JP2004319860A - 半導体装置の製造方法および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハ1に形成されたn型エピタキシャル層2上に酸化シリコン膜3を形成し、酸化シリコン膜3にn型エピタキシャル層2に達する開口部4を形成した後、n型エピタキシャル層2の相対的に深い位置にn型拡散層5を形成し、n型エピタキシャル層2の相対的に浅い位置にp型拡散層6を形成する。続いて開口部4の内部を含む酸化シリコン膜3上に表面保護膜7を形成した後、表面保護膜7にp型拡散層6に達する開口部8を形成し、同時にチップの外周部の表面保護膜7を除去する。その後、開口部8の内部を含む表面保護膜7上にメタル膜を成膜し、メタル膜をパターニングすることによって、p型拡散層6に接するアノード電極9aおよびチップの外周部に露出したn型エピタキシャル層2に接する外周電極9bを形成する。
【選択図】 図6
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造技術に関し、特に、ダイオード素子を有する半導体装置の製造に適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
バリキャップダイオード(Vari−Cap Diode)は、外部からの逆バイアス電圧を変えることによって容量値を変えることができ、kHz帯からミリ波帯にわたる極めて広い周波数における発信器、フィルタの同調、AFC等に主として用いられている。
【0003】
バリキャップダイオードを構成するpn接合の両端に逆方向バイアス電圧を印加すると、接合付近のキャリアが各々の電極側に引き寄せられて接合付近にはキャリアのない空乏層が形成される。この空乏層は、逆方向バイアス電圧を増加させるに従い広がり、接合容量と呼ばれる一種の平面コンデンサとして機能する。
【0004】
バリキャップダイオードは、通常円形の薄い板状に加工した半導体ウエハ上にチップ単位で作り込まれ、半導体ウエハをカットすることにより、1個1個のチップに切り分けられる。その後、チップをリードフレーム上に貼り付け、チップの電極とリードフレームのリードとをボンディングワイヤで接続し、さらにチップを樹脂で封止することにより、個々のチップはパッケージングされる。
【0005】
半導体ウエハ上にバリキャップダイオードを製造する方法としては、例えばn型シリコン基板上にn型エピタキシャル層を気相成長法で形成し、エピタキシャル層上に形成された酸化膜に目標とする接合容量を実現する面積を有する、例えば円形の穴をあけ、その穴から、例えばボロンを拡散してp層を形成した後、p層表面に電極金属としてアルミニウムを真空蒸着で薄膜形成して所定寸法にエッチングする技術がある(例えば、非特許文献1参照)。
【0006】
【非特許文献1】
「総合電子部品ハンドブック」、電波新聞社発行、社団法人日本電子基板工業会編集、昭和59年5月20日、p.194−195
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記したバリキャップダイオードにおいては、製造過程において製造ライン内のプラスイオン、例えばナトリウム等がチップの周囲から内部へ浸入し、バリキャップダイオードのpn接合部でリーク不良が生ずるという問題がある。そこで、上記プラスイオンの浸入を防ぐため、例えばチップを保護膜で覆う、またはチップの外周部にn型不純物、例えばリンを導入してなるn型層を形成するなどの対策がとられている。
【0008】
しかしながら、本発明者らは、チップへのプラスイオンの浸入を防ぐ上記対策においては以下のような課題があることを見出した。
【0009】
すなわち、チップを保護膜で覆う、またはチップの外周部にn型層を形成すると、製造工程の追加によりバリキャップダイオードの製造時間が増加してしまう。またこれら工程にはリソグラフィ技術が用いられるため、半導体ウエハ上にレジストパターンを形成するためのマスクが必要となり、マスクを追加することによってバリキャップダイオードの製造原価が高くなるという問題も生ずる。
【0010】
さらに、チップをシュリンクすることにより1枚の半導体ウエハからのチップ取得数を増やして、バリキャップダイオードの製造原価の低減を図る検討がなされているが、プラスイオンの浸入を防ぐためにチップの外周部にn型層を形成すると、チップ面積が大きくなり、チップのシュリンクが難しくなる。
【0011】
