JPH0766192B2 - 自動露光装置におけるワーク位置決め方法 - Google Patents
自動露光装置におけるワーク位置決め方法Info
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- JPH0766192B2 JPH0766192B2 JP63131954A JP13195488A JPH0766192B2 JP H0766192 B2 JPH0766192 B2 JP H0766192B2 JP 63131954 A JP63131954 A JP 63131954A JP 13195488 A JP13195488 A JP 13195488A JP H0766192 B2 JPH0766192 B2 JP H0766192B2
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0082—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the exposure method of radiation-sensitive masks
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49004—Electrical device making including measuring or testing of device or component part
-
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- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49764—Method of mechanical manufacture with testing or indicating
- Y10T29/49778—Method of mechanical manufacture with testing or indicating with aligning, guiding, or instruction
Description
【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、自動露光装置におけるワーク位置決め方法に
係り、特にプリント配線板の配線パターンを露光する際
に、露光されるべき銅張り積層板とマスクフィルムとを
自動整合するのに好適なワーク位置決め方法に関する。
係り、特にプリント配線板の配線パターンを露光する際
に、露光されるべき銅張り積層板とマスクフィルムとを
自動整合するのに好適なワーク位置決め方法に関する。
「従来の技術」 一般に、画像認識及び図形処理による自動整合装置を備
えた自動露光装置は、露光室内で配線パターンが露光さ
れる銅張り積層板等のワークの自動整合を行うものと、
例えば本出願人が既に提案した特開昭63−46466号公報
記載の如く露光室以外の場所で予めワークの自動整合を
行った後に露光室内に搬入するものとに大別される。後
者の方式は、ワークに整合マークを予め付しておき、自
動整合する際に、ワークをアライメントテーブル（alig
nment table）に固定し、カメラ（受像機）がワークの
整合のマークを読み取って、該整合マークが露光室内に
ワークを搬入した時に所定の位置に対応位置するように
アライメントテーブルを移動させて、該ワークの位置決
めを、つまり自動整合を行うものである。上記後者の方
式は、量産性を高めるのに頗る好適である。
えた自動露光装置は、露光室内で配線パターンが露光さ
れる銅張り積層板等のワークの自動整合を行うものと、
例えば本出願人が既に提案した特開昭63−46466号公報
記載の如く露光室以外の場所で予めワークの自動整合を
行った後に露光室内に搬入するものとに大別される。後
者の方式は、ワークに整合マークを予め付しておき、自
動整合する際に、ワークをアライメントテーブル（alig
nment table）に固定し、カメラ（受像機）がワークの
整合のマークを読み取って、該整合マークが露光室内に
ワークを搬入した時に所定の位置に対応位置するように
アライメントテーブルを移動させて、該ワークの位置決
めを、つまり自動整合を行うものである。上記後者の方
式は、量産性を高めるのに頗る好適である。
「発明が解決しようとする課題」 しかしながら、上記後者の方式は、例えばワークとして
銅張り積層板の下面に配線パターンを露光する場合に、
銅張り積層板に付された整合マークを読み取るカメラ
を、銅張り積層板の上方に配置するか、又は下方に設置
するかの二形式がある。つまり、カメラを銅張り積層板
の上方に配置すると、露光面とは反対側の面に整合マー
クを付すことになるので、露光される配線パターンの位
置に係りなく、カメラにより読み取るのに都合がよい自
由な位置に整合マークを付すことができるといった利点
がある反面、露光面とは反対側の面に整合マークを付し
て位置決めに利用することから、整合精度に誤差が生じ
やすいといった問題があり、特に同一ワークに複数回露
光する場合には整合精度が極めて悪く、又、逆にカメラ
