JPH0834236B2 - ウェハのロ−ディング装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は複数枚のウェハを処理する処理装置へウェハ
をローディングするための装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体装置の製造工程の一つであるイオン注入装置で
は、通常複数枚のウェハを搭載可能な可動テーブルを有
しており、カセット内に収納されているウェハを１枚ず
つこの可動テーブル上に搭載（ローディング）し、かつ
処理の終了後には再びウェハを可動テーブルから降載
（アンローディング）してカセット内に収納している。

このウェハのローディング及びアンローディングに際
しては、例えば特開昭60−113442号公報に記載のような
ローディング装置が使用される。

第２図はこれを概略図示したものであり、水平方向に
回動可能な可動テーブル21は上面に複数枚のウェハＷを
載置してこれを保持でき、このようにウェハを保持した
状態で紙面に垂直な方向に起動して注入装置にセットさ
れ、各ウェハＷに対するイオン注入工程を実行する。

この可動テーブル21の近傍にはローディング装置のロ
ーディングアーム22を配設し、前記可動テーブル21と、
未処理のウェハを収納したカセット23及び処理後のウェ
ハを収納するカセット24との間で往復移動可能に構成し
ている。

このローディングアーム22は、可動テーブル21がロー
ディング位置に移動されたときに、未処理カセット23か
らウェハを取り出してこれを可動テーブル21上にまで搬
送することにより可動テーブル21へのウェハのローディ
ングを実行できる。また、処理後のウェハを可動テーブ
ル21から処理後カセット24に搬送することによりアンロ
ーディングを実行することができる。

尚、出願人が調査したところ特開昭58−108641号公報
及び特開昭59−56739号公報が見つかった、特開昭58−1
08641号公報の第３図及び、特開昭59−56739号公報の第
３図には、複数のカセットが記載されているが、複数の
カセットのウェハに対してハンドリング可能なローディ
ングアームの構成は開示されていない。

〔発明が解決しようとする問題点〕

この従来のローディング装置では、可動テーブル21に
搭載させるカセット23,24は通常ステーション位置に１
個ずつ配置される構成となっているため、可動テーブル
21に搭載可能なウェハの数と、カセットに収納可能なウ
ェハの数とが一致しない場合には次のような問題が生じ
る。

すなわち、カセットには通常25枚のウェハを収納可能
であるが、可動テーブル21には11枚のウェハのみ搭載す
ることができない。このため、可動テーブル21における
第１回目、第２回目の処理に続いて、第３回目の処理を
行う場合には、可動テーブル21に載置するウェハ数が不
足することになる。このため、第３回目の処理では、不
足したウェハに代えてダミーウェハを可動テーブルに搭
載させて処理を行わなければならず、処理効率の低下を
招くことになる。

これに対しては、一のカセットのウェハを搭載した後
に、直にステーションに次のカセットをセットして不足
するウェハをこのカセットから取り出して搭載，処理す
ることが考えられるが、処理後のウエハを先の一のカセ
ットに戻し収納することが困難になる。これに対処する
ためにはカセットを頻繁に取り換える必要があり、実用
的ではない。

特に、図示のように２台乃至それ以上の数の可動テー
ブル21を備え、しかも異なる種類のウェハを連続して処
理する装置では、ウェハを複数台の可動テーブルに振り
分けて処理を行う必要が生じるため、一のカセットのウ
ェハを各可動テーブルに振り分けた場合には、処理後に
これらのウェハを一のカセットに戻す際にウェハの混同
が生じてカセット収納の混乱を招くことになり、整然と
した処理を行うことができなくなる。

本発明の目的は、可動テーブルに搭載するウェハ数と
カセットに収納するウェハ数との間にずれが生じる場合
でも、ウェハを整然と処理することを可能とし、これに
よりウェハの混同を防止して的確な処理を実現すること
ができるウェハのローディング装置を提供することにあ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明のローディング装置は、可動テーブル及びカセ
ットを設置するローディングステーションの間に渡って
移動されるローディングアームを設けるとともに、前記
ローディングステーションには未処理ウェハカセット及
び処理済ウェハカセットを夫々複数個設置し、ローディ
ングアームはいずれのカセットに対してもハンドリング
を可能な構成としている。

〔作用〕

この構成では、ローディングアームは可動テーブルと
複数個のカセットの間でウェハのハンドリングを行うこ
とができるため、可動テーブルの搭載ウェハ数とカセッ
トの収納ウェハ数との間にずれが生じる場合でも、他の
カセットからウェハを補足させることができ、しかも処
理後のウェハを所定のカセットに正しく収納させること
ができ、これによりウェハの混乱を招くことなく好適な
ウェハ処理を実行することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明をイオン注入装置に適用した一実施例
をの平面図である。図において、１は円板状をした可動
テーブルであり、その上面には複数枚の半導体ウェハＷ
を載置でき、図外の機械的な駆動機構によって図示水平
方向に回転できる。また、この可動テーブル１は紙面と
垂直な方向に起動でき、起動したときには図外のイオン
注入装置にセットされ、搭載したウェハＷに対するイオ
ン注入処理を実行することができる。なお、ここでは可
動テーブル１は２個配設しており、夫々交互に動作され
るように構成している。また、前記可動テーブル1,1は
上面に11個のウェハ載置部1aを円周方向に均等に配置し
ており、各載置部1aには夫々１枚のウェハＷを搭載でき
る。