本発明の目的は、製造工程数を増やすことなく、バリキャップダイオードのリーク電流を低減することのできる技術を提供することにある。
【0012】
また、本発明の目的は、バリキャップダイオードのリーク電流の低減とチップ面積の縮小とを同時に満たすことのできる技術を提供することにある。
【0013】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【0015】
本発明は、半導体ウエハ上にn型エピタキシャル層を形成する工程と、n型エピタキシャル層上に第1絶縁膜を形成した後、第1絶縁膜にn型エピタキシャル層に達する第1開口部を形成する工程と、n型エピタキシャル層の相対的に深い位置にn型拡散層を形成し、n型エピタキシャル層の相対的に浅い位置にp型拡散層を形成する工程と、第1開口部の内部を含む第1絶縁膜の上層に第2絶縁膜を形成し、第2絶縁膜にp型拡散層に達する第2開口部を形成し、同時にチップの外周部の第2絶縁膜を除去する工程と、第2開口部の内部を含む第2絶縁膜の上層にメタル膜を形成し、メタル膜をパターニングすることによって、p型拡散層に接するアノード電極およびチップの外周部に露出したn型エピタキシャル層に接する外周電極を形成する工程とを有するものである。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【0017】
本発明の一実施の形態であるバリキャップダイオードの製造方法の一例を図1〜図10に従って、工程順に説明する。
【0018】
図1および図2は、本実施の形態であるバリキャップダイオードの製造工程中の図を示している。図1は、バリキャップダイオードの要部上面図、図2は、図1のA−A線における要部断面図である。なおバリキャップダイオードは、半導体ウエハ上にチップ単位で作り込まれ、例えば直径が5インチの半導体ウエハでは10万個程度のチップが形成されるが、図1および図2には半導体ウエハに形成された一部のチップのみを示す。また図1中に示す点線は、スクライブラインによって区画されたチップ形成領域を示す。
【0019】
まず、抵抗率が約0.0001Ωcmの単結晶シリコンからなる半導体ウエハ1を用意する。続いて気相成長法を用いてn型(第1導電型)不純物を含むn型エピタキシャル層2を形成する。n型エピタキシャル層2の厚さは、後述するn型拡散層の空乏層の伸びを考慮して設定される。
【0020】
次に、例えば熱酸化法を用いてn型エピタキシャル層2の表面に絶縁膜、例えば酸化シリコン膜(第1絶縁膜)3を形成する。続いて酸化シリコン膜3上にフォトレジスト膜(図示は省略)を形成した後、そのフォトレジスト膜をマスクとして酸化シリコン膜3をエッチングすることにより、酸化シリコン膜3にn型エピタキシャル層2に達する平面円形の開口部(第1開口部)4を形成する。この開口部4の底面積は所定の値で固定するものであり、その形状は平面円形に限定されるものではなく、例えば矩形とすることができる。開口部4を形成する際、同時にチップの外周部およびスクライブラインSLの酸化シリコン膜3も除去される。
【0021】
次に、上記開口部4の形成に用いたフォトレジスト膜を除去した後、半導体ウエハ1上にフォトレジスト膜(図示は省略)を形成し、そのフォトレジスト膜をマスクとして、開口部4からn型エピタキシャル層2のpn接合形成領域にn型不純物、例えばリンイオンを導入する。続いて半導体ウエハ1に対して熱処理を施し、そのリンイオンを拡散させることにより、n型拡散層(第1拡散層)5を形成する。
【0022】
次に、上記n型拡散層5の形成に用いたフォトレジスト膜を除去した後、半導体ウエハ1上にフォトレジスト膜(図示は省略)を形成し、そのフォトレジスト膜をマスクとして、開口部4からn型エピタキシャル層2のpn接合形成領域にp型(第2導電型)不純物、例えばボロンイオンを導入する。続いて半導体ウエハ1に対して熱処理を施し、そのボロンイオンを拡散させることにより、p型拡散層(第2拡散層)6を形成する。ここまでの工程により、n型拡散層5およびp型拡散層6からなるpn接合を形成することができる。
【0023】
図3は、続く製造工程における図1と同じ箇所の要部上面図であり、図4は、続く製造工程における図2と同じ箇所の要部断面図である。
【0024】
