JPS6197086A - 被検物の搬送装置 - Google Patents
被検物の搬送装置Info
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- JPS6197086A JPS6197086A JP59218297A JP21829784A JPS6197086A JP S6197086 A JPS6197086 A JP S6197086A JP 59218297 A JP59218297 A JP 59218297A JP 21829784 A JP21829784 A JP 21829784A JP S6197086 A JPS6197086 A JP S6197086A
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- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
業の
この発明はウェーハなどの被検物の表面の傷、ゴミ、よ
ごれなどの異常などを検査するための表面検査装置にお
いて被検物を搬送するための搬送装置に関するものであ
る。
ごれなどの異常などを検査するための表面検査装置にお
いて被検物を搬送するための搬送装置に関するものであ
る。
１股立良１
従来、ウェーハなどの被検物（以下単にウェーハを例に
とって説明する）の表面にレーザービームを照射して、
この反射ビームを検出することによりウェーハの表面の
傷、ゴミ、よごれなどの異常を検査する表面検査装置は
よく知られている。
とって説明する）の表面にレーザービームを照射して、
この反射ビームを検出することによりウェーハの表面の
傷、ゴミ、よごれなどの異常を検査する表面検査装置は
よく知られている。
この種の表面検査装置においては、多数のウェーハを予
めキャリヤやカセットなどの収納ケース部にセットして
おき、収納ケース部から各ウェーハを順次取りだして、
チャック部でウェーハを固定した状態のまま、ウェーハ
を順次検査装置本体の測定部に搬送していき、水平面内
で移動させ、その際に測定部でウェーハの表面検査を行
い、そのように検査されたウェーハを順次別の収納ケー
ス部に搬送して収納するようになっていた。
めキャリヤやカセットなどの収納ケース部にセットして
おき、収納ケース部から各ウェーハを順次取りだして、
チャック部でウェーハを固定した状態のまま、ウェーハ
を順次検査装置本体の測定部に搬送していき、水平面内
で移動させ、その際に測定部でウェーハの表面検査を行
い、そのように検査されたウェーハを順次別の収納ケー
ス部に搬送して収納するようになっていた。
ところが、そのような搬送装置はウェーハの寸法が大き
くなるにしたがって大型化する、のが一般的であり、設
置スペースの問題が最近重視されるようになってきた。
くなるにしたがって大型化する、のが一般的であり、設
置スペースの問題が最近重視されるようになってきた。
そこで、この種の表面検査装置の全体の寸法を小型化す
ることが重要な技術上の課題となってきたのである。
ることが重要な技術上の課題となってきたのである。
が ゛しようとしている。 １、
このような観点から種々の提案がなされているが、従来
のものはいずれも、一方の収納ケース部から他方の収納
ケース部までの間においてウェーハをたんに平面上での
み移動搬送していたため、装置の小型化の上で限界があ
った。最近のようにウェーハの寸法が大きくなってくる
と、装置全体を設置するための有効床面積が大幅に増大
するという欠点があった。
のものはいずれも、一方の収納ケース部から他方の収納
ケース部までの間においてウェーハをたんに平面上での
み移動搬送していたため、装置の小型化の上で限界があ
った。最近のようにウェーハの寸法が大きくなってくる
と、装置全体を設置するための有効床面積が大幅に増大
するという欠点があった。
Ｒヱレ１１」１
この発明はこのような従来技術の欠点を解消して、ウェ
ーハ等の被検物を立体的に移動させることにより、被検
物を搬送するだめの搬送部と被検物を固定して搬送しつ
つ測定するためのチャック部との干渉を避けて、搬送装
置の寸法と（に有効床面積等を小さくして。
ーハ等の被検物を立体的に移動させることにより、被検
物を搬送するだめの搬送部と被検物を固定して搬送しつ
つ測定するためのチャック部との干渉を避けて、搬送装
置の寸法と（に有効床面積等を小さくして。
表面検査装置全体み小型化を可能にすることを目的とし
ている。
ている。
１１悲１１
この目的を達成するための本発明の要旨とするところは
、複数の被検物を゛収納するための第１および第２収納
ケース部と、第１収納ケース部から被検物を水平面内で
移動搬送するための第１搬送部と、第１搬送部により搬
送されてきた被検物を下方から保持して上下方向に移動
させるための第１被検物受台部と、第１被検物受台部に
より上方位置に移動された被検物の下方に到来するよう
に移動して第１被検物受台部から被検物を受け取り固定
保持して水平面内で移動搬送させるためのチャック部と
、チャック部により移動１般送されてきた被検物が固定
状態から解放状態になったあと被検物を下方から保持し
て上下方向に移動させるための第２被検物受台部と、第
