JPH0734116B2 - 自動露光装置におけるワークの位置決め方法 - Google Patents
自動露光装置におけるワークの位置決め方法Info
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- JPH0734116B2 JPH0734116B2 JP3125991A JP12599191A JPH0734116B2 JP H0734116 B2 JPH0734116 B2 JP H0734116B2 JP 3125991 A JP3125991 A JP 3125991A JP 12599191 A JP12599191 A JP 12599191A JP H0734116 B2 JPH0734116 B2 JP H0734116B2
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0082—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the exposure method of radiation-sensitive masks
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49004—Electrical device making including measuring or testing of device or component part
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はプリント配線板や印刷
版などのワークにフォトマスクを形成する自動露光装置
におけるワークの位置決め方法に関する。
版などのワークにフォトマスクを形成する自動露光装置
におけるワークの位置決め方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の自動露光装置には、紫外線を照射
する露光部と、マスクフィルムまたはガラス乾板とワー
クとの位置合わせ部とが、同一場所にある「内合わせ方
式」と、異なる場所にある「外合わせ方式」とがある。
この発明の出願人は特開平１−３０２２５９号「自動露
光装置におけるワークの位置決め方法」において、「外
合わせ方式」を提案している。この提案は「露光室に露
光されるべきワークを搬入する前に、予めワークに附し
た整合マークを読み取り画像処理をして露光室内への裝
着位置に対応させてワークの位置決めを行う自動整合装
置を備えた自動露光装置において、上記自動整合装置の
アライメントテーブルに、サンクション装置によりワー
クを吸着し、次いで各種ワークの任意位置に附された整
合マークをアライメントテーブルの広範囲な領域の透明
窓を介して読み取り可能に画像認識用のカメラを移動さ
せ、該カメラが認識した受像領域内のワークの整合マー
クの位置にカメラの移動位置を取り込んだ上で、上記ワ
ークの整合マークの位置が、予め定めた露光部内へのセ
ッティング位置に対応位置するように、ワークが吸着保
持されたアライメントテーブルを移動させてなることを
特徴とする。」ものである。
する露光部と、マスクフィルムまたはガラス乾板とワー
クとの位置合わせ部とが、同一場所にある「内合わせ方
式」と、異なる場所にある「外合わせ方式」とがある。
この発明の出願人は特開平１−３０２２５９号「自動露
光装置におけるワークの位置決め方法」において、「外
合わせ方式」を提案している。この提案は「露光室に露
光されるべきワークを搬入する前に、予めワークに附し
た整合マークを読み取り画像処理をして露光室内への裝
着位置に対応させてワークの位置決めを行う自動整合装
置を備えた自動露光装置において、上記自動整合装置の
アライメントテーブルに、サンクション装置によりワー
クを吸着し、次いで各種ワークの任意位置に附された整
合マークをアライメントテーブルの広範囲な領域の透明
窓を介して読み取り可能に画像認識用のカメラを移動さ
せ、該カメラが認識した受像領域内のワークの整合マー
クの位置にカメラの移動位置を取り込んだ上で、上記ワ
ークの整合マークの位置が、予め定めた露光部内へのセ
ッティング位置に対応位置するように、ワークが吸着保
持されたアライメントテーブルを移動させてなることを
特徴とする。」ものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記「内合わ
せ方式」は露光直前の整合精度を観測できるので、高精
度な整合ができる反面、整合と露光とが直列シーケンス
で動作するため生産性が低い欠点がある。また「外合わ
せ方式」は整合と露光とが並列シリーズで動作するため
生産性が高いものの、整合精度が位置合わせ部と露光部
との間の搬送部材の機械的精度に依存する外に、フォト
マスクの露光による熱変形を受け，その上に露光直前の
整合精度の確認が困難であるという問題点があった。こ
の発明は生産性の高い「外合わせ方式」の利点をそのま
ま生かし、かつ露光直前のフォトマスクとプリント配線
板などのワークとの整合精度の確認が可能な「内合わせ
方式」の機能を有する自動露光装置におけるワークの位
置決め方法を提供することを課題とする。
せ方式」は露光直前の整合精度を観測できるので、高精
度な整合ができる反面、整合と露光とが直列シーケンス
で動作するため生産性が低い欠点がある。また「外合わ
せ方式」は整合と露光とが並列シリーズで動作するため
生産性が高いものの、整合精度が位置合わせ部と露光部
との間の搬送部材の機械的精度に依存する外に、フォト
マスクの露光による熱変形を受け，その上に露光直前の
整合精度の確認が困難であるという問題点があった。こ
の発明は生産性の高い「外合わせ方式」の利点をそのま
ま生かし、かつ露光直前のフォトマスクとプリント配線
板などのワークとの整合精度の確認が可能な「内合わせ
方式」の機能を有する自動露光装置におけるワークの位
置決め方法を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の自動露光装置に
おけるワークの位置決め方法は、請求項１として、ワー
クに対する位置合わせ部と露光部とを分離して設け、位
置合わせ作業と露光作業とを同時に実施する自動露光装
置におけるワークの位置決め方法において、上記露光部
と位置合わせ部間をフォトマスクが固着されて往復移動
する搬送部材に形成した一方の焼枠が、露光部から位置
合わせ部に到来した際に、オートアライメントずみのワ
ーク保持のワーク載置部材を他方の焼枠として真空吸着
