JPH0447891Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、キヤリアの交換サイクルを延ばす
ことができるように改良したイオン注入装置用エ
ンドステーションに関する。

〔従来の技術〕

第３図は、従来のエンドステーションを示す概
略図である。イオンビーム２０が導入される高真
空の処理室１の両側に、ゲートバルブ２４，２５
を介して第１及び第２の予備真空室２，３がそれ
ぞれ設けられており、当該予備真空室２，３と大
気中とはゲートバルブ２３，２６でそれぞれ仕切
られている。予備真空室２の入口側には、複数枚
例えば２５枚のウエハ１５を収納可能なロード側
のキヤリア４，５が着脱自在に取り付けられてお
り、予備真空室３の出口側には複数枚例えば２５
枚のウエハを収納可能なアンロード側のキヤリア
６，７が着脱自在に取り付けられている。そして
キヤリア４，５から予備真空室２、処理室１、予
備真空室３を経由してキヤリア６，７に至るライ
ンには、ウエハ１５を搬送する搬送ベルト８〜１
３が設けられている。この搬送ベルト８〜１３の
内の所定のものは、昇降機構（図示省略）によつ
て、ウエハ１５の搬送に都合が良いように昇降さ
せられる。尚、符号１４は架台である。

キヤリア４内に収納されていた未注入のウエハ
１５は、そこから１枚ずつ取り出されて予備真空
室２を経由して処理室１内に搬送され、そこで処
理、即ちイオン注入された後、予備真空室３を経
由してキヤリア６内に回収される。また、キヤリ
ア５内に収納されていた未注入のウエハ１５のウ
エハ１５も、同様にしてイオン注入されてキヤリ
ア７に回収される。この場合、キヤリア４，６に
よるウエハ１５の供給、回収とキヤリア５，７に
よるウエハ１５の供給、回収とは、例えば１キヤ
リア毎に交互に行われる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

上述のようなエンドステーシヨンにおいては、
キヤリア４，５が空になつた場合及びキヤリア
６，７が満杯になつた場合は、イオン注入のロス
時間を無くするために速やかにそれらを交換しな
ければならないけれども、従来はこれらのキヤリ
ア４〜７の交換サイクルが短いという問題があつ
た。

従つてこの考案は、キヤリアの交換サイクルを
延ばすことができるエンドステーシヨンを提供す
ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案の、エンドステーシヨンは、ロード側
のキヤリアから第１の予備真空室へのウエハの搬
送経路上に、ロード側のキヤリアからのウエハを
当該キヤリアでの収納枚数以上貯えることができ
るロード側のストツカーを設け、かつ第２の予備
真空室からアンロード側のキヤリアへのウエハの
搬送経路上に、第２の予備真空室からのウエハを
前記ロード側のキヤリアでの収納枚数以上貯える
ことができるアンロード側のストツカーを設けて
いる。

〔作用〕

ロード側のストツカーはロード側のキヤリア内
のウエハを一旦貯えることができ、アンロード側
のストツカーは第２の予備真空室からのウエハを
一旦貯えることができる。従つてストツカーの分
だけ多くのウエハを一度に扱うことができ、これ
によつてキヤリアの交換サイクルを延ばすことが
できる。

〔実施例〕

第１図は、この考案の一実施例に係るエンドス
テーシヨンを示す概略図である。第３図と同等部
分には同一符号を付してその説明を省略する。

この例のエンドステーションにおいては、ロー
ド側のキヤリア４，５から予備真空室２へのウエ
ハの搬送経路上に、即ち搬送ベルト８，９の途中
に、キヤリア４，５からのウエハ１５をそれぞれ
のキヤリアでの収納枚数以上、例えば25枚以上そ
れぞれ貯えることができるロード側のストツカー
１６，１７をそれぞれ設けている。更に、予備真
空室３からアンロード側のキヤリア６，７へのウ
エハの搬送経路上に、即ち搬送ベルト１０，１１
の途中に、予備真空室３からのウエハ１５をキヤ
リア４，５での収納枚数以上、例えば25枚以上そ
れぞれ貯えることができるアンロード側のストツ
カー１８，１９をそれぞれ設けている。