２被検物受台から被検物を受け取って水平面内で移ａ搬
送して第２収納ケース部に被検物を収納するための第２
搬送部とを備えた被検物の搬送装置にある。
、複数の被検物を゛収納するための第１および第２収納
ケース部と、第１収納ケース部から被検物を水平面内で
移動搬送するための第１搬送部と、第１搬送部により搬
送されてきた被検物を下方から保持して上下方向に移動
させるための第１被検物受台部と、第１被検物受台部に
より上方位置に移動された被検物の下方に到来するよう
に移動して第１被検物受台部から被検物を受け取り固定
保持して水平面内で移動搬送させるためのチャック部と
、チャック部により移動１般送されてきた被検物が固定
状態から解放状態になったあと被検物を下方から保持し
て上下方向に移動させるための第２被検物受台部と、第
２被検物受台から被検物を受け取って水平面内で移ａ搬
送して第２収納ケース部に被検物を収納するための第２
搬送部とを備えた被検物の搬送装置にある。
叉Ｊｕ源
第１図は、搬送装置を備えていて、それによりウェーハ
等の被検物（以下単にウェーハを例にとるで説明する）
を搬送して、その途中で検査するための検査装置の概略
を示している。
等の被検物（以下単にウェーハを例にとるで説明する）
を搬送して、その途中で検査するための検査装置の概略
を示している。
検査装置の測定部１０は周知のように光源１１からレー
ザをウェーハ１４に照射して表面の異常によって生ずる
散乱反射光をフォトマルチプライヤ−管などの充電変換
素子１２により受光して電気的信号として取り出し、そ
の電気信号を制御装置１３に送り、そこで所定のデータ
処理をして、ウェーハ１４の表面上の傷、ゴミ、よごれ
などを計測してブラウン管（ＣＲＴ）１５などの表示器
やプリンター１６に出力するようになっている。
ザをウェーハ１４に照射して表面の異常によって生ずる
散乱反射光をフォトマルチプライヤ−管などの充電変換
素子１２により受光して電気的信号として取り出し、そ
の電気信号を制御装置１３に送り、そこで所定のデータ
処理をして、ウェーハ１４の表面上の傷、ゴミ、よごれ
などを計測してブラウン管（ＣＲＴ）１５などの表示器
やプリンター１６に出力するようになっている。
ウェーハ１４は第１図の測定状態のとぎにはターンテー
ブル式のチャック部１１にバキュウム作用によって固定
されている。チャック部１７のバキュウム穴１７ａはバ
キュウム源１８に接続されており、必要に応じてつ工−
ハ１４をバキュウムにより固定保持できるようになって
いる。
ブル式のチャック部１１にバキュウム作用によって固定
されている。チャック部１７のバキュウム穴１７ａはバ
キュウム源１８に接続されており、必要に応じてつ工−
ハ１４をバキュウムにより固定保持できるようになって
いる。
第１収納ケース部２０と第２収納ケース部２３がそれぞ
れ出発側と終点側に設けられていて、多数のウェーハ１
４が第１収納ケース部２０に収納されており、その収納
ケース部２０から１枚ずつウェーハ１４を水平面内で第
１搬送部２１により搬送するようになっている。そして
、各ウェーハ１４は後述の第１被検物受台部２９を介し
てチャック部１７に移され、そこにバキュウムにより固
定保持される。チャック部１７は測定部１０を通過して
反対側の第２搬送部２２に後述の第２被検物受台部４２
を介して移される。この第２搬送部２２により搬送され
て各ウェーハ１４は第２収納ケース部２３に順次収納さ
れる。
れ出発側と終点側に設けられていて、多数のウェーハ１
４が第１収納ケース部２０に収納されており、その収納
ケース部２０から１枚ずつウェーハ１４を水平面内で第
１搬送部２１により搬送するようになっている。そして
、各ウェーハ１４は後述の第１被検物受台部２９を介し
てチャック部１７に移され、そこにバキュウムにより固
定保持される。チャック部１７は測定部１０を通過して
反対側の第２搬送部２２に後述の第２被検物受台部４２
を介して移される。この第２搬送部２２により搬送され
て各ウェーハ１４は第２収納ケース部２３に順次収納さ
れる。
第２図と第３図に詳細に示しであるように、第１搬送部
２１はフレーム２５の両側にそれぞれ柔軟なエンドレス
状の搬送メンバー２６．２７によりコンベヤの形になっ
ており、搬送メンバー２６．２７でウェーハ１４の周縁
部を支持して、第１収納ケース部２０から第１被検物受
台部２９にウェーハ１４を搬送するようになっている。
２１はフレーム２５の両側にそれぞれ柔軟なエンドレス
状の搬送メンバー２６．２７によりコンベヤの形になっ
ており、搬送メンバー２６．２７でウェーハ１４の周縁
部を支持して、第１収納ケース部２０から第１被検物受
台部２９にウェーハ１４を搬送するようになっている。
搬送メンバー２６．２７の駆動力はベルト２８を介して
モータ１９から伝達される。
モータ１９から伝達される。
エレベータ３０は搬送メンバー２６．２７の一端側に配
置してあり、その上の所定位置に第１収納ケース部２０
が着脱自在にセットできるようになっている。エレベー
タ−３０の上部は全体がぽぼＨ形状をしており、その上
面にセットした第１収納ケース部２０を上下方向に所定
の量だけ移動させることができる。このエレベータ−３
０にはメネジ部（図示せず）が形成してあり、それが垂