ここでは、まず上記p型拡散層6の形成に用いたフォトレジスト膜を除去した後、開口部4の内部を含む酸化シリコン膜3の上層に、例えばCVD(Chemical Vapor Deposition)法により酸化シリコン膜7aを堆積し、続いてCVD法によりPSG(Phospho Silicate Glass)膜7bを堆積し、酸化シリコン膜7aおよびPSG膜7bからなる表面保護膜(第2絶縁膜)7を形成する。次いで半導体ウエハ1上にフォトレジスト膜(図示は省略)を形成し、そのフォトレジスト膜をマスクとして表面保護膜7をエッチングすることにより、p型拡散層6に達する開口部(第2開口部)8を形成し、同時にチップの周辺部およびスクライブラインSLの表面保護膜7を除去する。
【0025】
図5は、続く製造工程における図1と同じ箇所の要部上面図であり、図6は、続く製造工程における図2と同じ箇所の要部断面図である。
【0026】
ここでは、まず上記開口部8の形成に用いたフォトレジスト膜を除去した後、開口部8の内部を含む表面保護膜7の上層に、例えばアルミニウム合金またはタングステンなどのメタル膜を堆積する。次いで半導体ウエハ1上にフォトレジスト膜(図示は省略)を形成し、そのフォトレジスト膜をマスクとしてメタル膜をエッチングすることにより、メタル膜をパターニングして、p型拡散層6と電気的に接続するアノード電極(第1金属電極)9a、およびチップの外周部に露出したn型エピタキシャル層2と接続する外周電極(第2金属電極)9bを形成する。なおこの外周電極9bはスクライブラインSLには形成されない。
【0027】
チップの外周部に形成された外周電極9bは、製造ライン内のプラスイオンをはじくことから、チップの周辺からpn接合部へ浸入するプラスイオンを防いで、pn接合部のリーク電流を低減させることができる。またチップの外周部にプラスイオンの浸入を防ぐためのn型層を形成する必要がなく、また本実施の形態では、外周電極9bをアノード電極9aと同一層のメタル膜で形成するので、製造工程数は増加しない。
【0028】
さらに、本実施の形態では、チップの外周部にn型層を形成する必要がないことからpn接合の端部からチップの周囲までの距離を短くできるので、チップの外周部にn型層を形成した場合と比べてチップ面積を約80%程度小さくすることができる。また製造工程数を増加させることなく、1枚の半導体ウエハ1から得られるチップ数を多くできるので、バリキャップダイオードの製造原価を低減することができる。
【0029】
図7は、続く製造工程における図2と同じ箇所の要部断面図である。
【0030】
ここでは、まず半導体ウエハ1の裏面をグラインディングによって研削し、後述するパッケージ形態に合わせて半導体ウエハ1を薄くする。続いて半導体ウエハ1の裏面をウェットエッチングした後、半導体ウエハ1を洗浄する。次いで、例えばスパッタ法を用いて半導体ウエハ1の裏面に銀膜を堆積することによって裏面電極(カソード電極)10を形成する。なお本実施の形態においては、裏面電極10が銀膜である場合を例示するが、金からなる膜であってもよい。ここまでの工程により、本実施の形態のバリキャップダイオード11を形成することができる。
【0031】
図8は、続く工程における半導体ウエハの全体を示す斜視図である。
【0032】
ここでは、半導体ウエハ1の裏面にダイシング用のウエハシートWSを貼付した後、ダイシングブレードDBを用いたハーフカット法により半導体ウエハ1を個々のチップ形成領域に区画するスクライブラインSLに溝を形成する。なお半導体ウエハ1は、スクライブラインSLにより数十万個のチップ形成領域に区画されている。次いでウエハシートWSを半導体ウエハ1の裏面から剥がし、半導体ウエハ1を個々のチップに分割する。チップの外周部に外周電極9bを設けているので、チップの周囲の不定形破綻状態、いわゆるチッピングを防止することができる。
【0033】
図9および図10は、続く工程におけるパッケージされたバリキャップダイオードを示す要部断面図および要部平面図である。
【0034】
ここでは、バリキャップダイオード11は樹脂により封止されて、パッケージングされる。このパッケージにおいては、リード12にバリキャップダイオード11の裏面電極10を接続する。続いてアノード電極9aをボンディングワイヤ13を介してリード14と電気的に接続する。次いでリード12の内端部、リード14の内端部、バリキャップダイオード11およびボンディングワイヤ13を封止樹脂15により封止することにより、リード12の外端部およびリード14の外端部を実装用に外部に露出させたパッケージを形成する。この時、封止樹脂15の外周部には、カラーバンド等の極性認識マーク16が形成される。
