JPS62131455A - イオン処理装置用エンドステ−シヨン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えばイオン注入装置等のイオン処理装置
に用いられるものであって、処理後のウェハを元のキャ
リア内に予め収納されていたのと同一順序で回収できる
ように改良したエンドステーションに関する。

〔従来の技術〕

第４図は、従来のエンドステーションの一例を示す概略
平面図である。ウェハｌを処理するためのイオンビーム
４が導入される高真空の処理室２の両側に、予備真空引
きを行うためのエアロツク室６．８がそれぞれ設けられ
ている。そして、エアロツタ室６の入口側、即ちロード
側りには、方向制御部１０および２つの昇降式のキャリ
アステージ１４．１６が設けられており、エアロツク室
８の出口側、即ちアンロード側Ｕには、方向制御部１２
および２つの昇降式のキャリアステージ２２．２４が設
けられている。ロード側りのキャリアステージ１４．１
６には未処理のウェハ１を複数枚ずつ収納したキャリア
１８．２０がそれぞれ装着されるようになっており、ア
ンロード側Ｕのキャリアステージ２２．２４には処理後
のウェハ１を複数枚ずつ収納（回収）するキャリア２６
．２８が装着されるようになっている。図中３０〜３３
は、ウェハｌの搬送のための搬送ベルトである。

上記エンドステーションの動作の一例を説明すると、ま
ずロード側りのキャリアステージ１４．１６にウェハ１
入りのキャリア１８．２０をそれぞれ装着し、アンロー
ド側Ｕのキャリアステージ２２．２４に空のキャリア２
６．２８をそれぞれ装着する。

その後、例えばキャリアステージ１４が一段ずつ（即ち
キャリアのスロットの１ピッチ分ずつ、以下同じ）段階
的に降下し、それと同期して搬送ベルト３０が駆動され
て、キャリア１８からウェハｌが１枚ずつ順次取り出さ
れる。そして当該ウェハ１は、方向制御部ＩＯ、エアロ
ツク室６を経由して処理室２内へと搬送され、そこで例
えばウェハ保持装置（図示省略）に装着されて起立状態
にされ、イオンビーム４が照射されてイオン注入等の処
理が行われる。

処理後のウェハ１は、エアロツク室８、方向制御部１２
を経由して例えばキャリアステージ２２（或いはキャリ
アステージ２４側でも良い）へと搬送され、そして当該
キャリアステージ２２が搬送ベルト３２の駆動と同期し
て１段ずつ段階的に上昇して、ウェハ１がキャリア２６
内に１枚ずつ順次収納（回収）される。

キャリア１８内の全ウェハ１の処理が終了すると、次い
でキャリア２０内のウェハｌが上記と同様に処理されて
例えばキャリア２８内へと回収される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記エンドステーションにおいては、処理済みのウェハ
１は元とは別のキャリア内に回収される。

しかも予め収納されていたのとは逆の順序で（即ち上下
の順序が反転して）回収される。これは、ロード側りの
キャリア１８．２０からウェハｌを順次取り出して搬送
ベルト３０．３１上に載せるためにはその最下段側から
でないとできないのに対して、アンロード側Ｕにおいて
搬送ベルト３２．３３上のウェハｌをキャリア２６．２
８内へ順次回収するためにはその最上段側からでないと
できないからである。

ところが、近年の半導体工場の多品種少量生産化やＦＡ
（ファクトリ−オートメーション）化等に伴い、ウェハ
ｌを処理していく上でのロット管理やウェハ１牧草位で
の管理をし易くするため、処理後のウェハは元のキャリ
ア内に予め収納されていたのと同一順序で回収したいと
いう要望が強くなって来ている。

そこでこの発明は、上記のような要望に応えることがで
きるイオン処理装置用エンドステーションを提供するこ
とを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明のエンドステーションは、ロード側の昇降式の
キャリアステージに装着されるキャリアからウェハを取
り出して処理部へ搬送し、そして処理後のウェハをアン
ロード側の昇降式のキャリアステージに装着されるキャ
リアへ搬送して回収するイオン処理装置用エンドステー
ションにおいて、ロード側のキャリアからアンロード側
のキャリアへのウェハの搬送経路上に設けられていて搬
送されて来るウェハを貯えることができるバッファキャ
リアを装着した昇降式のバッファステージと、ロード側
のキャリアステージに装着されているキャリアを取り外
してアンロード側のキャリアステージへ転送してそこに
装着する転送手段とを備えることを特徴とする。

