JPH0547896A - ウエハカセツトストツカ - Google Patents

ウエハカセツトストツカ

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JPH0547896A
JPH0547896A JP22843791A JP22843791A JPH0547896A JP H0547896 A JPH0547896 A JP H0547896A JP 22843791 A JP22843791 A JP 22843791A JP 22843791 A JP22843791 A JP 22843791A JP H0547896 A JPH0547896 A JP H0547896A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer cassette
cassette stocker
wafer
stocker
array
Prior art date
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Pending
Application number
JP22843791A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiichi Mimura
誠一 三村
Shoji Yano
昭二 矢野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP22843791A priority Critical patent/JPH0547896A/ja
Publication of JPH0547896A publication Critical patent/JPH0547896A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ライン内搬送機器の搬送時間を短縮でき、搬
送量の増加を図る。 【構成】 ウエハカセット3の載置台列9を回転可能に
環状に数段連結するとともに、この複数列の載置台列を
個々に回動が可能であるように構成したものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウエハの製造
工程において、完成又は未完成の製品を一時的に収納し
て保管するウエハカセットストッカ、特にウエハカセッ
トの、ウエハカセットストッカへの収納、取出し作業に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】図2は従来の半導体工場における半導体
ウエハカセットの搬送形態の一例を示した斜視図であ
り、図において、1は半導体ウエハ(図示しない)の製
造工程において、半導体ウエハに加工処理を行うための
処理装置、2は各処理装置1間にウエハカセット3を搬
送するための搬送ロボット、4は完成又は未完成の半導
体ウエハを一時的に保管するためのウエハカセットスト
ッカ、5は上記搬送ロボット2により上記ウエハカセッ
ト3を収納又は取出しを行うための、収納、取出し口で
ある。
【0003】図3は上記ウエハカセットストッカ4の構
造を示す斜視図であり、図において、6はウエハカセッ
ト3を所定の数量だけ載置可能な載置台であり、この載
置台6は、チェーン7により環状に数段連結されて、ス
プロケットにより回転する機構になっており、搬送ロボ
ット2によりウエハカセット3を収納、取出しを行う際
に、任意の載置台6を収納、取出し口5に位置させる。
そして半導体ウエハの製造工場においては、処理装置
1、搬送ロボット2、ウエハカセットストッカ4を例え
ば図2のように配置し、各工程における処理装置間のバ
ランスをとるために、ウエハカセット3をウエハカセッ
トストッカ4に搬送し、一時的に収納、またはウエハカ
セットストッカ4より取出して、処理装置1へ搬送し、
仕掛けるといった作業を行う。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のウエハカセット
ストッカは、上述のように搬送ロボット2にて、ウエハ
カセットの収納、取出しを行うが、上記搬送ロボット2
においては、横一列に載置された数個のウエハカセット
を一挙同時に搬送する機能を具備しており、ウエハカセ
ットストッカ内のウエハカセットの内、次工程の行先が
同じであるウエハカセットを取出す際には、一挙に搬送
することが可能である。ところが、上記ウエハカセット
ストッカは、ウエハカセットを横一列に特定個数だけ載
置可能な載置台を複数段連結したものであり、次工程の
行先が同じウエハカセットが異なる載置台に個別に点在
する場合には、搬送ロボット2により予め同一段の載置
台に横一列に置き換えるという作業を行い、その後、搬
送ロボット2にて、一挙に把持して搬送を行っていた。
しかし、近年の半導体ウエハの製造工程数は、数百工程
に及ぶとともに、半導体ウエハの製造における処理装置
においても、多種、多数に及んでいるため、ウエハカセ
ットストッカへの収納、取出しも繁雑となり、搬送ロボ
ット2による搬送量は増加する一方である。それにも拘
らず、ウエハカセットストッカ内の個別に点在する次工
程の行き先が同一のウエハカセットを複数段の載置台か
ら同一段の載置台に置き換える作業は搬送ロボット2で
行っているために非常に搬送の効率が悪いとともに、繁
雑なな収納、取出し作業に対処が困難である等の問題が
あった。
【0005】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、次工程の行先が同じウエハカセ
ットが異なる段の載置台に個別に点在する場合に、搬送
ロボットによる搬送を行うことなく、予め、ウエハカセ
ットストッカの収納、取出し口の高さで横一列に揃えて
置き換えることが可能なウエハカセットストッカを得る
ことを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係るウエハカ
セットストッカは、従来、複数段連結していた、横一列
に複数個載置する載置台を、切り離して独立させ、縦一
列毎に複数段の載置台を連結して、個々に独立した駆動
系を具備させて、縦一列毎に独立して回転ができるよう
にしたものである。
【0007】
【作用】この発明に係るウエハカセットストッカは、縦
一列毎に複数段の載置台を連結して個々に独立した駆動
系を具備させて、縦一列毎に独立して回転ができるよう
にしたことにより、次工程の行先が同じウエハカセット
が各々異なる列の異なる段の載置台に個別に点在する場
合にも、ウエハカセットストッカ自身で個々の載置台列
を回転させて、予めウエハカセットストッカの収納、取
出し口の高さに横一列に揃えて置き換えることが可能で
あるとともに、別の搬送ロボットを用いることが不要の
ため、別の搬送ロボットの搬送効率を上げることができ
る。
【0008】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1はこの発明の一実施例を示す斜視図であり、
図において、8は処理装置1群間にわたってウエハカセ
ット3を搬送する無人搬送車、3はこの無人搬送車8及
び地上走行タイプの搬送ロボット2によって処理装置間
にわたって搬送されるウエハカセット、9は縦一列毎に
複数段連結された載置台、10はこの縦一列毎に複数段
連結された載置台9を個々に独立して回転させるための
駆動系、11は上記搬送ロボット2に具備されウエハカ
セット3を把持するためのハンドである。なおその他、
図2、図3と同符号のものは同一又は相当部分であるの
で説明は省略する。
【0009】上記のように構成されたものにおいて、ウ
エハカセット3は、例えば、前工程の別の処理装置群
(図示しない)から無人搬送車8によって運ばれた後、
一旦搬送車ステーション(図示しない)に降ろされ、そ
こから、搬送ロボット2によって、ウエハカセットスト
ッカ4の載置台9に一時的に載置され、収納される。次
に処理装置1の空きにより、ウエハカセットストッカ4
の収納、取出し口5から搬送ロボット2によって取出さ
れ、処理装置1へ搬送される。その際、上記処理装置1
の処理単位が複数個同時に行え、行先が同一のウエハカ
セット3が各々異なる列の異なる段の載置台に個別に点
在する場合には、ウエハカセットストッカ自身で予め個
々の載置台列9を回転させて、予めウエハカセットスト
ッカ4の収納、取出し口5の高さに横一列に揃えてお
き、搬送ロボット2により一挙に処理装置1へ搬送す
る。一方、処理済みのウエハカセット3も次工程の空き
が発生するまでの間、搬送ロボット2によって一旦ウエ
ハカセットストッカ4に収納されるが、次工程が同一の
処理装置群へ搬送されるべきウエハカセット3は、同様
に、予め載置台9を個別に回転させ、ウエハカセットス
トッカ4の収納、取出し口5の高さに横一列に揃えてお
き、搬送ロボット2により一挙に搬送車ステーション
(図示しない)へと搬送される。
【0010】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、縦一
列毎に複数段の載置台を連結して、この連結した載置台
列毎に独立した駆動系を具備させて、縦一列毎に独立し
て回転ができるようにしたことにより、次工程の行先が
同じウエハカセットが各々異なる列の異なる段の載置台
に個別に点在する場合に、別の搬送ロボットを用いるこ
となく、ウエハカセットストッカ自身で個々の載置台列
を回転させて、予めウエハカセットストッカの収納、取
出し口の高さに横一列に揃えて置き換えることが可能で
あり、このため増加の一方をたどる別の搬送ロボットの
搬送の繁雑さを緩和出来るとともに、従来、かなりの時
間を要していた、搬送ロボットによる同一段の載置台へ
の置き換え作業の時間を大幅に短縮できるという効果を
有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例によるウエハカセットスト
ッカの概略構成を示す斜視図である。
【図2】従来の半導体ウエハカセットの搬送形態の一例
を示す斜視図である。
【図3】従来例のウエハカセットストッカの概略構成を
示す斜視図である。
【符号の説明】
1 処理装置 2 搬送ロボット 3 ウエハカセット 4 ウエハカセットストッカ 5 収納、取出し口 9 載置台列

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体ウエハが所定の枚数収納されたウ
    エハカセットの載置台を環状に数段連結し、この載置台
    を回転させて前面または背面の所定の高さに配置した収
    納、取出し口に位置させて、上記ウエハカセットの収
    納、取出しを行うウエハカセットストッカにおいて、上
    記ウエハカセットの載置台列を複数列具備するととも
    に、この複数列の載置台列は個別に回転動作が可能であ
    ることを特徴とするウエハカセットストッカ。
JP22843791A 1991-08-12 1991-08-12 ウエハカセツトストツカ Pending JPH0547896A (ja)

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