トに搬送する状態の説明図である。 第３図は、パターンフィルムの説明図である。 第４図は、基板の説明図である。 第５図は、第１図のテーブルにおける仮想のアライメン
ト調整前のパターンフィルムと基板の位置ずれ状態の説
明図である。 第６図は、第１図のテーブルにおける仮想のアライメン
ト調整後のパターンフィルムと基板の位置調整状態の説
明図である。 第７図は、第１図のアクリル板上のパターンフィルムと
基板の位置ずれ状態の説明図である。 第８図は、第１図のアクリル板上のパターンフィルムと
基板の位置調整状態の説明図である。 １……露光装置 ２、２′、２″……基板 2a,2′ａ……ターゲットマーク（位置合わせ指標） ３……パターンフィルム（投影部材） 3a……アライメントマーク（基準指標） ４……プリアライメントユニット ５……トラバーサユニット ６……アライメントユニット ７……露光ユニット ８……テーブル ９……開口部 10……CCDカメラ（第１の観察手段） 11……駆動装置 11a……支持ロッド 12……制御装置 13……第１の記憶手段 14……第２の記憶手段 15……第１の演算手段 16……制御装置 17……吸着アーム部 18……吸着部本体 19……吸着アーム部 20……制御装置 21……アクリル板（透光板） 22……ランプ（発光手段） 23……ミラー 24……ハーフミラー（第２の観察手段） 25……CCDカメラ（第２の観察手段） 26……第３の記憶手段 27……第２の演算手段 29……スタッカー

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】位置決め用の基準指標を有するパターン投
   影用の投影部材が搬入、搬出された後に、前記基準指標
   に合致させる位置決め指標を有する感光性の基板とが搬
   入、搬出されるテーブルと、このテーブルに存在する前
   記投影部材の基準指標及び前記基板の位置決め指標を観
   察する第１の観察手段と、前記テーブルに前記投影部材
   がある時にこの第１の観察手段にて観察された前記基準
   指標を基準データとして記憶する第１の記憶手段と、前
   記テーブル上に前記基板がある時に前記第１の観察手段
   にて観察された前記位置決め指標を補正対象データとし
   て保持する第２の記憶手段と、この第２の記憶手段の補
   正対象データと前記第１の記憶手段の基準データとを比
   較して前記基準指標と前記位置決め指標との位置ずれ量
   を補正データとして算出する第１の演算手段と、この第
   １の演算手段の補正データに基づいて前記位置決め指標
   が前記基準指標の許容範囲内に位置するように前記テー
   ブルを移動させる駆動手段とを備えたアライメントユニ
   ットと、 前記テーブルから前記投影部材が搬入且つ固定された後
   にこの投影部材の上に前記基板が搬入される透光板と、
   この透光板と前記投影部材を介して前記基板を露光する
   発光手段とを備えた露光ユニットと、 この露光ユニットに配設され、前記位置決め指標と前記
   基準指標の重合像を観察する第２の観察手段と、 この第２の観察手段で観察した重合像より前記透光板上
   の投影部材と基板の位置ずれ量を算出し、この算出結果
   を第２の補正データとして前記駆動手段に出力する第２
   の演算手段と、 を備えていることを特徴とする露光装置。