KR920022942A - 자동 노광장치에 있어서의 워크 위치 결정방법 - Google Patents

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KR920022942A
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아키라 모리타
츠노다코조
타케히코 오카무라
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야자키요시오
가부시기가이샤 오크제작소
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    • G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • Y10T29/49004—Electrical device making including measuring or testing of device or component part

Abstract

내용 없음.

Description

자동 노광장치에 있어서의 워크 위치 결정방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예로서의 자동 노광장치의 절단정면도.
제8도의(D),(E),(F)는 플로우챠트의 스텝에 있어서의 자동노광장치의 작동상태설명도.
제9도의(G),(H),(I)는 플로우차트의 스텝에 있어서의 자동노광 장치의 작동상태 설명도.

Claims (2)

  1. 워크에 대한 위치 맞춤부와 노광부를 분리 설치하고, 위치 맞춤작업과 노광작업을 동시에 실시하는 자동 노광 장치에 있어서와 워크위치 결정방법에 있어서, 상기 노광부와 위치맞춤부사이를 포토마스크가 고착되어 왕복이동하는 반송부재에 형성한 상하 어느 한쪽의 프린팅 프레임이, 노광부로 부터 위치 맞춤부에 도달한 때에, 오토어라인먼트된 워크를 갖는 어라인먼트 테이블을 다른쪽의 프린팅 프레임으로서 진공흡착에 의하여 합체하는 단계와, 상기 합체한 어라인먼트 테이블상의 워크와 상기 프린팅 프레임의 포토마스크의 위치편차량을 첵크하는 단계와, 상기 위치편차량의 첵크결과 얻어진 량을 그 워크 또는 다음에 반입되어 오토어라인먼트되는 워크의 오토어라인먼 수정치로서의 이용하는 단계를 가지는 것을 특징으로 하는 자동 노광장치에 있어서의 위치결정방법.
  2. 워크에 대한 위치맞춤부와 노광부를 분리하여 설치하고, 위치맞춤작업과 노광작업을 동시에 실시하는 자동 노광장치에 있어서의 워크위치결정방법에 있어서, 워크의 노광중에 노광부에 배치되어 상, 하 이동가능한 수용대를 가지는 포크리프트가 그 수용대에 어라인먼트 테이블을 탑재한 상태에서 위치맞춤부로 이동하고, 상기 위치 맞춤부에 장치되어 수평면상의 위치 및 수직 방향의 위치가 가변적으로 구동될 수 있는 어라인먼트 정합대상에 상기 어라인먼트 테이블을 전달하고, 이 전달후에 상기 노광의 종료전에 상기 포크리프트가 노광부의 원위치로 복귀하는 단계를 갖는 것을 특징으로 하는 자동노광장치의 있어서의 위치결정방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR92008702A 1991-05-29 1992-05-22 Method of locating work in automatic exposing apparatus KR950008296B1 (en)

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