JPS6041045U - 半導体ウエハプロ−バ - Google Patents

半導体ウエハプロ−バ

Info

Publication number
JPS6041045U
JPS6041045U JP13253883U JP13253883U JPS6041045U JP S6041045 U JPS6041045 U JP S6041045U JP 13253883 U JP13253883 U JP 13253883U JP 13253883 U JP13253883 U JP 13253883U JP S6041045 U JPS6041045 U JP S6041045U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor wafer
wafer prober
prober
wafer
supply
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13253883U
Other languages
English (en)
Inventor
準一 井上
Original Assignee
東京エレクトロン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 東京エレクトロン株式会社 filed Critical 東京エレクトロン株式会社
Priority to JP13253883U priority Critical patent/JPS6041045U/ja
Publication of JPS6041045U publication Critical patent/JPS6041045U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａ、　ｂおよび第２図ａ、　ｂはこの考案の半導
体ウエハプローパの配置構造を示す平面図および正面図
、第３図および第４図は本考案の他の実施例を示す平面
図および正面図、第５図は本考案に用いられる半導体ウ
エハプローバのブロック図、第６図は、従来の半導体ウ
エハプローバの配置構造からなるクリーンルームを示す
見取図、第７図は本考案の半導体ウエハプローバの配置
構造の一実施例からなるクリーンルームを示す見取図で
ある。 １・・・ウェハカセット、２・・・ウェハ、３・・・ウ
ェハ供給装置、４・・・ヘッドプレート、５・・・載置
台、６・・・半導体ウエハプローバ、７・・・アングル
、８・・・デスク、９．１０・・・クリーンルーム。 第３図 第６図

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　ウェハ供給収納機構を有する半導体ウエハプローパ
    において、ウェハ供給収納機構が半導体ウエハプローバ
    のいずれの側に配置したウェハ供給装置に対しても応対
    可能であることを特徴とする半導体ウエハプローバ。 ２　半導体ウエハプローバとウェハ供給装置とを多段に
    積み重ねてなる実用新案登録請求の範囲第１項記載の半
    導体ウエハプローバ。
JP13253883U 1983-08-26 1983-08-26 半導体ウエハプロ−バ Pending JPS6041045U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13253883U JPS6041045U (ja) 1983-08-26 1983-08-26 半導体ウエハプロ−バ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13253883U JPS6041045U (ja) 1983-08-26 1983-08-26 半導体ウエハプロ−バ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6041045U true JPS6041045U (ja) 1985-03-23

Family

ID=30299271

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13253883U Pending JPS6041045U (ja) 1983-08-26 1983-08-26 半導体ウエハプロ−バ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6041045U (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6197086A (ja) * 1984-10-19 1986-05-15 株式会社東芝 被検物の搬送装置
JPS6355948A (ja) * 1986-08-26 1988-03-10 Tokyo Electron Ltd プロ−ブ装置
JPS6370432A (ja) * 1986-09-11 1988-03-30 Tokyo Electron Ltd プロ−ブ装置
JPS63129640A (ja) * 1986-11-20 1988-06-02 Tokyo Electron Ltd プロ−ブ装置
JPH01241840A (ja) * 1988-03-24 1989-09-26 Canon Inc 基板処理装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6197086A (ja) * 1984-10-19 1986-05-15 株式会社東芝 被検物の搬送装置
JPS6355948A (ja) * 1986-08-26 1988-03-10 Tokyo Electron Ltd プロ−ブ装置
JPS6370432A (ja) * 1986-09-11 1988-03-30 Tokyo Electron Ltd プロ−ブ装置
JPS63129640A (ja) * 1986-11-20 1988-06-02 Tokyo Electron Ltd プロ−ブ装置
JPH01241840A (ja) * 1988-03-24 1989-09-26 Canon Inc 基板処理装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6041045U (ja) 半導体ウエハプロ−バ
JPS58165789U (ja) 磁気テ−プカセツト
JPS6093406U (ja) 器具装着用取付レ−ル
JPS58180643U (ja) 半導体装置のパツケ−ジ
JPS5958957U (ja) 太陽電池装置
JPS5910185U (ja) カセツトテ−プ
JPS58135957U (ja) 半導体装置
JPS58124562U (ja) 流し台
JPS5812938U (ja) 半導体ウエ−ハ
JPS60151143U (ja) 半導体用リ−ドフレ−ム
JPS6016547U (ja) ３端子半導体素子の取付装置
JPS58118573U (ja) フロツピ−デイスク装置
JPS6112298U (ja) 半導体素子用トレ−
JPS587731U (ja) パ−ツ移送装置
JPS59107192U (ja) 回路ブロツクの放熱構造
JPS59169047U (ja) 集積回路素子
JPS6061887U (ja) 小型スピ−カ−
JPS6058039U (ja) 組み合わせ家具
JPS60173936U (ja) カメラスタンド
JPS6094832U (ja) 半導体素子
JPS59159351U (ja) レコ−ド収納キヤビネツト
JPS58120661U (ja) 半導体装置
JPS59173332U (ja) シリコンウエハ−カセツト用ハンドラ
JPS60101755U (ja) 半導体装置
JPS5965550U (ja) リ−ドフレ−ム