を銅張り積層板の露光面側の下方に配置すると、アライ
メントテーブルに装着した際に銅張り積層板の反りによ
って誤差の生じ難い位置に付した整合マークを読み取ら
ねばならないなど、ワークへの整合マークの付設位置や
カメラの設置位置が制約されて、銅張り積層板の形状の
相違や露光すべき配線パターンの相違などによってワー
クへの整合マークの付設位置やカメラを位置換えできる
余裕度が激減し、このためあらゆる条件に対応できると
いった汎用性に欠けるなどの問題がある。
銅張り積層板の下面に配線パターンを露光する場合に、
銅張り積層板に付された整合マークを読み取るカメラ
を、銅張り積層板の上方に配置するか、又は下方に設置
するかの二形式がある。つまり、カメラを銅張り積層板
の上方に配置すると、露光面とは反対側の面に整合マー
クを付すことになるので、露光される配線パターンの位
置に係りなく、カメラにより読み取るのに都合がよい自
由な位置に整合マークを付すことができるといった利点
がある反面、露光面とは反対側の面に整合マークを付し
て位置決めに利用することから、整合精度に誤差が生じ
やすいといった問題があり、特に同一ワークに複数回露
光する場合には整合精度が極めて悪く、又、逆にカメラ
を銅張り積層板の露光面側の下方に配置すると、アライ
メントテーブルに装着した際に銅張り積層板の反りによ
って誤差の生じ難い位置に付した整合マークを読み取ら
ねばならないなど、ワークへの整合マークの付設位置や
カメラの設置位置が制約されて、銅張り積層板の形状の
相違や露光すべき配線パターンの相違などによってワー
クへの整合マークの付設位置やカメラを位置換えできる
余裕度が激減し、このためあらゆる条件に対応できると
いった汎用性に欠けるなどの問題がある。
そこで、本発明は、上記事情に鑑み、整合精度に誤差を
招くことなく位置決めできることはもとより、ワークに
付すべき整合マークの位置やカメラの設置位置が何等制
約されずに自由に選定でき、かつワークに付した整合マ
ークをカメラで読み取る際に、該ワークの反りや撓みを
矯正した状態で行うことができて更に整合精度の向上を
図り得る自動露光装置におけるワーク位置決め方法を提
供することを目的とする。
招くことなく位置決めできることはもとより、ワークに
付すべき整合マークの位置やカメラの設置位置が何等制
約されずに自由に選定でき、かつワークに付した整合マ
ークをカメラで読み取る際に、該ワークの反りや撓みを
矯正した状態で行うことができて更に整合精度の向上を
図り得る自動露光装置におけるワーク位置決め方法を提
供することを目的とする。
「課題を解決するための手段」 本発明は、上記目的を達成するために、露光されるべき
ワークを露光位置に搬入する前に自動整合装置のアライ
メントテーブルに載置し、前記ワークを露光位置に搬入
したときに所定位置に到達するようにアライメントテー
ブルを移動させるようにした自動露光装置におけるワー
クの位置決め方法において、最初に、整合マークを付し
たマスクフィルムをサクション装置を介してアライメン
トテーブルに吸着し、画像認識用のカメラを移動させて
アライメントテーブルの広範囲な領域に設けた透明窓を
通して前記整合マークを読み取り、適宜位置に選定した
原点からのカメラの移動位置とカメラが認識した受像領
域内の整合マークの位置にもとづいて前記原点からの整
合マークの位置を割り出し、割り出した位置データを整
合マークの基準値として記憶しておき、次に、マスクフ
ィルムの整合マークと同位置に整合マークを付したワー
クをサクション装置を介してアライメントテーブルに吸
着し、前記カメラを移動させて前記透明窓を通して前記
整合マークを読み取り、前記原点からのカメラの移動位
置および受像領域内の整合マークの位置にもとづいて前
記整合マークの位置を割り出し、割り出した位置データ
が前記基準値に一致するようにアライメントテーブルを
移動させることを特徴とする自動露光装置におけるワー
ク位置決め方法を構成した。
ワークを露光位置に搬入する前に自動整合装置のアライ
メントテーブルに載置し、前記ワークを露光位置に搬入
したときに所定位置に到達するようにアライメントテー
ブルを移動させるようにした自動露光装置におけるワー
クの位置決め方法において、最初に、整合マークを付し
たマスクフィルムをサクション装置を介してアライメン
トテーブルに吸着し、画像認識用のカメラを移動させて
アライメントテーブルの広範囲な領域に設けた透明窓を
通して前記整合マークを読み取り、適宜位置に選定した
原点からのカメラの移動位置とカメラが認識した受像領
域内の整合マークの位置にもとづいて前記原点からの整
合マークの位置を割り出し、割り出した位置データを整
合マークの基準値として記憶しておき、次に、マスクフ
ィルムの整合マークと同位置に整合マークを付したワー
クをサクション装置を介してアライメントテーブルに吸
着し、前記カメラを移動させて前記透明窓を通して前記
整合マークを読み取り、前記原点からのカメラの移動位
置および受像領域内の整合マークの位置にもとづいて前
記整合マークの位置を割り出し、割り出した位置データ
が前記基準値に一致するようにアライメントテーブルを