【0035】
なお、本実施の形態では、半導体ウエハ1にn型エピタキシャル層2を形成し、このn型エピタキシャル層2に表面側からp型拡散層6およびn型拡散層5を置いてpn接合を構成したが、導電型を逆にしてもよい。すなわち半導体ウエハ1にp型エピタキシャル層を形成し、このp型エピタキシャル層に表面側からn型拡散層およびp型拡散層を置いてpn接合を構成してもよい。
【0036】
このように、本実施の形態によれば、アノード電極9aと同一層のメタル膜からなる外周電極9bをチップの外周部に設けることにより、チップの外周部からpn接合部へのプラスイオンの浸入を防ぐことができので、製造工程数を増加させることなくpn接合部のリーク電流を低減することができる。さらにチップの外周部にプラスイオンの浸入を防ぐためのn型層を形成する必要がないことからチップシュリンクが可能となり、pn接合部のリーク電流を低減できると同時にチップ面積を縮小することができる。
【0037】
以上、本発明者によってなされた発明を発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【0038】
例えば、前記実施の形態では、バリキャップダイオードの製造工程に適用する場合について説明したが、PIN(Positive Intrinsic Negative)ダイオードまたはスイッチングダイオードのような他種のダイオードの製造工程に適用することも可能である。
【0039】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
【0040】
バリキャップダイオードのアノード電極と同一層のメタル膜からなる外周電極をチップの外周部に設けることにより、チップの周辺部からpn接合部へのプラスイオンの浸入を防ぐことができるので、製造工程数を増加させることなくpn接合部のリーク電流を低減することができる。さらにチップの外周部にプラスイオンの浸入を防ぐためのn型層を形成する必要がないことからチップシュリンクが可能となり、pn接合部のリーク電流の低減とチップ面積の縮小とを同時に満たすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態であるバリキャップダイオードの製造方法を説明する要部上面図である。
【図2】図1のA−A線における要部断面図である。
【図3】図1、図2に続くバリキャップダイオードの製造工程中の図1と同じ箇所の要部上面図である。
【図4】図3と同じ製造工程時のバリキャップダイオードの製造工程中の図2と同じ箇所の要部断面図である。
【図5】図3、図4に続くバリキャップダイオードの製造工程中の図1と同じ箇所の要部上面図である。
【図6】図5と同じ製造工程時のバリキャップダイオードの製造工程中の図2と同じ箇所の要部断面図である。
【図7】図5、図6に続くバリキャップダイオードの製造工程中の図2と同じ箇所の要部断面図である。
【図8】図7に続くバリキャップダイオードの製造工程中の斜視図である。
【図9】本発明の一実施の形態であるバリキャップダイオードの製造工程中の要部断面図である。
【図10】本発明の一実施の形態であるバリキャップダイオードの製造工程中の要部平面図である。
【符号の説明】
1 半導体ウエハ
2 n型エピタキシャル層
3 酸化シリコン膜(第1絶縁膜)
4 開口部(第1開口部)
5 n型拡散層(第1拡散層)
6 p型拡散層(第2拡散層)
7 表面保護膜(第2絶縁膜)
7a 酸化シリコン膜
7b PSG膜
8 開口部(第2開口部)
9a アノード電極(第1金属電極)
9b 外周電極(第2金属電極)
10 裏面電極
11 バリキャップダイオード
12 リード
13 ボンディングワイヤ
14 リード
15 封止樹脂
16 極性認識マーク
SL スクライブライン
WS ウエハシート
DB ダイシングブレード
Claims (5)
- (a)半導体ウエハ上に第1導電型の不純物を含むエピタキシャル層を形成する工程と、
(b)前記エピタキシャル層上に第1絶縁膜を形成した後、前記第1絶縁膜に前記エピタキシャル層に達する第1開口部を形成する工程と、
(c)前記エピタキシャル層の相対的に深い位置に前記第1開口部から前記第1導電型の不純物を導入して第1拡散層を形成し、前記エピタキシャル層の相対的に浅い位置に前記第1開口部から第2導電型の不純物を導入して第2拡散層を形成する工程と、
