JPS6197555A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
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- JPS6197555A JPS6197555A JP21829884A JP21829884A JPS6197555A JP S6197555 A JPS6197555 A JP S6197555A JP 21829884 A JP21829884 A JP 21829884A JP 21829884 A JP21829884 A JP 21829884A JP S6197555 A JPS6197555 A JP S6197555A
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- JP
- Japan
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- section
- clean
- wafer
- test object
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- Granted
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L1/00—Enclosures; Chambers
- B01L1/04—Dust-free rooms or enclosures
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Clinical Laboratory Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
２業上の１
この発明はウェーハなどの被検物の表面の傷やゴミなど
を検査するための表面検査装置に関するものである。
を検査するための表面検査装置に関するものである。
従」ヒプ退」Ｌ
従来、ウェーハなどの被検物（以下単にウェーハを例に
とって説明する）の表面にレーザービームを照射して、
この反射ビームを検出することによりウェーハの表面の
傷やゴミなどを検査する表面検査装置はよく知られてい
る。
とって説明する）の表面にレーザービームを照射して、
この反射ビームを検出することによりウェーハの表面の
傷やゴミなどを検査する表面検査装置はよく知られてい
る。
この種の表面検査装置においては、多数のウェーハを予
めキャリヤやカセットなどの収納ケース部にセットして
おき、収納ケース部から各ウェーハを順次取りだして、
チャック部でウェーハを固定した状態のまま、ウェーハ
を順次検査装置本体の測定部に搬送していき、ウェーハ
を回転させつつ水平面内で移動させ、その際に測定部で
ウェーハの表面検査を行い、そのように検査されたウェ
ーハを順次別の収納ケース部に搬送して収納するように
なっていた。
めキャリヤやカセットなどの収納ケース部にセットして
おき、収納ケース部から各ウェーハを順次取りだして、
チャック部でウェーハを固定した状態のまま、ウェーハ
を順次検査装置本体の測定部に搬送していき、ウェーハ
を回転させつつ水平面内で移動させ、その際に測定部で
ウェーハの表面検査を行い、そのように検査されたウェ
ーハを順次別の収納ケース部に搬送して収納するように
なっていた。
ロが ”しょへと ろり
ところが、そのような検査装置は高レベルの完全なりリ
ーンルームに設置することを必須としていた。しかし、
ウェーハの枚数が著しく増大するとともに、ウェーハの
寸法も大きくなる傾向が強くなってきたため、高レベル
のクリーンルームでなくても使用できる表面検査装置が
要望されるようになってきた。
ーンルームに設置することを必須としていた。しかし、
ウェーハの枚数が著しく増大するとともに、ウェーハの
寸法も大きくなる傾向が強くなってきたため、高レベル
のクリーンルームでなくても使用できる表面検査装置が
要望されるようになってきた。
また、各ウェーハの測定検査結果を表示するブラウン管
等の表示器の設置場所が問題になっている。
等の表示器の設置場所が問題になっている。
Ｒヱ目と１カー
この発明の目的はこのような実情を勘案して、一般的な
りリーンルームにおいても検査装置の測定部を十分にク
リーンに保持して使用でき、しかもブラウン管を巧みに
配置した表面検査装置を提供することにある。
りリーンルームにおいても検査装置の測定部を十分にク
リーンに保持して使用でき、しかもブラウン管を巧みに
配置した表面検査装置を提供することにある。
発ＪレユＩ」１
この発明の要旨とするところは、被検物の表面にレーザ