により合体して真空焼枠を形成するステップと、上記合
体した真空焼枠を取り外し自在に装着したアライメント
整合台から分離して露光部に搬送するステップとを有す
ることを特徴とする。また、請求項２としては、上記合
体した真空焼枠が露光部に搬送される前に、この合体し
たワーク載置部材保持のワークと上記一方の焼枠のフォ
トマスクとの位置ずれ量をチェックし、このチェックの
結果得られた量をそのワークまたは次に搬入されてオー
トアライメントされるワークのオートアライメント修正
値として利用するステップを有することを特徴とする。
また、請求項３として、ワークに対する位置合わせ部と
露光部とを分離して設け、位置合わせ作業と露光作業と
を同時に実施する自動露光装置におけるワークの位置決
め方法において、ワークの露光中に、露光部に配置の上
下動可能な載置部材を有する搬送機能体が、ワーク載置
部材にワーク無しの状態で位置合わせ部へ移動し、上記
位置合わせ部に装備され水平面上の位置および垂直方向
の位置が可変に駆動され得るアライメント整合台上に上
記ワーク載置部材を引き渡し、上記露光の終了前に上記
搬送機能体が露光部内の原位置に復帰するステップを有
することを特徴とする。
おけるワークの位置決め方法は、請求項１として、ワー
クに対する位置合わせ部と露光部とを分離して設け、位
置合わせ作業と露光作業とを同時に実施する自動露光装
置におけるワークの位置決め方法において、上記露光部
と位置合わせ部間をフォトマスクが固着されて往復移動
する搬送部材に形成した一方の焼枠が、露光部から位置
合わせ部に到来した際に、オートアライメントずみのワ
ーク保持のワーク載置部材を他方の焼枠として真空吸着
により合体して真空焼枠を形成するステップと、上記合
体した真空焼枠を取り外し自在に装着したアライメント
整合台から分離して露光部に搬送するステップとを有す
ることを特徴とする。また、請求項２としては、上記合
体した真空焼枠が露光部に搬送される前に、この合体し
たワーク載置部材保持のワークと上記一方の焼枠のフォ
トマスクとの位置ずれ量をチェックし、このチェックの
結果得られた量をそのワークまたは次に搬入されてオー
トアライメントされるワークのオートアライメント修正
値として利用するステップを有することを特徴とする。
また、請求項３として、ワークに対する位置合わせ部と
露光部とを分離して設け、位置合わせ作業と露光作業と
を同時に実施する自動露光装置におけるワークの位置決
め方法において、ワークの露光中に、露光部に配置の上
下動可能な載置部材を有する搬送機能体が、ワーク載置
部材にワーク無しの状態で位置合わせ部へ移動し、上記
位置合わせ部に装備され水平面上の位置および垂直方向
の位置が可変に駆動され得るアライメント整合台上に上
記ワーク載置部材を引き渡し、上記露光の終了前に上記
搬送機能体が露光部内の原位置に復帰するステップを有
することを特徴とする。
【０００５】
【作用】この発明は露光部と位置合わせ部とが分離独立
しているので、露光とワークの位置決めが同時に実施で
きる外合わせ方式となって、自動露光の処理時間が内合
わせ方式より短縮できる。また、真空密着状態における
フォトマスクとワークとの整合精度を計測し、露光され
るにふさわしい整合状態の場合には、上下の焼枠が合体
されたまま露光部へ移動して露光される。しかし、整合
度に不具合がある場合には、その場で、ワークに対する
真空密着を解除して再度位置合わせを実施する。このと
きの位置合わせには、整合精度のずれ量を機械的誤差量
として認識し、これを学習値として保持し、以後のワー
クの外合わせ方式におけるメモリに格納した座標値を補
正する。さらに、露光中において、露光部に配置のワー
ク載置部材の搬送機能体が位置合わせ部へ移動し、搬送
機能体の受台に載置のアライメントテーブルを位置合わ
せ部に装備のアライメント整合台上に引き渡し、この引
き渡し後、露光中に、ワーク載置部材の搬送機能体は露
光部の原位置に復帰するので、ワークが連続して位置合
わせ部へ搬入されても、アライメントテーブルを２個使
用することによって、連続して、位置合わせ、露光、排
出工程を支障なく実施できる。
しているので、露光とワークの位置決めが同時に実施で
きる外合わせ方式となって、自動露光の処理時間が内合
わせ方式より短縮できる。また、真空密着状態における
フォトマスクとワークとの整合精度を計測し、露光され
るにふさわしい整合状態の場合には、上下の焼枠が合体
されたまま露光部へ移動して露光される。しかし、整合
度に不具合がある場合には、その場で、ワークに対する
真空密着を解除して再度位置合わせを実施する。このと
きの位置合わせには、整合精度のずれ量を機械的誤差量
として認識し、これを学習値として保持し、以後のワー
クの外合わせ方式におけるメモリに格納した座標値を補
正する。さらに、露光中において、露光部に配置のワー
ク載置部材の搬送機能体が位置合わせ部へ移動し、搬送
機能体の受台に載置のアライメントテーブルを位置合わ
せ部に装備のアライメント整合台上に引き渡し、この引
き渡し後、露光中に、ワーク載置部材の搬送機能体は露
光部の原位置に復帰するので、ワークが連続して位置合
わせ部へ搬入されても、アライメントテーブルを２個使
用することによって、連続して、位置合わせ、露光、排
出工程を支障なく実施できる。
【０００６】
【実施例】以下に、本発明の実施例に係わる自動露光装
置の構成を図面を参照して説明する。この自動露光装置
は図１に示すように、プリント配線板や印刷版などのワ
ークＷのプリアライメント４としての搬入部５０と、ワ
ークＷとマスクフィルム８との位置決めをする位置合わ
せ部４０と、紫外線の光源６によってマスクフィルム８
をワークＷに露光するための露光部３０と、露光ずみの
ワークＷを収納する排出ストッカ５からなる排出部６０
を備えている。搬送部材としてのトラバーサ１には図２
に示すように透光性の透明樹脂板で形成し上焼枠７が設
けられ、この上焼枠は図１に示すように、その反光源側
にマスクフィルム８が固着され、レールとしてのリニヤ
ガイド９に沿ってボールねじ１０を介しサーボモータ１
１に駆動されて露光部３０と位置合わせ部４０との間を
移動自在に構成されている。なお、トラバーサ１に対
し、ローダハンドラ２は断面Ｌ字形部材２ａの側面２
ｂ、２ｃを介し、およびアンローダハンドラ３は断面Ｌ
字形部材３ａの側面３ｂ、３ｃを介して、トラバーサ１
の反サーボ側背面または側面と連結され、トラバーサ１
はサーボモータ１１に駆動されると、ローダハンドラ２
