JPH0620922B2 - 被検物の搬送装置 - Google Patents
被検物の搬送装置Info
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- JPH0620922B2 JPH0620922B2 JP59218297A JP21829784A JPH0620922B2 JP H0620922 B2 JPH0620922 B2 JP H0620922B2 JP 59218297 A JP59218297 A JP 59218297A JP 21829784 A JP21829784 A JP 21829784A JP H0620922 B2 JPH0620922 B2 JP H0620922B2
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- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明はウェーハなどの被検物の表面の傷、ゴミ、よ
ごれなどの異常などを検査するための表面検査装置にお
いて被検物を搬送するための搬送装置に関するものであ
る。
ごれなどの異常などを検査するための表面検査装置にお
いて被検物を搬送するための搬送装置に関するものであ
る。
従来の技術 従来、ウェーハなどの被検物（以下単にウェーハを例に
とって説明する）の表面にレーザービームを照射して、
この反射ビームを検出することにより、ウェーハの表面
の傷、ゴミ、よごれなどの異常を検査する表面検査装置
はよく知られている。
とって説明する）の表面にレーザービームを照射して、
この反射ビームを検出することにより、ウェーハの表面
の傷、ゴミ、よごれなどの異常を検査する表面検査装置
はよく知られている。
この種の表面検査装置においては、多数のウェーハを予
めキャリヤやカセットなどの収納ケース部にセットして
おき、収納ケース部から各ウェーハを順次取りだして、
チャック部でウェーハを固定した状態のまま、ウェーハ
を順次検査装置本体の測定部に搬送していき、水平面内
で移動させ、その際に測定部でウェーハの表面検査を行
い、そのように検査されたウェーハを順次別の収納ケー
ス部に搬送して収納するようになっていた。
めキャリヤやカセットなどの収納ケース部にセットして
おき、収納ケース部から各ウェーハを順次取りだして、
チャック部でウェーハを固定した状態のまま、ウェーハ
を順次検査装置本体の測定部に搬送していき、水平面内
で移動させ、その際に測定部でウェーハの表面検査を行
い、そのように検査されたウェーハを順次別の収納ケー
ス部に搬送して収納するようになっていた。
ところが、そのような搬送装置はウェーハの寸法が大き
くなるにしたがって大型化するのが一般的であり、設置
スペースの問題が最近重視されるようになってきた。そ
こで、この種の表面検査装置の全体の寸法を小型化する
ことが重要な技術上の課題となってきたのである。
くなるにしたがって大型化するのが一般的であり、設置
スペースの問題が最近重視されるようになってきた。そ
こで、この種の表面検査装置の全体の寸法を小型化する
ことが重要な技術上の課題となってきたのである。
発明が解決しようとする課題 このような観点から種々の提案がなされているが、従来
のものはいずれも、一方の収納ケース部から他方の収納
ケース部までの間においてウェーハをたんに平面上での
み移動搬送していたため、装置の小型化の上で限界があ
った。最近のようにウェーハの寸法が大きくなってくる
と、装置全体を設置するための有効床面積が大幅に増大
するという欠点があった。
のものはいずれも、一方の収納ケース部から他方の収納
ケース部までの間においてウェーハをたんに平面上での
み移動搬送していたため、装置の小型化の上で限界があ
った。最近のようにウェーハの寸法が大きくなってくる
と、装置全体を設置するための有効床面積が大幅に増大
するという欠点があった。
この発明はこのような従来技術の欠点を解消して、ウェ
ーハ等の被検物を立体的に移動させることにより、被検
物を搬送するための搬送部と被検物を固定して搬送しつ
つ測定するためのチャック部との干渉を避けて、搬送装
置の寸法とくに有効床面積等を小さくして、表面検査装
置全体の小型化を可能にすることを目的としている。
ーハ等の被検物を立体的に移動させることにより、被検
物を搬送するための搬送部と被検物を固定して搬送しつ
つ測定するためのチャック部との干渉を避けて、搬送装
置の寸法とくに有効床面積等を小さくして、表面検査装
置全体の小型化を可能にすることを目的としている。
課題を解決するための手段 この発明は、複数の被検物を収納するための第１および
第２収納ケース部（２０、２３）と、第１収納ケース部
（２０）から被検物を水平面内で移動搬送するための第
１搬送部（２１）と、第１搬送部（２１）により搬送さ
れてきた被検物を下方から保持して上下方向に移動させ
るための第１被検物受台部（２９）と、第１被検物受台
部（２９）により上方位置に移動された被検物の下方に
到来するように移動して第１被検物受台部（２９）から
被検物を受け取り固定保持して水平面内で移動搬送させ
るためのチャック部（１７）と、チャック部（１７）に
より移動搬送されてきた被検物が固定状態から解放状態
になったあと被検物を下方から保持して上下方向に移動
させるための第２被検物受台部（４２）と、第２被検物
受台（４２）から被検物を受け取って水平面内で移動搬
