CN219871046U - 承载平台和工件检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例公开了一种承载平台和工件检测设备，包括：基座，设置有第一驱动机构和第三驱动机构；第一运动机构，可动地连接第一驱动机构、并可以在第一驱动机构的作用下沿第一方向移动；第一承载台，可动地连接第一运动机构、并可以在第一运动机构和第一驱动机构的作用下沿第一方向和与第一方向不同的第二方向移动以在第一上下料位置和检测位置之间切换；第二运动机构，可动地连接第三驱动机构、并可以在第三驱动机构的作用下沿第一方向移动；第二承载台，可动地连接第二运动机构、并可以在第二运动机构和第三驱动机构的作用下沿第一方向和第二方向移动以在第二上下料位置和检测位置之间切换。本实用新型设置两组运动机构来并行处理任务。

Description

承载平台和工件检测设备

技术领域

本实用新型涉及半导体检测设备技术领域，尤其涉及一种承载平台和一种工件检测设备。

背景技术

光学检测是一种基于光学原理的新型测试技术，通过工件检测设备的光学检测平台扫描与图像识别处理，在工件制作过程中经常通过光学检测平台对工件进行缺陷检测，具体为通过承载平台将待测工件移动至光学检测平台的检测通道中进行检测。目前常规的工件检测设备中，其承载平台为单运动机构平台，从而工件检测过程大致为：利用机械手将工件从FOUP(Front Opening Unified Pod，前开式工件传送盒)中取出并放置在承载平台上、再通过承载平台将工件移动到检测位置以供光学检测平台对工件进行明暗场检测动作、检测完成后再由承载平台将工件移动到上下料位置、以及再次利用机械手在上下料位置将检测完成的工件取回放入FOUP后再放入新的工件，继续执行下一个工件的检测。由此可见，现有的工件检测流程为串行处理方式，检测效率相对较低。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种承载平台和一种工件检测设备，其通过设置两组运动机构和承载台，两个承载台可以在上下料位置和检测位置间交替运动，从而并行处理检测任务，提高检测设备的检测效率。

具体地，本实用新型实施例提供的一种承载平台包括：基座，设置有第一驱动机构和第三驱动机构；第一运动机构，可动地连接所述第一驱动机构、并可以在所述第一驱动机构的作用下沿第一方向移动；第一承载台，可动地连接所述第一运动机构、并可以在所述第一运动机构和所述第一驱动机构的作用下沿所述第一方向和与所述第一方向不同的第二方向移动以在第一上下料位置和检测位置之间切换；第二运动机构，可动地连接所述第三驱动机构、并可以在所述第三驱动机构的作用下沿所述第一方向移动；第二承载台，可动地连接所述第二运动机构、并可以在所述第二运动机构和所述第三驱动机构的作用下沿所述第一方向和所述第二方向移动以在第二上下料位置和所述检测位置之间切换。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一运动机构包括第一固定架、第一导轨和第二驱动机构，所述第一导轨和所述第二驱动机构固定在所述第一固定架上，所述第二驱动机构机械耦接所述第一承载台、并可以驱动所述第一承载台沿所述第一导轨在所述第二方向上移动，所述第一驱动机构机械耦接所述第一固定架、并可以驱动所述第一固定架连同所述第一导轨、所述第二驱动机构和所述第一承载台整体相对于所述基座在所述第一方向上移动。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构分别为直线电机。

在本实用新型的一个实施例中，所述第二运动机构包括第二固定架、第二导轨和第四驱动机构，所述第二导轨和所述第四驱动机构固定在所述第二固定架上，所述第四驱动机构机械耦接所述第二承载台、并可以驱动所述第二承载台沿所述第二导轨在所述第二方向上移动，所述第三驱动机构机械耦接所述第二固定架、并可以驱动所述第二固定架连同所述第二导轨、所述第四驱动机构和所述第二承载台整体相对于所述基座在所述第一方向上移动。

