JPS6037239U - 半導体ウエハ - Google Patents
半導体ウエハInfo
- Publication number
- JPS6037239U JPS6037239U JP12918283U JP12918283U JPS6037239U JP S6037239 U JPS6037239 U JP S6037239U JP 12918283 U JP12918283 U JP 12918283U JP 12918283 U JP12918283 U JP 12918283U JP S6037239 U JPS6037239 U JP S6037239U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- facet
- exposed
- silicon oxide
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案に係る半導体ウェハの一実施例を、第2
図は他の実施例をそれぞれ示す平面図である。 1・・・半導体ウェハ本体、2・・・アルミニウムバタ
ン部、3・・・ファセット部。
図は他の実施例をそれぞれ示す平面図である。 1・・・半導体ウェハ本体、2・・・アルミニウムバタ
ン部、3・・・ファセット部。
Claims (1)
- アルミニウム層をファセット部所定域を除いて形成し、
前記ファセット部所定域の酸化シリコン層を露出させた
ことを特徴とする半導体ウェハ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12918283U JPS6037239U (ja) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | 半導体ウエハ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12918283U JPS6037239U (ja) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | 半導体ウエハ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6037239U true JPS6037239U (ja) | 1985-03-14 |
Family
ID=30292789
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12918283U Pending JPS6037239U (ja) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | 半導体ウエハ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6037239U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62147438U (ja) * | 1986-03-08 | 1987-09-17 | ||
JPS6327246U (ja) * | 1986-07-31 | 1988-02-23 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54129974A (en) * | 1978-03-31 | 1979-10-08 | Toshiba Corp | Semiconductor device |
JPS5575229A (en) * | 1978-12-01 | 1980-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor device |
JPS55165625A (en) * | 1979-06-12 | 1980-12-24 | Fujitsu Ltd | Manufacture of semiconductor device |
-
1983
- 1983-08-19 JP JP12918283U patent/JPS6037239U/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54129974A (en) * | 1978-03-31 | 1979-10-08 | Toshiba Corp | Semiconductor device |
JPS5575229A (en) * | 1978-12-01 | 1980-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor device |
JPS55165625A (en) * | 1979-06-12 | 1980-12-24 | Fujitsu Ltd | Manufacture of semiconductor device |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62147438U (ja) * | 1986-03-08 | 1987-09-17 | ||
JPS6327246U (ja) * | 1986-07-31 | 1988-02-23 |
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