送して第２収納ケース部（２３）に被検物を収納するた
めの第２搬送部（２２）とを備えるとともに、第１及び
第２被検物受台部（２９、４２）のそれぞれに、被検物
の周縁部を支持するための受部（２９ａ、４２ａ）とチ
ャック部（１７）の移動の際にチャック部（１７）に干
渉させないための切欠部とを設けたことを特徴とする被
検物の搬送装置を要旨としている。
第２収納ケース部（２０、２３）と、第１収納ケース部
（２０）から被検物を水平面内で移動搬送するための第
１搬送部（２１）と、第１搬送部（２１）により搬送さ
れてきた被検物を下方から保持して上下方向に移動させ
るための第１被検物受台部（２９）と、第１被検物受台
部（２９）により上方位置に移動された被検物の下方に
到来するように移動して第１被検物受台部（２９）から
被検物を受け取り固定保持して水平面内で移動搬送させ
るためのチャック部（１７）と、チャック部（１７）に
より移動搬送されてきた被検物が固定状態から解放状態
になったあと被検物を下方から保持して上下方向に移動
させるための第２被検物受台部（４２）と、第２被検物
受台（４２）から被検物を受け取って水平面内で移動搬
送して第２収納ケース部（２３）に被検物を収納するた
めの第２搬送部（２２）とを備えるとともに、第１及び
第２被検物受台部（２９、４２）のそれぞれに、被検物
の周縁部を支持するための受部（２９ａ、４２ａ）とチ
ャック部（１７）の移動の際にチャック部（１７）に干
渉させないための切欠部とを設けたことを特徴とする被
検物の搬送装置を要旨としている。
作用 第１被検物受台２９及び第２被検物受台４２に設けた受
部２９ａ、４２ａと切欠部の作用によって、第１、２被
検物受台２９、４２とチャック部１７との干渉が防止さ
れる。従って、第１、２被検物受台２９、４２とチャッ
ク部１７との間で一連の被検物受け渡し動作をスムーズ
に行うことができる。
部２９ａ、４２ａと切欠部の作用によって、第１、２被
検物受台２９、４２とチャック部１７との干渉が防止さ
れる。従って、第１、２被検物受台２９、４２とチャッ
ク部１７との間で一連の被検物受け渡し動作をスムーズ
に行うことができる。
すなわち、次の手順で被検物を搬送することができるの
である。
である。
第１搬送部２１を作動させて、被検物を第１収納ケース
部２０から第１被検物受台部２９の近くに搬送する。次
に、この被検物を第１被検物受台部２９の受部２９ａで
下方から保持して、さらに上方に持上げる。被検物の下
方に到来するようにチャック部１７を水平方向に移動す
る。次に、第１被検物受台部２９を下方に移動して被検
物を受台部２９の受部２９ａからチャック部１７に受け
渡す。そして、チャック部１７は被検物を固定保持した
後、受部２９ａ近郊から水平方向に遠ざかる。この際、
前期切欠の作用によって、チャック部１７が受部２９ａ
近郊からスムーズに移動できるのである。
部２０から第１被検物受台部２９の近くに搬送する。次
に、この被検物を第１被検物受台部２９の受部２９ａで
下方から保持して、さらに上方に持上げる。被検物の下
方に到来するようにチャック部１７を水平方向に移動す
る。次に、第１被検物受台部２９を下方に移動して被検
物を受台部２９の受部２９ａからチャック部１７に受け
渡す。そして、チャック部１７は被検物を固定保持した
後、受部２９ａ近郊から水平方向に遠ざかる。この際、
前期切欠の作用によって、チャック部１７が受部２９ａ
近郊からスムーズに移動できるのである。
そして、チャック部１７に保持された被検物を水平面内
で移動搬送することによって、所定の処理（例えば検
査）を行うのである。
で移動搬送することによって、所定の処理（例えば検
査）を行うのである。
その後、被検物は、前述した手順とほぼ逆の手順で、チ
ャック部１７から第２収納ケース部２３まで、第２被検
物受台部４２及び第２搬送部２２を経由して搬送され
る。
ャック部１７から第２収納ケース部２３まで、第２被検
物受台部４２及び第２搬送部２２を経由して搬送され
る。
実施例 第１図は、搬送装置を備えていて、それによりウェーハ
等の被検物（以下単にウェーハを例にとって説明する）
を搬送して、その途中で検査するための検査装置の概略
を示している。
等の被検物（以下単にウェーハを例にとって説明する）
を搬送して、その途中で検査するための検査装置の概略
を示している。
検査装置の測定部１０は周知のように光源１１からレー
ザをウェーハ１４に照射して表面の異常によって生ずる
散乱反射光をフォトマルチプライヤー管などの光電変換
素子１２により受光して電気的信号として取り出し、そ
の電気信号を制御装置１３に送り、そこで所定のデータ
処理をして、ウェーハ１４の表面上の傷、ゴミ、よごれ
などを計測してブラウン管（ＣＲＴ）１５などの表示器
やプリンター１６に出力するようになっている。
ザをウェーハ１４に照射して表面の異常によって生ずる
散乱反射光をフォトマルチプライヤー管などの光電変換
素子１２により受光して電気的信号として取り出し、そ
の電気信号を制御装置１３に送り、そこで所定のデータ
処理をして、ウェーハ１４の表面上の傷、ゴミ、よごれ
などを計測してブラウン管（ＣＲＴ）１５などの表示器
やプリンター１６に出力するようになっている。
ウェーハ１４は第１図の測定状態のときにはターンテー
ブル式のチャック部１７にバキュウム作用によって固定
されている。チャック部１７のバキュウム穴１７a はバ
キュウム源１８に接続されており、必要に応じてウェー
