JPS5812938U - 半導体ウエ−ハ - Google Patents

半導体ウエ−ハ

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Publication number
JPS5812938U
JPS5812938U JP10789781U JP10789781U JPS5812938U JP S5812938 U JPS5812938 U JP S5812938U JP 10789781 U JP10789781 U JP 10789781U JP 10789781 U JP10789781 U JP 10789781U JP S5812938 U JPS5812938 U JP S5812938U
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JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor wafer
recorded
utility
predetermined locations
scope
Prior art date
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Pending
Application number
JP10789781U
Other languages
English (en)
Inventor
伊藤　修三
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 filed Critical 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
Priority to JP10789781U priority Critical patent/JPS5812938U/ja
Publication of JPS5812938U publication Critical patent/JPS5812938U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の半導体ウェーハの平面図、第２図はこの
考案の一実施例の半導体ウェーハの平面図である。 １０・・・・・・半導体ウェーハ、１１・・・・・・半
導体装置領域、１２ａ〜１２ｄ・・・・・・所定個所。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 一部所定個所に処理条件を表示する記号を形成してなる
    半導体ウェーハ。
JP10789781U 1981-07-20 1981-07-20 半導体ウエ−ハ Pending JPS5812938U (ja)

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JP10789781U JPS5812938U (ja) 1981-07-20 1981-07-20 半導体ウエ−ハ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10789781U JPS5812938U (ja) 1981-07-20 1981-07-20 半導体ウエ−ハ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5812938U true JPS5812938U (ja) 1983-01-27

Family

ID=29902322

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10789781U Pending JPS5812938U (ja) 1981-07-20 1981-07-20 半導体ウエ−ハ

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JP (1) JPS5812938U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01170013A (ja) * 1987-12-25 1989-07-05 Teru Kyushu Kk 被処理体の処理方法及び処理装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5311958B2 (ja) * 1974-02-08 1978-04-25

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5311958B2 (ja) * 1974-02-08 1978-04-25

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01170013A (ja) * 1987-12-25 1989-07-05 Teru Kyushu Kk 被処理体の処理方法及び処理装置

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