上記キヤリア及びストツカー回りの側面を、例
えばキヤリア４及びストツカー１６を例に説明す
ると、第２図に示すように、キヤリア４は昇降機
構２１によつて、ストツカー１６は昇降機構２２
によつてそれぞれ段階的に昇降させられるように
なつている。そしてキヤリア４、ストツカー１６
の昇降と搬送ベルト８の駆動とを制御装置（図示
省略）によつて制御することによつて、キヤリア
４内のウエハ１５をストツカー１６内に一旦貯え
てそこから処理室１へ搬送することもできるし、
キヤリア４内のウエハ１５を直接処理室１へ搬送
することもできる。キヤリア５及びストツカー１
７についても上述と同様であり、更にキヤリア６
及びストツカー１８並びにキヤリア７及びストツ
カー１９についても、ウエハの流れが反対である
点を除けば上述と同様である。

次にこのエンドステーションの動作の一例を説
明すると、キヤリア４，５内に収納されていた全
てのウエハ１５を一旦ストツカー１６，１７内に
それぞれ貯える。これは短時間で行うことができ
るので、空になつたキヤリア４，５を直ぐにウエ
ハ収納済みのものと交換する。そしてキヤリア４
またはストツカー１６からウエハ１５を取り出し
て予備真空室２を経由して処理室１内に搬入し、
そこでイオン注入の後予備真空室３を経由してキ
ヤリア６またはストツカー１８内に収納（回収）
する。キヤリア５，７及びストツカー１７，１９
のラインについても同様である。従ってこのエン
ドステーシヨンにおいては、第３図の従来のエン
ドステーションに比べてほぼ２倍のウエハ１５を
一度に扱うことができるので、キヤリア交換のサ
イクルもほぼ２倍に延びる。それゆえ、１人の作
業者によつて何台ものエンドステーションを管理
することも可能となる。

またこのエンドステーションにおいては、スト
ツカー１６，１７内にキヤリア４，５内の任意の
ウエハ１５をそれぞれ貯えておき、それを例えば
連続して処理した後ストツカー１８，１９内にそ
れぞれ回収するように制御することもできる。例
えば、キヤリア４内の25枚のウエハ１５の内、１
枚目から10枚目までと20枚目から25枚目までをス
トツカー１６内に貯えておき、キヤリア４内の残
りのウエハ１５とは別の注入条件で連続してイオ
ン注入して、それらをストツカー１８内に回収す
るということもできる。これによつて、イオン注
入の効率向上を図ることができると供に、同一条
件で処理したウエハ１５をまとめて回収すること
により後処理も楽になる。

〔考案の効果〕

以上のようにこの考案によれば、ロード側及び
アンロード側にストツカーを備えているので、多
くのウエハを一度に扱うことができ、これによつ
てキヤリアの交換サイクルを延ばすことができ
る。また、ストツカーにキヤリア内の特定のウエ
ハを貯えることもでき、これによつて同一条件で
イオン注入するウエハを選択することもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案の一実施例に係るエンドス
テーシヨンを示す概略図である。第２図は、第１
図のキヤリア及びストツカー回りの側面を部分的
に示す概略図である。第３図は、従来のエンドス
テーシヨンを示す概略図である。 １……処理室、２，３……予備真空室、４，５
……ロード側のキヤリア、６，７……アンロード
側のキヤリア、８〜１３……搬送ベルト、１５…
…ウエハ、１６，１７……ロード側のストツカ
ー、１８，１９……アンロード側のストツカー、
２０……イオンビーム。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 大気中に設けられたロード側のキヤリアに収納
   していたウエハを第１の予備真空室を経て処理室
   へ搬送し、そこでイオン注入の後当該ウエハを第
   ２の予備真空室を経て大気中に設けられたアンロ
   ード側のキヤリアへ搬送して回収するイオン注入
   装置用エンドステーションにおいて、ロード側の
   キヤリアから第１の予備真空室へのウエハの搬送
   経路上に、ロード側のキヤリアからのウエハを当
   該キヤリアでの収納枚数以上貯えることができる
   ロード側のストツカーを設け、かつ第２の予備真
   空室からアンロード側のキヤリアへのウエハの搬
   送経路上に、第２の予備真空室からのウエハを前
   記ロード側のキヤリアでの収納枚数以上貯えるこ
   とができるアンロード側のストツカーを設けたこ
   とを特徴とするイオン注入装置用エンドステーシ
   ョン。