ハ１４をバキュウムにより固定保持できるようになって
いる。
ブル式のチャック部１７にバキュウム作用によって固定
されている。チャック部１７のバキュウム穴１７a はバ
キュウム源１８に接続されており、必要に応じてウェー
ハ１４をバキュウムにより固定保持できるようになって
いる。
第１収納ケース部２０と第２収納ケース部２３がそれぞ
れ出発側と終点側に設けられていて、多数のウェーハ１
４が第１収納ケース部２０に収納されており、その収納
ケース部２０から１枚ずつウェーハ１４を水平面内で第
１搬送部２１により搬送するようになっている。そし
て、各ウェーハ１４は後述の第１被検物受台部２９を介
してチャック部１７に移され、そこにバキュウムにより
固定保持される。チャック部１７は測定部１０を通過し
て反対側の第２搬送部２２に後述の第２被検物受台部４
２を介して移される。この第２搬送部２２により搬送さ
れて各ウェーハ１４は第２収納ケース部２３に順次収納
される。
れ出発側と終点側に設けられていて、多数のウェーハ１
４が第１収納ケース部２０に収納されており、その収納
ケース部２０から１枚ずつウェーハ１４を水平面内で第
１搬送部２１により搬送するようになっている。そし
て、各ウェーハ１４は後述の第１被検物受台部２９を介
してチャック部１７に移され、そこにバキュウムにより
固定保持される。チャック部１７は測定部１０を通過し
て反対側の第２搬送部２２に後述の第２被検物受台部４
２を介して移される。この第２搬送部２２により搬送さ
れて各ウェーハ１４は第２収納ケース部２３に順次収納
される。
第２図と第３図に詳細に示してあるように、第１搬送部
２１はフレーム２５の両側にそれぞれ柔軟なエンドレス
状の搬送メンバー２６、２７によりコンベヤの形になっ
ており、搬送メンバー２６、２７でウェーハ１４の周縁
部を支持して、第１収納ケース部２０から第１被検物受
台部２９にウェーハ１４を搬送するようになっている。
搬送メンバー２６、２７の駆動力はベルト２８を介して
モータ１９から伝達される。
２１はフレーム２５の両側にそれぞれ柔軟なエンドレス
状の搬送メンバー２６、２７によりコンベヤの形になっ
ており、搬送メンバー２６、２７でウェーハ１４の周縁
部を支持して、第１収納ケース部２０から第１被検物受
台部２９にウェーハ１４を搬送するようになっている。
搬送メンバー２６、２７の駆動力はベルト２８を介して
モータ１９から伝達される。
エレベータ３０は搬送メンバー２６、２７の一端側に配
置してあり、その上の所定位置に第１収納ケース部２０
が着脱自在にセットできるようになっている。エレベー
ター３０の上部は全体がほぼＨ形状をしており、その上
面にセットした第１収納ケース部２０を上下方向に所定
の量だけ移動させることができる。このエレベーター３
０にはメネジ部（図示せず）が形成してあり、それが垂
直のネジ棒３１と係合しており、さらにそのネジ棒３１
は歯車３２を介してモータ３３側のギアに接続されてい
る。つまり、モータ３３の駆動力がネジ棒３１に伝えら
れて、エレベーター３０を上下方向に移動させるように
なっている。
置してあり、その上の所定位置に第１収納ケース部２０
が着脱自在にセットできるようになっている。エレベー
ター３０の上部は全体がほぼＨ形状をしており、その上
面にセットした第１収納ケース部２０を上下方向に所定
の量だけ移動させることができる。このエレベーター３
０にはメネジ部（図示せず）が形成してあり、それが垂
直のネジ棒３１と係合しており、さらにそのネジ棒３１
は歯車３２を介してモータ３３側のギアに接続されてい
る。つまり、モータ３３の駆動力がネジ棒３１に伝えら
れて、エレベーター３０を上下方向に移動させるように
なっている。
他方、第１搬送部２１の搬送メンバー２６、２７の他端
側には第１被検物受台部２９が設けてある。この第１被
検物受台部２９の中心部には円形の穴が形成されてお
り、その穴の縁にウェーハの大きさに対応した大きさを
もつ段付き形状の受部２９a が形成されている。
側には第１被検物受台部２９が設けてある。この第１被
検物受台部２９の中心部には円形の穴が形成されてお
り、その穴の縁にウェーハの大きさに対応した大きさを
もつ段付き形状の受部２９a が形成されている。
この段付き形状の受部２９a は、搬送メンバー２６によ
り搬送されるウェーハ１４を定まった位置に支持すると
ともに、後述するチャック部１７に接合されているシャ
フト４５が干渉しない形状に構成される。ウェーハ１４
の周縁部はその受部２９a に入って支持されるようにな
っている。
り搬送されるウェーハ１４を定まった位置に支持すると
ともに、後述するチャック部１７に接合されているシャ
フト４５が干渉しない形状に構成される。ウェーハ１４
の周縁部はその受部２９a に入って支持されるようにな
っている。
この第１被検物受台部２９は、測定をするウェーハの大
きさに対応して交換可能になっており、ウェーハが大型
の場合には、点線Ｎで示す大きさの受台を有する受台部
が取付けられる。
きさに対応して交換可能になっており、ウェーハが大型
の場合には、点線Ｎで示す大きさの受台を有する受台部
が取付けられる。
第２搬送部２２の側にも前述の第１搬送部２１と同様の
搬送機構が備えられており、同じ参照符号を付してその
説明は省略する。
搬送機構が備えられており、同じ参照符号を付してその
説明は省略する。
第４図及び５図に示されているように、第１被検物受台
部２９は垂直に配置した２本の連結棒３５の上端にナッ