移動させることを特徴とする自動露光装置におけるワー
ク位置決め方法を構成した。
「実施例」 以下に、本発明に係る自動露光装置におけるワーク位置
決め方法の一実施例を図面に基づき説明する。まず、ワ
ーク位置決め方法を実施する装置について説明すれば、
第１図はその自動露光装置を示し、図中１は自動整合装
置、２は露光部である。自動整合装置１は、搬入ストッ
カー３に多数積み重ねられた未露光のワーク４を、投入
ハンドラー５が最上段のものから順次保持してアライメ
ントテーブル６上に一枚づつ載置するようになってい
る。投入ハンドラー５は、適数の吸盤を有していて、サ
クション装置による吸引作用で吸盤が搬入ストッカー３
のワーク４を一枚づつ吸着保持した後、アライメントテ
ーブル６上まで移動して、該アライメントテーブル６に
ワーク４を載置するようになっている。従って、投入ハ
ンドラー５は、ドライブ機構により搬入ストッカー３と
アライメントテーブル６との間を往復移動し、かつワー
ク４を受け渡し可能に上下動するようになっている。ア
ライメントテーブル６は、ベース７にモータドライブ機
構８及び支持ロッド９を介して取り付けられている。又
アライメントテーブル６は、第２図に示す如く、支持ロ
ッド９の上端に下板10を固設し、下板10には周壁11によ
って適宜間隔をおいて上板12を取り付けるようになって
いる。下板10と上板12との間の間隙は吸引チャンバー13
としてある。吸引チャンバー13は、下板10に設けた吸引
ダクト14を介して真空ポンプ15に接続する。上板12に
は、吸引チャンバー13内と外部とを連通する多数の吸引
孔16としての小孔を穿設させてある。上記真空ポンプ15
から吸引ダクト14,吸引チャンバー13,吸引孔16に至る系
路によりサクション装置を構成する。下板10と上板12と
の対向位置には、可能な限り広範囲な領域に、特に周縁
から支持ロッド９の中心方向に向う広範な領域を透明窓
17,18にしてある。透明窓17,18は、透明なガラス板やア
クリル板、更にセラミック板などを下板10及び上板12に
穿設した窓孔に嵌着して形成する。透明窓17,18の数は
後述のカメラ24,25に対応させて２個以上の複数個設定
しておく。上記モータドライブ機構は、支持ロッド９
を、つまりアライメントテーブル６を、横方向（以下Ｘ
軸方向と称す）に移動させるＸ軸駆動機構19と、縦方向
（以下Ｙ軸方向と称す）に移動させるＹ軸駆動機構20
と、支持ロッド９を中心にして回転させるθ駆動機構21
とからなっている。Ｘ軸駆動機構19は、モータによりベ
ース７に対してアライメントテーブル６をＸ軸方向に移
動し、Ｙ軸駆動機構20は、モータによりＸ軸駆動機構に
対してアライメントテーブル６をＹ軸方向に移動し、θ
駆動機構21は、回転中心に支持ロッド９の下端が固設さ
れて、Ｙ軸駆動機構20に対しアライメントテーブル６の
左右何れの方向にも回転し得るようになっている。更に
上記ベース７にはカメラ位置調節機構22,23を介して整
合マーク認識用のカメラ24,25を取り付ける。カメラ24,
25は、CCD（charge coupled device）受像機を利用して
おり、受像領域内における整合マークの受像位置の割り
出しが可能になっている。カメラ位置調節機構22,23
は、カメラ24,25を、Ｘ軸方向に移動させるＸ軸駆動機
構26、Ｙ軸方向に移動させるＹ軸駆動機構27、高さ方向
（以下Ｚ軸方向と称す）に移動させるＺ軸駆動機構28と
から成っている。従って、カメラ24,25は、カメラ位置
調節機構22,23によって、アライメントテーブル６の透
明窓17,18の下方の随意位置に位置決めできるようにな
っている。又、第１図に示す如く、上記カメラ位置調節
機構22,23からは、適宜位置に選定した基準となる原点
からのカメラの位置信号を整合マーク位置割り出し装置
29に供与し、かつカメラ24,25からは、後述する如くア
ライメントテーブル６上のワークの受像された整合マー
クの受像領域内の位置信号を整合マーク位置割り出し装
置29に供与するようになっており、整合マーク位置割り
出し装置29では、上記各位置信号を受けて上記原点に基
づいて整合マークの位置を算出するようになっている。
整合マーク位置割り出し装置29で算出した整合マークの
位置は、ワークを露光部内の所定位置にセッティングし
た時の整合マークの位置と対応一致するかどうかを比較
判定装置30で判定し、判定結果が対応一致すように駆動
制御装置31を介してモータドライブ機構８の駆動を制御
できるようになっている。一方、オペレータがカメラ2
4,25の移動位置とカメラ24,25による整合マークの受像
領域内における受像装置とを読み出して、手動によりモ
ータドライブ機構８を動作させて、同様に露光部２内の
所定位置へのセッティング時の整合マークの位置に対応
一致させることもできるようになっている。アライメン
トテーブル６と露光部２との間には、位置決め後のワー
ク４を搬送するトラバーサ32を往復移動自在に配設させ
てある。トラバーサ32は、適数の吸盤を有して、サクシ
ョン装置による吸引作用で吸盤がアライメントテーブル
６上のワーク４を吸着保持できるようになっている。従