光を照射して、その反射光により被検物表面を自動的に
測定するための表面検査装置において、検査装置本体の
測定部にクリーンスペースを形成し、そのクリーンスペ
ースの真上にクリーンユニットを設け、そのクリーンユ
ニットに測定結果を表示する表示器を設けたことを特徴
とする表面検査装置にある。
光を照射して、その反射光により被検物表面を自動的に
測定するための表面検査装置において、検査装置本体の
測定部にクリーンスペースを形成し、そのクリーンスペ
ースの真上にクリーンユニットを設け、そのクリーンユ
ニットに測定結果を表示する表示器を設けたことを特徴
とする表面検査装置にある。
宜」１１
第１図は、搬送装置を備えていて、それによりウェーハ
等の被検物（以下単にウェーハを例にとって説明する）
を搬送して、その途中で検査するための検査装置の概略
を示している。
等の被検物（以下単にウェーハを例にとって説明する）
を搬送して、その途中で検査するための検査装置の概略
を示している。
検査装置の測定部１０は周知のように光源１１からレー
ザをウェーハ１４に照射して表面の異常によって生ずる
散乱反射光をフォトマルチプライヤ−管などの光電変換
素子１２により受光して電気的信号として取り出し、そ
の電気信号を制御装置１３に送り、そこで所定のデータ
処理をして、ウェーハ１４の表面上の傷、ゴミ、よごれ
などを計測してブラウン管（ＣＲＴ＞１５などの表示器
やプリンター１６に出力するようになっている。
ザをウェーハ１４に照射して表面の異常によって生ずる
散乱反射光をフォトマルチプライヤ−管などの光電変換
素子１２により受光して電気的信号として取り出し、そ
の電気信号を制御装置１３に送り、そこで所定のデータ
処理をして、ウェーハ１４の表面上の傷、ゴミ、よごれ
などを計測してブラウン管（ＣＲＴ＞１５などの表示器
やプリンター１６に出力するようになっている。
ウェーハ１４は第１図の測定状態のときにはターンテー
ブル式のチャック部１７にバキュウム作用によって固定
されている。チャック部１７のバキュウム穴１７ａはバ
キュウム源１８に接続されており、必要に応じてウェー
ハ１４をバキュウムにより固定保持できるようになって
いる。
ブル式のチャック部１７にバキュウム作用によって固定
されている。チャック部１７のバキュウム穴１７ａはバ
キュウム源１８に接続されており、必要に応じてウェー
ハ１４をバキュウムにより固定保持できるようになって
いる。
第１収納ケース部２０と第２収納ケース部２３がそれぞ
れ出発側と終点側に設けられていて、多数のウェーハ１
４が第１収納ケース部２０に収納されており、その収納
ケース部２ｏから１枚ずつウェーハ１４を水平面内で第
１搬送部２１により搬送するようになっている。そして
、各ウェーハ１４は後述の第１被検物受台部２９を介し
てチャック部１７に移され、そこにバキュウムにより固
定保持される。チャック部１７は測定部１０を通過して
反対側の第２搬送部２２に後述の第２被検物受台部４２
を介して移される。この第２搬送部２２により搬送され
て各ウェーハ１４は第２収納ケース部２３に順次収納さ
れる。
れ出発側と終点側に設けられていて、多数のウェーハ１
４が第１収納ケース部２０に収納されており、その収納
ケース部２ｏから１枚ずつウェーハ１４を水平面内で第
１搬送部２１により搬送するようになっている。そして
、各ウェーハ１４は後述の第１被検物受台部２９を介し
てチャック部１７に移され、そこにバキュウムにより固
定保持される。チャック部１７は測定部１０を通過して
反対側の第２搬送部２２に後述の第２被検物受台部４２
を介して移される。この第２搬送部２２により搬送され
て各ウェーハ１４は第２収納ケース部２３に順次収納さ
れる。
第２図と第３図に詳細に示しであるように、第１搬送部
２１はフレーム２５の両側にそれぞれ柔軟なエンドレス
状の搬送メンバー２６．２７によりコンベヤの形になっ
ており、搬送メンバー２６．２７でウェーハ１４の周縁
部を支持して、第１収納ケース部２０から第１被検物受
台部２９にウェーハ１４を搬送するようになっている。
２１はフレーム２５の両側にそれぞれ柔軟なエンドレス
状の搬送メンバー２６．２７によりコンベヤの形になっ
ており、搬送メンバー２６．２７でウェーハ１４の周縁
部を支持して、第１収納ケース部２０から第１被検物受
台部２９にウェーハ１４を搬送するようになっている。
搬送メンバー２６．２７の駆動力はベルト２８を介して
モータ１９から伝達される。
モータ１９から伝達される。
エレベータ３０は搬送メンバー２６．２７の一端側に配
置してあり、その上の所定位置に第１収納ケース部２０
が着脱自在にセットできるようになっている。エレベー