ト３６により着脱可能に固定されている。これらの連結
棒３５はガイド３７によりガイドされつつ上下に移動可
能となっている。連結棒３５の下端は第５図に示すよう
に平板状の従動体３８に固定されている。モータ３９の
回転軸４０が偏心カム４１に固定されており、その偏心
カム４１が前述の従動体３８と係合している。そのた
め、モータ３９の回転に応じて偏心カム４１の作用によ
って連結棒３５と第１被検物受け台部２９が一緒に上下
方向に移動可能となっている。
部２９は垂直に配置した２本の連結棒３５の上端にナッ
ト３６により着脱可能に固定されている。これらの連結
棒３５はガイド３７によりガイドされつつ上下に移動可
能となっている。連結棒３５の下端は第５図に示すよう
に平板状の従動体３８に固定されている。モータ３９の
回転軸４０が偏心カム４１に固定されており、その偏心
カム４１が前述の従動体３８と係合している。そのた
め、モータ３９の回転に応じて偏心カム４１の作用によ
って連結棒３５と第１被検物受け台部２９が一緒に上下
方向に移動可能となっている。
第２被検物受台部４２は前述の第１被検物２９と同様の
上下移動機構を有しているので、同じ参照符号を符し
て、その説明は省略する。
上下移動機構を有しているので、同じ参照符号を符し
て、その説明は省略する。
測定部１０の作動機構について詳細に説明すると、テー
ブル式のチャック部１７の中心にバキュウム穴１７a が
形成されており、このバキュウム穴１７a が前述のよう
にバキュウム源１８に接続されている。チャック部１７
はモータ４６のシャフト４５に結合されており、モータ
４６に隣接してエンコーダ４７が設けてある。このよう
な構成によりモーター４６の回転力がチャック部１７に
伝達されて所定の速度で回転するようになっている。チ
ャック部１７やモータ４６その他はフレーム５２にユニ
ットとして固定されていて、全体的にガイドレール５
０、５１に沿って第４図において左右方向に移動可能と
なっている。横方向に配置したネジ棒５３がフレーム５
２側のメネジ部（図示せず）とネジ係合しており、その
ネジ棒５３はベルト５４を介してモータ５５によって回
転されるようになっている。
ブル式のチャック部１７の中心にバキュウム穴１７a が
形成されており、このバキュウム穴１７a が前述のよう
にバキュウム源１８に接続されている。チャック部１７
はモータ４６のシャフト４５に結合されており、モータ
４６に隣接してエンコーダ４７が設けてある。このよう
な構成によりモーター４６の回転力がチャック部１７に
伝達されて所定の速度で回転するようになっている。チ
ャック部１７やモータ４６その他はフレーム５２にユニ
ットとして固定されていて、全体的にガイドレール５
０、５１に沿って第４図において左右方向に移動可能と
なっている。横方向に配置したネジ棒５３がフレーム５
２側のメネジ部（図示せず）とネジ係合しており、その
ネジ棒５３はベルト５４を介してモータ５５によって回
転されるようになっている。
なお、本実施例ではチャック部１７は、ウェーハを回転
させながら同時に水平面内で搬送するように構成してい
るが、ウェーハに照射するレーザ光をスキャンさせるよ
うに構成すれば、チャック部１７は回転させる必要はな
い。
させながら同時に水平面内で搬送するように構成してい
るが、ウェーハに照射するレーザ光をスキャンさせるよ
うに構成すれば、チャック部１７は回転させる必要はな
い。
第２図と第６図に示すように、第１搬送部２１と第２搬
送部２２の特にエレベーター３０の収納ケース設置部分
には、収納ケース部用の形状検出手段が設けてある。す
なわち、エレベーター３０の収納ケース設置部分の上面
に３つの穴３０a 、３０b 、３０c を形成し、それぞれ
の穴３０a 、３０b 、３０c にマイクロスイッチ７０を
設定して、そこにセットされる第１収納ケース部２０の
形状（とくに寸法を検出できるようにしてある。例えば
３種類の収納ケース部２０が使用される場合、大型のも
のをセットしたとき外側の穴３０a に設けたマイクロス
イッチ７０が作動し、中型のものがセットされたときは
中側の穴３０b のマイクロスイッチ７０が作動し、小型
のものがセットされたときは内側の穴３０c のマイクロ
スイッチ７０が作動するようになっている。これらのマ
イクロスイッチ７０は前述の制御装置１３（第１図）に
電気的に接続されている。
送部２２の特にエレベーター３０の収納ケース設置部分
には、収納ケース部用の形状検出手段が設けてある。す
なわち、エレベーター３０の収納ケース設置部分の上面
に３つの穴３０a 、３０b 、３０c を形成し、それぞれ
の穴３０a 、３０b 、３０c にマイクロスイッチ７０を
設定して、そこにセットされる第１収納ケース部２０の
形状（とくに寸法を検出できるようにしてある。例えば
３種類の収納ケース部２０が使用される場合、大型のも
のをセットしたとき外側の穴３０a に設けたマイクロス
イッチ７０が作動し、中型のものがセットされたときは
中側の穴３０b のマイクロスイッチ７０が作動し、小型
のものがセットされたときは内側の穴３０c のマイクロ
スイッチ７０が作動するようになっている。これらのマ
イクロスイッチ７０は前述の制御装置１３（第１図）に
電気的に接続されている。
また、第１被検物受台部２９と第２被検物受台部４２に
も、その形状、とくに受部２９a 、４２a の寸法を検出
するための手段が設けられている。すなわち、第７図に
示すように、これらの被検物受台部２９、４２の裏面に