直のネジ棒３１と係合しており、さらにそのネジ棒３１
は歯車３２を介してモータ３３側のギアに接続されてい
る。つまり、モータ３３の駆動力がネジ棒３１に伝えら
れて、エレベータ−３０を上下方向に移動させるように
なっている。
置してあり、その上の所定位置に第１収納ケース部２０
が着脱自在にセットできるようになっている。エレベー
タ−３０の上部は全体がぽぼＨ形状をしており、その上
面にセットした第１収納ケース部２０を上下方向に所定
の量だけ移動させることができる。このエレベータ−３
０にはメネジ部（図示せず）が形成してあり、それが垂
直のネジ棒３１と係合しており、さらにそのネジ棒３１
は歯車３２を介してモータ３３側のギアに接続されてい
る。つまり、モータ３３の駆動力がネジ棒３１に伝えら
れて、エレベータ−３０を上下方向に移動させるように
なっている。
他方、第１搬送部２１の搬送メンバー２６．２７の他端
側には第１被検物受台部２９が８Ｔけである。この、第
１被検物受台部２９の中心部には円形の穴が形成されて
おり、その穴の縁にウェーハの大きさに対応した大きさ
をもつ段付き形状の受部２９ａが形成されている。
側には第１被検物受台部２９が８Ｔけである。この、第
１被検物受台部２９の中心部には円形の穴が形成されて
おり、その穴の縁にウェーハの大きさに対応した大きさ
をもつ段付き形状の受部２９ａが形成されている。
この段付き形状の受部２９ａは、搬送メンバー２６によ
り搬送されるウェーハ１４を定まった位置に支持すると
ともに、後述するチャック部１７に接合されているシャ
フト４５が干渉しない形状に構成される。ウェーハ１４
の周縁部はその受部２９ａに入って支持されるようにな
っている。
り搬送されるウェーハ１４を定まった位置に支持すると
ともに、後述するチャック部１７に接合されているシャ
フト４５が干渉しない形状に構成される。ウェーハ１４
の周縁部はその受部２９ａに入って支持されるようにな
っている。
この第１被検物受台部２９は、測定をするウェーハの大
きさに対応して交換可能になっており、ウェーハが大型
の場合には、点線Ｎで示す大きさの受台を有する受台部
が取付けられる。
きさに対応して交換可能になっており、ウェーハが大型
の場合には、点線Ｎで示す大きさの受台を有する受台部
が取付けられる。
第２搬送部２２の側にも前述の第１搬送部２１と同様の
搬送機構が備えられており、同じ参照符号を付してその
説明は省略する。
搬送機構が備えられており、同じ参照符号を付してその
説明は省略する。
第４図及び５図に示されているように、第１被検物受台
部２９は垂直に配置した２本の連結棒３５の上端にナツ
ト３６により着脱可能に固定されている。これらの連結
棒３５はガイド３７によりガイドされつつ上下に移動可
能となっている。連結棒３５の下端は第５図に示すよう
に平板状の従動体３８に固定されている。モータ３９の
回転軸４０が偏心カム４１に固定されており、その偏心
カム４１が前述の従動体３８と係合している。そのため
、モータ３９の回転に応じて偏心カム４１の作用によっ
て連結棒３５と第１被検物受け台部２９が一緒に上下方
向に移動可能となっている。
部２９は垂直に配置した２本の連結棒３５の上端にナツ
ト３６により着脱可能に固定されている。これらの連結
棒３５はガイド３７によりガイドされつつ上下に移動可
能となっている。連結棒３５の下端は第５図に示すよう
に平板状の従動体３８に固定されている。モータ３９の
回転軸４０が偏心カム４１に固定されており、その偏心
カム４１が前述の従動体３８と係合している。そのため
、モータ３９の回転に応じて偏心カム４１の作用によっ
て連結棒３５と第１被検物受け台部２９が一緒に上下方
向に移動可能となっている。
第２被検物受台部４２は前述の第１被検物２９と同様の
上下移動機構を有しているので、同じ参照符号を符して
、その説明は省略する。
上下移動機構を有しているので、同じ参照符号を符して
、その説明は省略する。
測定部１０の作動機構について詳細に説明すると、テー
ブル式のチャック部１７の中心にバキュウム穴１７ａが
形成されており、このバキュウム穴１７ａが前述のよう
にバキュウム源１８に接続されている。チャック部１７
はモータ４６のシャフト４５に結合されており、モータ
４６に隣接してエンコーダ４７が設けである。このよう
な構成によりモーター４６の回転力がチャック部１７に
伝達されて所定の速度で回転するようになっている。
ブル式のチャック部１７の中心にバキュウム穴１７ａが
形成されており、このバキュウム穴１７ａが前述のよう
にバキュウム源１８に接続されている。チャック部１７
はモータ４６のシャフト４５に結合されており、モータ
４６に隣接してエンコーダ４７が設けである。このよう
な構成によりモーター４６の回転力がチャック部１７に
伝達されて所定の速度で回転するようになっている。
チャック部１７やモータ４６その他はフレーム５２にユ
ニットとして固定されていて、全体的にガイドレール５
０，５１に沿って第４図において左右方向に移動可能と
なっている。
ニットとして固定されていて、全体的にガイドレール５
０，５１に沿って第４図において左右方向に移動可能と
なっている。
横方向に配置したネジ棒５３がフレーム５２側のメネジ