(d)前記第1開口部の内部を含む前記第1絶縁膜の上層に第2絶縁膜を形成し、前記第2絶縁膜に前記第2拡散層に達する第2開口部を形成し、同時にチップの外周部の前記第2絶縁膜を除去する工程と、
(e)前記第2開口部の内部を含む前記第2絶縁膜の上層にメタル膜を形成し、前記メタル膜をパターニングすることによって、前記第2拡散層に接する第1金属電極および前記チップの外周部に露出した前記エピタキシャル層に接する第2金属電極を形成する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - (a)半導体ウエハ上に第1導電型の不純物を含むエピタキシャル層を形成する工程と、
(b)前記エピタキシャル層上に第1絶縁膜を形成した後、前記第1絶縁膜に前記エピタキシャル層に達する第1開口部を形成する工程と、
(c)前記エピタキシャル層の相対的に深い位置に前記第1開口部から前記第1導電型の不純物を導入して第1拡散層を形成し、前記エピタキシャル層の相対的に浅い位置に前記第1開口部から第2導電型の不純物を導入して第2拡散層を形成する工程と、
(d)前記第1開口部の内部を含む前記第1絶縁膜の上層に第2絶縁膜を形成し、前記第2絶縁膜に前記第2拡散層に達する第2開口部を形成し、同時にチップの外周部の前記第2絶縁膜を除去する工程と、
(e)前記第2開口部の内部を含む前記第2絶縁膜の上層にメタル膜を形成し、前記メタル膜をパターニングすることによって、前記第2拡散層に接する第1金属電極および前記チップの外周部に露出した前記エピタキシャル層に接する第2金属電極を形成する工程とを有し、
前記第1開口部の平面形状が円形であることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - (a)半導体ウエハ上に第1導電型の不純物を含むエピタキシャル層を形成する工程と、
(b)前記エピタキシャル層上に第1絶縁膜を形成した後、前記第1絶縁膜に前記エピタキシャル層に達する第1開口部を形成する工程と、
(c)前記エピタキシャル層の相対的に深い位置に前記第1開口部から前記第1導電型の不純物を導入して第1拡散層を形成し、前記エピタキシャル層の相対的に浅い位置に前記第1開口部から第2導電型の不純物を導入して第2拡散層を形成する工程と、
(d)前記第1開口部の内部を含む前記第1絶縁膜の上層に第2絶縁膜を形成し、前記第2絶縁膜に前記第2拡散層に達する第2開口部を形成し、同時にチップの外周部の前記第2絶縁膜を除去する工程と、
(e)前記第2開口部の内部を含む前記第2絶縁膜の上層にメタル膜を形成し、前記メタル膜をパターニングすることによって、前記第2拡散層に接する第1金属電極および前記チップの外周部に露出した前記エピタキシャル層に接する第2金属電極を形成する工程とを有し、
前記メタル膜はアルミニウム合金膜であることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - (a)半導体ウエハ上に第1導電型の不純物を含むエピタキシャル層を形成する工程と、
(b)前記エピタキシャル層上に第1絶縁膜を形成した後、前記第1絶縁膜に前記エピタキシャル層に達する第1開口部を形成する工程と、
(c)前記エピタキシャル層の相対的に深い位置に前記第1開口部から前記第1導電型の不純物を導入して第1拡散層を形成し、前記エピタキシャル層の相対的に浅い位置に前記第1開口部から第2導電型の不純物を導入して第2拡散層を形成する工程と、
(d)前記第1開口部の内部を含む前記第1絶縁膜の上層に第2絶縁膜を形成し、前記第2絶縁膜に前記第2拡散層に達する第2開口部を形成し、同時にチップの外周部の前記第2絶縁膜を除去する工程と、
(e)前記第2開口部の内部を含む前記第2絶縁膜の上層にメタル膜を形成し、前記メタル膜をパターニングすることによって、前記第2拡散層に接する第1金属電極および前記チップの外周部に露出した前記エピタキシャル層に接する第2金属電極を形成する工程とを有し、
前記第2絶縁膜は、PSG膜または少なくとも1つの層にPSG膜を設けた積層構造の絶縁膜からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体ウエハ上に形成された第1導電型のエピタキシャル層と、前記エピタキシャル層上に形成された第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜に形成された前記エピタキシャル層に達する第1開口部と、前記エピタキシャル層の相対的に深い位置に形成された前記第1導電型の第1拡散層と、前記エピタキシャル層の相対的に浅い位置に形成された第2導電型の第2拡散層と、前記第1開口部の底部にて前記第2拡散層に接する第1金属電極と、チップの外周部にて前記エピタキシャル層に接する第2金属電極とからなり、前記第1金属電極と前記第2金属電極とは同一層であることを特徴とする半導体装置。