〔作用〕

ロード側のキャリアから搬出された処理前または処理後
のウェハは、パフファキャリア内に一旦、元とは逆の順
序で貯えられる。その後、空になった当該キャリアは、
転送手段によってアンロード側へと転送される。そして
、転送されたキャリア内に、処理後のウェハがバッファ
キャリアに貯えられていたのとは逆の順序で回収される
。これによって、処理後のウェハは、元のキャリア内に
予め収納されていたのと同一順序で回収される。

〔実施例〕

第１図はこの発明の一実施例に係るエンドステーション
を示す概略平面図であり、第２図は第１図の線ｎ−ｎに
沿う概略部分断面図であり、第３図は転送台の動きを説
明するだめの概略平面図である。第４図と同等部分には
同一符号を付してその説明を省略する。

この実施例においては、ロード側りのキャリア１８．２
０から処理室２へのウェハ１の搬送経路上に、即ち搬送
ベルト３０．３１　（第１図における図示省略、第２図
参照）の途中に、キャリア１８．２０から搬送されて来
るウェハｌを全数それぞれ貯えることができるバッファ
キャリア４８．５０をそれぞれ装着した昇降式のへソフ
ァステージ４４．４６をそれぞれ設けている。また、ロ
ード側■、およびアンロード側Ｕに、前述したキャリア
ステージ１４．１６．２２．２４の代わりに回転式のキ
ャリアステージ３４．３６．３８．４０を設けると共に
、その下方に移動式の転送機構４２を設けており、これ
らによってキャリア１８．２０の転送手段を構成してい
る。

キャリアステージ３４．３６．３８．４０　：！：いず
れもほぼ同構造であり、またバッファステージ４４と４
６もほぼ同構造であるため、キャリアステージ３４、バ
ッファステージ４４側を例にその詳細を第２図を参照し
て説明する。

キャリアステージ３４は、コ字形の切欠き３４Ｃ（第３
図参照）を持つステージ３４ａと切欠きの無いステージ
３４ｂとを直角に（即ち１２字形に）組み合わせ、その
交差部分に回転軸３・１ｄを通したものであり、図示し
ない駆動手段で矢印へのように回転させられて、実線で
示すウェハ搬送状態と、２点鎖線で示す初期状態とにさ
れる。そして、キャリアステージ３４は、ウェハ搬送状
態において、例えば架台５６に取り付けられた昇降機構
５２によって、それに装着されるキャリア１８の１スロ
ット分ずつ段階的に降下させられる。

その時、搬送ベルト３０はそれと同期して駆動されてウ
ェハｌの搬出を行う。尚、キャリアステージ３４等の切
欠き３４Ｃ等は、例えば第３図に示すように、ロード側
りとアンロード側Ｕとで互いに向かい合うように加工さ
れている。

一方、キャリアステージ３４の下方には、矢印Ｂのよう
に昇降してキャリアステージ３４に装着されているキャ
リア１８を取り外すと共に、第３図の矢印Ｃのように相
手側のキャリアステージの切欠き内まで移動する転送台
４２ａと、当該転送台４２ａを上記のように駆動する駆
動機構４２ｂとを備える転送機構４２が設けられている
。

尚、第２図の５４は、バッファステージ４４を搬送ベル
ト３０の駆動と同期してバッファキャリア４８の１スロ
ット分ずつ段階的に昇降させる昇降機構である。

上記エンドステーションの全体的な動作の一例を説明す
ると、まずウェハｌ入りのキャリア１８．２０をウェハ
１の列が見えるようにしてロード側りの初期状態にある
キャリアステージ３４．３６にそれぞれ載せる。それが
完了するとキャリアステージ３４．３６は前方側に（即
ち第２図の矢印への右方向に）９０度回転されてウェハ
搬送状態となる。

次に、キャリアステージ３４．３６の段階的な降下と搬
送ベルト３０．３１の駆動とバッファステージ４４．４
６の段階的な上昇とが所定のタイミングで同期して行わ
れ、これによってキャリア１８．２０内のウェハ１を全
数、バッファキャリア４日、５０内にそれぞれ一旦呼え
る。このとき、ウェハ１の収納順序に第１回目の前述し
たような反転が生じる。