部（図示せず）とネジ係合しており、そのネジ棒５３は
ベルト５４を介してモータ５５によって回転されるよう
になっている。
部（図示せず）とネジ係合しており、そのネジ棒５３は
ベルト５４を介してモータ５５によって回転されるよう
になっている。
なお、本実施例ではチャック部１７は、つ工−ハを一転
させながら同時に水平面内で搬送するように構成してい
るが、ウェーハに照射するレーザ光をスキャンさせるよ
うに構成すれば、チアツク部１７は回転させる必要はな
い。
させながら同時に水平面内で搬送するように構成してい
るが、ウェーハに照射するレーザ光をスキャンさせるよ
うに構成すれば、チアツク部１７は回転させる必要はな
い。
第２図と第６図に示すように、第１搬送部２１と第２Ｗ
ｉ送部２２の特にｆレベーター３０の収納ケース設置部
分には、収納ケース部用の形状検出手段が設けである。
ｉ送部２２の特にｆレベーター３０の収納ケース設置部
分には、収納ケース部用の形状検出手段が設けである。
すなわち、エレベータ−３０の収納ケース設置部分の上
面に３つの穴３０ａ 、３０ｂ 、３０ｃを形成し、そ
れぞれの穴３０ａ 、３０ｂ 、３０Ｃにマイクロスイ
ッチ５０を設定して、そこにセットされる第１収納ケー
ス部２０の形状（とくに寸法を検出できるようにしであ
る。例えば３種類の収納ケース部２０が使用される場合
、大型のものをセットしたとき外側の穴３０ａに設けた
マイクロスイッチ５０が作動し、中型のものがセットさ
れたときは中側の穴３０ｂのマイクロスイッチ５０が作
動し、小型のものがセットされたときは内側の穴３０ｃ
のマイクロスイッチ５０が作動するようになっている。
面に３つの穴３０ａ 、３０ｂ 、３０ｃを形成し、そ
れぞれの穴３０ａ 、３０ｂ 、３０Ｃにマイクロスイ
ッチ５０を設定して、そこにセットされる第１収納ケー
ス部２０の形状（とくに寸法を検出できるようにしであ
る。例えば３種類の収納ケース部２０が使用される場合
、大型のものをセットしたとき外側の穴３０ａに設けた
マイクロスイッチ５０が作動し、中型のものがセットさ
れたときは中側の穴３０ｂのマイクロスイッチ５０が作
動し、小型のものがセットされたときは内側の穴３０ｃ
のマイクロスイッチ５０が作動するようになっている。
これらのマイクロスイッチ５０は前述の制御装置１３（
第１図）に電気的に接続されている。
第１図）に電気的に接続されている。
また、第１被検物受台部２９と第２被検物受台部４２に
も、その形状、とくに受部２９ａ、４２ａの寸法を検出
するｌこめの手段が設けられている。すなわち、第７図
に示すように、これらの被検物受台部２９．４２の裏面
にそれぞれ３つの穴２９ｂ （図には１つのみを示しで
あるが実際には３つある）を形成して、それに対応して
マイクロスイッチ５２が設定しである。３つのマイクロ
スイッチ５２のうち、どのマイクロスイッチ５２が作動
するかにより、実際に装着された第１被検物受台部２９
と第２被検物４２の形状を検出するようになっているの
である。これらのマイクロスイッチ５２も制御装置１３
に接続されている。
も、その形状、とくに受部２９ａ、４２ａの寸法を検出
するｌこめの手段が設けられている。すなわち、第７図
に示すように、これらの被検物受台部２９．４２の裏面
にそれぞれ３つの穴２９ｂ （図には１つのみを示しで
あるが実際には３つある）を形成して、それに対応して
マイクロスイッチ５２が設定しである。３つのマイクロ
スイッチ５２のうち、どのマイクロスイッチ５２が作動
するかにより、実際に装着された第１被検物受台部２９
と第２被検物４２の形状を検出するようになっているの
である。これらのマイクロスイッチ５２も制御装置１３
に接続されている。
第１および第２収納ケース部２０．２３と第１および第
２被検物受台部２９．４２の形状が一致したときにのみ
、検査装置全体が作動可能となるように予め制御装置１
３（第１図）が設定しである。
２被検物受台部２９．４２の形状が一致したときにのみ
、検査装置全体が作動可能となるように予め制御装置１
３（第１図）が設定しである。
第８図は前述のような搬送装置を備えた表面検査装置の
外観の一例を示している。表面検査装置の下方部に検査
装置本体６０が配置してあり、その検査装置本体６０の
内部に制御装置１３、プリンタ１６、その他の主要な部
材が配置しである。検査装置本体６０の上部にはエレベ
ータ３０、第１搬送部２１、第２１１２送部２２、チャ
ック部１７などが配置してあり、吾のチャック部１７の
ところに前述のカバ一部６５によりカバーされた測定部
１０が配置しであるのである。この測定部１０の上部に
にクリーンユニット６２が設けである。クリーンユニッ
ト６２と検査装置本体６０との間に狭小なりリーンスペ
ース６３が形成しである。測定部１０はそのクリーンス
ペース６３の中に配置してあり、測定部１０が極めてク
リーンな状態で使用できるようになっている。クリーン
ユニット６２ばクリーンスペース６３内の空気をきれい
にするための周知の空気清浄機構を備えており、清浄な
空気を下方に送る。カバ一部６５は、測定部１０に有害
な外光が混入しないように、かつ上方からの空気により
クリーンスペース６３内に測定の支障となる乱気流が起
きないような形状に構成されている。クリーンスペース
