JPS5923737U - カセツト - Google Patents
カセツトInfo
- Publication number
- JPS5923737U JPS5923737U JP12004482U JP12004482U JPS5923737U JP S5923737 U JPS5923737 U JP S5923737U JP 12004482 U JP12004482 U JP 12004482U JP 12004482 U JP12004482 U JP 12004482U JP S5923737 U JPS5923737 U JP S5923737U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- side plate
- end plate
- aligner
- facet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のカセットの斜視面である。第２図は本考
案の一実施例のカセットの斜視図である。 なお図中、１，２は側板、３，４は端板、５は溝、７，
８は側板、４，９は端板、１ｏ〜１２は切り欠きである
。
案の一実施例のカセットの斜視図である。 なお図中、１，２は側板、３，４は端板、５は溝、７，
８は側板、４，９は端板、１ｏ〜１２は切り欠きである
。
Claims (1)
- 内側に相対向して半導体ウェハを収納する溝を有した側
板と、この側板と直角な位置に設けられた端板と、この
端板にファセットアライナの軸を通す切欠を設けたこと
を特徴とするカセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12004482U JPS5923737U (ja) | 1982-08-05 | 1982-08-05 | カセツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12004482U JPS5923737U (ja) | 1982-08-05 | 1982-08-05 | カセツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5923737U true JPS5923737U (ja) | 1984-02-14 |
Family
ID=30275266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12004482U Pending JPS5923737U (ja) | 1982-08-05 | 1982-08-05 | カセツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5923737U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54984A (en) * | 1977-06-06 | 1979-01-06 | Nec Corp | Containing tool for semiconductor wafer |
| JPS5717143B2 (ja) * | 1977-09-13 | 1982-04-09 | ||
| JPS5761831B2 (ja) * | 1980-07-08 | 1982-12-27 | Nippon Steel Corp |
-
1982
- 1982-08-05 JP JP12004482U patent/JPS5923737U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54984A (en) * | 1977-06-06 | 1979-01-06 | Nec Corp | Containing tool for semiconductor wafer |
| JPS5717143B2 (ja) * | 1977-09-13 | 1982-04-09 | ||
| JPS5761831B2 (ja) * | 1980-07-08 | 1982-12-27 | Nippon Steel Corp |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6088535U (ja) | 半導体ウエハ | |
| JPS5923737U (ja) | カセツト | |
| JPS58172810U (ja) | 圧電変位素子 | |
| JPS5998557U (ja) | しや断器のハンドルロツク装置 | |
| JPS58180643U (ja) | 半導体装置のパツケ−ジ | |
| JPS58129683U (ja) | プレ−ト式ワイヤマ−ク | |
| JPS60160574U (ja) | 回転パネルのストツパ− | |
| JPS6028722U (ja) | 反射プリズム装置 | |
| JPS60166141U (ja) | 半導体用ウエハ− | |
| JPS58139516U (ja) | ラジエ−タ装置 | |
| JPS5910171U (ja) | テ−プカセツト収納ケ−ス | |
| JPS58135082U (ja) | カセツトケ−ス | |
| JPS59173332U (ja) | シリコンウエハ−カセツト用ハンドラ | |
| JPS60119742U (ja) | 半導体ウエハ用収納治具 | |
| JPS59176144U (ja) | チツプ部品収納装置 | |
| JPS60151143U (ja) | 半導体用リ−ドフレ−ム | |
| JPS6096834U (ja) | 半導体ウエハ−の収納キヤリア | |
| JPS59118166U (ja) | テ−プケ−ス収納装置 | |
| JPS59186688U (ja) | 熱交換器 | |
| JPS5944048U (ja) | 溝付マガジン | |
| JPS58139656U (ja) | 偏向ヨ−クの位置決め装置 | |
| JPS5995628U (ja) | ホトマスク装置 | |
| JPS607982U (ja) | 工具収納装置 | |
| JPS6063939U (ja) | 半導体ウエハ−用カセツト | |
| JPS58118692U (ja) | ソケツト |