タ−３０の上部は全体がほぼＨ形状をしており、その上
面にセットした第１収納ケース部２０を上下方向に所定
の量だけ移動させることができる。このエレベータ−３
０にはメネジ部（図示せず）が形成してあり、それが垂
直のネジ棒３１と係合しており、さらにそのネジ棒３１
は歯車３２を介してモータ３３側のギアに接続されてい
る。つまり、モータ３３の駆動力がネジ棒３１に伝えら
れて、エレベータ−３０を上下方向に移動させるように
なっている。
置してあり、その上の所定位置に第１収納ケース部２０
が着脱自在にセットできるようになっている。エレベー
タ−３０の上部は全体がほぼＨ形状をしており、その上
面にセットした第１収納ケース部２０を上下方向に所定
の量だけ移動させることができる。このエレベータ−３
０にはメネジ部（図示せず）が形成してあり、それが垂
直のネジ棒３１と係合しており、さらにそのネジ棒３１
は歯車３２を介してモータ３３側のギアに接続されてい
る。つまり、モータ３３の駆動力がネジ棒３１に伝えら
れて、エレベータ−３０を上下方向に移動させるように
なっている。
他方、第１搬送部２１の搬送メンバー２６．２７の他端
側には第１被検物受台部２９が設けである。この第１被
検物受台部２９の中心部には円形の穴が形成されており
、その穴の縁にウェーハの大きさに対応した大きさをも
つ段付き形状の受部２９ａが形成されている。
側には第１被検物受台部２９が設けである。この第１被
検物受台部２９の中心部には円形の穴が形成されており
、その穴の縁にウェーハの大きさに対応した大きさをも
つ段付き形状の受部２９ａが形成されている。
この段付き形状の受部２９ａは、搬送メンバー２６によ
り搬送されるウェーハ１４を定まった位置に支持すると
ともに、後述するチャック部１７に接合されているシャ
フト４５が干渉しない形状に構成される。ウェーハ１４
の周縁部はその受部２９ａに入って支持されるようにな
っている。
り搬送されるウェーハ１４を定まった位置に支持すると
ともに、後述するチャック部１７に接合されているシャ
フト４５が干渉しない形状に構成される。ウェーハ１４
の周縁部はその受部２９ａに入って支持されるようにな
っている。
この第１被検物受台部２９は、測定をするウェーハの太
き今に対応して交換可能になっており、ウェーハが大型
の場合には、点線Ｎで示す大きざの受台を有する受台部
が取付けられる。
き今に対応して交換可能になっており、ウェーハが大型
の場合には、点線Ｎで示す大きざの受台を有する受台部
が取付けられる。
第２搬送部２２の側にも前述の第１搬送部２１と同様の
搬送機構が備えらへており、同じ参照符号を付してその
説明は省略する。
搬送機構が備えらへており、同じ参照符号を付してその
説明は省略する。
第４図及び５図に示されているように、第１被検物受台
部２９は垂直に配置した２本の連結棒３５の上端にナツ
ト３６により着脱可能に固定されている。これらの連結
棒３５はガイド３７によりガイドされつつ上下に移動可
能となっている。連結棒３５の下端は第５図に示すよう
に平板状の従動体３８に固定されている。モータ３９の
回転軸４０が偏心カム４１に固定されており、その偏心
カム４１が前述の従動体３８と係合している。そのため
、モータ３９の回転に応じて偏心カム４１の作用によっ
て連結棒３５と第１被検物受は台部２９が一緒に上下方
向に移動可能となっている。
部２９は垂直に配置した２本の連結棒３５の上端にナツ
ト３６により着脱可能に固定されている。これらの連結
棒３５はガイド３７によりガイドされつつ上下に移動可
能となっている。連結棒３５の下端は第５図に示すよう
に平板状の従動体３８に固定されている。モータ３９の
回転軸４０が偏心カム４１に固定されており、その偏心
カム４１が前述の従動体３８と係合している。そのため
、モータ３９の回転に応じて偏心カム４１の作用によっ
て連結棒３５と第１被検物受は台部２９が一緒に上下方
向に移動可能となっている。
第２被検物受台部４２は前述の第１被検物２９と同様の
上下移動機構を有しているので、同じ参照符号を符して
、その説明は省略する。
上下移動機構を有しているので、同じ参照符号を符して
、その説明は省略する。
測定部１０の作動機構について詳細に説明すると、テー
ブル式のチャック部１７の中心にバキュウム穴１７ａが
形成されており、このバキュウム穴１７ａが前述のよう
にバキュウム源１８に接続されている。チャック部１７
はモータ４６のシャフト４５に結合されており、モータ
４６に隣接してエンコーダ４７が設けである。このよう
な構成によりモータ−４６の回転力がチ１７ツク部１７
に伝達されて所定の速度で回転するようになっている。
ブル式のチャック部１７の中心にバキュウム穴１７ａが