６３は３方あるいは４方の透明の板によって形成されて
いる。もちろん、４方の透明の板によって密閉状態に保
たれた場合には、前方の透明な板は必要に応じて開閉で
きるようになっている。
外観の一例を示している。表面検査装置の下方部に検査
装置本体６０が配置してあり、その検査装置本体６０の
内部に制御装置１３、プリンタ１６、その他の主要な部
材が配置しである。検査装置本体６０の上部にはエレベ
ータ３０、第１搬送部２１、第２１１２送部２２、チャ
ック部１７などが配置してあり、吾のチャック部１７の
ところに前述のカバ一部６５によりカバーされた測定部
１０が配置しであるのである。この測定部１０の上部に
にクリーンユニット６２が設けである。クリーンユニッ
ト６２と検査装置本体６０との間に狭小なりリーンスペ
ース６３が形成しである。測定部１０はそのクリーンス
ペース６３の中に配置してあり、測定部１０が極めてク
リーンな状態で使用できるようになっている。クリーン
ユニット６２ばクリーンスペース６３内の空気をきれい
にするための周知の空気清浄機構を備えており、清浄な
空気を下方に送る。カバ一部６５は、測定部１０に有害
な外光が混入しないように、かつ上方からの空気により
クリーンスペース６３内に測定の支障となる乱気流が起
きないような形状に構成されている。クリーンスペース
６３は３方あるいは４方の透明の板によって形成されて
いる。もちろん、４方の透明の板によって密閉状態に保
たれた場合には、前方の透明な板は必要に応じて開閉で
きるようになっている。
また、ウェーハ１４の測定結果を示すためのブラウン管
１５がクリーンユニット６２に内蔵されている。このブ
ラウン管１５は、外光の反射を受けずに、測定者が観察
し易いように下方に傾けて内蔵されている。
１５がクリーンユニット６２に内蔵されている。このブ
ラウン管１５は、外光の反射を受けずに、測定者が観察
し易いように下方に傾けて内蔵されている。
第９図は第１〜７図に示した搬送装置の作用を示すため
の説明図である。まず、第１および第２収納ケース部２
０．２３をエレベータ３０にセットして、表面検査装置
のスタートボタンを押すと、第２図に示す初期設定の状
態になる。すなわち、両方の収納ケース部２０．２３が
最も上昇した状態でエレベータ３０の上面に配置されて
いる。この後、出発側の第１収納ケース部２０の収納段
の一段分だけ下降し、それと平行して終点側の第２収納
ケース部２３は最下方位置まで下降される。
の説明図である。まず、第１および第２収納ケース部２
０．２３をエレベータ３０にセットして、表面検査装置
のスタートボタンを押すと、第２図に示す初期設定の状
態になる。すなわち、両方の収納ケース部２０．２３が
最も上昇した状態でエレベータ３０の上面に配置されて
いる。この後、出発側の第１収納ケース部２０の収納段
の一段分だけ下降し、それと平行して終点側の第２収納
ケース部２３は最下方位置まで下降される。
しかるのち出発側の第１収納ケース部２０が一段分下が
ることに一枚のウェーハ１４が第１搬送部２１の搬送メ
ンバー２６．２７の上に設置され、それにより矢印１の
方向に搬送される。ウェーハ１４が第１被検物受台部２
９のところにきたとき、第１被検物受台部２９が矢印、
２の方向に上昇して、ウェーハ１４は第１搬送部２１か
ら第１被検物受台部２つに移される。そしてウェーハ１
４は第１被検物受台部２９に保持されてさらに矢印２の
方向に上昇する。その後チャック部１７がそのウェーハ
１４の下側に矢印３の方向から移動してきて停止する。
ることに一枚のウェーハ１４が第１搬送部２１の搬送メ
ンバー２６．２７の上に設置され、それにより矢印１の
方向に搬送される。ウェーハ１４が第１被検物受台部２
９のところにきたとき、第１被検物受台部２９が矢印、
２の方向に上昇して、ウェーハ１４は第１搬送部２１か
ら第１被検物受台部２つに移される。そしてウェーハ１
４は第１被検物受台部２９に保持されてさらに矢印２の
方向に上昇する。その後チャック部１７がそのウェーハ
１４の下側に矢印３の方向から移動してきて停止する。
しかるのち第１被検物受台部２９が矢印４の方向に下降
する。モしてウェーハ１４は第１被検物受台部２９から
チャック部１７に移され、そのチャック部１７によって
バキューム作用で固定される。そして、チせツク部１７
が回転しつつ矢印５の方向に移動し、その間に測定部１
０より所定の測定が行なわれる。チャック部１７が第２
被検物受台部４２のところにくると、チャック部１７の
バキューム作用が停止してウェーハ１４が解放状態とな
る。しかるのち第２被検物受台部４２が矢印６の方向に
上昇してチャック部１７からウェーハ１４を受けとる。
する。モしてウェーハ１４は第１被検物受台部２９から
チャック部１７に移され、そのチャック部１７によって
バキューム作用で固定される。そして、チせツク部１７
が回転しつつ矢印５の方向に移動し、その間に測定部１
０より所定の測定が行なわれる。チャック部１７が第２
被検物受台部４２のところにくると、チャック部１７の
バキューム作用が停止してウェーハ１４が解放状態とな
る。しかるのち第２被検物受台部４２が矢印６の方向に
上昇してチャック部１７からウェーハ１４を受けとる。
その後チャック部１７は矢印７．３の方向に移動する。
