JPS61110622U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61110622U JPS61110622U JP19848484U JP19848484U JPS61110622U JP S61110622 U JPS61110622 U JP S61110622U JP 19848484 U JP19848484 U JP 19848484U JP 19848484 U JP19848484 U JP 19848484U JP S61110622 U JPS61110622 U JP S61110622U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear
- movable
- bodies
- transported
- guide
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Reciprocating Conveyors (AREA)
Description
図面は本考案の一実施例を示すもので、第１図
は要部断面図、第２図は第１図の平面図、第３図
は概略全体断面図である。 １……ガイドバー（線状体）、２……ウエハ（
被搬送物）、３……ガイド体、４……駆動装置、
１０……昇降部材、１１……キヤツチバー（線状
支持部材）、１３……圧縮ばね、１４……カム体
、１６……シリンダ装置（昇降装置）。
は要部断面図、第２図は第１図の平面図、第３図
は概略全体断面図である。 １……ガイドバー（線状体）、２……ウエハ（
被搬送物）、３……ガイド体、４……駆動装置、
１０……昇降部材、１１……キヤツチバー（線状
支持部材）、１３……圧縮ばね、１４……カム体
、１６……シリンダ装置（昇降装置）。
Claims (1)
- 被搬送物を支持する複数本の線状体を搬送経路
に沿つて並設し、上記線状体の下方位置で駆動装
置により往復動自在にされたガイド体を一定間隔
置きに複数個配置し、上記ガイド体に昇降部材を
昇降可能に設けると共に、該昇降部材の上端部に
、上記線状体から上方に出退可能にされて被搬送
物の周縁部を下方から支持する複数本の線状支持
部材を設け、上記ガイド体の下方位置で昇降装置
により昇降自在にされて、すべてのガイド体の昇
降部材を、被搬送物を線状支持部材により支持す
る上方位置と、被搬送物を線状体に載置する下方
位置との間で昇降させるカム体を設けたことを特
徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19848484U JPS61110622U (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19848484U JPS61110622U (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61110622U true JPS61110622U (ja) | 1986-07-12 |
Family
ID=30757512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19848484U Pending JPS61110622U (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61110622U (ja) |
-
1984
- 1984-12-24 JP JP19848484U patent/JPS61110622U/ja active Pending