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Country Status (1)
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54136964A (en) * | 1978-12-21 | 1979-10-24 | Sharp Corp | Hot permanent waver |
JPS62131455A (ja) * | 1985-12-02 | 1987-06-13 | Nissin Electric Co Ltd | イオン処理装置用エンドステ−シヨン |
JPH0697165A (ja) * | 1992-09-16 | 1994-04-08 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH1074961A (ja) * | 1996-08-30 | 1998-03-17 | Sony Corp | 可変容量ダイオードおよびその製造方法 |
JPH10144916A (ja) * | 1996-11-06 | 1998-05-29 | Toshiba Corp | 半導体装置とその製造方法 |
JP2000082825A (ja) * | 1998-09-07 | 2000-03-21 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | 半導体素子 |
JP2001111034A (ja) * | 1999-10-07 | 2001-04-20 | Fuji Electric Co Ltd | プレーナ型半導体装置 |
JP2002305309A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-10-18 | Hitachi Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2003
- 2003-04-18 JP JP2003113606A patent/JP2004319860A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54136964A (en) * | 1978-12-21 | 1979-10-24 | Sharp Corp | Hot permanent waver |
JPS62131455A (ja) * | 1985-12-02 | 1987-06-13 | Nissin Electric Co Ltd | イオン処理装置用エンドステ−シヨン |
JPH0697165A (ja) * | 1992-09-16 | 1994-04-08 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH1074961A (ja) * | 1996-08-30 | 1998-03-17 | Sony Corp | 可変容量ダイオードおよびその製造方法 |
JPH10144916A (ja) * | 1996-11-06 | 1998-05-29 | Toshiba Corp | 半導体装置とその製造方法 |
JP2000082825A (ja) * | 1998-09-07 | 2000-03-21 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | 半導体素子 |
JP2001111034A (ja) * | 1999-10-07 | 2001-04-20 | Fuji Electric Co Ltd | プレーナ型半導体装置 |
JP2002305309A (ja) * | 2001-02-01 | 2002-10-18 | Hitachi Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
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