在本实用新型的一个实施例中，所述第三驱动机构和所述第四驱动机构分别为直线电机。

在本实用新型的一个实施例中，所述承载平台还包括第一升降旋转机构，所述第一升降旋转机构可动地连接所述第一运动机构，所述第一承载台连接所述第一升降旋转机构、并可以在所述第一升降旋转机构的作用下沿不同于所述第一方向和所述第二方向的第三方向上升降。

在本实用新型的一个实施例中，所述承载平台还包括第二升降旋转机构，所述第二升降旋转机构可动地连接所述第二运动机构，所述第二承载台连接所述第二升降旋转机构、并可以在所述第二升降旋转机构的作用下沿所述第三方向上升降。

在本实用新型的一个实施例中，所述基座设置有第三导轨，所述第三导轨沿所述第一方向延伸，所述第一运动机构可以带动所述第一承载台沿所述第三导轨在所述第一方向上移动，所述第二运动机构可以带动所述第二承载台沿所述第三导轨在所述第一方向上移动。

另外，本实用新型实施例提供的一种工件检测设备，包括：光学检测平台和上述任意一项中所述的承载平台，所述光学检测平台对应所述检测位置设置。

在本实用新型的一个实施例中，所述光学检测平台设置有照明子系统、光束整形子系统、和检测子系统。

上述技术方案可以具有如下一个或多个优点：本实用新型实施例通过设置两个运动机构分别带动两个承载台，两个承载台可以分别在第一运动机构和第二运动机构驱动下沿第一方向和第二方向移动以在上下料位置和检测位置之间切换，所述光学检测平台的检测通道对应设置在所述检测位置，使第一承载台和第二承载台可以依次承载待测目标例如工件移动至检测位置进行检测，当其中一个承载台向检测位置移动时，另一承载台可以同时从检测位置移动至上下料位置以便取出或放入其他工件，通过两个承载台依次交替完成检测和取送动作，使两个运动机构并行处理，提高了检测效率；此外，通过设置多个驱动机构例如直线电机和导轨配合驱动所述承载台进行移动，使承载台可以在第一方向和第二方向上进行移动；此外，承载台上还设置有升降旋转机构，从而便于承载台在承载待测工件时进行竖直升降以及定位校准，方便对待测工件进行检测。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种工件检测设备的立体结构示意图。

图2为图1所示的工件检测设备的另一视角的立体结构示意图。

图3为图1所示的工件检测设备中的承载平台的立体结构示意图。

图4为图3所示的承载平台的部分放大结构示意图。

图5为图3所示的承载平台的另一部分放大结构示意图。

图6为图3所示的承载平台的俯视结构示意图。

图7为图6所示的承载平台的另一视角的立体结构示意图。

图8为图7所示的承载平台的部分放大结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“坚直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，"多个"的含义是至少两个，例如两个、三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定至”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

参照图1、图2所示，本实施例提供了一种工件检测设备，所述工件检测设备例如包括承载平台1和光学检测平台2。其中，所述工件检测设备例如为一种用于对工件进行缺陷检测的光学检测设备，所述光学检测平台2例如设置有照明子系统、光束整形子系统和检测子系统，通过将工件移动至所述光学检测平台2上的检测通道中进行检测。所述光学检测平台2对应所述承载平台1的检测位置20设置，所述检测位置20对应所述光学检测平台2的检测通道，用户可以将待测工件放置在所述承载平台1上，并通过所述承载平台1将待测工件移动检测位置20使工件对应所述光学检测平台2的检测通道，从而对工件进行检测。其中，所述光学检测平台2例如通过发射光束至所述待测工件，并接受待测工件反射的光线后进行光学检测，所述照明子系统例如用于向待测工件发射照射光束，所述光束整形子系统例如可以对照射光束进行整形处理，并通过所述检测子系统进行光束聚集并最终发射到待测工件的表面。

具体地，如图3所示，所述承载平台1包括基座100、第一运动机构110和第二运动机构120。所述基座100表面设置有第一驱动机构111和第三驱动机构121，所述第一驱动机构111和所述第三驱动机构121例如均沿第一方向X延伸，所述第一驱动机构111和所述第三驱动机构121例如相对平行设置。所述第一运动机构110所述第二运动机构120设置在所述基座100表面，且所述第一运动机构110和所述第二运动机构120相对平行设置。其中，所述第一运动机构110可动地连接所述第一驱动机构111、并可以在所述第一驱动机构111的作用下沿第一方向X移动；所述第二运动机构120可动地连接所述第三驱动机构121、并可以在所述第三驱动机构121的作用下沿第一方向X移动。所述承载平台1还包括第一承载台130和第二承载台140，所述第一承载台130可动地连接所述第一运动机构110，所述第二承载台140可动地连接所述第二运动机构120，所述第一承载台130和所述第二承载台140上例如设置有承载待测工件用的承载机构。进一步地，所述第一承载台130可以在所述第一运动机构110和所述第一驱动机构111的共同作用下沿第一方向X和第二方向Y移动，所述第二承载台140可以在所述第二运动机构120和所述第三驱动机构121的共同作用下沿所述第一方向X和与所述第二方向Y移动，所述第一方向X和所述第二方向Y沿不同方向延伸，所述第一方向X和所述第二方向Y均平行于所述基座100表面的水平面上，所述第一方向X例如垂直于所述第二方向Y。

进一步地，如图1、图2、图3所示，所述基座所述第一承载台130可以在所述第一运动机构110的作用下在第一上下料位置21和所述检测位置20之间切换；所述第二承载台140可以在所述第二运动机构120的作用下在第二上下料位置22和所述检测位置20之间切换，所述检测位置20位于所述第一上下料位置21和所述第二上下料位置22之间。所述第一上下料位置21和所述第二上下料位置22例如分别位于所述基座100两端。所述第一上下料位置21和所述第二上下料位置22例如为待测工件的取出和送入位置，用户例如可以在所述第一上下料位置21和所述第二上下料位置22分别将待测工件送入所述第一承载台130和所述第二承载台140，或者取出待测工件。优选实施方式中，所述检测位置20相对位于所述基座100中央，所述光学检测平台2的检测通道的检测方向指向所述检测位置20，在用户进行检测流程时，所述第一承载台130例如先移动至所述第一上下料位置21放置工件，再移动至所述检测位置20通过所述光学检测平台2对工件进行检测，此时将所述第二承载台140移动至所述第二上下料位置22放置下一片工件，当所述光学检测平台2完成对所述第一承载台130上的工件的检测后，所述第一承载台130移动至所述第一上下料位置21使用户取出并放入新的工件，同时所述第二承载台140移动至所述检测位置20以对下一片工件进行检测，从而实现所述第一承载台130和所述第二承载台140依次进行检测动作，交替并行处理并提升检测效率。

在本实用新型的一个实施例中，如图3、图4所示，所述第一运动机构110包括第一固定架112、第一导轨101和第二驱动机构113。所述第一固定架112例如呈沿所述第二方向Y延伸的矩形结构，所述第一固定架112上远离所述基座100一端设置所述第一导轨101，所述第一导轨101沿所述第二方向Y延伸，所述第一固定架112上例如并排设置有两条所述第一导轨101。所述第一导轨101和所述第二驱动机构113固定在所述第一固定架112上，所述第二驱动机构113设置在两条所述第一导轨101之间，所述第一承载台130上设置有凹型结构与所述第一导轨101相对应，使所述第二驱动机构113机械与所述第一承载台130连接，且所述第二驱动机构113可以驱动所述第一承载台130沿所述第一导轨101在所述第二方向Y上移动。所述第一驱动机构111的驱动方向沿所述第一方向X延伸，所述第一驱动机构111一端固定连接所述基座100，另一端机械耦接所述第一固定架112、并可以驱动所述第一固定架112连同所述第一导轨101、所述第二驱动机构113和所述第一承载台130整体相对于所述基座100在所述第一方向X上移动。

在本实用新型的一个实施例中，如图3、图5所示，所述第二运动机构120包括第二固定架122、第二导轨102和第四驱动机构123。所述第二固定架122例如呈沿所述第二方向Y延伸的矩形结构，所述第二固定架122上远离所述基座100一端例如并排设置有两条所述第二导轨102，所述第二导轨102例如沿所述第二方向Y延伸。所述第二导轨102和所述第四驱动机构123固定在所述第二固定架122上，所述第四驱动机构123设置在两条所述第二导轨102之间，所述第二承载台140上设置有凹型结构与所述第二导轨102相对应，使所述第四驱动机构123机械耦接所述第二承载台140，且所述第四驱动机构143可以驱动所述第二承载台140沿所述第二导轨102在所述第二方向Y上移动。所述第三驱动机构121的驱动方向沿所述第一方向X延伸，所述第三驱动机构121一端固定连接所述基座100，另一端机械耦接所述第二固定架122、并可以驱动所述第二固定架122连同所述第二导轨102、所述第四驱动机构123和所述第二承载台140整体相对于所述基座100在所述第一方向X上移动，所述第二运动机构120和所述第一运动机构110沿所述第一方向X并排设置在所述基座100上。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一驱动机构111和所述第二驱动机构113分别为直线电机，且所述第三驱动机构121和所述第四驱动机构123也为直线电机。

在本实用新型的一个实施例中，所述基座100上还可以仅设置有第一驱动机构111，所述第一运动机构110和所述第二运动机构120分别沿所述第一方向X可动连接在所述第一驱动机构111的两端，所述第一运动机构110和所述第二运动机构120均可以在所述第一驱动机构111的作用下沿所述第一方向X移动，本实用新型实施例不以此为限。

在本实用新型的一个实施例中，如图6、图7所示，所述基座100表面也设置有第三导轨103，所述第三导轨103沿所述第一方向X延伸。在本实用新型实施例中，所述基座100表面例如设置有多个所述第三导轨103，多个所述第三导轨103相对并排设置。所述第一固定架112底部例如设置有凹型结构的与所述第三导轨103相对应，所述第二固定架122底部也设置有凹型结构的与所述第三导轨103相对应，所述第一驱动机构111和所述第三驱动机构121与多个所述第三导轨103间隔设置在所述基座100上，所述第一运动机构110和所述第二运动机构120例如分别沿所述第一方向X活动连接在所述第三导轨103两端，所述第一运动机构110可以带动所述第一承载台130沿所述第三导轨103在所述第一方向X上移动，所述第二运动机构120可以带动所述第二承载台140沿所述第三导轨103在所述第一方向X上移动。

在本实用新型的一个实施例中，如图4、图8所示，所述承载平台1还包括第一升降旋转机构150，所述升降旋转机构150例如设置有多个升降杆和转动组件。所述第一升降旋转机构150设置在所述第一承载台130和所述第一运动机构110之间，且可动地连接所述第一运动机构110，所述第一承载台130连接所述第一升降旋转机构150、并可以在所述第一升降旋转机构150的作用下沿第三方向Z升降，使所述第一承载台130上承载工件时可以对工件在竖直方向上进行校准，并便于通过所述光学检测平台2对工件进行检测。所述第三方向Z不同于所述第一方向X和所述第二方向Y，且所述第三方向Z例如为垂直于所述第一方向X和所述第二方向Y的竖直方向。此外，所述第一承载台130还可以在所述第一升降旋转机构150的作用下相对于所述基座100进行转动。在本实用新型实施例的其他实施方式中，所述第二承载台140和所述第二运动机构120之间同样设置有第二升降旋转机构160，所述第二承载台140连接所述第二升降旋转机构160、并可以在所述第二升降旋转机构160的作用下沿所述第三方向Z升降。

综上所述，本实用新型实施例通过设置两个运动机构分别带动两个承载台，两个承载台可以分别在第一运动机构和第二运动机构驱动下沿第一方向和第二方向移动以在上下料位置和检测位置之间切换，所述光学检测平台的检测通道对应设置在所述检测位置，使第一承载台和第二承载台可以依次承载待测目标例如工件移动至检测位置进行检测，当其中一个承载台向检测位置移动时，另一承载台可以同时从检测位置移动至上下料位置以便取出或放入其他工件，通过两个承载台依次交替完成检测和取送动作，使两个运动机构并行处理，提高了检测效率；此外，运动机构中通过设置多个驱动机构例如直线电机和导轨配合驱动所述承载台进行移动，使承载台可以在第一方向和第二方向上进行移动；此外，承载台上还设置有升降旋转机构，从而便于承载台在承载待测工件时进行竖直升降以及定位校准，方便对待测工件进行检测。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简沽，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施例，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本专利申请保护范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种承载平台，其特征在于，包括：

基座，设置有第一驱动机构和第三驱动机构；

第一运动机构，可动地连接所述第一驱动机构、并可以在所述第一驱动机构的作用下沿第一方向移动；

第一承载台，可动地连接所述第一运动机构、并可以在所述第一运动机构和所述第一驱动机构的作用下沿所述第一方向和与所述第一方向不同的第二方向移动以在第一上下料位置和检测位置之间切换；

第二运动机构，可动地连接所述第三驱动机构、并可以在所述第三驱动机构的作用下沿所述第一方向移动；

第二承载台，可动地连接所述第二运动机构、并可以在所述第二运动机构和所述第三驱动机构的作用下沿所述第一方向和所述第二方向移动以在第二上下料位置和所述检测位置之间切换。

2.根据权利要求1所述的承载平台，其特征在于，所述第一运动机构包括第一固定架、第一导轨和第二驱动机构，所述第一导轨和所述第二驱动机构固定在所述第一固定架上，所述第二驱动机构机械连接所述第一承载台、并可以驱动所述第一承载台沿所述第一导轨在所述第二方向上移动，所述第一驱动机构机械连接所述第一固定架、并可以驱动所述第一固定架连同所述第一导轨、所述第二驱动机构和所述第一承载台整体相对于所述基座在所述第一方向上移动。

3.根据权利要求2所述的承载平台，其特征在于，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构分别为直线电机。

4.根据权利要求2所述的承载平台，其特征在于，所述第二运动机构包括第二固定架、第二导轨和第四驱动机构，所述第二导轨和所述第四驱动机构固定在所述第二固定架上，所述第四驱动机构机械连接所述第二承载台、并可以驱动所述第二承载台沿所述第二导轨在所述第二方向上移动，所述第三驱动机构机械连接所述第二固定架、并可以驱动所述第二固定架连同所述第二导轨、所述第四驱动机构和所述第二承载台整体相对于所述基座在所述第一方向上移动。

5.根据权利要求4所述的承载平台，其特征在于，所述第三驱动机构和所述第四驱动机构分别为直线电机。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的承载平台，其特征在于，所述承载平台还包括第一升降旋转机构，所述第一升降旋转机构可动地连接所述第一运动机构，所述第一承载台连接所述第一升降旋转机构、并可以在所述第一升降旋转机构的作用下沿不同于所述第一方向和所述第二方向的第三方向上升降。

7.根据权利要求6所述的承载平台，其特征在于，所述承载平台还包括第二升降旋转机构，所述第二升降旋转机构可动地连接所述第二运动机构，所述第二承载台连接所述第二升降旋转机构、并可以在所述第二升降旋转机构的作用下沿所述第三方向上升降。

8.根据权利要求1至5任意一项所述的承载平台，其特征在于，所述基座设置有第三导轨，所述第三导轨沿所述第一方向延伸，所述第一运动机构可以带动所述第一承载台沿所述第三导轨在所述第一方向上移动，所述第二运动机构可以带动所述第二承载台沿所述第三导轨在所述第一方向上移动。

9.一种工件检测设备，其特征在于，包括：光学检测平台和根据权利要求1至8任意一项所述的承载平台，所述光学检测平台对应所述检测位置设置。

10.根据权利要求9所述的工件检测设备，其特征在于，所述光学检测平台设置有照明子系统、光束整形子系统和检测子系统。