前記２個の可動テーブル1,1の近傍には、ローディン
グステーション５を配設し、ここには未処理のウェハを
収納するカセット3a,3bと、処理後のウェハを収納する
カセット4a,4bとを夫々２個ずつセットしている。ここ
では、各カセットには夫々25枚のウェハを収納すること
ができる。

そして、このローディングステーション５と前記可動
テーブル1,1との間には真直にレール６を延設し、ロー
ディングアーム２をこのレール６に沿って移動できるよ
うに構成している。このローディングアーム２は、図外
の往復移動機構によって前記レール６上で往復移動され
るスライダ７と、このスライダ７に基端を固定された伸
縮可能なパンタグラフ８と、このパンタグラフ８の先端
に取着してウェハを水平方向にハンドリングするウェハ
ハンド９とを備えている。

この構成によれば、可動テーブル１が図示のローディ
ング位置に移動されたときには、ローディングアーム２
はスライダ７がレール６上を移動してローディングステ
ーション５の近傍位置に移動し、ここでパンタグラフ８
が伸縮してウェハハンド９がカセット3a,3bからウェハ
Ｗを取り出す。そして、スライダ７は今度は可動テーブ
ル１の近傍にまで移動し、ここでローディングアーム２
はウェハＷを可動テーブル１上に搭載させてローディン
グを実行する。

また、アンローディングはこの逆の動作によって可動
テーブルからカセット4a,4bにウェハを搬送，収納する
ことになる。

このとき、カセット3aのウェハＷは、先ず11枚のウェ
ハを取り出してこれを一方の可動テーブルに搭載して第
１回目の処理を行い、これに続いて次の11枚のウェハを
取り出して他方の可動テーブルに搭載して第２回目の処
理を行う。そして、各テーブルでの処理の終了後にはウ
ェハを対応するカセット4aに順次収納させる。また、第
３回目の処理に際しては、残りのウェハ３枚と、次のカ
セット3bのウェハ８枚とを一方の可動テーブル１に搭載
させることになる。

そして、この第３回目の処理が終了すれば、３枚のウ
ェハは元のカセット3aに対応するカセット4aに収納し、
他のウェハは他のカセット4bに収納する。カセット3a及
びカセット4aはこれにより処理が完了し、これらに代え
て更に次のカセットを設置させることになる。

これにより、各ウェハは夫々所定のカセットに収納さ
れた状態で処理が完了されることになり、ウェハの混同
を生じることなく、しかもカセットを頻繁に取り代える
ことなく円滑な処理を実現することができる。

ここで、前記実施例は本発明を２個の可動テーブルを
備えるイオン注入装置に適用した例を示したが、これに
限られるものではなく可動テーブルが１台の場合、或い
は３台以上の場合等、種々の構成の処理装置におけるロ
ーディング装置に適用することができる。

〔発明の効果〕

以上のように本発明は、複数台の可動テーブル及びカ
セットを設置するローディングステーションの間に渡っ
て移動されるローディングアームを、前記ローディング
ステーションに設置した夫々複数個の未処理ウェハカセ
ット及び処理済ウェハカセットのいずれのカセットに対
してもハンドリングを可能な構成としているので、ロー
ディグアームは複数台の可動テーブルと複数個のカセッ
トの間でウェハのハンドリングを行うことができ、可動
テーブルの搭載ウェハ数とカセットの収納ウェハ数との
間にずれが生じる場合でも、カセットを頻繁に取り代え
ることなく処理後のウェハを所定のカセットに正しく収
納させることができ、これによりウェハの混乱を生ぜず
に好適なウェハ処理を実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の平面図、 第２図は従来のローディング装置を説明するための概略
平面図である。 １……可動テーブル、２……ローディングアーム、3,4
……カセット、５……ローディングステーション、６…
…レール、７……スライダ、８……パンタグラフ、９…
…ウェハハンド、21……可動テーブル、22……ローディ
ングアーム、23,24……カセット。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウェハを搭載して所定の処理を行う可動テ
   ーブルと、ウェハを搭載、降載するローディングアーム
   と、上記ウェハを収納するカセットと、上記カセットを
   設置するオーディングステーションからなるウェハロー
   ディング装置において、上記ローデイングステーション
   には未処理ウェハカセット及び処理済ウェハカセットを
   各々複数個設置し、上記ローディングアームは上記カセ
   ットのいずれに対してもウェハのハンドリングが可能な
   構成にしたことを特徴とするウェハのローディング装
   置。
2. 【請求項２】上記可動テーブルを複数台設け、これら可
   動テーブルのいずれに対してもウェハの搭載、降載を可
   能に構成した特許請求の範囲第１項記載のウェハのロー
   ディング装置。