JPH04361551A - 半導体ウエハの搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造装置に関
し、特に半導体ウエハの搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図６は、従来の搬送装置を示す斜視図で
ある。図において、１は半導体ウエハ（以下ウエハと略
す）、２はこのウエハ１を上下方向に等ピッチで収納で
きかつ、位置決めの側壁２ａを有するカセット、３はこ
のカセット２位置決めガイドする載置台、４はこの載置
台３を駆動部分と連結するジョイント、５はカセット２
を上下方向に駆動するための駆動モータ、６はこの駆動
モータ５の回転を直線運動に変換するネジ軸、６ａはガ
イドでこれら３〜６で昇降手段７が形成されている。８
はロータリアクチュエータ、９はこのロータリアクチュ
エータ８により回転自在に取付けられたブロック、１０
はこのブロック９の端部に回転自在に取付けられたウエ
ハ１の位置設定をするガイドローラ、１１はウエハ１を
載置する載置面１１ａを有しこれを搬送するトレイ、１
２はトレイ１１を１担持する連結ブロック、１２ａ　は
ガイド、１３は回転モータ１４で駆動され連結ブロック
１２をスライドさせるネジ軸でこれら１２〜１４で移動
手段１５が形成されている。図７（ａ）　〜（ｄ）　は
上述した構成でなる従来の搬送装置の搬送方法を平面図
で示した説明図である。

【０００３】次に動作について説明する。カセット２に
収納されているウエハ１を位置決めするため、ロータリ
アクチュエータ８によりガイドローラ１０がウエハ１の
端部を微小力により押し、ウエハ１をカセット２の反対
側の側壁２ａに接触させる。この状態から、再びロータ
リアクチュエータ８を低速で動作させることにより、カ
セット２内に収納されているウエハ１は位置決めされる
。次いで、回転モータ１５によりトレイ１１を、搬送対
象ウエハ１の下面に進入させる。次いで駆動モータ５に
より、カセット２及びカセットに収納されているウエハ
１を、トレイ１１上に搬送対象ウエハ１が載置される位
置まで下降させる。次いで、回転モータ１５によりトレ
イ１１と共にこの上に載置されたウエハ１は、カセット
２内より外へ取出すことができるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の半導体ウエハ搬
送装置は以上のように構成されているので、カセット内
のウエハを取出す毎に、カセットの左右に取付けられた
ガイドローラを開閉動作させて、カセット内のウエハを
位置決めしなければならず、搬送しようとする対象ウエ
ハ以外も毎回ローラにより押されるため発塵の問題があ
った。又、ローラが位置決め動作を完了するまでトレイ
がカセット内に進入できず、カセット内よりウエハを取
出すのに時間がかかる問題があった。

【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、カセット内のウエハを短時間で
位置決めし、取出すことができるとともに、異物による
ウエハ汚染を防止することのできる半導体ウエハの搬送
装置を得ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体ウ
エハの搬送装置は複数の半導体ウエハを上下方向に間隔
を有して収納しかつ半導体ウエハの外周一端部が当接す
る壁面部を有してなるカセットと、該カセットを上下方
向に昇降させる昇降手段と、上記半導体ウエハの載置面
を有しカセットに進入させた場合の壁面部と対向する位
置に載置面より突起した当接部を形成してなりかつカセ
ットの壁面部の対向側より進入出させる駆動手段に担持
された搬送トレイとで構成したものである。

【０００７】

【作用】この発明の半導体ウエハ搬送装置における搬送
トレイは、載置面より突起した当接部が搬出しようとす
る半導体ウエハの外周を押してカセット内での半導体ウ
エハの位置決めをする。

【０００８】

【実施例】実施例１．以下、この発明の実施例１を図に
ついて説明する。図１はこの発明における半導体ウエハ
搬送装置の実施例１を示す斜視図である。図において、
１〜７、１２〜１５は従来の半導体ウエハ搬送装置と同
様であるためその説明は省略する。１６はウエハ１の載
置面１６ａ　とこの載置面１６ａ　より高く突起した当
接部１６ｂ　を有し、連結ブロック１２に担持された搬
送トレイで、当接１６ｂ　の端面１６ｃ　は平面方向に
見てウエハ１のオリエンテーションフラットを内包する
範囲でウエハ１外周に当接するよう配置されている。又
この当接部の高さはカセット２に収納されているウエハ
１間に搬送トレイ１６先端部が進入する時、搬送トレイ
１６に対しすぐ上のウエハ１の１枚のエッジ部分のみ当
接するような高さになっている。 図２（ａ）　〜（ｄ）、図３（ａ）　〜（ｄ）は同搬送
装置による搬送方法を示す説明図である。