およびアンローダハンドラ３と一体的に移動する。ま
た、３６、３７はローダハンドラ２およびアンローダハ
ンドラ３の吸着盤のリード線である。
置の構成を図面を参照して説明する。この自動露光装置
は図１に示すように、プリント配線板や印刷版などのワ
ークＷのプリアライメント４としての搬入部５０と、ワ
ークＷとマスクフィルム８との位置決めをする位置合わ
せ部４０と、紫外線の光源６によってマスクフィルム８
をワークＷに露光するための露光部３０と、露光ずみの
ワークＷを収納する排出ストッカ５からなる排出部６０
を備えている。搬送部材としてのトラバーサ１には図２
に示すように透光性の透明樹脂板で形成し上焼枠７が設
けられ、この上焼枠は図１に示すように、その反光源側
にマスクフィルム８が固着され、レールとしてのリニヤ
ガイド９に沿ってボールねじ１０を介しサーボモータ１
１に駆動されて露光部３０と位置合わせ部４０との間を
移動自在に構成されている。なお、トラバーサ１に対
し、ローダハンドラ２は断面Ｌ字形部材２ａの側面２
ｂ、２ｃを介し、およびアンローダハンドラ３は断面Ｌ
字形部材３ａの側面３ｂ、３ｃを介して、トラバーサ１
の反サーボ側背面または側面と連結され、トラバーサ１
はサーボモータ１１に駆動されると、ローダハンドラ２
およびアンローダハンドラ３と一体的に移動する。ま
た、３６、３７はローダハンドラ２およびアンローダハ
ンドラ３の吸着盤のリード線である。
【０００７】位置合わせ部４０には、図１に示すよう
に、アライメントテーブル１３ａ上に載置したワークＷ
の適宜の２個所に附加した整合マークの位置を検出する
ための２台の顕微鏡カメラ１４が枠体１５に取り付けら
れている。顕微鏡カメラ１４はワークＷの整合マークの
座標値を取り込み、事前にメモリに格納しているマスク
フィルム８の仮想マークの座標値と比較し、その偏差信
号によってアライメントテーブル１３ａを保持するアラ
イメント整合台１６のＸ軸とＹ軸方向への駆動機構１７
ａとθ回転の駆動機構１７ｂとＺ軸の上下動駆動機構１
７ｃとを備える駆動機構１７のそれぞれパルスモータを
駆動してワークＷのオートアライメントをする。１８は
アライメント整合台１６の上下動用パルスリニヤモータ
である。図３はアライメントテーブルの斜視図であっ
て、このアライメントテーブル１３は上下両面および周
面を金属板によって内部を空洞に囲み、底面に一端を取
り付けた真空ホース１９の他端を図示しない開閉弁を介
して真空源に接続し、アライメントテーブル１３表面の
真空引孔２１を真空溝２０を介して真空源に連通してい
る。
に、アライメントテーブル１３ａ上に載置したワークＷ
の適宜の２個所に附加した整合マークの位置を検出する
ための２台の顕微鏡カメラ１４が枠体１５に取り付けら
れている。顕微鏡カメラ１４はワークＷの整合マークの
座標値を取り込み、事前にメモリに格納しているマスク
フィルム８の仮想マークの座標値と比較し、その偏差信
号によってアライメントテーブル１３ａを保持するアラ
イメント整合台１６のＸ軸とＹ軸方向への駆動機構１７
ａとθ回転の駆動機構１７ｂとＺ軸の上下動駆動機構１
７ｃとを備える駆動機構１７のそれぞれパルスモータを
駆動してワークＷのオートアライメントをする。１８は
アライメント整合台１６の上下動用パルスリニヤモータ
である。図３はアライメントテーブルの斜視図であっ
て、このアライメントテーブル１３は上下両面および周
面を金属板によって内部を空洞に囲み、底面に一端を取
り付けた真空ホース１９の他端を図示しない開閉弁を介
して真空源に接続し、アライメントテーブル１３表面の
真空引孔２１を真空溝２０を介して真空源に連通してい
る。
【０００８】図４はフォークリフタの斜視図である。こ
のフォークリフタ２２はアライメントテーブル１３を受
け渡され、このアライメントテーブルを真空吸着によ
り、テフロンブロック２３の傾斜した内周面２３ａを介
し、自動的にフォークリフタの受台２２ａに載置し、こ
のフォークリフタの受台をエアシリンダ２４の駆動によ
って上下動させ、レールとしてのリニヤガイド２５に沿
って露光部３０と位置合わせ部４０間をロッドレスシリ
ンダ２６に駆動されて往復移動可能な機能を有する。図
５は本発明の実施例における概略的な制御系統のブロッ
ク図である。シーケンスコントローラ２７は予め組み立
てたシーケンスプログラムに基づき、種々の入力から出
力条件を定め、それに応じ種々の出力を実行し、それに
対応してモータ、エアシリンダ等を駆動する機能を有
し、パルスの発生機能を有するパルスコントローラ２８
と、パルス増幅機能を有するサーボドライバ２９を介し
て、トラバーサ１が装備するサーボモータ１１を駆動し
て露光部３０と位置合わせ部４０間を往復移動させる外
に、同様に、パルスコントローラ２８ａ、サーボドライ
バ２９ａを介して位置合わせ部４０に設けた駆動機構１
７のパルスリニヤモータ１８を駆動して、アライメント
テーブル１３を吸着保持するアライメント整合台１６を
上下動させると共に、同様に、図示しないが、アライメ
ント整合台１６のＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ回転をも駆動
させる。
のフォークリフタ２２はアライメントテーブル１３を受
け渡され、このアライメントテーブルを真空吸着によ
り、テフロンブロック２３の傾斜した内周面２３ａを介
し、自動的にフォークリフタの受台２２ａに載置し、こ
のフォークリフタの受台をエアシリンダ２４の駆動によ
って上下動させ、レールとしてのリニヤガイド２５に沿
って露光部３０と位置合わせ部４０間をロッドレスシリ
ンダ２６に駆動されて往復移動可能な機能を有する。図
５は本発明の実施例における概略的な制御系統のブロッ
ク図である。シーケンスコントローラ２７は予め組み立
てたシーケンスプログラムに基づき、種々の入力から出
力条件を定め、それに応じ種々の出力を実行し、それに
対応してモータ、エアシリンダ等を駆動する機能を有
し、パルスの発生機能を有するパルスコントローラ２８
と、パルス増幅機能を有するサーボドライバ２９を介し
て、トラバーサ１が装備するサーボモータ１１を駆動し
て露光部３０と位置合わせ部４０間を往復移動させる外
に、同様に、パルスコントローラ２８ａ、サーボドライ
バ２９ａを介して位置合わせ部４０に設けた駆動機構１
７のパルスリニヤモータ１８を駆動して、アライメント
テーブル１３を吸着保持するアライメント整合台１６を
上下動させると共に、同様に、図示しないが、アライメ
