JPS6134731U - 化合物半導体単結晶ウエハ− - Google Patents

化合物半導体単結晶ウエハ−

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JPS6134731U
JPS6134731U JP11854684U JP11854684U JPS6134731U JP S6134731 U JPS6134731 U JP S6134731U JP 11854684 U JP11854684 U JP 11854684U JP 11854684 U JP11854684 U JP 11854684U JP S6134731 U JPS6134731 U JP S6134731U
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JP
Japan
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single crystal
compound semiconductor
crystal wafer
semiconductor single
wafer
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Pending
Application number
JP11854684U
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English (en)
Inventor
渾一 中村
清治 水庭
敏也 豊島
誠一 大久保
Original Assignee
日立電線株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】 第1区は本考案の化合物半導体単結晶ウエハーの実施例
の平面図、第2図は第1図のウェハーの作成説明図、第
3図は通常の正方形ウェハーを示し、イは逆メサ方向の
溝説明図、町よ平面図、ハは順メサ方向の溝説明図、第
4図は同じく短形のウエハーの平面図である。 1;ウエハー、6;.斜め部分。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 結晶から切り出されたアズスライスウエハーの形状の辺
    の一部に斜め部分が形成され、単結晶ウエハーの順メサ
    方向及び逆メサ方向が明示されていることを特徴とする
    化合物半導体単結晶ウエハー。
JP11854684U 1984-07-31 1984-07-31 化合物半導体単結晶ウエハ− Pending JPS6134731U (ja)

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