それぞれ３つの穴２９b （図には１つのみを示してある
が実際には３つある）を形成して、それに対応してマイ
クロスイッチ７２が設定してある。３つのマイクロスイ
ッチ７２のうち、どのマイクロスイッチ７２が作動する
かにより、実際に装着された第１被検物受台部２９と第
２被検物４２の形状を検出するようになっているのであ
る。これらのマイクロスイッチ７２も制御装置１３に接
続されている。
も、その形状、とくに受部２９a 、４２a の寸法を検出
するための手段が設けられている。すなわち、第７図に
示すように、これらの被検物受台部２９、４２の裏面に
それぞれ３つの穴２９b （図には１つのみを示してある
が実際には３つある）を形成して、それに対応してマイ
クロスイッチ７２が設定してある。３つのマイクロスイ
ッチ７２のうち、どのマイクロスイッチ７２が作動する
かにより、実際に装着された第１被検物受台部２９と第
２被検物４２の形状を検出するようになっているのであ
る。これらのマイクロスイッチ７２も制御装置１３に接
続されている。
第１および第２収納ケース部２０、２３と第１および第
２被検物受台部２９、４２の形状が一致したときにの
み、検査装置全体が作動可能となるように予め制御装置
１３（第１図）が設定してある。
２被検物受台部２９、４２の形状が一致したときにの
み、検査装置全体が作動可能となるように予め制御装置
１３（第１図）が設定してある。
第８図は前述のような搬送装置を備えた表面検査装置の
外観の一例を示している。表面検査装置の下方部に検査
装置本体６０が配置してあり、その検査装置本体６０の
内部に制御装置１３、プリンタ１６、その他の主要な部
材が配置してある。検査装置本体６０の上部にはエレベ
ータ３０、第１搬送部２１、第２搬送部２２、チャック
部１７などが配置してあり、そのチャック部１７のとこ
ろに前述のカバー部６５によりカバーされた測定部１０
が配置してあるのである。この測定部１０の上部ににク
リーンユニット６２が設けてある。クリーンユニット６
２と検査装置本体６０との間に狭小なクリーンスペース
６３が形成してある。測定部１０はそのクリーンスペー
ス６３の中に配置してあり、測定部１０が極めてクリー
ンな状態で使用できるようになっている。クリーンユニ
ット６２はクリーンスペース６３内の空気をきれいにす
るための周知の空気清浄機構を備えており、清浄な空気
を下方に送る。カバー部６５は、測定部１０に有害な外
光が混入しないように、かつ上方からの空気によりクリ
ーンスペース６３内に測定の支障となる乱気流が起きな
いような形状に構成されている。クリーンスペース６３
は３方あるいは４方の透明の板によって形成されてい
る。もちろん、４方の透明の板によって密閉状態に保た
れた場合には、前方の透明な板は必要に応じて開閉でき
るようになっている。
外観の一例を示している。表面検査装置の下方部に検査
装置本体６０が配置してあり、その検査装置本体６０の
内部に制御装置１３、プリンタ１６、その他の主要な部
材が配置してある。検査装置本体６０の上部にはエレベ
ータ３０、第１搬送部２１、第２搬送部２２、チャック
部１７などが配置してあり、そのチャック部１７のとこ
ろに前述のカバー部６５によりカバーされた測定部１０
が配置してあるのである。この測定部１０の上部ににク
リーンユニット６２が設けてある。クリーンユニット６
２と検査装置本体６０との間に狭小なクリーンスペース
６３が形成してある。測定部１０はそのクリーンスペー
ス６３の中に配置してあり、測定部１０が極めてクリー
ンな状態で使用できるようになっている。クリーンユニ
ット６２はクリーンスペース６３内の空気をきれいにす
るための周知の空気清浄機構を備えており、清浄な空気
を下方に送る。カバー部６５は、測定部１０に有害な外
光が混入しないように、かつ上方からの空気によりクリ
ーンスペース６３内に測定の支障となる乱気流が起きな
いような形状に構成されている。クリーンスペース６３
は３方あるいは４方の透明の板によって形成されてい
る。もちろん、４方の透明の板によって密閉状態に保た
れた場合には、前方の透明な板は必要に応じて開閉でき
るようになっている。
また、ウェーハ１４の測定結果を示すためのブラウン管
１５がクリーンユニット６２に内蔵されている。このブ
ラウン管１５は、外光の反射を受けずに、測定者が観察
し易いように下方に傾けて内蔵されている。
１５がクリーンユニット６２に内蔵されている。このブ
ラウン管１５は、外光の反射を受けずに、測定者が観察
し易いように下方に傾けて内蔵されている。
第９図は第１〜７図に示した搬送装置の作用を示すため
の説明図である。まず、第１および第２収納ケース部２
０、２３をエレベータ３０にセットして、表面検査装置
のスタートボタンを押すと、第２図に示す初期設定の状
態になる。すなわち、両方の収納ケース部２０、２３が
最も上昇した状態でエレベータ３０の上面に配置されて
いる。この後、出発側の第１収納ケース部２０の収納段
の一段分だけ下降し、それと平行して終点側の第２収納
ケース部２３は最下方位置まで下降される。
の説明図である。まず、第１および第２収納ケース部２
０、２３をエレベータ３０にセットして、表面検査装置
のスタートボタンを押すと、第２図に示す初期設定の状
態になる。すなわち、両方の収納ケース部２０、２３が
最も上昇した状態でエレベータ３０の上面に配置されて
いる。この後、出発側の第１収納ケース部２０の収納段
の一段分だけ下降し、それと平行して終点側の第２収納
