JPH0547896A - ウエハカセツトストツカ - Google Patents
ウエハカセツトストツカInfo
- Publication number
- JPH0547896A JPH0547896A JP22843791A JP22843791A JPH0547896A JP H0547896 A JPH0547896 A JP H0547896A JP 22843791 A JP22843791 A JP 22843791A JP 22843791 A JP22843791 A JP 22843791A JP H0547896 A JPH0547896 A JP H0547896A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer cassette
- cassette stocker
- wafer
- stocker
- array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ライン内搬送機器の搬送時間を短縮でき、搬
送量の増加を図る。 【構成】 ウエハカセット３の載置台列９を回転可能に
環状に数段連結するとともに、この複数列の載置台列を
個々に回動が可能であるように構成したものである。
送量の増加を図る。 【構成】 ウエハカセット３の載置台列９を回転可能に
環状に数段連結するとともに、この複数列の載置台列を
個々に回動が可能であるように構成したものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウエハの製造
工程において、完成又は未完成の製品を一時的に収納し
て保管するウエハカセットストッカ、特にウエハカセッ
トの、ウエハカセットストッカへの収納、取出し作業に
関するものである。
工程において、完成又は未完成の製品を一時的に収納し
て保管するウエハカセットストッカ、特にウエハカセッ
トの、ウエハカセットストッカへの収納、取出し作業に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の半導体工場における半導体
ウエハカセットの搬送形態の一例を示した斜視図であ
り、図において、１は半導体ウエハ（図示しない）の製
造工程において、半導体ウエハに加工処理を行うための
処理装置、２は各処理装置１間にウエハカセット３を搬
送するための搬送ロボット、４は完成又は未完成の半導
体ウエハを一時的に保管するためのウエハカセットスト
ッカ、５は上記搬送ロボット２により上記ウエハカセッ
ト３を収納又は取出しを行うための、収納、取出し口で
ある。
ウエハカセットの搬送形態の一例を示した斜視図であ
り、図において、１は半導体ウエハ（図示しない）の製
造工程において、半導体ウエハに加工処理を行うための
処理装置、２は各処理装置１間にウエハカセット３を搬
送するための搬送ロボット、４は完成又は未完成の半導
体ウエハを一時的に保管するためのウエハカセットスト
ッカ、５は上記搬送ロボット２により上記ウエハカセッ
ト３を収納又は取出しを行うための、収納、取出し口で
ある。
【０００３】図３は上記ウエハカセットストッカ４の構
造を示す斜視図であり、図において、６はウエハカセッ
ト３を所定の数量だけ載置可能な載置台であり、この載
置台６は、チェーン７により環状に数段連結されて、ス
プロケットにより回転する機構になっており、搬送ロボ
ット２によりウエハカセット３を収納、取出しを行う際
に、任意の載置台６を収納、取出し口５に位置させる。
そして半導体ウエハの製造工場においては、処理装置
１、搬送ロボット２、ウエハカセットストッカ４を例え
ば図２のように配置し、各工程における処理装置間のバ
ランスをとるために、ウエハカセット３をウエハカセッ
トストッカ４に搬送し、一時的に収納、またはウエハカ
セットストッカ４より取出して、処理装置１へ搬送し、
仕掛けるといった作業を行う。
造を示す斜視図であり、図において、６はウエハカセッ
ト３を所定の数量だけ載置可能な載置台であり、この載
置台６は、チェーン７により環状に数段連結されて、ス
プロケットにより回転する機構になっており、搬送ロボ
ット２によりウエハカセット３を収納、取出しを行う際
に、任意の載置台６を収納、取出し口５に位置させる。
そして半導体ウエハの製造工場においては、処理装置
１、搬送ロボット２、ウエハカセットストッカ４を例え
ば図２のように配置し、各工程における処理装置間のバ
ランスをとるために、ウエハカセット３をウエハカセッ
トストッカ４に搬送し、一時的に収納、またはウエハカ
セットストッカ４より取出して、処理装置１へ搬送し、
仕掛けるといった作業を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のウエハカセット
ストッカは、上述のように搬送ロボット２にて、ウエハ
カセットの収納、取出しを行うが、上記搬送ロボット２
においては、横一列に載置された数個のウエハカセット
を一挙同時に搬送する機能を具備しており、ウエハカセ
ットストッカ内のウエハカセットの内、次工程の行先が
同じであるウエハカセットを取出す際には、一挙に搬送
することが可能である。ところが、上記ウエハカセット
ストッカは、ウエハカセットを横一列に特定個数だけ載
置可能な載置台を複数段連結したものであり、次工程の
行先が同じウエハカセットが異なる載置台に個別に点在
する場合には、搬送ロボット２により予め同一段の載置
台に横一列に置き換えるという作業を行い、その後、搬
送ロボット２にて、一挙に把持して搬送を行っていた。
しかし、近年の半導体ウエハの製造工程数は、数百工程
に及ぶとともに、半導体ウエハの製造における処理装置
においても、多種、多数に及んでいるため、ウエハカセ
ットストッカへの収納、取出しも繁雑となり、搬送ロボ
ット２による搬送量は増加する一方である。それにも拘