ってトラバーサ32は、ドライブ機構によりアライメント
テーブル６と露光部２との間を往復移動するのみなら
ず、ワーク４の受け渡しを行うべく上下動できるように
もなっている。上記露光部２は周知構成のもので、上記
ワーク４及び配線パターンなどが描写されたマスクフィ
ルム38が載置固定される焼枠ガラス板33と、ミラー34
と、ランプ35とから成っている。焼枠ガラス板33上への
ワーク４及びマスクフィルム38の固定は、サクション装
置による吸着固定の他各種形式のものが適用できること
は勿論である。露光部２と搬出ストッカー36との間には
上記搬入ハンドラー５と同一構成の搬出ハンドラー37を
配設させてある。即ち、搬出ハンドラー37は、ドライブ
機構により露光部２と搬出ストッカー36との間を往復移
動できるようになっていて、かつ適数の吸盤を有して、
サクション装置による吸引作用で吸盤がワークを吸着保
持して、ワークの受け渡しが可能に上下動できるように
もなっている。
決め方法の一実施例を図面に基づき説明する。まず、ワ
ーク位置決め方法を実施する装置について説明すれば、
第１図はその自動露光装置を示し、図中１は自動整合装
置、２は露光部である。自動整合装置１は、搬入ストッ
カー３に多数積み重ねられた未露光のワーク４を、投入
ハンドラー５が最上段のものから順次保持してアライメ
ントテーブル６上に一枚づつ載置するようになってい
る。投入ハンドラー５は、適数の吸盤を有していて、サ
クション装置による吸引作用で吸盤が搬入ストッカー３
のワーク４を一枚づつ吸着保持した後、アライメントテ
ーブル６上まで移動して、該アライメントテーブル６に
ワーク４を載置するようになっている。従って、投入ハ
ンドラー５は、ドライブ機構により搬入ストッカー３と
アライメントテーブル６との間を往復移動し、かつワー
ク４を受け渡し可能に上下動するようになっている。ア
ライメントテーブル６は、ベース７にモータドライブ機
構８及び支持ロッド９を介して取り付けられている。又
アライメントテーブル６は、第２図に示す如く、支持ロ
ッド９の上端に下板10を固設し、下板10には周壁11によ
って適宜間隔をおいて上板12を取り付けるようになって
いる。下板10と上板12との間の間隙は吸引チャンバー13
としてある。吸引チャンバー13は、下板10に設けた吸引
ダクト14を介して真空ポンプ15に接続する。上板12に
は、吸引チャンバー13内と外部とを連通する多数の吸引
孔16としての小孔を穿設させてある。上記真空ポンプ15
から吸引ダクト14,吸引チャンバー13,吸引孔16に至る系
路によりサクション装置を構成する。下板10と上板12と
の対向位置には、可能な限り広範囲な領域に、特に周縁
から支持ロッド９の中心方向に向う広範な領域を透明窓
17,18にしてある。透明窓17,18は、透明なガラス板やア
クリル板、更にセラミック板などを下板10及び上板12に
穿設した窓孔に嵌着して形成する。透明窓17,18の数は
後述のカメラ24,25に対応させて２個以上の複数個設定
しておく。上記モータドライブ機構は、支持ロッド９
を、つまりアライメントテーブル６を、横方向（以下Ｘ
軸方向と称す）に移動させるＸ軸駆動機構19と、縦方向
（以下Ｙ軸方向と称す）に移動させるＹ軸駆動機構20
と、支持ロッド９を中心にして回転させるθ駆動機構21
とからなっている。Ｘ軸駆動機構19は、モータによりベ
ース７に対してアライメントテーブル６をＸ軸方向に移
動し、Ｙ軸駆動機構20は、モータによりＸ軸駆動機構に
対してアライメントテーブル６をＹ軸方向に移動し、θ
駆動機構21は、回転中心に支持ロッド９の下端が固設さ
れて、Ｙ軸駆動機構20に対しアライメントテーブル６の
左右何れの方向にも回転し得るようになっている。更に
上記ベース７にはカメラ位置調節機構22,23を介して整
合マーク認識用のカメラ24,25を取り付ける。カメラ24,
25は、CCD（charge coupled device）受像機を利用して
おり、受像領域内における整合マークの受像位置の割り
出しが可能になっている。カメラ位置調節機構22,23
は、カメラ24,25を、Ｘ軸方向に移動させるＸ軸駆動機
構26、Ｙ軸方向に移動させるＹ軸駆動機構27、高さ方向
（以下Ｚ軸方向と称す）に移動させるＺ軸駆動機構28と
から成っている。従って、カメラ24,25は、カメラ位置
調節機構22,23によって、アライメントテーブル６の透
明窓17,18の下方の随意位置に位置決めできるようにな
っている。又、第１図に示す如く、上記カメラ位置調節
機構22,23からは、適宜位置に選定した基準となる原点
からのカメラの位置信号を整合マーク位置割り出し装置
29に供与し、かつカメラ24,25からは、後述する如くア
ライメントテーブル６上のワークの受像された整合マー
クの受像領域内の位置信号を整合マーク位置割り出し装
置29に供与するようになっており、整合マーク位置割り
出し装置29では、上記各位置信号を受けて上記原点に基
づいて整合マークの位置を算出するようになっている。
整合マーク位置割り出し装置29で算出した整合マークの
位置は、ワークを露光部内の所定位置にセッティングし
