JPS61167363U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61167363U JPS61167363U JP5261385U JP5261385U JPS61167363U JP S61167363 U JPS61167363 U JP S61167363U JP 5261385 U JP5261385 U JP 5261385U JP 5261385 U JP5261385 U JP 5261385U JP S61167363 U JPS61167363 U JP S61167363U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- vacuum chamber
- preliminary vacuum
- wafers
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 8
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るエンドス
テーシヨンを示す概略図である。第２図は、第１
図のキヤリア及びストツカー回りの側面を部分的
に示す概略図である。第３図は、従来のエンドス
テーシヨンを示す概略図である。 １……処理室、２，３……予備真空室、４，５
……ロード側のキヤリア、６，７……アンロード
側のキヤリア、８〜１３……搬送ベルト、１５…
…ウエハ、１６，１７……ロード側のストツカー
、１８，１９……アンロード側のストツカー、２
０……イオンビーム。
テーシヨンを示す概略図である。第２図は、第１
図のキヤリア及びストツカー回りの側面を部分的
に示す概略図である。第３図は、従来のエンドス
テーシヨンを示す概略図である。 １……処理室、２，３……予備真空室、４，５
……ロード側のキヤリア、６，７……アンロード
側のキヤリア、８〜１３……搬送ベルト、１５…
…ウエハ、１６，１７……ロード側のストツカー
、１８，１９……アンロード側のストツカー、２
０……イオンビーム。
Claims (1)
- 大気中に設けられたロード側のキヤリアに収納
していたウエハを第１の予備真空室を経て処理室
へ搬送し、そこでイオン注入の後当該ウエハを第
２の予備真空室を経て大気中に設けられたアンロ
ード側のキヤリアへ搬送して回収するイオン注入
装置用エンドステーシヨンにおいて、ロード側の
キヤリアから第１の予備真空室へのウエハの搬送
経路上に、ロード側のキヤリアからのウエハを当
該キヤリアでの収納枚数以上貯えることができる
ロード側のストツカーを設け、かつ第２の予備真
空室からアンロード側のキヤリアへのウエハの搬
送経路上に、第２の予備真空室からのウエハを前
記ロード側のキヤリアでの収納枚数以上貯えるこ
とができるアンロード側のストツカーを設けたこ
とを特徴とするイオン注入装置用エンドステーシ
ヨン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5261385U JPH0447891Y2 (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5261385U JPH0447891Y2 (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61167363U true JPS61167363U (ja) | 1986-10-17 |
| JPH0447891Y2 JPH0447891Y2 (ja) | 1992-11-11 |
Family
ID=30572725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5261385U Expired JPH0447891Y2 (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0447891Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-04-08 JP JP5261385U patent/JPH0447891Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0447891Y2 (ja) | 1992-11-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0848413A3 (en) | Compact apparatus and method for storing and loading semiconductor wafer carriers | |
| JPH01251734A (ja) | マルチチャンバ型ｃｖｄ装置 | |
| JPS61167363U (ja) | ||
| US20060249965A1 (en) | Gripper and method for operating the same | |
| JPS62132321A (ja) | ドライエツチング装置 | |
| JPS62133546U (ja) | ||
| JPS6432825U (ja) | ||
| JPH0430738U (ja) | ||
| JPS61129881U (ja) | ||
| JPS58200551A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| JPH04286515A (ja) | 極板移送装置 | |
| JPH03225847A (ja) | ウエハカセツトストツカ | |
| JPS61123460U (ja) | ||
| JPH0648858Y2 (ja) | ウエハ収納容器 | |
| JPS6364770U (ja) | ||
| JPS6252929U (ja) | ||
| JPH0275724U (ja) | ||
| JPH0834236B2 (ja) | ウェハのロ−ディング装置 | |
| JPS6384948U (ja) | ||
| JPH02141950U (ja) | ||
| JP3060477B2 (ja) | 常圧気相成長装置 | |
| JPH0180934U (ja) | ||
| JPS6341018U (ja) | ||
| JPS5840341U (ja) | ウエハ吸着装置 | |
| JPH0424915A (ja) | 搬送装置 |