ウェハｌの移し替えが終了すると、キャリアステージ３
４．３６は再び元の高さまで上昇させられ、手前側に９
０度回転させられて初期状態に戻る。それと並行して上
昇位置にあるバッファステージ、例えばバッファステー
ジ４４が段階的に降下させられて、そのバッファキャリ
ア４８からウェハ１がＩ＋ｌｉ（次搬出されて処理室２
へと搬送され、そこで処理される。

その間、１枚目のウェハ１の処理が完了するまでに、転
送台４２ａが上昇して空になったキャリア、例えばキャ
リア１８を持ち上げて、アンロード側Ｕの初期状態にあ
る例えばキャリアステージ３８へと転送してそこに装着
する。そして当該キャリアステージ３８は前方側に９０
度回転して静止する。それに続いて、転送台４２ａはキ
ャリアステージ３６上のキャリア２０をキャリアステー
ジ４０上へと転送する。

そしてキャリアステージ３８は、搬送ベルト３２の駆動
と同期して段階的に降下させられ、それによって処理室
２からの処理済みのウェハ１がキャリア１８内に順次収
納（回収）される。このとき、ウェハｌの収納順序に第
２回目の反転が生じる。これによって、処理後のウェハ
ｌは、元のキャリア１８内に予め収納されていたのと同
一順序で回収されたことになる。

バッファキャリア４８よりウェハ１が全部搬出されると
、バッファキャリア５０よりウェハ１が順次搬出され、
上記と同様にして処理後のウェハ１は、キャリアステー
ジ４０に装着されている元のキャリア２０内に予め収納
されていたのと同一順序で回収される。

しかも上記のようなエンドステーションにおいては、第
４図の場合と比べてキャリアの数が半分で済むため、当
該キャリアの交換頻度が半分になり、そのための手間が
大幅に軽減される。

尚、上記実施例とは違って、キャリアステージ３４のキ
ャリア１８をキャリアステージ４０側に、キャリアステ
ージ３６のキャリア２０をキャリアステージ３８側にそ
れぞれ転送するようにしても良い。また、転送機構４２
のような転送機構を２つ設けて、キャリア１８．２０の
転送をそれぞれの転送機構で行っても良い。更に、上記
バッファステージ４４．４６を、処理室２とキャリアス
テージ３８．４０との間のウェハｌの搬送経路上側に、
例えば搬送ベルト３２．３３の途中の部分５８に設けて
も良く、そのようにしても上記とほぼ同様の作用効果が
得られる。

また、ロード側りおよびアンロード側Ｕにこの実施例の
ようにキャリアステージおよびバッファステージを２つ
ずつ（即ち並列に）設けることは必ずしも必要ではない
。もっとも、２つずつ設ければ、多数のウェハ１の処理
を間断なく連続して行うことができ、一層大きなスルー
プットが得られることになる。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、処理後のウェハを元の
キャリア内に予め収納されていたのと同一順序で回収す
ることができる。また、キャリア交換の頻度が従来の場
合の半分となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例に係るエンドステーショ
ンを示す概略平面図である。第２図は、第１図の線ｎ−
ｎに沿う概略部分断面図である。 第３図は、転送台の動きを説明するための概略平面図で
ある。第４図は、従来のエンドステーションの一例を示
す概略平面図である。 ｌ・・・ウェハ、２・・・処理室、１８．２０・・・キ
ャリア、３０〜３３・・・搬送ベルト、３４．３６．３
８．４０・・・回転式のキャリアステージ、４２・・・
転送機構、４４．４６・・・バッファステージ、４８．
５０・・・バッファキャリア、Ｌ・・・ロード側、Ｕ・
・・アンロード側 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ロード側の昇降式のキャリアステージに装着され
   るキャリアからウェハを取り出して処理部へ搬送し、そ
   して処理後のウェハをアンロード側の昇降式のキャリア
   ステージに装着されるキャリアへ搬送して回収するイオ
   ン処理装置用エンドステーションにおいて、ロード側の
   キャリアからアンロード側のキャリアへのウェハの搬送
   経路上に設けられていて搬送されて来るウェハを貯える
   ことができるバッファキャリアを装着した昇降式のバッ
   ファステージと、ロード側のキャリアステージに装着さ
   れているキャリアを取り外してアンロード側のキャリア
   ステージへ転送してそこに装着する転送手段とを備える
   ことを特徴とするイオン処理装置用エンドステーション
   。