らず、ウエハカセットストッカ内の個別に点在する次工
程の行き先が同一のウエハカセットを複数段の載置台か
ら同一段の載置台に置き換える作業は搬送ロボット２で
行っているために非常に搬送の効率が悪いとともに、繁
雑なな収納、取出し作業に対処が困難である等の問題が
あった。
ストッカは、上述のように搬送ロボット２にて、ウエハ
カセットの収納、取出しを行うが、上記搬送ロボット２
においては、横一列に載置された数個のウエハカセット
を一挙同時に搬送する機能を具備しており、ウエハカセ
ットストッカ内のウエハカセットの内、次工程の行先が
同じであるウエハカセットを取出す際には、一挙に搬送
することが可能である。ところが、上記ウエハカセット
ストッカは、ウエハカセットを横一列に特定個数だけ載
置可能な載置台を複数段連結したものであり、次工程の
行先が同じウエハカセットが異なる載置台に個別に点在
する場合には、搬送ロボット２により予め同一段の載置
台に横一列に置き換えるという作業を行い、その後、搬
送ロボット２にて、一挙に把持して搬送を行っていた。
しかし、近年の半導体ウエハの製造工程数は、数百工程
に及ぶとともに、半導体ウエハの製造における処理装置
においても、多種、多数に及んでいるため、ウエハカセ
ットストッカへの収納、取出しも繁雑となり、搬送ロボ
ット２による搬送量は増加する一方である。それにも拘
らず、ウエハカセットストッカ内の個別に点在する次工
程の行き先が同一のウエハカセットを複数段の載置台か
ら同一段の載置台に置き換える作業は搬送ロボット２で
行っているために非常に搬送の効率が悪いとともに、繁
雑なな収納、取出し作業に対処が困難である等の問題が
あった。
【０００５】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、次工程の行先が同じウエハカセ
ットが異なる段の載置台に個別に点在する場合に、搬送
ロボットによる搬送を行うことなく、予め、ウエハカセ
ットストッカの収納、取出し口の高さで横一列に揃えて
置き換えることが可能なウエハカセットストッカを得る
ことを目的とする。
ためになされたもので、次工程の行先が同じウエハカセ
ットが異なる段の載置台に個別に点在する場合に、搬送
ロボットによる搬送を行うことなく、予め、ウエハカセ
ットストッカの収納、取出し口の高さで横一列に揃えて
置き換えることが可能なウエハカセットストッカを得る
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係るウエハカ
セットストッカは、従来、複数段連結していた、横一列
に複数個載置する載置台を、切り離して独立させ、縦一
列毎に複数段の載置台を連結して、個々に独立した駆動
系を具備させて、縦一列毎に独立して回転ができるよう
にしたものである。
セットストッカは、従来、複数段連結していた、横一列
に複数個載置する載置台を、切り離して独立させ、縦一
列毎に複数段の載置台を連結して、個々に独立した駆動
系を具備させて、縦一列毎に独立して回転ができるよう
にしたものである。
【０００７】
【作用】この発明に係るウエハカセットストッカは、縦
一列毎に複数段の載置台を連結して個々に独立した駆動
系を具備させて、縦一列毎に独立して回転ができるよう
にしたことにより、次工程の行先が同じウエハカセット
が各々異なる列の異なる段の載置台に個別に点在する場
合にも、ウエハカセットストッカ自身で個々の載置台列
を回転させて、予めウエハカセットストッカの収納、取
出し口の高さに横一列に揃えて置き換えることが可能で
あるとともに、別の搬送ロボットを用いることが不要の
ため、別の搬送ロボットの搬送効率を上げることができ
る。
一列毎に複数段の載置台を連結して個々に独立した駆動
系を具備させて、縦一列毎に独立して回転ができるよう
にしたことにより、次工程の行先が同じウエハカセット
が各々異なる列の異なる段の載置台に個別に点在する場
合にも、ウエハカセットストッカ自身で個々の載置台列
を回転させて、予めウエハカセットストッカの収納、取
出し口の高さに横一列に揃えて置き換えることが可能で
あるとともに、別の搬送ロボットを用いることが不要の
ため、別の搬送ロボットの搬送効率を上げることができ
る。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１はこの発明の一実施例を示す斜視図であり、
図において、８は処理装置１群間にわたってウエハカセ
ット３を搬送する無人搬送車、３はこの無人搬送車８及
び地上走行タイプの搬送ロボット２によって処理装置間
にわたって搬送されるウエハカセット、９は縦一列毎に
複数段連結された載置台、１０はこの縦一列毎に複数段
連結された載置台９を個々に独立して回転させるための
駆動系、１１は上記搬送ロボット２に具備されウエハカ
セット３を把持するためのハンドである。なおその他、
図２、図３と同符号のものは同一又は相当部分であるの
で説明は省略する。
する。図１はこの発明の一実施例を示す斜視図であり、
図において、８は処理装置１群間にわたってウエハカセ
ット３を搬送する無人搬送車、３はこの無人搬送車８及
び地上走行タイプの搬送ロボット２によって処理装置間
にわたって搬送されるウエハカセット、９は縦一列毎に
複数段連結された載置台、１０はこの縦一列毎に複数段
連結された載置台９を個々に独立して回転させるための
駆動系、１１は上記搬送ロボット２に具備されウエハカ
セット３を把持するためのハンドである。なおその他、
図２、図３と同符号のものは同一又は相当部分であるの
で説明は省略する。
【０００９】上記のように構成されたものにおいて、ウ
エハカセット３は、例えば、前工程の別の処理装置群
（図示しない）から無人搬送車８によって運ばれた後、
一旦搬送車ステーション（図示しない）に降ろされ、そ
こから、搬送ロボット２によって、ウエハカセットスト
ッカ４の載置台９に一時的に載置され、収納される。次