形成されており、このバキュウム穴１７ａが前述のよう
にバキュウム源１８に接続されている。チャック部１７
はモータ４６のシャフト４５に結合されており、モータ
４６に隣接してエンコーダ４７が設けである。このよう
な構成によりモータ−４６の回転力がチ１７ツク部１７
に伝達されて所定の速度で回転するようになっている。
チャック部１７やモータ４６その他はフレーム５２にユ
ニットとして固定されていて、全体的にガイドレール５
０．５１に沿って第４図において左右方向に移動可能と
なっている。
ニットとして固定されていて、全体的にガイドレール５
０．５１に沿って第４図において左右方向に移動可能と
なっている。
横方向に配置したネジ棒５３がフレーム５２側のメネジ
部（図示せず）とネジ係合しており、そのネジ棒５３は
ベルト５４を介してモータ５５によって回転されるよう
になっている。
部（図示せず）とネジ係合しており、そのネジ棒５３は
ベルト５４を介してモータ５５によって回転されるよう
になっている。
なお、本実施例ではチャック部１７は、ウェーハを回転
させながら同時に水平面内で搬送するように構成してい
るが、ウェーハに照射するレーザ光をスキャンさせるよ
うに構成すれば、チャック部１７は回転させる必要はな
い。
させながら同時に水平面内で搬送するように構成してい
るが、ウェーハに照射するレーザ光をスキャンさせるよ
うに構成すれば、チャック部１７は回転させる必要はな
い。
第２図と第６図に示すように、第１搬送部２１と第２搬
送部２２の特にエレベータ−３０の収納ケース設置部分
には、収納ケース部用の形状検出手段が設けである。す
なわち、エレベータ−３０の収納ケース設置部分の上面
に３つの穴３０ａ 、３０ｂ 、３０Ｃを形成し、それ
ぞれの穴３０ａ １３０ｂ １３０ｃにマイクロスイッ
チ５０を設定して、そこにセットされる第１収納ケース
部２０の形状（とくに寸法を検出できるようにしである
。例えば３種類の収納ケース部２０が使用される場合、
大型のものをセットしたとき外側の穴３０ａに設けたマ
イクロスイッチ５０が作動し、中型のものがセットされ
たときは中側の穴３０ｂのマイクロスイッチ５０が作動
し、小型のものがセットされたときは内側の穴３０Ｇの
マイクロスイッチ５０が作動するようになっている。こ
れらのマイクロスイッチ５０は前述の制御装置１３（第
１図）に電気的に接続されている。
送部２２の特にエレベータ−３０の収納ケース設置部分
には、収納ケース部用の形状検出手段が設けである。す
なわち、エレベータ−３０の収納ケース設置部分の上面
に３つの穴３０ａ 、３０ｂ 、３０Ｃを形成し、それ
ぞれの穴３０ａ １３０ｂ １３０ｃにマイクロスイッ
チ５０を設定して、そこにセットされる第１収納ケース
部２０の形状（とくに寸法を検出できるようにしである
。例えば３種類の収納ケース部２０が使用される場合、
大型のものをセットしたとき外側の穴３０ａに設けたマ
イクロスイッチ５０が作動し、中型のものがセットされ
たときは中側の穴３０ｂのマイクロスイッチ５０が作動
し、小型のものがセットされたときは内側の穴３０Ｇの
マイクロスイッチ５０が作動するようになっている。こ
れらのマイクロスイッチ５０は前述の制御装置１３（第
１図）に電気的に接続されている。
また、第１被検物受台部２９と第２被検物受台部４２に
も、その形状、とくに受部２９ａ１４２ａの寸法を検出
するための手段が設けられている。すなわち、第７図に
示すように、これらの被検物受台部２９．４２の裏面に
それぞれ３つの穴２９ｂ （図には１つのみを示しであ
るが実際には３つある）を形成して、それに対応してマ
イクロスイッチ５２が設定しである。３つのマイクロス
イッチ５２のうち、どのマイクロスイッチ５２が作動す
るかにより、実際に装着された第１被検物受台部２９と
第２被検物４２の形状を検出するようになっているので
ある。これらのマイクロスイッチ５２も制御装置１３に
接続されている。
も、その形状、とくに受部２９ａ１４２ａの寸法を検出
するための手段が設けられている。すなわち、第７図に
示すように、これらの被検物受台部２９．４２の裏面に
それぞれ３つの穴２９ｂ （図には１つのみを示しであ
るが実際には３つある）を形成して、それに対応してマ
イクロスイッチ５２が設定しである。３つのマイクロス
イッチ５２のうち、どのマイクロスイッチ５２が作動す
るかにより、実際に装着された第１被検物受台部２９と
第２被検物４２の形状を検出するようになっているので
ある。これらのマイクロスイッチ５２も制御装置１３に
接続されている。
第１および第２収納ケース部２０．２３と第１および第
２被検物受台部２９．４２の形状が一致したときにのみ