その間に第２被検物受台部４２は再び矢印８の方向に下
降する。かくしてつ工−ハ１４は第２被検物受台部４２
から第２搬送部２２に移され、第２搬送部２２により矢
印９の方向に搬送される。最終的に第２搬送部２２から
終点側の第２収納ケース部２３の最上段のしかるべき位
置に収納される。
降する。かくしてつ工−ハ１４は第２被検物受台部４２
から第２搬送部２２に移され、第２搬送部２２により矢
印９の方向に搬送される。最終的に第２搬送部２２から
終点側の第２収納ケース部２３の最上段のしかるべき位
置に収納される。
以上のような搬送・測定動作を各ウェーハ１４毎に繰り
返し行い、出発側の第１収納ケース部２０の各ウェーハ
１４を終点側の第２収納ケース部２３の所定の段に順次
上段から下方に向かって収納していくのである。
返し行い、出発側の第１収納ケース部２０の各ウェーハ
１４を終点側の第２収納ケース部２３の所定の段に順次
上段から下方に向かって収納していくのである。
第１図は搬送装置を備えた検査装置の概略を示すブロッ
ク図、第２図は搬送装置の概略を示す斜視図、第３図は
搬送装置のうち第１搬送部を示す概略斜視図、第４図は
搬送装置のうちチャック部の関連機構を示す概略斜視図
、第５図は被検物受台の駆動機構の一部を示す概略正面
図、第６図は搬送装置の収納ケース設置部分を拡大して
示す平面図、第７図は被検物受け台部の形式検出手段を
示す概略断面図、第８図は被検物の表面検査装置の外観
を示す概略斜視図、第９図は被検物の搬送経路を示す概
略説明図である。 １０・・・・・・測定部 ２１・・・・・・第１搬送部 ２２・・・・・・第２搬送部 ２０．２３・・・収納ケース部 １４・・・・・・被検物（ウェーハ） ３０・・・・・・エレベータ− ２９，４２・・・被検物受台部 １７・・・・・・チャック部 １３・・・・・・制御装置 １５・・・・・・ブラウン管 ６０・・・・・・検査装置本体 ６２・・・・・・クリーンユニット ６３・・・・・・クリーンスペース 第１図 第２図 第３図 第５図 第６図 第７図
ク図、第２図は搬送装置の概略を示す斜視図、第３図は
搬送装置のうち第１搬送部を示す概略斜視図、第４図は
搬送装置のうちチャック部の関連機構を示す概略斜視図
、第５図は被検物受台の駆動機構の一部を示す概略正面
図、第６図は搬送装置の収納ケース設置部分を拡大して
示す平面図、第７図は被検物受け台部の形式検出手段を
示す概略断面図、第８図は被検物の表面検査装置の外観
を示す概略斜視図、第９図は被検物の搬送経路を示す概
略説明図である。 １０・・・・・・測定部 ２１・・・・・・第１搬送部 ２２・・・・・・第２搬送部 ２０．２３・・・収納ケース部 １４・・・・・・被検物（ウェーハ） ３０・・・・・・エレベータ− ２９，４２・・・被検物受台部 １７・・・・・・チャック部 １３・・・・・・制御装置 １５・・・・・・ブラウン管 ６０・・・・・・検査装置本体 ６２・・・・・・クリーンユニット ６３・・・・・・クリーンスペース 第１図 第２図 第３図 第５図 第６図 第７図
Claims (1)
- 複数の被検物を収納するための第１および第２収納ケ
ース部と、第１収納ケース部から被検物を水平面内で移
動搬送するための第１搬送部と、第１搬送部により搬送
されてきた被検物を下方から保持して上下方向に移動さ
せるための第１被検物受台部と、第１被検物受台部によ
り上方位置に移動された被検物の下方に到来するように
移動して第１被検物受台部から被検物を受け取り固定保
持して水平面内で移動搬送させるためのチャック部と、
チャック部により移動搬送されてきた被検物が固定状態
から解放状態になったあと被検物を下方から保持して上
下方向に移動させるための第２被検物受台部と、第２被
検物受台から被検物を受け取って水平面内で移動搬送し
て第２収納ケース部に被検物を収納するための第２搬送
部とを備えた被検物の搬送装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59218297A JPH0620922B2 (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 被検物の搬送装置 |
| EP85307455A EP0186945B1 (en) | 1984-10-19 | 1985-10-16 | A transfer machine for a surface inspection apparatus |
| DE8585307455T DE3570754D1 (en) | 1984-10-19 | 1985-10-16 | A transfer machine for a surface inspection apparatus |
| US06/789,088 US4787800A (en) | 1984-10-19 | 1985-10-18 | Transfer machine in a surface inspection apparatus |