ント整合台１６のＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ回転をも駆動
させる。
【０００９】また、シーケンスコントローラ２７は電源
端子３４からの入力電圧をオン・オフすることで内部の
弁を開閉したり、流路を変更する電磁弁３４を介してフ
ォークリフタ２２が装備するロッドレスシリンダ２６を
駆動してフォークリフタ２２を露光部３０と位置合わせ
部４０間を往復移動させる外に、電磁弁３１を介してフ
ォークリフタ２２の装備するエアシリンダ２４を駆動し
てフォークリフタの受台２２ａを上下動させ、さらに電
磁弁３３を介して焼枠を形成すべくトラバーサ１に形成
した上焼枠７に対し、下焼枠としてのアライメントテー
ブル１３を真空吸着させる外に、図示しないローダハン
ドラ２およびアンローダハンドラ３の上下エアシリンダ
をも真空吸着させる。なお、３２はシーケンスコントロ
ーラ２７の操作パネルである。
端子３４からの入力電圧をオン・オフすることで内部の
弁を開閉したり、流路を変更する電磁弁３４を介してフ
ォークリフタ２２が装備するロッドレスシリンダ２６を
駆動してフォークリフタ２２を露光部３０と位置合わせ
部４０間を往復移動させる外に、電磁弁３１を介してフ
ォークリフタ２２の装備するエアシリンダ２４を駆動し
てフォークリフタの受台２２ａを上下動させ、さらに電
磁弁３３を介して焼枠を形成すべくトラバーサ１に形成
した上焼枠７に対し、下焼枠としてのアライメントテー
ブル１３を真空吸着させる外に、図示しないローダハン
ドラ２およびアンローダハンドラ３の上下エアシリンダ
をも真空吸着させる。なお、３２はシーケンスコントロ
ーラ２７の操作パネルである。
【００１０】図６は本発明に係わる実施例の動作説明用
フローチャートを示し、図７ないし図１０はフローチャ
ートの各ステップにおける自動露光装置の態様説明用図
である。図６に示すように、自動露光装置がスタートす
ると（ステップ１０１）、ローダハンドラ２が第１ワー
クＷａを搬入部５０から位置合わせ部４０へ運び、この
ときトラバーサ１は露光部３０に位置する（ステップ１
０２）。次に、位置合わせ部４０では搬入された第１ワ
ークＷａを第１アライメントテーブル１３ａに受けてオ
ートアライメントをする。もし、所定の位置関係に位置
合わせができないときは、オートアライメント操作を繰
り返す（ステップ１０３）。オートアライメントが終わ
ると、トラバーサ１は露光部３０から位置合わせ部４０
へ移動し（ステップ１０４）、位置合わせ部４０では、
アライメント整合台１６を上昇させることによって、こ
の整合台１６が保持するオートアライメント済みの第１
ワークＷａを保持の第１アライメントテーブル１３ａを
上昇させ、さらにトラバーサ１に形成した上焼枠７が第
１アライメントテーブル１３ａを下焼枠として真空吸着
して一体化し（ステップ１０５）、アライメントチェッ
クをする（ステップ１０６）。アライメントチェックの
結果、整合精度が不充分であると判断したときは、補正
値を演算し（ステップ１０７）、位置合わせ部に配設の
駆動機構１７のＺ軸を下降させると共に焼枠の真空を解
除し（ステップ１０８）、トラバーサ１を位置合わせ部
４０から露光部３０へ移動させ、ステップ３の動作に戻
す（ステップ１０９）。
フローチャートを示し、図７ないし図１０はフローチャ
ートの各ステップにおける自動露光装置の態様説明用図
である。図６に示すように、自動露光装置がスタートす
ると（ステップ１０１）、ローダハンドラ２が第１ワー
クＷａを搬入部５０から位置合わせ部４０へ運び、この
ときトラバーサ１は露光部３０に位置する（ステップ１
０２）。次に、位置合わせ部４０では搬入された第１ワ
ークＷａを第１アライメントテーブル１３ａに受けてオ
ートアライメントをする。もし、所定の位置関係に位置
合わせができないときは、オートアライメント操作を繰
り返す（ステップ１０３）。オートアライメントが終わ
ると、トラバーサ１は露光部３０から位置合わせ部４０
へ移動し（ステップ１０４）、位置合わせ部４０では、
アライメント整合台１６を上昇させることによって、こ
の整合台１６が保持するオートアライメント済みの第１
ワークＷａを保持の第１アライメントテーブル１３ａを
上昇させ、さらにトラバーサ１に形成した上焼枠７が第
１アライメントテーブル１３ａを下焼枠として真空吸着
して一体化し（ステップ１０５）、アライメントチェッ
クをする（ステップ１０６）。アライメントチェックの
結果、整合精度が不充分であると判断したときは、補正
値を演算し（ステップ１０７）、位置合わせ部に配設の
駆動機構１７のＺ軸を下降させると共に焼枠の真空を解
除し（ステップ１０８）、トラバーサ１を位置合わせ部
４０から露光部３０へ移動させ、ステップ３の動作に戻
す（ステップ１０９）。
【００１１】ステップ１０６において、アライメントチ
ェックの結果、整合精度が良好であると判断すると、第
１ワークＷａを保持した態様の焼枠を有するトラバーサ
１は位置合わせ部４０から露光部３０へ移動すると同時
に、ローダハンドラ２が第２ワークＷｂを位置合わせ部
４０へ搬入し（ステップ１１０）、露光部３０では第１
ワークＷａを露光し、位置合わせ部４０では第２ワーク
Ｗｂのオートアライメントを実行し（ステップ１１
１）、露光部３０では、焼枠の真空密着を解除し（ステ
ップ１１２）、下焼枠としての第１アライメントテーブ
ル１３ａを下降し（ステップ１１３）、トラバーサ１は
露光部３０から位置合わせ部４０へ移動し、この移動と
同時に排出部６０から露光部３０に到来したアンローダ
ハンドラ３が露光ずみの第１ワークＷａに接合し、位置
合わせ部４０では到来したトラバーサ１の上焼枠７に対
し、第２ワークＷｂ保持の第２アライメントテーブル１
３ｂを下焼枠として吸着させアライメントチェックをす
る（ステップ１１４）。次に、トラバーサ１は位置合わ
せ部４０から露光部３０へ移動し（ステップ１１５）、
この移動と同時に排出部６０に第１ワークＷａを吸着保
持して露光部から到来したアンローダハンドラ３は、こ
の第１ワークＷａを排出ストッカ５へ引き渡す（ステッ
プ１１６）。以下、ステップ２に戻り、上記の動作を繰
り返す。
ェックの結果、整合精度が良好であると判断すると、第
１ワークＷａを保持した態様の焼枠を有するトラバーサ
１は位置合わせ部４０から露光部３０へ移動すると同時
に、ローダハンドラ２が第２ワークＷｂを位置合わせ部
４０へ搬入し（ステップ１１０）、露光部３０では第１
ワークＷａを露光し、位置合わせ部４０では第２ワーク
Ｗｂのオートアライメントを実行し（ステップ１１
１）、露光部３０では、焼枠の真空密着を解除し（ステ
ップ１１２）、下焼枠としての第１アライメントテーブ
ル１３ａを下降し（ステップ１１３）、トラバーサ１は
露光部３０から位置合わせ部４０へ移動し、この移動と
同時に排出部６０から露光部３０に到来したアンローダ
ハンドラ３が露光ずみの第１ワークＷａに接合し、位置
合わせ部４０では到来したトラバーサ１の上焼枠７に対
し、第２ワークＷｂ保持の第２アライメントテーブル１
３ｂを下焼枠として吸着させアライメントチェックをす
る（ステップ１１４）。次に、トラバーサ１は位置合わ
せ部４０から露光部３０へ移動し（ステップ１１５）、
この移動と同時に排出部６０に第１ワークＷａを吸着保
持して露光部から到来したアンローダハンドラ３は、こ
の第１ワークＷａを排出ストッカ５へ引き渡す（ステッ
プ１１６）。以下、ステップ２に戻り、上記の動作を繰
り返す。
【００１２】図７（Ａ）はフローチャートのステップ１
０２における自動露光装置の態様を示し、トラバーサ１
は露光部３０に位置し、ローダハンドラ２は位置合わせ
部４０に配置、アンローダハンドラ３は排出部６０に位
置する。露光部３０では上焼枠７はワークＷを吸着して
いない。上焼枠７の真下にはフォークリフタ２２がその
受台２２ａに第２アライメントテーブル１３ｂを載置し
ている。位置合わせ部では、第１ワークＷａがローダハ
ンドラ２の吸着盤に吸着されており、この真下には第１
ワークＷａから離間してアライメント整合台１６が駆動
機構１７に支持されている。図７（Ｂ）はフローチャー
トのステップ１０３における自動露光装置の態様を示
し、トラバーサ１、ローダハンドラ２、アンローダハン
ドラ３の配置は図７（Ａ）と変わらない。位置合わせ部
４０では、第１ワークＷａ保持の第１アライメントテー
ブル１３ａはアライメント整合台１６に支持され駆動機
構１７のＺ軸駆動によって所定位置まで上昇し、第１ワ
ークＷａは第１アライメントテーブル１３ａへ受け渡さ
れ顕微鏡カメラ１４を介してオートアライメントされ
る。図７（Ｃ）はフローチャートのステップ１０４にお
ける自動露光装置の態様を示し、トラバーサ１は位置合
わせ部４０へ、ローダハンドラ２は搬入部５０へ、アン
ローダハンドラ３は露光部３０へ移動する。露光部３０
では、フォークリフタ２２は第２アライメントテーブル
１３ｂを載置して排出部６０から到来したアンローダハ
ンドラ３の真下に位置する。位置合わせ部４０では、第
１ワークＷａを保持の第１アライメントテーブル１３ａ
を支持するアライメント整合台１６は駆動機構１７によ
って所定位置まで下降し、露光部から到来した上焼枠７
の真下に位置する。
０２における自動露光装置の態様を示し、トラバーサ１
は露光部３０に位置し、ローダハンドラ２は位置合わせ
部４０に配置、アンローダハンドラ３は排出部６０に位
置する。露光部３０では上焼枠７はワークＷを吸着して
いない。上焼枠７の真下にはフォークリフタ２２がその
受台２２ａに第２アライメントテーブル１３ｂを載置し
ている。位置合わせ部では、第１ワークＷａがローダハ
ンドラ２の吸着盤に吸着されており、この真下には第１
ワークＷａから離間してアライメント整合台１６が駆動
機構１７に支持されている。図７（Ｂ）はフローチャー
トのステップ１０３における自動露光装置の態様を示
し、トラバーサ１、ローダハンドラ２、アンローダハン
ドラ３の配置は図７（Ａ）と変わらない。位置合わせ部
４０では、第１ワークＷａ保持の第１アライメントテー
ブル１３ａはアライメント整合台１６に支持され駆動機
構１７のＺ軸駆動によって所定位置まで上昇し、第１ワ
ークＷａは第１アライメントテーブル１３ａへ受け渡さ
れ顕微鏡カメラ１４を介してオートアライメントされ
る。図７（Ｃ）はフローチャートのステップ１０４にお
ける自動露光装置の態様を示し、トラバーサ１は位置合
わせ部４０へ、ローダハンドラ２は搬入部５０へ、アン
ローダハンドラ３は露光部３０へ移動する。露光部３０
では、フォークリフタ２２は第２アライメントテーブル
１３ｂを載置して排出部６０から到来したアンローダハ
ンドラ３の真下に位置する。位置合わせ部４０では、第
１ワークＷａを保持の第１アライメントテーブル１３ａ
を支持するアライメント整合台１６は駆動機構１７によ
って所定位置まで下降し、露光部から到来した上焼枠７
の真下に位置する。
【００１３】図８（Ｄ）はフローチャートのステップ１
０５、ステップ１０６における自動露光装置の態様を示
し、トラバーサ１、ローダハンドラ２、アンローダハン
ドラ３の位置は図７（Ｃ）と変わらなく、露光部３０で
は、アンローダハンドラ３およびフォークリフタ２２は
図７（Ｃ）と変わらない。位置合わせ部４０では、駆動
機構１７のＺ軸上昇に伴って、第１ワークＷａを載置の
第１アライメントテーブル１３ａを支持するアライメン
ト整合台１６が上昇し、第１ワークＷａはマスクフィル
ム８に密着し，第１アライメントテーブル１３ａは上焼
枠７と合体する下焼枠となるように真空吸着され、アラ
イメントチェックする。図８（Ｅ）はフローチャートの
ステップ１１０における自動露光装置の態様を示し、露
光部３０では、アンローダハンドラ３が排出部６０へ移
動待機中であり、さらに、フォークリフタ２２が第２ア
ライメントテーブル１３ｂを載置して露光部３０からリ
ニアガイド２５に沿って位置合わせ部４０へ移動待機中
である。また位置合わせ部４０では、トラバーサ１がア
ライメント整合台１６の降下後に、位置合わせ部４０か
ら露光部３０へ移動待機中である。搬入部５０では、ロ
ーダハンドラ２が搬入部５０から位置合わせ部４０へ移
動待機中である。図８（Ｆ）はフローチャートのステッ
プ１１１における自動露光装置の態様を示し、トラバー
サ１は位置合わせ部４０から露光部３０へ移動終了し、
ローダハンドラ２は搬入部５０から位置合わせ部４０へ
移動終了し、アンローダハンドラ３は露光部３０から排
出部６０へ移動終了する。さらに、第２アライメントテ
ーブル１３ｂを載置したフォークリフタ２２は露光部３
０から位置合わせ部４０のアライメント整合台１６の表
面上に移動終了する。露光部３０では、トラバーサ１の
上焼枠７内に第１ワークＷａを吸着保持した第１アライ
メントテーブル１３ａが下焼枠として真空密着している
態様で、紫外線用光源ランプ２５により露光される。位
置合わせ部４０ではフォークリフタ２２に載置の第２ア
ライメントテーブル１３ｂは駆動機構１７のＺ軸上に保
持されたアライメント整合台１６に載置されて、ローダ
ハンドラ２に吸着保持された第２ワークＷｂから離間し
て配置している。
０５、ステップ１０６における自動露光装置の態様を示
し、トラバーサ１、ローダハンドラ２、アンローダハン
ドラ３の位置は図７（Ｃ）と変わらなく、露光部３０で
は、アンローダハンドラ３およびフォークリフタ２２は
図７（Ｃ）と変わらない。位置合わせ部４０では、駆動
機構１７のＺ軸上昇に伴って、第１ワークＷａを載置の
第１アライメントテーブル１３ａを支持するアライメン
ト整合台１６が上昇し、第１ワークＷａはマスクフィル
ム８に密着し，第１アライメントテーブル１３ａは上焼
枠７と合体する下焼枠となるように真空吸着され、アラ
イメントチェックする。図８（Ｅ）はフローチャートの
ステップ１１０における自動露光装置の態様を示し、露
光部３０では、アンローダハンドラ３が排出部６０へ移
動待機中であり、さらに、フォークリフタ２２が第２ア
ライメントテーブル１３ｂを載置して露光部３０からリ
ニアガイド２５に沿って位置合わせ部４０へ移動待機中
である。また位置合わせ部４０では、トラバーサ１がア
ライメント整合台１６の降下後に、位置合わせ部４０か
ら露光部３０へ移動待機中である。搬入部５０では、ロ
ーダハンドラ２が搬入部５０から位置合わせ部４０へ移
動待機中である。図８（Ｆ）はフローチャートのステッ
プ１１１における自動露光装置の態様を示し、トラバー
サ１は位置合わせ部４０から露光部３０へ移動終了し、
ローダハンドラ２は搬入部５０から位置合わせ部４０へ
移動終了し、アンローダハンドラ３は露光部３０から排
出部６０へ移動終了する。さらに、第２アライメントテ
ーブル１３ｂを載置したフォークリフタ２２は露光部３
０から位置合わせ部４０のアライメント整合台１６の表
面上に移動終了する。露光部３０では、トラバーサ１の
上焼枠７内に第１ワークＷａを吸着保持した第１アライ
メントテーブル１３ａが下焼枠として真空密着している
態様で、紫外線用光源ランプ２５により露光される。位
置合わせ部４０ではフォークリフタ２２に載置の第２ア
ライメントテーブル１３ｂは駆動機構１７のＺ軸上に保
持されたアライメント整合台１６に載置されて、ローダ
ハンドラ２に吸着保持された第２ワークＷｂから離間し
て配置している。
【００１４】図９（Ｇ）もフローチャートのステップ１
１１における自動露光装置の態様を示し、トラバーサ
１、ローダハンドラ２、アンローダハンドラ３の位置は
図８（Ｆ）と変わらないが、図８（Ｆ）において、位置
合わせ部４０において、フォークリフタの受台２２ａ上
に載置されているアライメントテーブル１３ｂをアライ
メント整合台１６が上昇し、アライメントテーブル１３
ｂを持ち上げることによりフォークリフタ２２からアラ
イメントテーブル１３ｂをアライメント整合台１６上に
引き渡し、この引き渡し後に、フォークリフタ２２は位
置合わせ部４０から露光部３０内の上焼枠７の真下に到
来し、露光作業が継続中である。露光部３０では、位置
合わせ部４０から到来したフォークリフタ２２が上昇
し、フォークリフタの受台２２ａは下焼枠の機能をして
いる第１アライメントテーブル１３ａに接合している。
位置合わせ部４０では、駆動機構１７がＺ軸を所定位置
まで上昇させ、この上昇されたアライメント整合台１６
が支持している第２アライメントテーブル１３ｂ上に載
置の第２ワークＷｂに対し顕微鏡カメラ１４を用いてオ
ートアライメントする。図９の（Ｈ）はフローチャート
のステップ１１２、ステップ１１３における自動露光装
置の態様を示し、トラバーサ１、ローダハンドラ２、ア
ンローダハンドラ３は第９図（Ｇ）と変わらない。露光
部３０では、トラバーサ１の焼枠が真空解除して第１ワ
ークＷａをフオークリフタ２２の受台２２ａに引き渡た
し、フオークリフタ２２はその受台をトラバーサ１が位
置合わせ部４０への移動可能な位置まで降下させる。位
置合わせ部４０では、第２ワークＷｂ載置のアライメン
ト整合台１６がトラバーサ１の移動可能位置まで下降す
る。図９（Ｉ）はフローチャートのステップ１１４にお
ける自動露光装置の態様を示し、トラバーサ１は露光部
３０から位置合わせ部４０へ移動し、ローダハンドラ２
は位置合わせ部４０から搬入部５０へ移動し、アンロー
ダハンドラ３は排出部６０から露光部３０へ移動する。
露光部３０ではフォークリフタ２２のアームの上昇に伴
って受台２２ａが支持している第１アライメントテーブ
ル１３ａ上の第１ワークＷａをアンローダハンドラ３の
吸着盤に接合させる。位置合わせ部４０では、駆動機構
１７がＺ軸駆動して第２ワークＷｂ載置の第２アライメ
ントテーブル１３ｂを支持するアライメント整合台１６
を上昇させ、トラバーサ１の上焼枠に対し第２アライメ
ントテーブル１３ｂを下焼枠として真空吸着する。この
態様で顕微鏡カメラ１４を用いての第２ワークＷｂのア
ライメントチェックする。
１１における自動露光装置の態様を示し、トラバーサ
１、ローダハンドラ２、アンローダハンドラ３の位置は
図８（Ｆ）と変わらないが、図８（Ｆ）において、位置
合わせ部４０において、フォークリフタの受台２２ａ上
に載置されているアライメントテーブル１３ｂをアライ
メント整合台１６が上昇し、アライメントテーブル１３
ｂを持ち上げることによりフォークリフタ２２からアラ
イメントテーブル１３ｂをアライメント整合台１６上に
引き渡し、この引き渡し後に、フォークリフタ２２は位
置合わせ部４０から露光部３０内の上焼枠７の真下に到
来し、露光作業が継続中である。露光部３０では、位置
合わせ部４０から到来したフォークリフタ２２が上昇
し、フォークリフタの受台２２ａは下焼枠の機能をして
いる第１アライメントテーブル１３ａに接合している。
位置合わせ部４０では、駆動機構１７がＺ軸を所定位置
まで上昇させ、この上昇されたアライメント整合台１６
が支持している第２アライメントテーブル１３ｂ上に載
置の第２ワークＷｂに対し顕微鏡カメラ１４を用いてオ
ートアライメントする。図９の（Ｈ）はフローチャート
のステップ１１２、ステップ１１３における自動露光装
置の態様を示し、トラバーサ１、ローダハンドラ２、ア
ンローダハンドラ３は第９図（Ｇ）と変わらない。露光
部３０では、トラバーサ１の焼枠が真空解除して第１ワ
ークＷａをフオークリフタ２２の受台２２ａに引き渡た
し、フオークリフタ２２はその受台をトラバーサ１が位
置合わせ部４０への移動可能な位置まで降下させる。位
置合わせ部４０では、第２ワークＷｂ載置のアライメン
ト整合台１６がトラバーサ１の移動可能位置まで下降す
る。図９（Ｉ）はフローチャートのステップ１１４にお
ける自動露光装置の態様を示し、トラバーサ１は露光部
３０から位置合わせ部４０へ移動し、ローダハンドラ２
