JPS6384948U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6384948U JPS6384948U JP18014686U JP18014686U JPS6384948U JP S6384948 U JPS6384948 U JP S6384948U JP 18014686 U JP18014686 U JP 18014686U JP 18014686 U JP18014686 U JP 18014686U JP S6384948 U JPS6384948 U JP S6384948U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- chamber
- vacuum chamber
- processing
- atmosphere side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 8
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るエンドス
テーシヨンを示す概略平断面図である。第２図は
、第１図の線―に沿う拡大断面図である。第
３図は、従来のエンドステーシヨンの一例を示す
概略平断面図である。 ２……処理室、４……イオンビーム、６……プ
ラテン、１０……ウエハ、１８ａ，１８ｂ……カ
セツト、２６ａ〜２６ｃ……昇降台、２８ａ，２
８ｂ……予備真空室、３０，３８……アーム、３
６……アーム式搬送機構、３２ａ〜３２ｃ……弁
体、３４ａ，３４ｂ……真空弁。
テーシヨンを示す概略平断面図である。第２図は
、第１図の線―に沿う拡大断面図である。第
３図は、従来のエンドステーシヨンの一例を示す
概略平断面図である。 ２……処理室、４……イオンビーム、６……プ
ラテン、１０……ウエハ、１８ａ，１８ｂ……カ
セツト、２６ａ〜２６ｃ……昇降台、２８ａ，２
８ｂ……予備真空室、３０，３８……アーム、３
６……アーム式搬送機構、３２ａ〜３２ｃ……弁
体、３４ａ，３４ｂ……真空弁。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエハを大気側から第１の予備真空室を経て処
理室内へ搬入し、処理後のウエハを第２の予備真
空室を経て大気側へ搬出する構造のエンドステー
シヨンにおいて、 処理室内の所定の中心点から互いにほぼ等距離
かつほぼ等角度の所に設けられていて、供給され
たウエハをそれぞれ昇降させる第１ないし第３の
昇降手段と、 処理室の天井部であつて第１および第２の昇降
手段の上方に位置する所にそれぞれ隣接された第
１および第２の予備真空室と、 処理室内にあつて前記中心点を中心に回転させ
られる３本一体形のアームであつて、各先端部に
、各々がウエハを載置可能であり第１または第２
の昇降手段によつて昇降させられてそれと共働し
て第１または第２の予備真空室と処理室間を仕切
る真空弁の作用をする弁体をそれぞれ有するもの
と、 第１および第２の予備真空室と大気側とをそれ
ぞれ仕切る二つの真空弁と、 大気側から第１の予備真空室内へウエハを搬入
して、それを第１の昇降手段上に載置する搬送手
段と、 第２の予備真空室内で第２の昇降手段からウエ
ハを受け取つてそれを大気側へ搬出する搬送手段
と、 処理室内にあつて第３の昇降手段とウエハの処
理場所間でウエハを移載する搬送手段とを備える
ことを特徴とするイオン処理装置用エンドステー
シヨン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18014686U JPS6384948U (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18014686U JPS6384948U (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6384948U true JPS6384948U (ja) | 1988-06-03 |
Family
ID=31123836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18014686U Pending JPS6384948U (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6384948U (ja) |
-
1986
- 1986-11-21 JP JP18014686U patent/JPS6384948U/ja active Pending
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