| KR1019850007708A KR900000654B1 (ko) | 1984-10-19 | 1985-10-18 | 반도체 웨이퍼 표면검사장치의 이송기구 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59218297A JPH0620922B2 (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 被検物の搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6197086A true JPS6197086A (ja) | 1986-05-15 |
| JPH0620922B2 JPH0620922B2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=16717624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59218297A Expired - Lifetime JPH0620922B2 (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 被検物の搬送装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4787800A (ja) |
| EP (1) | EP0186945B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0620922B2 (ja) |
| KR (1) | KR900000654B1 (ja) |
| DE (1) | DE3570754D1 (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3731120A1 (de) * | 1987-09-16 | 1989-03-30 | Leitz Ernst Gmbh | Universeller objekthalter fuer mikroskope |
| US5022619A (en) * | 1988-12-09 | 1991-06-11 | Tokyo Aircraft Instrument Co., Ltd. | Positioning device of table for semiconductor wafers |
| JPH0734116B2 (ja) * | 1991-05-29 | 1995-04-12 | 株式会社オーク製作所 | 自動露光装置におけるワークの位置決め方法 |
| US5498118A (en) * | 1992-02-07 | 1996-03-12 | Nikon Corporation | Apparatus for and method of carrying a substrate |
| US6473157B2 (en) * | 1992-02-07 | 2002-10-29 | Nikon Corporation | Method of manufacturing exposure apparatus and method for exposing a pattern on a mask onto a substrate |
| JPH06300697A (ja) * | 1992-04-28 | 1994-10-28 | Texas Instr Inc <Ti> | 非改質性検査プラテン |
| NL9201825A (nl) * | 1992-10-21 | 1994-05-16 | Od & Me Bv | Inrichting voor het vervaardigen van een matrijs voor een schijfvormige registratiedrager. |
| KR100291110B1 (ko) * | 1993-06-19 | 2001-06-01 | 히가시 데쓰로 | 프로우브장치 및 그것을 사용한 피검사체의 검사방법 |
| US5684654A (en) * | 1994-09-21 | 1997-11-04 | Advanced Digital Information System | Device and method for storing and retrieving data |
| US5781367A (en) * | 1995-11-13 | 1998-07-14 | Advanced Digital Information Corporation | Library for storing data-storage media |
| JPH09321102A (ja) * | 1996-05-31 | 1997-12-12 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
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| US6266574B1 (en) | 1998-04-17 | 2001-07-24 | Advanced Digital Information Corporation | Library for storing data-storage media and having a removable interface module |
