KR860003495A

KR860003495A - 반도체 웨이퍼 표면 검사장치의 이송기구

Info

Publication number: KR860003495A
Application number: KR1019850007708A
Authority: KR
Inventors: 가즈요시 소네 (외 3)
Original assignee: 사바 쇼오이찌; 가부시끼 가이샤 도오시바
Priority date: 1984-10-19
Filing date: 1985-10-18
Publication date: 1986-05-26
Also published as: US4787800A; EP0186945A1; KR900000654B1; JPH0620922B2; EP0186945B1; DE3570754D1; JPS6197086A

Abstract

내용 없음

Description

반도체 웨이퍼 표면 검사장치의 이송기구

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 따른 이송기구를 갖춘 표면검사장치의 개략도.

제4도는 본 발명에 따른 이송기구의 척과 그와 관련된 기구의 사시도.

제8도는 본 발명에 따른 이송기구를 갖춘 표면검사장치의 사시도.

Claims

여러개의 검사할 웨이퍼를 저장 하도록 출발점에 위치되어 있는 제1 저장 하우징(20)과 여러개의 검사된 웨이퍼를 저장하기 위하여 최종점에 위치되어 있는 제2 저장 하우징(23), 검사된 웨이퍼(14)를 하나씩 차례대로 제1 저장 하우징(20)으로 부터 받아들여 수평면을 따라 이송시키는 제1 이송부(21), 고정된 상태를 검사된 웨이퍼(14)를 지지하면서 그 웨이퍼가 검사되는 동안 수평면을 따라 주어진 방향으로 웨이퍼를 이동시키는 척(17), 척(17)에서 부터 이송된 검사된 웨이퍼(14)를 받아들여 수평면을 따라 이송시키는 제2 이송부(22), 및 제2이송부(22)로 부터 검사된 웨이퍼(14)를 하나씩 차례로 받아들여 저장 시키는 제2 저장 하우징(23)으로 이루어진 웨이퍼 표면 검사장치의 이송기구에 있어서, 그 하부위치로 부터 상부 위치까지 와서 상기 웨이퍼(14)를 위아래로 움직일때 제1이송부(21)로 부터 검사된 웨이퍼(14)를 받아들여 상부위치와 하부위치 사이에서 수직방향으로 움직이는 제1 수납기(29)와, 상기 제1 수납기(29)가 상부 위치 가까이 또는 이 위치에 있을때 제1 수납기(29)에 의해 받아들여진 검사된 웨이퍼(14) 아래의 예정된 위치로 이동되고 상기 제1 수납기(29)가 상부 위치로 부터 하부 위치까지 올때 제1 수납기(29)로 부터 검사된 웨이퍼(14)를 받아들이는 척(17), 제2 수납기(42)가 그의 하부 위치로 부터 상부 위치까지 올때 상기 척(17)으로 부터 검사된 웨이퍼(14)를 받아들이기 위해 상, 하부 위치 사이에 수직 방향으로 이동하는 제2 수납기(42) 및 제2 수납기(42)가 그의 상부 위치로 부터 하부 위치까지 올때 제2 수납기(42)로 부터 검사된 웨이퍼(14)를 받아들이고 상기 제2 수납기(42)로 부터 제2 저장하우징(23)까지 웨이퍼를 이송 시키는 제2이송부(22)로 이루어진 것을 특징으로 한 웨이퍼 표면검사 장치의 이송기구.
제1항에 있어서, 상기 제1,2이송부(21,22)는 가상적인, 사각형의 맞은편 양쪽 측면을 따라 위치해있고, 상기 척(17)은 상기 맞은편 양쪽 측면에 수직하는 상기 사각형의 한쪽 측면을 따라 움직이도록 한것.
제1항에 있어서, 상기 제1,2 수납기(29,42)와 제1,2저장 하우징(20,23)의 각각은 가상적인 사각형 4곳의 구석에 위치해 있도록 한것.
제1항에 있어서, 상기 척(17)은 축(45), 모우터(46), 및 프레임(52)으로 이루어진 장치에 의해 회전되고, 숫스크류봉(53), 벨트(54) 및 모우터(55)에 의해 이동 되도록 한것.
제1항에 있어서, 상기 척(17)은 진공력에 의해 검사된 웨이퍼(14)를 고정시키기 위한 진공구명(17a)과 진공원(18)을 갖춘 특징이 있는것.
제1항에 있어서, 상기 제1저장 하우징(20)은 검사한 웨이퍼(14) 각각을 제1 저장 하우징(20)에 형성된 여러 저장단의 각각에 놓여지도록 수직방향으로 쌓여진 상태로 저장시키고, 상기 승강기(30)는 제1 저장 하우징(20)을 수직 방향으로 이동시켜 검사된 웨이퍼(14)가 하나씩 차례대로 제1 저장 하우징(20)으로 부터 제1 이송부(21)까지 이동되어지도록 한 것.
제1항에 있어서, 상기 제2저장 하우징(23)은 각각의 검사된 웨이퍼(14)를 제2저장 하우징(23)에 형성된 각각의 여러저장단에 놓여지도록 수직방향으로 쌓여진 상태로 저장시키고, 상기 승강기(30)는 제2 저장하우징(23)을 수직방향으로 이동시켜 검사된 웨이퍼(14)가 하나씩 차례대로 제2 이송부(22)로 부터 제2저장 하우징(23)까지 이동되어지도록 한 것.
제1항에 있어서, 상기 제1,2 이송부(22,23)는 무한 이송부재(26,27)를 갖춘 것.
제1항에 있어서, 제1 및 제2 수납기(29,42)는 파지부로 검사된 웨이퍼(14)의 주변을 파지하기 위한 가장자리(29a,42a)를 가지고 있어 척(17)이 작동할때 제1 및 제2 수납기(29,42)의 작동을 방해하지 않도록 된 것.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임