、検査装置全体が作動可能となるように予め制御装置１
３（第１図）が設定しである。
２被検物受台部２９．４２の形状が一致したときにのみ
、検査装置全体が作動可能となるように予め制御装置１
３（第１図）が設定しである。
第８図は前述のような搬送装置を備えた表面検査装置の
外観の一例を示している。表面検査装置の下方部に検査
装置本体６０が配置してあり、その検査装置本体６０の
内部に制御装置１３、プリンタ１６、その他の主要な部
材が配置しである。検査装置本体６０の上部にはエレベ
ータ３０、第１搬送部２１、第２搬送部２２、チャック
部１７などが配置してあり、そのチャック部１７のとこ
ろに前述のカバ一部６５によりカバーされた測定部１０
が配置しであるのである。この測定部１０の上部ににク
リーンユニット６２が設けである。クリーンユニット６
２と検査装置本体６０との間に狭小なりリーンスペース
６３が形成しである。測定部１０はそのクリーンスベ−
ス６３の中に配置してあり、測定部１０が極めてクリー
ンな状態で使用できるようになっている。クリーンユニ
ット６２はクリーンスペース６３内の空気をきれいにす
るための周知の空気清浄機構を備えており、清浄な空気
を下方に送る。カバ一部６５は、測定部１０に有害な外
光が混入しないように、かつ上方からの空気によりクリ
ーンスペース６３内に測定の支障となる乱気流が起きな
いような形状に構成されている。クリーンスペース６３
は３方あるいは４方の透明の板によって形成されている
。もちろん、４方の透明の板によって密閉状態に保たれ
た場合には、前方の透明な板は必要に応じて開閉できる
ようになっている。
外観の一例を示している。表面検査装置の下方部に検査
装置本体６０が配置してあり、その検査装置本体６０の
内部に制御装置１３、プリンタ１６、その他の主要な部
材が配置しである。検査装置本体６０の上部にはエレベ
ータ３０、第１搬送部２１、第２搬送部２２、チャック
部１７などが配置してあり、そのチャック部１７のとこ
ろに前述のカバ一部６５によりカバーされた測定部１０
が配置しであるのである。この測定部１０の上部ににク
リーンユニット６２が設けである。クリーンユニット６
２と検査装置本体６０との間に狭小なりリーンスペース
６３が形成しである。測定部１０はそのクリーンスベ−
ス６３の中に配置してあり、測定部１０が極めてクリー
ンな状態で使用できるようになっている。クリーンユニ
ット６２はクリーンスペース６３内の空気をきれいにす
るための周知の空気清浄機構を備えており、清浄な空気
を下方に送る。カバ一部６５は、測定部１０に有害な外
光が混入しないように、かつ上方からの空気によりクリ
ーンスペース６３内に測定の支障となる乱気流が起きな
いような形状に構成されている。クリーンスペース６３
は３方あるいは４方の透明の板によって形成されている
。もちろん、４方の透明の板によって密閉状態に保たれ
た場合には、前方の透明な板は必要に応じて開閉できる
ようになっている。
また、ウェーハ１４の測定結果を示すためのブラウン管
１５がクリーンユニット６２に内蔵されている。このブ
ラウン管１５は、外光の反射を受けずに、測定者が観察
し易いように下方に傾けて内蔵されている。
１５がクリーンユニット６２に内蔵されている。このブ
ラウン管１５は、外光の反射を受けずに、測定者が観察
し易いように下方に傾けて内蔵されている。
第９図は第１〜７図に示した搬送装置の作用を示すため
の説明図である。まず、第１および第２収納ケース部２
．０，２３をエレベータ３０にセットして、表面検査装
置のスタートボタンを押すと、第２図に示す初期設定の
状態になる。すなわち、両方の収納ケース部２０．２３
が最も上昇した状態でエレベータ３０の上面に配置され
ている。この後、出発側の第１収納ケース部２ｏの収納
段の一段分だけ下降し、それと平行して終点側の第２収
納ケース部２３は最下方位置まで下降される。
の説明図である。まず、第１および第２収納ケース部２
．０，２３をエレベータ３０にセットして、表面検査装
置のスタートボタンを押すと、第２図に示す初期設定の
状態になる。すなわち、両方の収納ケース部２０．２３
が最も上昇した状態でエレベータ３０の上面に配置され
ている。この後、出発側の第１収納ケース部２ｏの収納
段の一段分だけ下降し、それと平行して終点側の第２収
納ケース部２３は最下方位置まで下降される。
しかるのち出発側の第１収納ケース部２０が一段分下が
ることに一枚のウェーハ１４が第１搬送部２１の搬送メ
ンバー２６．２７の上に設置され、それにより矢印１の
方向に搬送される。ウェーハ１４が第１被検物受台部２
９のところにきたとき、第１被検物受台部２９が矢印２