に処理装置１の空きにより、ウエハカセットストッカ４
の収納、取出し口５から搬送ロボット２によって取出さ
れ、処理装置１へ搬送される。その際、上記処理装置１
の処理単位が複数個同時に行え、行先が同一のウエハカ
セット３が各々異なる列の異なる段の載置台に個別に点
在する場合には、ウエハカセットストッカ自身で予め個
々の載置台列９を回転させて、予めウエハカセットスト
ッカ４の収納、取出し口５の高さに横一列に揃えてお
き、搬送ロボット２により一挙に処理装置１へ搬送す
る。一方、処理済みのウエハカセット３も次工程の空き
が発生するまでの間、搬送ロボット２によって一旦ウエ
ハカセットストッカ４に収納されるが、次工程が同一の
処理装置群へ搬送されるべきウエハカセット３は、同様
に、予め載置台９を個別に回転させ、ウエハカセットス
トッカ４の収納、取出し口５の高さに横一列に揃えてお
き、搬送ロボット２により一挙に搬送車ステーション
（図示しない）へと搬送される。
エハカセット３は、例えば、前工程の別の処理装置群
（図示しない）から無人搬送車８によって運ばれた後、
一旦搬送車ステーション（図示しない）に降ろされ、そ
こから、搬送ロボット２によって、ウエハカセットスト
ッカ４の載置台９に一時的に載置され、収納される。次
に処理装置１の空きにより、ウエハカセットストッカ４
の収納、取出し口５から搬送ロボット２によって取出さ
れ、処理装置１へ搬送される。その際、上記処理装置１
の処理単位が複数個同時に行え、行先が同一のウエハカ
セット３が各々異なる列の異なる段の載置台に個別に点
在する場合には、ウエハカセットストッカ自身で予め個
々の載置台列９を回転させて、予めウエハカセットスト
ッカ４の収納、取出し口５の高さに横一列に揃えてお
き、搬送ロボット２により一挙に処理装置１へ搬送す
る。一方、処理済みのウエハカセット３も次工程の空き
が発生するまでの間、搬送ロボット２によって一旦ウエ
ハカセットストッカ４に収納されるが、次工程が同一の
処理装置群へ搬送されるべきウエハカセット３は、同様
に、予め載置台９を個別に回転させ、ウエハカセットス
トッカ４の収納、取出し口５の高さに横一列に揃えてお
き、搬送ロボット２により一挙に搬送車ステーション
（図示しない）へと搬送される。
【００１０】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、縦一
列毎に複数段の載置台を連結して、この連結した載置台
列毎に独立した駆動系を具備させて、縦一列毎に独立し
て回転ができるようにしたことにより、次工程の行先が
同じウエハカセットが各々異なる列の異なる段の載置台
に個別に点在する場合に、別の搬送ロボットを用いるこ
となく、ウエハカセットストッカ自身で個々の載置台列
を回転させて、予めウエハカセットストッカの収納、取
出し口の高さに横一列に揃えて置き換えることが可能で
あり、このため増加の一方をたどる別の搬送ロボットの
搬送の繁雑さを緩和出来るとともに、従来、かなりの時
間を要していた、搬送ロボットによる同一段の載置台へ
の置き換え作業の時間を大幅に短縮できるという効果を
有する。
列毎に複数段の載置台を連結して、この連結した載置台
列毎に独立した駆動系を具備させて、縦一列毎に独立し
て回転ができるようにしたことにより、次工程の行先が
同じウエハカセットが各々異なる列の異なる段の載置台
に個別に点在する場合に、別の搬送ロボットを用いるこ
となく、ウエハカセットストッカ自身で個々の載置台列
を回転させて、予めウエハカセットストッカの収納、取
出し口の高さに横一列に揃えて置き換えることが可能で
あり、このため増加の一方をたどる別の搬送ロボットの
搬送の繁雑さを緩和出来るとともに、従来、かなりの時
間を要していた、搬送ロボットによる同一段の載置台へ
の置き換え作業の時間を大幅に短縮できるという効果を
有する。
【図１】この発明の一実施例によるウエハカセットスト
ッカの概略構成を示す斜視図である。
ッカの概略構成を示す斜視図である。
【図２】従来の半導体ウエハカセットの搬送形態の一例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図３】従来例のウエハカセットストッカの概略構成を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
１ 処理装置 ２ 搬送ロボット ３ ウエハカセット ４ ウエハカセットストッカ ５ 収納、取出し口 ９ 載置台列
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体ウエハが所定の枚数収納されたウ
エハカセットの載置台を環状に数段連結し、この載置台
を回転させて前面または背面の所定の高さに配置した収
納、取出し口に位置させて、上記ウエハカセットの収
納、取出しを行うウエハカセットストッカにおいて、上
記ウエハカセットの載置台列を複数列具備するととも
に、この複数列の載置台列は個別に回転動作が可能であ
ることを特徴とするウエハカセットストッカ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22843791A JPH0547896A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | ウエハカセツトストツカ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22843791A JPH0547896A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | ウエハカセツトストツカ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0547896A true