た時の整合マークの位置と対応一致するかどうかを比較
判定装置30で判定し、判定結果が対応一致すように駆動
制御装置31を介してモータドライブ機構８の駆動を制御
できるようになっている。一方、オペレータがカメラ2
4,25の移動位置とカメラ24,25による整合マークの受像
領域内における受像装置とを読み出して、手動によりモ
ータドライブ機構８を動作させて、同様に露光部２内の
所定位置へのセッティング時の整合マークの位置に対応
一致させることもできるようになっている。アライメン
トテーブル６と露光部２との間には、位置決め後のワー
ク４を搬送するトラバーサ32を往復移動自在に配設させ
てある。トラバーサ32は、適数の吸盤を有して、サクシ
ョン装置による吸引作用で吸盤がアライメントテーブル
６上のワーク４を吸着保持できるようになっている。従
ってトラバーサ32は、ドライブ機構によりアライメント
テーブル６と露光部２との間を往復移動するのみなら
ず、ワーク４の受け渡しを行うべく上下動できるように
もなっている。上記露光部２は周知構成のもので、上記
ワーク４及び配線パターンなどが描写されたマスクフィ
ルム38が載置固定される焼枠ガラス板33と、ミラー34
と、ランプ35とから成っている。焼枠ガラス板33上への
ワーク４及びマスクフィルム38の固定は、サクション装
置による吸着固定の他各種形式のものが適用できること
は勿論である。露光部２と搬出ストッカー36との間には
上記搬入ハンドラー５と同一構成の搬出ハンドラー37を
配設させてある。即ち、搬出ハンドラー37は、ドライブ
機構により露光部２と搬出ストッカー36との間を往復移
動できるようになっていて、かつ適数の吸盤を有して、
サクション装置による吸引作用で吸盤がワークを吸着保
持して、ワークの受け渡しが可能に上下動できるように
もなっている。
次に、ワーク位置決め方法を説明すれば、まず、露光す
べき配線パターン等が描写されたマスクフィルム38を露
光部２の焼枠ガラス板33上に装着する必要がある。マス
クフィルム38を装着するには、該マスクフィルム38をア
ライメントテーブル６上に載置し、サクション装置によ
る吸引孔16からの吸引作用でマスクフィルム38をアライ
メントテーブル６上に吸着保持させる。次にマスクフィ
ルム38に付された２個以上の複数個の整合マークをカメ
ラ24,25で受像できる位置まで、該カメラ24,25をカメラ
位置調節機構22,23で移動させ、上記マスクフィルム38
の整合マークをカメラ24,25で読み取り、カメラの受像
領域内の位置と、カメラ24,25の移動位置からマスクフ
ィルム38に付された整合マークの位置を割り出し、以後
の露光工程において、該マスクフィルム38の整合マーク
の位置を基準にしてワーク４の位置決めを行う。この割
り出し位置は、比較判定装置30に記憶させておく。整合
マークの位置の割り出しが終了したマスクフィルム38
は、トラバーサ32で露光部２の焼枠ガラス板33上に搬入
し、該焼枠ガラス板33上に粘着テープ等の手段で固定す
る。従って、焼枠ガラス板33上に固着されたマスクフィ
ルム38の整合マークの位置と、上記の如くアライメント
テーブル６上で計測した時のマスクフィルム38の整合マ
ークの位置とは、対応一致する関係を有することにな
る。マスクフィルム38の整合マークは、露光すべき配線
パターン等に邪魔にならない位置に付しておくことは勿
論である。
べき配線パターン等が描写されたマスクフィルム38を露
光部２の焼枠ガラス板33上に装着する必要がある。マス
クフィルム38を装着するには、該マスクフィルム38をア
ライメントテーブル６上に載置し、サクション装置によ
る吸引孔16からの吸引作用でマスクフィルム38をアライ
メントテーブル６上に吸着保持させる。次にマスクフィ
ルム38に付された２個以上の複数個の整合マークをカメ
ラ24,25で受像できる位置まで、該カメラ24,25をカメラ
位置調節機構22,23で移動させ、上記マスクフィルム38
の整合マークをカメラ24,25で読み取り、カメラの受像
領域内の位置と、カメラ24,25の移動位置からマスクフ
ィルム38に付された整合マークの位置を割り出し、以後
の露光工程において、該マスクフィルム38の整合マーク
の位置を基準にしてワーク４の位置決めを行う。この割
り出し位置は、比較判定装置30に記憶させておく。整合
マークの位置の割り出しが終了したマスクフィルム38
は、トラバーサ32で露光部２の焼枠ガラス板33上に搬入
し、該焼枠ガラス板33上に粘着テープ等の手段で固定す
る。従って、焼枠ガラス板33上に固着されたマスクフィ
ルム38の整合マークの位置と、上記の如くアライメント
テーブル６上で計測した時のマスクフィルム38の整合マ
ークの位置とは、対応一致する関係を有することにな
る。マスクフィルム38の整合マークは、露光すべき配線
パターン等に邪魔にならない位置に付しておくことは勿
論である。
次に、投入ハンドラー５で銅張り積層板などのワーク４
を投入ストッカー３から一枚づつ吸着保持して、アライ
メントテーブル６上に載置する。次いで、ワーク４は、
サクション装置による吸引孔16からの吸引作用でアライ