| US6198984B1 (en) | 1998-04-17 | 2001-03-06 | Advanced Digital Information Corporation | Library for storing data-storage media and having an improved media transporter |
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| USD432541S (en) | 1999-11-01 | 2000-10-24 | Advanced Digital Information Corporation | Data-storage library front door |
| JP4818767B2 (ja) * | 2006-03-22 | 2011-11-16 | 株式会社メガトレード | 外観検査装置 |
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Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6041045U (ja) * | 1983-08-26 | 1985-03-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体ウエハプロ−バ |
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| US4402613A (en) * | 1979-03-29 | 1983-09-06 | Advanced Semiconductor Materials America | Surface inspection system |
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| JPS576307A (en) * | 1980-06-13 | 1982-01-13 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | Method and apparatus of surface failure inspection of circular member |
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| DE3219502C2 (de) * | 1982-05-25 | 1990-04-19 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Vorrichtung zum automatischen Transport scheibenförmiger Objekte |
| US4558984A (en) * | 1984-05-18 | 1985-12-17 | Varian Associates, Inc. | Wafer lifting and holding apparatus |
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-
1984
- 1984-10-19 JP JP59218297A patent/JPH0620922B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1985
- 1985-10-16 DE DE8585307455T patent/DE3570754D1/de not_active Expired
- 1985-10-16 EP EP85307455A patent/EP0186945B1/en not_active Expired
- 1985-10-18 US US06/789,088 patent/US4787800A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-10-18 KR KR1019850007708A patent/KR900000654B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6041045U (ja) * | 1983-08-26 | 1985-03-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体ウエハプロ−バ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR860003495A (ko) | 1986-05-26 |
| JPH0620922B2 (ja) | 1994-03-23 |
| EP0186945B1 (en) | 1989-05-31 |
| US4787800A (en) | 1988-11-29 |
| KR900000654B1 (ko) | 1990-02-02 |
| DE3570754D1 (en) | 1989-07-06 |
| EP0186945A1 (en) | 1986-07-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |