JPS6134731U - 化合物半導体単結晶ウエハ− - Google Patents
化合物半導体単結晶ウエハ−Info
- Publication number
- JPS6134731U JPS6134731U JP11854684U JP11854684U JPS6134731U JP S6134731 U JPS6134731 U JP S6134731U JP 11854684 U JP11854684 U JP 11854684U JP 11854684 U JP11854684 U JP 11854684U JP S6134731 U JPS6134731 U JP S6134731U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- compound semiconductor
- crystal wafer
- semiconductor single
- wafer
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【図面の簡単な説明】
第1区は本考案の化合物半導体単結晶ウエハーの実施例
の平面図、第2図は第1図のウェハーの作成説明図、第
3図は通常の正方形ウェハーを示し、イは逆メサ方向の
溝説明図、町よ平面図、ハは順メサ方向の溝説明図、第
4図は同じく短形のウエハーの平面図である。 1;ウエハー、6;.斜め部分。
の平面図、第2図は第1図のウェハーの作成説明図、第
3図は通常の正方形ウェハーを示し、イは逆メサ方向の
溝説明図、町よ平面図、ハは順メサ方向の溝説明図、第
4図は同じく短形のウエハーの平面図である。 1;ウエハー、6;.斜め部分。
Claims (1)
- 結晶から切り出されたアズスライスウエハーの形状の辺
の一部に斜め部分が形成され、単結晶ウエハーの順メサ
方向及び逆メサ方向が明示されていることを特徴とする
化合物半導体単結晶ウエハー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11854684U JPS6134731U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 化合物半導体単結晶ウエハ− |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11854684U JPS6134731U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 化合物半導体単結晶ウエハ− |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6134731U true JPS6134731U (ja) | 1986-03-03 |
Family
ID=30677437
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11854684U Pending JPS6134731U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 化合物半導体単結晶ウエハ− |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6134731U (ja) |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP11854684U patent/JPS6134731U/ja active Pending
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