JPS59173332U - シリコンウエハ−カセツト用ハンドラ - Google Patents
シリコンウエハ−カセツト用ハンドラInfo
- Publication number
- JPS59173332U JPS59173332U JP6880883U JP6880883U JPS59173332U JP S59173332 U JPS59173332 U JP S59173332U JP 6880883 U JP6880883 U JP 6880883U JP 6880883 U JP6880883 U JP 6880883U JP S59173332 U JPS59173332 U JP S59173332U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon wafer
- wafer cassette
- cassette handler
- handle
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図である。
尚、図において、１・・・・・・シリコン・ウェハー・
カセット、２・・・・・・シリコン・ウェハー、３・・
・鋲、４・・・・・・取手、５・・・・・・板、である
。
カセット、２・・・・・・シリコン・ウェハー、３・・
・鋲、４・・・・・・取手、５・・・・・・板、である
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 シリコンウェハーカセットのシリコンウェハー面と直角
の位置にある一側面に垂直に鋲が取り付けてあり、その
鋲の軸部分とはまり合う切欠を有する板と、その板に取
手が取り付けられていることを特徴とするシリコンウェ
ハーカセット用ハン７／） ドラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6880883U JPS59173332U (ja) | 1983-05-09 | 1983-05-09 | シリコンウエハ−カセツト用ハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6880883U JPS59173332U (ja) | 1983-05-09 | 1983-05-09 | シリコンウエハ−カセツト用ハンドラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59173332U true JPS59173332U (ja) | 1984-11-19 |
Family
ID=30198978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6880883U Pending JPS59173332U (ja) | 1983-05-09 | 1983-05-09 | シリコンウエハ−カセツト用ハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59173332U (ja) |
-
1983
- 1983-05-09 JP JP6880883U patent/JPS59173332U/ja active Pending
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