の方向に上昇して、ウェーハ１４は第１搬送部２１から
第１被検物受台部２９に移される。そしてウェーハ１４
は第１被検物受台部２９に保持されてさらに矢印２の方
向に上昇する。その後チャック部１７がそのウェーハ１
４の下側に矢印３の方向から移動してきて停止する。し
かるのち第１被検物受台部２９が矢印４の方向に下降す
る。モしてウェーハ１４は第１被検物受台部２９からチ
ャック部１７に移され、そのチャック部１７によってバ
キューム作用で固定される。そして、チャック部１７が
回転しつつ矢印５の方向に移動し、その間に測定部１０
より所定の測定が行なわれる。チャック部１７が第２被
検物受台部４２のところにくると、チャック部１７のバ
キューム作用が停止してウェーハ１４が解放状態となる
。しかるのち第２被検物受台部４２が矢印６の方向に上
昇してチャック部１７からウェーハ１４を受けとる。
ることに一枚のウェーハ１４が第１搬送部２１の搬送メ
ンバー２６．２７の上に設置され、それにより矢印１の
方向に搬送される。ウェーハ１４が第１被検物受台部２
９のところにきたとき、第１被検物受台部２９が矢印２
の方向に上昇して、ウェーハ１４は第１搬送部２１から
第１被検物受台部２９に移される。そしてウェーハ１４
は第１被検物受台部２９に保持されてさらに矢印２の方
向に上昇する。その後チャック部１７がそのウェーハ１
４の下側に矢印３の方向から移動してきて停止する。し
かるのち第１被検物受台部２９が矢印４の方向に下降す
る。モしてウェーハ１４は第１被検物受台部２９からチ
ャック部１７に移され、そのチャック部１７によってバ
キューム作用で固定される。そして、チャック部１７が
回転しつつ矢印５の方向に移動し、その間に測定部１０
より所定の測定が行なわれる。チャック部１７が第２被
検物受台部４２のところにくると、チャック部１７のバ
キューム作用が停止してウェーハ１４が解放状態となる
。しかるのち第２被検物受台部４２が矢印６の方向に上
昇してチャック部１７からウェーハ１４を受けとる。
その後チャック部１７は矢印７．３の方向に移動する。
その間に第２被検物受台部４２は再び矢印８の方向に下
降する。かくしてつ工−ハ１４は第２被検物受台部４２
から第２搬送部２２に移され、第２搬送部２２により矢
印９の方向に搬送される。最終的に第２搬送部２２から
終点側の第２収納ケース部２３の最上段のしかるべき位
置に収納される。
降する。かくしてつ工−ハ１４は第２被検物受台部４２
から第２搬送部２２に移され、第２搬送部２２により矢
印９の方向に搬送される。最終的に第２搬送部２２から
終点側の第２収納ケース部２３の最上段のしかるべき位
置に収納される。
以上のような搬送・測定動作を各ウェーハ１４毎に繰り
返し行い、出発側の第１収納ケース部２０の各ウェーハ
１４を終点側の第２収納ケース部２３の所定の段に順次
上段から下方に向かって収納していくのである。
返し行い、出発側の第１収納ケース部２０の各ウェーハ
１４を終点側の第２収納ケース部２３の所定の段に順次
上段から下方に向かって収納していくのである。
第１図は搬送装置を備えた検査装置の概略を示すブロッ
ク図、第２図は搬送装置の概略を示す斜視図、第３図は
搬送装置のうち第１搬送部を示す概略斜視図、第４図は
搬送装置のうちチャック部の関連機構を示す概略斜視図
、第５図は被検物受台の駆動機構の一部を示す概略正面
図、第６図は搬送装置の収納ケース設置部分を拡大して
示す平面図、第７図は被検物受は台部の形式検出手段を
示す概略断面図、第８図は被検物の表面検査装置の外観
を示す概略斜視図、第９図は被検物の搬送経路を示す概
略説明図である。 １０・・・・・・測定部 ２１・・・・・・第１搬送部 ２２・・・・・・第２搬送部 ２０．２３・二・収納ケース部 １４・・・・・・被検物（ウェーハ） ３０・・・・・・エレベータ− ２９，４２・・・被検物受台部 １７・・・・・・チャック部 １３・・・・・・制御装置 １５・・・・・・ブラウン管 ６０・・・・・・検査装置本体 ６２・・・・・・クリーンユニット ６３・・・・・・クリーンスペース 手続補正書（自発） 昭和５９年／７月 ど日
ク図、第２図は搬送装置の概略を示す斜視図、第３図は
搬送装置のうち第１搬送部を示す概略斜視図、第４図は
搬送装置のうちチャック部の関連機構を示す概略斜視図
、第５図は被検物受台の駆動機構の一部を示す概略正面
図、第６図は搬送装置の収納ケース設置部分を拡大して
示す平面図、第７図は被検物受は台部の形式検出手段を
示す概略断面図、第８図は被検物の表面検査装置の外観
を示す概略斜視図、第９図は被検物の搬送経路を示す概