【０００９】次に動作について図１〜図３を参照して説
明する。ウエハ１を収納したカセット２が水平に載置台
３に固定される。次に移動手段１５より搬送トレイ１６
はカセット２内の複数のウエハ１のうち、任意の搬送対
象ウエハ１、１枚の下面側に進入していく、この時カセ
ット２内ウエハ１と搬送トレイ１６との上下の位置決め
は昇降手段７によってカセット２を上下方向に移動させ
ることにより行なわれる。搬送トレイ１６は端面１６ｃ
　がカセット２内のウエハ１に当接し、そのままウエハ
１をカセット２奥側に押しつつ搬送トレイ１６も進入す
る。搬送トレイ１６はウエハ１がカセット２奥側の側壁
２ａに当接し位置決めされる位置まで進んで停止する（
（ｂ）　の状態）。

【００１０】次に搬送トレイ１６上のウエハ１載置中心
と位置決めされたウエハ１の中心が一致するまで搬送ト
レイ１６は後退する（（Ｃ）　の状態）。さらに昇降装
置７によりカセット２を、搬送トレイ１６上に完全にウ
エハ１が載置される位置まで下降させる（（ｄ）　の状
態）。この状態で搬送トレイ１６をカセット２内より引
き出すことにより、カセット２内よりウエハ１を取り出
すことができる。又、搬送トレイ１６上にウエハ１が載
置された状態のとき、搬送トレイ１６に取付いている当
接部１６ｂ　は突起の上面が取出そうとするウエハ１の
すぐ上にあるウエハ１の下面に接触しないよう配慮され
ている。

【００１１】実施例２．上記実施例１では、搬送トレイ
１６がウエハ１を載置するものを示したが、図４のトレ
イ断面図に示す如く真空ポンプ１７に連なる吸着プレー
ト１８に設けられた吸引口２１によりウエハ１は吸引さ
れるものでもよい。なお、１８ａ　は位置決め用の当接
部である。又弁２０はウエハ１を吸着プレート１８より
離す時に使用する。

【００１２】実施例３．図５のトレイ断面図に示すよう
に搬送トレイ１６がアクチュエータ２１によりウエハ１
を把持する当接部２２ａ　を有する可動爪を備えたもの
でもよく、上記実施例と同様の効果を奏ずる。

【００１３】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば複数の
半導体ウエハを上下方向に間隙を有して収納しかつ半導
体ウエハの外周一端部が当接する壁面部を有してなるカ
セットと、該カセットを上下方向に昇降させる昇降手段
と、半導体ウエハの載置面を有しカセットに進入させた
場合の壁面部と対向する位置に載置面より突起した当接
部を形成してなりかつ、カセットの壁面部の対向側より
進入出させる駆動手段に担持された搬送トレイとで構成
したので、簡単な構成でカセット内のウエハを短時間で
位置決めし搬出することができるとともに、異物による
ウエハ汚染を防止することのできる半導体ウエハの搬送
装置が得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例１の半導体ウエハの搬送装置
を示す斜視図である。

【図２】この発明の実施例１の搬送装置による搬送方法
を断面図で示した説明図である。

【図３】この発明の実施例１の搬送装置による搬送方法
を平面図で示した説明図である。

【図４】この発明の実施例２の搬送装置による搬送トレ
イを示す断面図である。

【図５】この発明の実施例３の搬送装置による搬送トレ
イを示す断面図である。

【図６】従来の半導体ウエハの搬送装置を示す斜視図で
ある。

【図７】図６の搬送装置による搬送方法を平面図で示し
た説明図である。

【符号の説明】

１　　半導体ウエハ ２　　カセット ７　　昇降手段 １５　　移動手段 １６　　搬送トレイ １６ｂ　当接部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　複数の半導体ウエハを上下方向に間隔
   を有して収納しかつ半導体ウエハの外周一端部が当接す
   る壁面部を有してなるカセットと、該カセットを上下方
   向に昇降させる昇降手段と、半導体ウエハの載置面を有
   しカセットに進入させた場合の上記壁面部と対向する位
   置に上記載置面より突起した当接部を形成してなりかつ
   上記カセットの上記壁面部の対向側より進入出させる移
   動手段に担持された搬送トレイとを備え、上記当接部が
   上記半導体ウエハの外周他端部を押し上記外周一端部を
   上記壁面部に当接させ上記半導体ウエハの搬送時の位置
   設定をすることを特徴とする半導体ウエハの搬送装置。