ケース部２３は最下方位置まで下降される。
しかるのち出発側の第１収納ケース部２０が一段分下が
ることに一枚のウェーハ１４が第１搬送部２１の搬送メ
ンバー２６、２７の上に設置され、それにより矢印１の
方向に搬送される。ウェーハ１４が第１被検物受台部２
９のところにきたとき、第１被検物受台部２９が矢印２
の方向に上昇して、ウェーハ１４は第１搬送部２１から
第１被検物受台部２９に移される。そしてウェーハ１４
は第１被検物受台部２９に保持されてさらに矢印２の方
向に上昇する。その後チャック部１７がそのウェーハ１
４の下側に矢印３の方向から移動してきて停止する。し
かるのち第１被検物受台部２９が矢印４の方向に下降す
る。そしてウェーハ１４は第１被検物受台部２９からチ
ャック部１７に移され、そのチャック部１７によってバ
キューム作用で固定される。そして、チャック部１７が
回転しつつ矢印５の方向に移動し、その間に測定部１０
より所定の測定が行なわれる。チャック部１７が第２被
検物受台部４２のところにくると、チャック部１７のバ
キュウム作用が停止してウェーハ１４が解放状態とな
る。しかるのち第２被検物受台部４２が矢印６の方向に
上昇してチャック部１７からウェーハ１４を受けとる。
その後チャック部１７は矢印７、３の方向に移動する。
その間に第２被検物受台部４２は再び矢印８の方向に下
降する。かくしてウェーハ１４は第２被検物受台部４２
から第２搬送部２２に移され、第２搬送部２２により矢
印９の方向に搬送される。最終的に第２搬送部２２から
終点側の第２収納ケース部２３の最上段のしかるべき位
置に収納される。
ることに一枚のウェーハ１４が第１搬送部２１の搬送メ
ンバー２６、２７の上に設置され、それにより矢印１の
方向に搬送される。ウェーハ１４が第１被検物受台部２
９のところにきたとき、第１被検物受台部２９が矢印２
の方向に上昇して、ウェーハ１４は第１搬送部２１から
第１被検物受台部２９に移される。そしてウェーハ１４
は第１被検物受台部２９に保持されてさらに矢印２の方
向に上昇する。その後チャック部１７がそのウェーハ１
４の下側に矢印３の方向から移動してきて停止する。し
かるのち第１被検物受台部２９が矢印４の方向に下降す
る。そしてウェーハ１４は第１被検物受台部２９からチ
ャック部１７に移され、そのチャック部１７によってバ
キューム作用で固定される。そして、チャック部１７が
回転しつつ矢印５の方向に移動し、その間に測定部１０
より所定の測定が行なわれる。チャック部１７が第２被
検物受台部４２のところにくると、チャック部１７のバ
キュウム作用が停止してウェーハ１４が解放状態とな
る。しかるのち第２被検物受台部４２が矢印６の方向に
上昇してチャック部１７からウェーハ１４を受けとる。
その後チャック部１７は矢印７、３の方向に移動する。
その間に第２被検物受台部４２は再び矢印８の方向に下
降する。かくしてウェーハ１４は第２被検物受台部４２
から第２搬送部２２に移され、第２搬送部２２により矢
印９の方向に搬送される。最終的に第２搬送部２２から
終点側の第２収納ケース部２３の最上段のしかるべき位
置に収納される。
以上のような搬送・測定動作を各ウェーハ１４毎に繰り
返し行い、出発側の第１収納ケース部２０の各ウェーハ
１４を終点側の第２収納ケース部２３の所定の段に順次
上段から下方に向かって収納していくのである。
返し行い、出発側の第１収納ケース部２０の各ウェーハ
１４を終点側の第２収納ケース部２３の所定の段に順次
上段から下方に向かって収納していくのである。
効果 第１被検物受台２９及び第２被検物受台４２に設けた受
部２９ａ、４２ａと切欠部の作用によって、第１、２被
検物受台２９、４２とチャック部１７との干渉が防止で
きる。従って、第１、２被検物受台２９、４２とチャッ
ク部１７との間で一連の被検物受け渡し動作をスムーズ
に行うことができる。
部２９ａ、４２ａと切欠部の作用によって、第１、２被
検物受台２９、４２とチャック部１７との干渉が防止で
きる。従って、第１、２被検物受台２９、４２とチャッ
ク部１７との間で一連の被検物受け渡し動作をスムーズ
に行うことができる。
このため、第１被検物受台２９及び第２被検物受台４２
を上下に移動させチャック部１７を水平方向の１方向に
移動させるだけで、被検物を両者の間でスムーズに受け
渡すことが可能である。従って、装置を全体的にシンプ
ルに構成することができ、小型化することも可能とな
る。
を上下に移動させチャック部１７を水平方向の１方向に
移動させるだけで、被検物を両者の間でスムーズに受け
渡すことが可能である。従って、装置を全体的にシンプ
ルに構成することができ、小型化することも可能とな
る。
【図面の簡単な説明】 第１図は搬送装置を備えた本発明による検査装置の概略
を示すブロック図、第２図は搬送装置の概略を示す斜視
図、第３図は搬送装置のうち第１搬送部を示す概略斜視
図、第４図は搬送装置のうちチャック部の関連機構を示
す概略斜視図、第５図は被検物受台の駆動機構の一部を
示す概略正面図、第６図は搬送装置の収納ケース設置部
分を拡大して示す平面図、第７図は被検物受け台部の形
式検出手段を示す概略断面図、第８図は被検物の表面検
査装置の外観を示す概略斜視図、第９図は被検物の搬送
経路を示す概略説明図である。 １０……測定部 ２１……第１搬送部 ２２……第２搬送部 ２０、２３……収納ケース部 １４……被検物（ウェーハ） ３０……エレベーター ２９、４２……被検物受台部 １７……チャック部 １３……制御装置 １５……ブラウン管 ６０……検査装置本体 ６２……クリーンユニット ６３……クリーンスペース