略説明図である。 １０・・・・・・測定部 ２１・・・・・・第１搬送部 ２２・・・・・・第２搬送部 ２０．２３・二・収納ケース部 １４・・・・・・被検物（ウェーハ） ３０・・・・・・エレベータ− ２９，４２・・・被検物受台部 １７・・・・・・チャック部 １３・・・・・・制御装置 １５・・・・・・ブラウン管 ６０・・・・・・検査装置本体 ６２・・・・・・クリーンユニット ６３・・・・・・クリーンスペース 手続補正書（自発） 昭和５９年／７月 ど日
Claims (1)
- 被検物の表面にレーザ光を照射して、その反射光により
被検物表面を自動的に測定するための表面検査装置にお
いて、検査装置本体の測定部にクリーンスペースを形成
し、そのクリーンスペース上部にクリーンユニットを設
け、そのクリーンユニットに測定結果を表示する表示器
を設けたことを特徴とする表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21829884A JPS6197555A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21829884A JPS6197555A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6197555A true JPS6197555A (ja) | 1986-05-16 |
| JPH0449907B2 JPH0449907B2 (ja) | 1992-08-12 |
Family
ID=16717641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21829884A Granted JPS6197555A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6197555A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6796362B2 (en) | 2000-06-01 | 2004-09-28 | Brunswick Corporation | Apparatus for producing a metallic slurry material for use in semi-solid forming of shaped parts |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5218665U (ja) * | 1975-07-25 | 1977-02-09 | ||
| JPS57120936A (en) * | 1981-01-21 | 1982-07-28 | Hitachi Ltd | Step and repeat camera device |
| JPS58146805A (ja) * | 1982-02-24 | 1983-09-01 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 平面度測定装置 |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP21829884A patent/JPS6197555A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5218665U (ja) * | 1975-07-25 | 1977-02-09 | ||
| JPS57120936A (en) * | 1981-01-21 | 1982-07-28 | Hitachi Ltd | Step and repeat camera device |
| JPS58146805A (ja) * | 1982-02-24 | 1983-09-01 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 平面度測定装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6796362B2 (en) | 2000-06-01 | 2004-09-28 | Brunswick Corporation | Apparatus for producing a metallic slurry material for use in semi-solid forming of shaped parts |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0449907B2 (ja) | 1992-08-12 |
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