JPH0547896A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=16876479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22843791A Pending JPH0547896A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | ウエハカセツトストツカ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0547896A (ja) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0837224A (ja) * | 1994-07-25 | 1996-02-06 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造装置のカセット授受ユニット |
| JPH0837221A (ja) * | 1994-07-25 | 1996-02-06 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造装置のカセット授受ユニット |
| US6012894A (en) * | 1993-06-30 | 2000-01-11 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Automatic lot organization method |
| US6071055A (en) * | 1997-09-30 | 2000-06-06 | Applied Materials, Inc. | Front end vacuum processing environment |
| US6280134B1 (en) * | 1997-06-17 | 2001-08-28 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for automated cassette handling |
| WO2002005314A2 (en) * | 2000-07-07 | 2002-01-17 | Semitool, Inc. | Apparatus for processing a microelectronic workpiece including a workpiece cassette inventory assembly |
| US6551049B2 (en) * | 1998-10-13 | 2003-04-22 | Brooks Automation Gmbh | Device for controlling the drive of mechanisms operating separately from one another |
| US7101138B2 (en) * | 2003-12-03 | 2006-09-05 | Brooks Automation, Inc. | Extractor/buffer |
| JP2009096611A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Asyst Technologies Japan Inc | 保管庫、保管庫セット及び保管庫付き搬送システム |
| KR100898044B1 (ko) * | 2007-10-10 | 2009-05-19 | 세메스 주식회사 | 스토커 유닛 및 상기 스토커 유닛의 카세트 처리 방법,그리고 이를 구비하는 기판 처리 장치 |
| US7585142B2 (en) | 2007-03-16 | 2009-09-08 | Asm America, Inc. | Substrate handling chamber with movable substrate carrier loading platform |
| US7740437B2 (en) | 2006-09-22 | 2010-06-22 | Asm International N.V. | Processing system with increased cassette storage capacity |
| US8455976B2 (en) | 2007-05-22 | 2013-06-04 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and method of blowing fuse thereof |
| US8757955B2 (en) | 2007-09-06 | 2014-06-24 | Murata Machinery, Ltd. | Storage, transporting system and storage set |
| CN108584272A (zh) * | 2018-08-09 | 2018-09-28 | 中建材凯盛机器人（上海）有限公司 | 智能立体仓储系统 |
| JP2021079070A (ja) * | 2019-11-15 | 2021-05-27 | 淳安県環程医療器械有限公司 | 外科専用の手術道具の収納装置 |
| CN113148516A (zh) * | 2021-04-22 | 2021-07-23 | 唐山晟群科技有限公司 | 一种补药装置 |
-
1991
- 1991-08-12 JP JP22843791A patent/JPH0547896A/ja active Pending
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6012894A (en) * | 1993-06-30 | 2000-01-11 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Automatic lot organization method |