は位置合わせ部４０から搬入部５０へ移動し、アンロー
ダハンドラ３は排出部６０から露光部３０へ移動する。
露光部３０ではフォークリフタ２２のアームの上昇に伴
って受台２２ａが支持している第１アライメントテーブ
ル１３ａ上の第１ワークＷａをアンローダハンドラ３の
吸着盤に接合させる。位置合わせ部４０では、駆動機構
１７がＺ軸駆動して第２ワークＷｂ載置の第２アライメ
ントテーブル１３ｂを支持するアライメント整合台１６
を上昇させ、トラバーサ１の上焼枠に対し第２アライメ
ントテーブル１３ｂを下焼枠として真空吸着する。この
態様で顕微鏡カメラ１４を用いての第２ワークＷｂのア
ライメントチェックする。
【００１５】第１０（Ｊ）はフローチャートのステップ
１１５、ステップ１１６における自動露光装置の態様を
示し、トラバーサ１、ローダハンドラ２、アンローダハ
ンドラ３の位置は図９（Ｉ）と変わらない。トラバーサ
１は露光部３０への移動を待機する。露光部３０では、
第１ワークＷａがアンローダハンドラ２の下降により真
空吸着され、吸着後上昇する。フォークリフタ２２は第
１アライメントテーブル１３ａを載置してトラバーサ１
が移動可能な高さまで下降する。位置合わせ部４０で
は、アライメント整合台１６が駆動機構１７のＺ軸下降
に伴って、マスクフィルム８に真空固着した第２アライ
メントテーブル１３ｂから離間する。かくしてトラバー
サ１は位置合わせ部４０から露光部３０へ移動すると共
にアンローダハンドラ４は露光部３０から排出部６０へ
移動し、第１ワークＷａを排出ストッカ５へ排出する。
上記実施例においては、ワークの露光中にフォークリフ
タは露光部から位置合わせ部へ移動し、フォークリフタ
が載置しているアライメントテーブルを位置合わせ部に
装備のアライメント整合台へ引き渡し、この引き渡し後
に、露光部の原位置に復帰する。しかし、本発明におけ
る上記アライメントテーブルの露光部から位置合わせ部
への移送手段は、フォークリフタに限定されるものでは
なく、露光終了時点までに、アライメントテーブルをア
ライメント整合台へ運ぶ手段であればよいこと勿論であ
る。
１１５、ステップ１１６における自動露光装置の態様を
示し、トラバーサ１、ローダハンドラ２、アンローダハ
ンドラ３の位置は図９（Ｉ）と変わらない。トラバーサ
１は露光部３０への移動を待機する。露光部３０では、
第１ワークＷａがアンローダハンドラ２の下降により真
空吸着され、吸着後上昇する。フォークリフタ２２は第
１アライメントテーブル１３ａを載置してトラバーサ１
が移動可能な高さまで下降する。位置合わせ部４０で
は、アライメント整合台１６が駆動機構１７のＺ軸下降
に伴って、マスクフィルム８に真空固着した第２アライ
メントテーブル１３ｂから離間する。かくしてトラバー
サ１は位置合わせ部４０から露光部３０へ移動すると共
にアンローダハンドラ４は露光部３０から排出部６０へ
移動し、第１ワークＷａを排出ストッカ５へ排出する。
上記実施例においては、ワークの露光中にフォークリフ
タは露光部から位置合わせ部へ移動し、フォークリフタ
が載置しているアライメントテーブルを位置合わせ部に
装備のアライメント整合台へ引き渡し、この引き渡し後
に、露光部の原位置に復帰する。しかし、本発明におけ
る上記アライメントテーブルの露光部から位置合わせ部
への移送手段は、フォークリフタに限定されるものでは
なく、露光終了時点までに、アライメントテーブルをア
ライメント整合台へ運ぶ手段であればよいこと勿論であ
る。
【００１６】
【発明の効果】本発明の自動露光装置におけるワークの
位置決め方法は、ワークに対する位置合わせ部と露光部
とを分離して設け、位置合わせ作業と露光作業とを同時
に実施するものにおいて、上記露光部と位置合わせ部間
を往復移動する搬送部材に形成した一方の焼枠が、露光
部から位置合わせ部に到来した際に、オートアライメン
トずみのワーク載置部材を他方の焼枠として真空吸着に
より合体するステップと、上記合体したアライメントテ
ーブル上のワークと上記一方の焼枠のフォトマスクとの
位置ずれ量をチェックするステップと、上記位置ずれ量
のチェックの結果得られた量をそのワークまたは次に搬
入されてオートアライメントされるワークのオートアラ
イメント修正値として利用するステップとを有するもの
であり、しかも露光中に、露光部に配置のワーク載置部
材の搬送機能体が位置合わせ部へ移動し、その受台上の
アライメントテーブルを位置合わせ部に装備のアライメ
ント整合台へ引き渡たし、露光終了前に原位置に復帰す
るので、従来の「内合わせ方式」がアライメント精度±
１５μｍ、生産性４５秒に１枚のワークの割り合いであ
り、従来の「外合わせ方式」がアライメント精度±３０
μｍ、生産性が２０秒に１枚のワークの割り合いであっ
たものが、本発明によると、アライメント精度が±１５
μｍとなり、かつ生産性が約２０秒に１枚のワーク生産
が連続して可能となる効果を奏する。
位置決め方法は、ワークに対する位置合わせ部と露光部
とを分離して設け、位置合わせ作業と露光作業とを同時
に実施するものにおいて、上記露光部と位置合わせ部間
を往復移動する搬送部材に形成した一方の焼枠が、露光
部から位置合わせ部に到来した際に、オートアライメン
トずみのワーク載置部材を他方の焼枠として真空吸着に
より合体するステップと、上記合体したアライメントテ
ーブル上のワークと上記一方の焼枠のフォトマスクとの
位置ずれ量をチェックするステップと、上記位置ずれ量
のチェックの結果得られた量をそのワークまたは次に搬
入されてオートアライメントされるワークのオートアラ
イメント修正値として利用するステップとを有するもの
であり、しかも露光中に、露光部に配置のワーク載置部
材の搬送機能体が位置合わせ部へ移動し、その受台上の
アライメントテーブルを位置合わせ部に装備のアライメ
ント整合台へ引き渡たし、露光終了前に原位置に復帰す
るので、従来の「内合わせ方式」がアライメント精度±
１５μｍ、生産性４５秒に１枚のワークの割り合いであ
り、従来の「外合わせ方式」がアライメント精度±３０
μｍ、生産性が２０秒に１枚のワークの割り合いであっ
たものが、本発明によると、アライメント精度が±１５
μｍとなり、かつ生産性が約２０秒に１枚のワーク生産
が連続して可能となる効果を奏する。
【図１】本発明の実施例としての自動露光装置の切断正
面図である。
面図である。
【図２】トラバーサの斜視図である。
【図３】アライメントテーブルの斜視図である。
【図４】フォークリフタの斜視図である。