メントテーブル６上に吸着固定される。ここで、カメラ
24,25はワーク４に付された２個以上複数個の整合マー
クを読み込み、その位置を整合マーク位置割り出し装置
29で割り出し、この割り出し位置と、比較判定装置30内
部に記憶された上記マスクフィルム38の整合マークの位
置とが一致するかどうかを判定し、判定結果が一致する
まで、モータドライブ機構８を駆動制御し、これにより
アライメントテーブル６をＸ軸方向,Y軸方向，更に左右
の回転方向に適宜量移動させて位置決めする。上記判定
結果が一致すると、アライメントテーブル６上のワーク
４の整合マークと、焼枠ガラス板33上のマスクフィルム
38の整合マークとが対応一致する。次いで、トラバーサ
32がアライメントテーブル６上のワーク４を受け取った
後、露光部２に搬送し、該ワーク４を焼枠ガラス板33上
のマスクフィルム38に添着し、更にワーク４をマスクフ
ィルム38上にサクション装置等で固定する。その後、ラ
ンプ35からの投光で、マスクフィルム38の配線パターン
などをワーク４に焼付ける。露光後のワーク４は、搬出
ハンドラー37で搬出ストッカー36に搬送されて、該搬出
ストッカー36にストックされる。以後、上記動作を繰り
返す。
を投入ストッカー３から一枚づつ吸着保持して、アライ
メントテーブル６上に載置する。次いで、ワーク４は、
サクション装置による吸引孔16からの吸引作用でアライ
メントテーブル６上に吸着固定される。ここで、カメラ
24,25はワーク４に付された２個以上複数個の整合マー
クを読み込み、その位置を整合マーク位置割り出し装置
29で割り出し、この割り出し位置と、比較判定装置30内
部に記憶された上記マスクフィルム38の整合マークの位
置とが一致するかどうかを判定し、判定結果が一致する
まで、モータドライブ機構８を駆動制御し、これにより
アライメントテーブル６をＸ軸方向,Y軸方向，更に左右
の回転方向に適宜量移動させて位置決めする。上記判定
結果が一致すると、アライメントテーブル６上のワーク
４の整合マークと、焼枠ガラス板33上のマスクフィルム
38の整合マークとが対応一致する。次いで、トラバーサ
32がアライメントテーブル６上のワーク４を受け取った
後、露光部２に搬送し、該ワーク４を焼枠ガラス板33上
のマスクフィルム38に添着し、更にワーク４をマスクフ
ィルム38上にサクション装置等で固定する。その後、ラ
ンプ35からの投光で、マスクフィルム38の配線パターン
などをワーク４に焼付ける。露光後のワーク４は、搬出
ハンドラー37で搬出ストッカー36に搬送されて、該搬出
ストッカー36にストックされる。以後、上記動作を繰り
返す。
上記透明窓17,18は、広範囲に亘って形成させてあるた
めに、ワーク４の形状が小さいものであってもカメラ2
4,25で読み取ることができる。しかも、ワーク４に付さ
れる整合マークの付すべき位置は、ワークの周縁位置に
限らず、露光の邪魔にならない箇所ならば、自由に選定
できて、ワーク４の前段加工工程時のみならず、その工
程後、露光処理直前の後付けによっても自由に付すこと
が可能である。
めに、ワーク４の形状が小さいものであってもカメラ2
4,25で読み取ることができる。しかも、ワーク４に付さ
れる整合マークの付すべき位置は、ワークの周縁位置に
限らず、露光の邪魔にならない箇所ならば、自由に選定
できて、ワーク４の前段加工工程時のみならず、その工
程後、露光処理直前の後付けによっても自由に付すこと
が可能である。
上記実施例では、ワーク４を片面露光する場合について
説明したが、特開昭63−46466号公報記載の如き両面露
光形式にも適用できる。この場合、両マスクフィルムは
特開昭63−46466号公報記載の如く、互いに重ねて両マ
スクフィルムの整合マークをカメラ24,25で読み込んで
位置を割り出し後、露光部２で両マスクフィルムを上下
に分離し、分離後の相互間の間隙内にワークを挿入する
から、そのまま本発明の方法が適用可能である。
説明したが、特開昭63−46466号公報記載の如き両面露
光形式にも適用できる。この場合、両マスクフィルムは
特開昭63−46466号公報記載の如く、互いに重ねて両マ
スクフィルムの整合マークをカメラ24,25で読み込んで
位置を割り出し後、露光部２で両マスクフィルムを上下
に分離し、分離後の相互間の間隙内にワークを挿入する
から、そのまま本発明の方法が適用可能である。
又、上記ワーク４としては、プリント配線板を形成する
ための銅張り積層板の他、スクリーン印刷を施すための
印版など各種のものに利用できる。
ための銅張り積層板の他、スクリーン印刷を施すための
印版など各種のものに利用できる。
「発明の効果」 以上の如く、本発明に係る自動露光装置におけるワーク
位置決め方法によれば、アライメントテーブルの透明窓
を介してカメラがワークの整合マークを読み込むため
に、ワークの露光面側を基準にして位置決めでき、しか
もワークをアライメントテーブルに吸着保持させるもの
であるから、ワークの厚みむらなどによって反りや撓み
があったとしても、この反りや撓みが矯正できて、反り
や撓みのある状態での位置決め時の誤差の発生がなく整