を示すブロック図、第２図は搬送装置の概略を示す斜視
図、第３図は搬送装置のうち第１搬送部を示す概略斜視
図、第４図は搬送装置のうちチャック部の関連機構を示
す概略斜視図、第５図は被検物受台の駆動機構の一部を
示す概略正面図、第６図は搬送装置の収納ケース設置部
分を拡大して示す平面図、第７図は被検物受け台部の形
式検出手段を示す概略断面図、第８図は被検物の表面検
査装置の外観を示す概略斜視図、第９図は被検物の搬送
経路を示す概略説明図である。 １０……測定部 ２１……第１搬送部 ２２……第２搬送部 ２０、２３……収納ケース部 １４……被検物（ウェーハ） ３０……エレベーター ２９、４２……被検物受台部 １７……チャック部 １３……制御装置 １５……ブラウン管 ６０……検査装置本体 ６２……クリーンユニット ６３……クリーンスペース
フロントページの続き (72)発明者 中嶋 富夫 東京都板橋区蓮沼町75番１号 東京光学機 械株式会社内 (72)発明者 池ケ谷 款治 東京都板橋区蓮沼町75番１号 東京光学機 械株式会社内 (56)参考文献 特開 昭58−127340（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−124712（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−17022（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−198839（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−41045（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−92836（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−39943（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】複数の被検物を収納するための第１および
第２収納ケース部（２０、２３）と、 第１収納ケース部（２０）から被検物を水平面内で移動
搬送するための第１搬送部（２１）と、 第１搬送部（２１）により搬送されてきた被検物を下方
から保持して上下方向に移動させるための第１被検物受
台部（２９）と、 第１被検物受台部（２９）により上方位置に移動された
被検物の下方に到来するように移動して第１被検物受台
部（２９）から被検物を受け取り固定保持して水平面内
で移動搬送させるためのチャック部（１７）と、 チャック部（１７）により移動搬送されてきた被検物が
固定状態から解放状態になったあと被検物を下方から保
持して上下方向に移動させるための第２被検物受台部
（４２）と、 第２被検物受台（４２）から被検物を受け取って水平面
内で移動搬送して第２収納ケース部（２３）に被検物を
収納するための第２搬送部（２２）とを備えるととも
に、 第１及び第２被検物受台部（２９、４２）のそれぞれ
に、被検物の周縁部を支持するための受部（２９ａ、４
２ａ）とチャック部（１７）の移動の際にチャック部
（１７）に干渉させないための切欠部とを設けたことを
特徴とする被検物の搬送装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59218297A JPH0620922B2 (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 被検物の搬送装置 |
| EP85307455A EP0186945B1 (en) | 1984-10-19 | 1985-10-16 | A transfer machine for a surface inspection apparatus |
| DE8585307455T DE3570754D1 (en) | 1984-10-19 | 1985-10-16 | A transfer machine for a surface inspection apparatus |
| US06/789,088 US4787800A (en) | 1984-10-19 | 1985-10-18 | Transfer machine in a surface inspection apparatus |
| KR1019850007708A KR900000654B1 (ko) | 1984-10-19 | 1985-10-18 | 반도체 웨이퍼 표면검사장치의 이송기구 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59218297A JPH0620922B2 (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 被検物の搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6197086A JPS6197086A (ja) | 1986-05-15 |