【図５】本発明の実施例における概略的な制御系統のブ
ロック図である。
ロック図である。
【図６】本発明に係わる実施例の動作説明用フローチャ
ートである。
ートである。
【図７】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はフローチャートのス
テップにおける自動露光装置の態様説明用図である。
テップにおける自動露光装置の態様説明用図である。
【図８】（Ｄ）、（Ｅ）、（Ｆ）はフローチャートのス
テップにおける自動露光装置の態様説明用図である。
テップにおける自動露光装置の態様説明用図である。
【図９】（Ｇ）、（Ｈ）、（Ｉ）はフローチャートのス
テップにおける自動露光装置の態様説明用図である。
テップにおける自動露光装置の態様説明用図である。
【図１０】（Ｊ）はフローチャートの各ステップにおけ
る自動露光装置の態様説明用図である。
る自動露光装置の態様説明用図である。
Ｗ ワーク １ トラバーサ ２ ローダハンドラ ３ アンローダハンドラ ４ プリアライメント ５ 排出ストッカ ６ 光源 ７ 上焼枠 ８ マスクフィルム １１ サーボモータ １３ アライメントテーブル １４ 顕微鏡カメラ １６ アライメント整合台 １７ 駆動機構 １８ 上下動用駆動用パルスモータ ２２ フォークリフタ ２４ エアシリンダ ２６ ロッドレスシリンダ ３０ 露光部 ４０ 位置合わせ部 ５０ 搬入部 ６０ 排出部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−65443（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−302259（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−69243（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−146648（ＪＰ，Ｕ)
Claims (3)
- 【請求項１】 ワークに対する位置合わせ部と露光部と
を分離して設け、位置合わせ作業と露光作業とを同時に
実施する自動露光装置におけるワークの位置決め方法に
おいて、上記露光部と位置合わせ部間をフォトマスクが
固着されて往復移動する搬送部材に形成した一方の焼枠
が、露光部から位置合わせ部に到来した際に、オートア
ライメントずみのワーク保持のワーク載置部材を他方の
焼枠として真空吸着により合体して真空焼枠を形成する
ステップと、上記合体した真空焼枠を取り外し自在に装
着したアライメント整合台から分離して露光部に搬送す
るステップと、を有することを特徴とする自動露光装置
におけるワークの位置決め方法。 - 【請求項２】 上記合体した真空焼枠が露光部に搬送さ
れる前に、この合体したワーク載置部材保持のワークと
上記一方の焼枠のフォトマスクとの位置ずれ量をチェッ
クし、このチェックの結果得られた量をそのワークまた
は次に搬入されてオートアライメントされるワークのオ
ートアライメント修正値として利用するステップを有す
ることを特徴とする請求項１に記載の自動露光装置にお
けるワークの位置決め方法。 - 【請求項３】 ワークに対する位置合わせ部と露光部と
を分離して設け、位置合わせ作業と露光作業とを同時に
実施する自動露光装置におけるワークの位置決め方法に
おいて、ワークの露光中に、露光部に配置の上下動可能
な載置部を有する搬送機能体が、ワーク載置部材にワー
ク無しの状態で位置合わせ部へ移動し、上記位置合わせ
部に装備され水平面上の位置および垂直方向の位置が可
変に駆動され得るアライメント整合台上に上記ワーク載
置部材を引き渡し、上記露光の終了前に上記搬送機能体
が露光部内の原位置に復帰するステップを有することを
特徴とする自動露光装置におけるワークの位置決め方
法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3125991A JPH0734116B2 (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 自動露光装置におけるワークの位置決め方法 |
| DE69227540T DE69227540T2 (de) | 1991-05-29 | 1992-05-15 | Verfahren zur Positionierung eines Werkstückes in einem automatischen Belichtungsapparat |
| EP92304451A EP0516317B1 (en) | 1991-05-29 | 1992-05-15 | Method of locating work in automatic exposing apparatus |
| US07/884,938 US5390025A (en) | 1991-05-29 | 1992-05-18 | Method of locating work in automatic exposing apparatus |
| KR92008702A KR950008296B1 (en) | 1991-05-29 | 1992-05-22 | Method of locating work in automatic exposing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3125991A JPH0734116B2 (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 自動露光装置におけるワークの位置決め方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04350857A JPH04350857A (ja) | 1992-12-04 |
| JPH0734116B2 true JPH0734116B2 (ja) | 1995-04-12 |
Family
ID=14924024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3125991A Expired - Fee Related JPH0734116B2 (ja) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | 自動露光装置におけるワークの位置決め方法 |
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