合精度を向上し得る。従って露光時においては、所謂ボ
ケやピッチエラーを激減できて良好な露光状態を得るこ
とができる。又、カメラで整合マークを透視する透明窓
を広範な領域に形成したことから、ワークの大小に拘ら
ず、カメラを移動させるのみで整合マークを読み込むこ
とができ、又ワークの如何なる位置に整合マークを付し
てもカメラで読むことができて、ワークに対して整合マ
ークを付すべき位置が何等制限されずに、露光条件など
により最も好適な位置に付すことができる自由度が極め
て高く、使用上頗る便利である。
位置決め方法によれば、アライメントテーブルの透明窓
を介してカメラがワークの整合マークを読み込むため
に、ワークの露光面側を基準にして位置決めでき、しか
もワークをアライメントテーブルに吸着保持させるもの
であるから、ワークの厚みむらなどによって反りや撓み
があったとしても、この反りや撓みが矯正できて、反り
や撓みのある状態での位置決め時の誤差の発生がなく整
合精度を向上し得る。従って露光時においては、所謂ボ
ケやピッチエラーを激減できて良好な露光状態を得るこ
とができる。又、カメラで整合マークを透視する透明窓
を広範な領域に形成したことから、ワークの大小に拘ら
ず、カメラを移動させるのみで整合マークを読み込むこ
とができ、又ワークの如何なる位置に整合マークを付し
てもカメラで読むことができて、ワークに対して整合マ
ークを付すべき位置が何等制限されずに、露光条件など
により最も好適な位置に付すことができる自由度が極め
て高く、使用上頗る便利である。
図面は本発明に係る自動露光装置におけるワーク位置決
め方法の一実施例を示すもので、第１図はその方法を実
施する自動露光装置の構成図、第２図は自動整合装置の
要部構成図である。 １……自動整合装置、２……露光部 ４……ワーク ６……アライメントテーブル ８……モータドライブ機構 10……下板、11……周壁 12……上板、13……吸引チャンバー 14……吸引ダクト、16……吸引孔 17,18……透明窓 22,23……カメラ位置調節機構 24,25……カメラ
め方法の一実施例を示すもので、第１図はその方法を実
施する自動露光装置の構成図、第２図は自動整合装置の
要部構成図である。 １……自動整合装置、２……露光部 ４……ワーク ６……アライメントテーブル ８……モータドライブ機構 10……下板、11……周壁 12……上板、13……吸引チャンバー 14……吸引ダクト、16……吸引孔 17,18……透明窓 22,23……カメラ位置調節機構 24,25……カメラ
Claims (1)
- 【請求項１】露光されるべきワークを露光位置に搬入す
る前に自動整合装置のアライメントテーブルに載置し、
前記ワークを露光位置に搬入したときに所定位置に到達
するようにアライメントテーブルを移動させるようにし
た自動露光装置におけるワーク位置決め方法において、 最初に、整合マークを付したマスクフィルムをサクショ
ン装置を介してアライメントテーブルに吸着し、 画像認識用のカメラを移動させてアライメントテーブル
の広範囲な領域に設けた透明窓を通して前記整合マーク
を読み取り、 適宜位置に選定した原点からのカメラの移動位置とカメ
ラが認識した受像領域内の整合マークの位置にもとづい
て、前記原点からの整合マークの位置を割り出し、 割り出した位置データを整合マークの基準値として記憶
しておき、 次に、マスクフィルムの整合マークと同位置に整合マー
クを付したワークをサクション装置を介してアライメン
トテーブルに吸着し、 前記カメラを移動させて前記透明窓を通して前記整合マ
ークを読み取り、 前記原点からのカメラの移動位置および受像領域内の整
合マークの位置にもとづいて前記整合マークの位置を割
り出し、 割り出した位置データが前記基準値に一致するようにア
ライメントテーブルを移動させることを特徴とする自動
露光装置におけるワーク位置決め方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63131954A JPH0766192B2 (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 | 自動露光装置におけるワーク位置決め方法 |
| US07/576,148 US4996763A (en) | 1988-05-30 | 1990-08-30 | Method of locating work in automatic exposing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63131954A JPH0766192B2 (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 | 自動露光装置におけるワーク位置決め方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01302259A JPH01302259A (ja) | 1989-12-06 |
| JPH0766192B2 true JPH0766192B2 (ja) | 1995-07-19 |
Family