| JPH0837221A (ja) * | 1994-07-25 | 1996-02-06 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造装置のカセット授受ユニット |
| JPH0837224A (ja) * | 1994-07-25 | 1996-02-06 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体製造装置のカセット授受ユニット |
| US6471460B1 (en) * | 1996-07-15 | 2002-10-29 | Semitool, Inc. | Apparatus for processing a microelectronic workpiece including a workpiece cassette inventory assembly |
| US6280134B1 (en) * | 1997-06-17 | 2001-08-28 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for automated cassette handling |
| US6071055A (en) * | 1997-09-30 | 2000-06-06 | Applied Materials, Inc. | Front end vacuum processing environment |
| US6551049B2 (en) * | 1998-10-13 | 2003-04-22 | Brooks Automation Gmbh | Device for controlling the drive of mechanisms operating separately from one another |
| WO2002005314A3 (en) * | 2000-07-07 | 2002-04-18 | Semitool Inc | Apparatus for processing a microelectronic workpiece including a workpiece cassette inventory assembly |
| WO2002005314A2 (en) * | 2000-07-07 | 2002-01-17 | Semitool, Inc. | Apparatus for processing a microelectronic workpiece including a workpiece cassette inventory assembly |
| US7101138B2 (en) * | 2003-12-03 | 2006-09-05 | Brooks Automation, Inc. | Extractor/buffer |
| US7740437B2 (en) | 2006-09-22 | 2010-06-22 | Asm International N.V. | Processing system with increased cassette storage capacity |
| US7585142B2 (en) | 2007-03-16 | 2009-09-08 | Asm America, Inc. | Substrate handling chamber with movable substrate carrier loading platform |
| US8455976B2 (en) | 2007-05-22 | 2013-06-04 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and method of blowing fuse thereof |
| US9029981B2 (en) | 2007-05-22 | 2015-05-12 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device having a fuse |
| US8757955B2 (en) | 2007-09-06 | 2014-06-24 | Murata Machinery, Ltd. | Storage, transporting system and storage set |
| KR100898044B1 (ko) * | 2007-10-10 | 2009-05-19 | 세메스 주식회사 | 스토커 유닛 및 상기 스토커 유닛의 카세트 처리 방법,그리고 이를 구비하는 기판 처리 장치 |
| JP2009096611A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Asyst Technologies Japan Inc | 保管庫、保管庫セット及び保管庫付き搬送システム |
| US8622682B2 (en) | 2007-10-18 | 2014-01-07 | Murata Machinery, Ltd. | Storage, storage set and transporting system |
| CN108584272A (zh) * | 2018-08-09 | 2018-09-28 | 中建材凯盛机器人（上海）有限公司 | 智能立体仓储系统 |
| JP2021079070A (ja) * | 2019-11-15 | 2021-05-27 | 淳安県環程医療器械有限公司 | 外科専用の手術道具の収納装置 |
| CN113148516A (zh) * | 2021-04-22 | 2021-07-23 | 唐山晟群科技有限公司 | 一种补药装置 |
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