| JPH0620922B2 true JPH0620922B2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=16717624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59218297A Expired - Lifetime JPH0620922B2 (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 被検物の搬送装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4787800A (ja) |
| EP (1) | EP0186945B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0620922B2 (ja) |
| KR (1) | KR900000654B1 (ja) |
| DE (1) | DE3570754D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007256017A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Mega Trade:Kk | 外観検査装置 |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US5022619A (en) * | 1988-12-09 | 1991-06-11 | Tokyo Aircraft Instrument Co., Ltd. | Positioning device of table for semiconductor wafers |
| JPH0734116B2 (ja) * | 1991-05-29 | 1995-04-12 | 株式会社オーク製作所 | 自動露光装置におけるワークの位置決め方法 |
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| NL9201825A (nl) * | 1992-10-21 | 1994-05-16 | Od & Me Bv | Inrichting voor het vervaardigen van een matrijs voor een schijfvormige registratiedrager. |
| KR100291110B1 (ko) * | 1993-06-19 | 2001-06-01 | 히가시 데쓰로 | 프로우브장치 및 그것을 사용한 피검사체의 검사방법 |
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| USD409166S (en) | 1998-04-17 | 1999-05-04 | Advanced Digital Information Corp. | Data storage-media library |
| USD425878S (en) | 1999-09-17 | 2000-05-30 | Advanced Digital Information Corporation | Data-storage library front door |
| USD432541S (en) | 1999-11-01 | 2000-10-24 | Advanced Digital Information Corporation | Data-storage library front door |
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1984
- 1984-10-19 JP JP59218297A patent/JPH0620922B2/ja not_active Expired - Lifetime
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1985
- 1985-10-16 EP EP85307455A patent/EP0186945B1/en not_active Expired
- 1985-10-16 DE DE8585307455T patent/DE3570754D1/de not_active Expired
- 1985-10-18 US US06/789,088 patent/US4787800A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-10-18 KR KR1019850007708A patent/KR900000654B1/ko not_active IP Right Cessation
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Also Published As
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| DE3570754D1 (en) | 1989-07-06 |
| JPS6197086A (ja) | 1986-05-15 |
| KR860003495A (ko) | 1986-05-26 |
| KR900000654B1 (ko) | 1990-02-02 |
| EP0186945B1 (en) | 1989-05-31 |
| EP0186945A1 (en) | 1986-07-09 |
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