ID=15070094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63131954A Expired - Fee Related JPH0766192B2 (ja) | 1988-05-30 | 1988-05-30 | 自動露光装置におけるワーク位置決め方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4996763A (ja) |
| JP (1) | JPH0766192B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0487390A (ja) * | 1990-07-31 | 1992-03-19 | Toppan Printing Co Ltd | 基板の露光装置及び露光方法 |
| JP2552197B2 (ja) * | 1990-08-27 | 1996-11-06 | 株式会社オーク製作所 | 自動露光装置および投入ステージ |
| JPH0734116B2 (ja) * | 1991-05-29 | 1995-04-12 | 株式会社オーク製作所 | 自動露光装置におけるワークの位置決め方法 |
| JP3559999B2 (ja) * | 1994-07-29 | 2004-09-02 | 株式会社オーク製作所 | マスク整合機構付露光装置およびワークの整合、露光、ならびに搬送方法。 |
| AU4048197A (en) * | 1996-08-02 | 1998-02-25 | Mrs Technology, Inc. | Lithography system with remote multisensor alignment |
| US5843831A (en) * | 1997-01-13 | 1998-12-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Process independent alignment system |
| JP4234964B2 (ja) * | 2002-09-10 | 2009-03-04 | 株式会社オーク製作所 | 露光装置 |
| JP6643578B2 (ja) * | 2016-09-08 | 2020-02-12 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 部品搭載装置及び部品搭載方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51111076A (en) * | 1975-03-26 | 1976-10-01 | Hitachi Ltd | Exposure device |
| JPS52109875A (en) * | 1976-02-25 | 1977-09-14 | Hitachi Ltd | Position matching system for mask and wafer and its unit |
| US4232969A (en) * | 1979-05-30 | 1980-11-11 | International Business Machines Corporation | Projection optical system for aligning an image on a surface |
| US4669866A (en) * | 1985-01-28 | 1987-06-02 | Phillips Edward H | Step-and-repeat alignment and exposure system and method therefore |
| JPS6269243U (ja) * | 1985-10-19 | 1987-04-30 | ||
| US4761561A (en) * | 1985-11-27 | 1988-08-02 | Nippon Kogaku K.K. | Laser beam scanning pattern generation system with positional and dimensional error correction |
| JPS6346466A (ja) * | 1986-08-13 | 1988-02-27 | Oak Seisakusho:Kk | 両面露光用ワ−クアライメント装置 |
-
1988
- 1988-05-30 JP JP63131954A patent/JPH0766192B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-08-30 US US07/576,148 patent/US4996763A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4996763A (en) | 1991-03-05 |
| JPH01302259A (ja) | 1989-12-06 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |