JPH1098001A - ウェハ加熱炉 - Google Patents
ウェハ加熱炉Info
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- JPH1098001A JPH1098001A JP24962596A JP24962596A JPH1098001A JP H1098001 A JPH1098001 A JP H1098001A JP 24962596 A JP24962596 A JP 24962596A JP 24962596 A JP24962596 A JP 24962596A JP H1098001 A JPH1098001 A JP H1098001A
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- JP
- Japan
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- wafer
- wafer mounting
- furnace body
- furnace
- mounting jig
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Abstract
(57)【要約】
【課題】多数のウェハを並べ収納し加熱処理する長尺な
炉体１１を有するウェハ加熱炉において、炉体１１の搬
出入口から床面までの距離を小さくし炉高さを低くす
る。 【解決手段】炉体１１の長さを複数に等分に分割された
長さの複数のウェハ積載用のウェハ搭載治具２ａ〜２ｄ
と、これらウェハ搭載治具２ａ〜２ｄを一台づつ順次に
炉体１１に挿入しかつこれらのウェハ搭載治具２ａ〜２
ｄを炉体１１内で積み重ねるアーム移動軸３と搬送アー
ム１ａ〜１ｄを具備する搬出入機構を備えている。
炉体１１を有するウェハ加熱炉において、炉体１１の搬
出入口から床面までの距離を小さくし炉高さを低くす
る。 【解決手段】炉体１１の長さを複数に等分に分割された
長さの複数のウェハ積載用のウェハ搭載治具２ａ〜２ｄ
と、これらウェハ搭載治具２ａ〜２ｄを一台づつ順次に
炉体１１に挿入しかつこれらのウェハ搭載治具２ａ〜２
ｄを炉体１１内で積み重ねるアーム移動軸３と搬送アー
ム１ａ〜１ｄを具備する搬出入機構を備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、炉体が床面に垂直
に立て設置されるウェハ加熱炉に関し、特に、被処理物
であるウェハを炉内に搬出入する搬出入機構を具備する
ウェハ加熱炉に関する。
に立て設置されるウェハ加熱炉に関し、特に、被処理物
であるウェハを炉内に搬出入する搬出入機構を具備する
ウェハ加熱炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１１は従来の一例におけるウェハ加熱
炉を示す図である。従来、この種のウェハ加熱炉は、図
１１に示すように、周囲をヒータに囲まれ反応ガスを導
入する導入口を有する長尺な炉体１１と、ウェハの複数
枚を縦に並べ積載するウェハ搭載治具１４と、このウェ
ハ搭載治具１４を乗せる搬送アーム１５と、搬送アーム
１５が旋回および上下動し得るアーム移動軸１３と、ウ
ェハ搭載治具１４を乗せた搬送アーム１５をアーム移動
軸１３を中心にし旋回させ炉体１１の真下に位置決めす
るとともに上下動してウェハ搭載治具１４を炉体１１内
に搬出入させるアーム駆動機構（図示せず）とを備えて
いる。
炉を示す図である。従来、この種のウェハ加熱炉は、図
１１に示すように、周囲をヒータに囲まれ反応ガスを導
入する導入口を有する長尺な炉体１１と、ウェハの複数
枚を縦に並べ積載するウェハ搭載治具１４と、このウェ
ハ搭載治具１４を乗せる搬送アーム１５と、搬送アーム
１５が旋回および上下動し得るアーム移動軸１３と、ウ
ェハ搭載治具１４を乗せた搬送アーム１５をアーム移動
軸１３を中心にし旋回させ炉体１１の真下に位置決めす
るとともに上下動してウェハ搭載治具１４を炉体１１内
に搬出入させるアーム駆動機構（図示せず）とを備えて
いる。
【０００３】このウェハ加熱炉におけるウェハの炉体へ
の搬出入は、まず、待機位置に旋回され停止しているウ
ェハ搭載治具１４にウェハを順次搭載する。そして、図
１１に示すように、搬送アーム１５を旋回させウェハ搭
載治具１４を炉体１１の真下に位置決めする。次に、ウ
ェハ搭載治具１４を上昇させ炉体１１内に収納する。そ
して、炉体１１内に収納されたウェハの処理が完了する
と、搬送アーム１５が下降しウェハ搭載治具１４が炉体
１１外に引き出される。
の搬出入は、まず、待機位置に旋回され停止しているウ
ェハ搭載治具１４にウェハを順次搭載する。そして、図
１１に示すように、搬送アーム１５を旋回させウェハ搭
載治具１４を炉体１１の真下に位置決めする。次に、ウ
ェハ搭載治具１４を上昇させ炉体１１内に収納する。そ
して、炉体１１内に収納されたウェハの処理が完了する
と、搬送アーム１５が下降しウェハ搭載治具１４が炉体
１１外に引き出される。
【０００４】このように、この種のウェハ加熱炉は、長
尺な炉を使用するため一度の処理で多数のウェハを同時
に処理できるので、生産性の高くしかもウェハ均一に処
理できることを特徴としていた。
尺な炉を使用するため一度の処理で多数のウェハを同時
に処理できるので、生産性の高くしかもウェハ均一に処
理できることを特徴としていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のウェハ
加熱炉では、炉体の長さが長い程ウェハの収納枚数が増
え処理効率が向上するものの、ウェハ搭載治具も必然的
に長くなり、ウェハ搭載治具を炉体から引き出すための
炉体と床面との距離を大きくしなければならなかった。
その結果、設置されるウェハ加熱炉の高さは非常に高く
なる。このため、狭いクリーンルームのような部屋に設
置が困難となり、設置するのにクリーンルームの改造を
行なわければならなかった。
加熱炉では、炉体の長さが長い程ウェハの収納枚数が増
え処理効率が向上するものの、ウェハ搭載治具も必然的
に長くなり、ウェハ搭載治具を炉体から引き出すための
炉体と床面との距離を大きくしなければならなかった。
その結果、設置されるウェハ加熱炉の高さは非常に高く
なる。このため、狭いクリーンルームのような部屋に設
置が困難となり、設置するのにクリーンルームの改造を
行なわければならなかった。
【０００６】また、炉体の高さが高くなるとそれを支持
する架台などが堅牢なものが必要となり、さらに、ウェ
ハ搭載治具を上下動ストロークが長くなるので、アーム
移動軸も剛性の高い構造にしなければならず、周囲のス
ペースも大きく占有し設備コストが上昇する欠点があ
る。
する架台などが堅牢なものが必要となり、さらに、ウェ
ハ搭載治具を上下動ストロークが長くなるので、アーム
移動軸も剛性の高い構造にしなければならず、周囲のス
ペースも大きく占有し設備コストが上昇する欠点があ
る。
【０００７】従って、本発明の目的は、多数枚のウェハ
を収納する長尺な炉体を備えても高さが低いより小型な
ウェハ加熱炉を提供することにある。
を収納する長尺な炉体を備えても高さが低いより小型な
ウェハ加熱炉を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、床面に
垂直に立て設置されるとともに複数枚のウェハを並べ収
納し加熱処理する長尺な炉体と、この炉体の長さを複数
に等分割した長さをもつとともにこの長さに応ずる前記
ウェハの枚数を並べ積載する複数のウェハ搭載治具と、
前記炉体と並らび該床面に垂直に配置されるアーム移動
軸と、それぞれの前記ウェハ搭載治具を乗せ前記アーム
移動軸を中心に旋回および該アーム移動軸を上下動し得
る複数の搬送アームと、前記炉体内に前記ウェハ搭載治
具を搬入時に前記搬送アームを順次旋回させ前記炉体の
搬出入口の真下に該ウェハ搭載治具を位置決めし順次前
記搬送アームを上昇させ前記炉体内に挿入させ該炉体内
で前記ウェハ搭載治具を積み重ね収納するとともに前記
炉体外に前記ウェハ搭載治具を搬出時に積み重ねられた
前記ウェハ搭載治具をそれぞれ対応する前記搬送アーム
に順次移載し該搬送アームを下降させかつ順次旋回させ
前記炉体外に該ウェハ搭載治具を搬出させる第１の搬送
アーム駆動機構とを備えるウェハ加熱炉である。また、
前記ウェハ搭載治具の長さは前記炉体の長さの４分割し
た長さであることが望ましい。
垂直に立て設置されるとともに複数枚のウェハを並べ収
納し加熱処理する長尺な炉体と、この炉体の長さを複数
に等分割した長さをもつとともにこの長さに応ずる前記
ウェハの枚数を並べ積載する複数のウェハ搭載治具と、
前記炉体と並らび該床面に垂直に配置されるアーム移動
軸と、それぞれの前記ウェハ搭載治具を乗せ前記アーム
移動軸を中心に旋回および該アーム移動軸を上下動し得
る複数の搬送アームと、前記炉体内に前記ウェハ搭載治
具を搬入時に前記搬送アームを順次旋回させ前記炉体の
搬出入口の真下に該ウェハ搭載治具を位置決めし順次前
記搬送アームを上昇させ前記炉体内に挿入させ該炉体内
で前記ウェハ搭載治具を積み重ね収納するとともに前記
炉体外に前記ウェハ搭載治具を搬出時に積み重ねられた
前記ウェハ搭載治具をそれぞれ対応する前記搬送アーム
に順次移載し該搬送アームを下降させかつ順次旋回させ
前記炉体外に該ウェハ搭載治具を搬出させる第１の搬送
アーム駆動機構とを備えるウェハ加熱炉である。また、
前記ウェハ搭載治具の長さは前記炉体の長さの４分割し
た長さであることが望ましい。
【０００９】本発明の他の特徴は、前記炉体の長さを偶
数に等分割する長さの偶数個の前記ウェハ搭載治具と、
前記炉体の両隣に配置される二本の前記アーム移動軸
と、前記ウェハ搭載治具を載置し前記アーム移動軸のそ
れぞれに旋回および上下動し得るとともに二本の前記ア
ーム移動軸に等しい数に取付けられる前記搬送アーム
と、これら前記アーム移動軸の該搬送アームの前記ウェ
ハ搭載治具の前記炉体への前記搬出入動作を交互に行な
う第２の搬送アーム駆動機構とを備えるウェハ加熱炉で
ある。
数に等分割する長さの偶数個の前記ウェハ搭載治具と、
前記炉体の両隣に配置される二本の前記アーム移動軸
と、前記ウェハ搭載治具を載置し前記アーム移動軸のそ
れぞれに旋回および上下動し得るとともに二本の前記ア
ーム移動軸に等しい数に取付けられる前記搬送アーム
と、これら前記アーム移動軸の該搬送アームの前記ウェ
ハ搭載治具の前記炉体への前記搬出入動作を交互に行な
う第２の搬送アーム駆動機構とを備えるウェハ加熱炉で
ある。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１１】図１は本発明の一実施の形態におけるウェ
ハ加熱炉を説明するための図である。このウェハ加熱炉
は、図１に示すように、ウェハが積み重ねて収納される
炉体１１の長さを複数に等分割しその長さに対応する高
さの複数の搭載治具２ａ〜２ｄと、炉体１１と隣接し床
面に垂直に立てられるアーム移動軸３と、これら搭載治
具２ａ〜２ｄのそれぞれを乗せるとともにアーム移動軸
３を中心に旋回および上下動し得る複数の搬送アーム１
ａ〜１ｄと、ウェハを移動すべき位置と炉体１１の開口
の真下との間をアーム移動軸３を旋回させるとともにア
ーム移動軸３上を上昇することにより炉体１１内にウェ
ハ搭載治具２ａ〜２ｄを順次積み重ねて収納し、かつウ
ェハ搭載治具２ａ〜２ｄを炉体１１から搬出するとき
は、最下のウェハ搭載治具を搬送アーム１ｄにウェハ搭
載治具２ｃを搬送アーム１ｃにウェハ搭載治具２ｂを搬
送アーム１ｂにウェハ搭載治具２ａを搬送アーム１ａの
順にそれぞれ移動ししかる後に搬送アーム１ａ〜１ｄを
旋回させウェハの移載位置に戻すアーム駆動機構（図示
せず）とを備えている。
ハ加熱炉を説明するための図である。このウェハ加熱炉
は、図１に示すように、ウェハが積み重ねて収納される
炉体１１の長さを複数に等分割しその長さに対応する高
さの複数の搭載治具２ａ〜２ｄと、炉体１１と隣接し床
面に垂直に立てられるアーム移動軸３と、これら搭載治
具２ａ〜２ｄのそれぞれを乗せるとともにアーム移動軸
３を中心に旋回および上下動し得る複数の搬送アーム１
ａ〜１ｄと、ウェハを移動すべき位置と炉体１１の開口
の真下との間をアーム移動軸３を旋回させるとともにア
ーム移動軸３上を上昇することにより炉体１１内にウェ
ハ搭載治具２ａ〜２ｄを順次積み重ねて収納し、かつウ
ェハ搭載治具２ａ〜２ｄを炉体１１から搬出するとき
は、最下のウェハ搭載治具を搬送アーム１ｄにウェハ搭
載治具２ｃを搬送アーム１ｃにウェハ搭載治具２ｂを搬
送アーム１ｂにウェハ搭載治具２ａを搬送アーム１ａの
順にそれぞれ移動ししかる後に搬送アーム１ａ〜１ｄを
旋回させウェハの移載位置に戻すアーム駆動機構（図示
せず）とを備えている。
【００１２】すなわち、従来例で説明した長尺なウェハ
搭載治具を短い複数のウェハ搭載治具２ａ〜２ｄに分割
し、鎖線で示すように、それぞれのウェハ搭載治具２ａ
〜２ｄを乗せる搬送アーム１ａ〜１ｄを順次旋回させ炉
体１１の真下に位置させてから上昇させ、Ａ、Ｂ、Ｃ、
Ｄの順にウェハ搭載治具２ａ〜２ｄを積み重ね炉体１１
内に収納させている。このことにより炉体１１の開口面
と床面との距離が一つの搬送アーム１ａ〜１ｄの上下動
のストロークで済み大幅にウェハ加熱炉の高さを低くす
ることができる。
搭載治具を短い複数のウェハ搭載治具２ａ〜２ｄに分割
し、鎖線で示すように、それぞれのウェハ搭載治具２ａ
〜２ｄを乗せる搬送アーム１ａ〜１ｄを順次旋回させ炉
体１１の真下に位置させてから上昇させ、Ａ、Ｂ、Ｃ、
Ｄの順にウェハ搭載治具２ａ〜２ｄを積み重ね炉体１１
内に収納させている。このことにより炉体１１の開口面
と床面との距離が一つの搬送アーム１ａ〜１ｄの上下動
のストロークで済み大幅にウェハ加熱炉の高さを低くす
ることができる。
【００１３】次に、このウェハ加熱炉の炉体にウェハ搭
載治具の搬送動作を説明する。図２（ａ）および（ｂ）
は図１のウェハ加熱炉におけるウェハ搭載治具が炉外に
待機した状態を示す図である。まず、図２に示すよう
に、ウェハが搭載されたウェハ搭載治具２ａ〜２ｄがア
ーム移動軸３を中心に同一円周上に所定の間隔おいて停
留している。また、ウェハ搭載治具２ａ〜２ｄの頭上に
は円ボス部４ａ〜４ｄが底部にはこの円ボス部４ａ〜４
ｂが入り込む窪みが設けられている。さらに、搬送アー
ム１ａ〜１ｃの先端の形状は円ボス部４ａ〜４ｄが入り
込むように切欠きのある馬蹄形状になっている。
載治具の搬送動作を説明する。図２（ａ）および（ｂ）
は図１のウェハ加熱炉におけるウェハ搭載治具が炉外に
待機した状態を示す図である。まず、図２に示すよう
に、ウェハが搭載されたウェハ搭載治具２ａ〜２ｄがア
ーム移動軸３を中心に同一円周上に所定の間隔おいて停
留している。また、ウェハ搭載治具２ａ〜２ｄの頭上に
は円ボス部４ａ〜４ｄが底部にはこの円ボス部４ａ〜４
ｂが入り込む窪みが設けられている。さらに、搬送アー
ム１ａ〜１ｃの先端の形状は円ボス部４ａ〜４ｄが入り
込むように切欠きのある馬蹄形状になっている。
【００１４】図３（ａ）および（ｂ）は図１のウェハ加
熱炉におけるウェハ搭載治具Ａが炉下に位置決めされた
状態を示す図である。次に、図３に示すように、搬送ア
ーム１ａがアーム移動軸３を旋回しウェハ搭載治具２ａ
が炉体１１の真下に位置決めされる。
熱炉におけるウェハ搭載治具Ａが炉下に位置決めされた
状態を示す図である。次に、図３に示すように、搬送ア
ーム１ａがアーム移動軸３を旋回しウェハ搭載治具２ａ
が炉体１１の真下に位置決めされる。
【００１５】図４（ａ）および（ｂ）は図１のウェハ加
熱炉におけるウェハ搭載治具Ｂが炉下に位置決めされた
状態を示す図である。次に、図４に示すように、ウェハ
搭載治具２ａを乗せた搬送アーム１ａを上昇させてウェ
ハ搭載治具２ａを炉体１１内に挿入する。そして、搬送
アーム１ｂがアーム移動軸３を中心に旋回しウェハ搭載
治具２ｂを炉体１１の真下に位置決めする。
熱炉におけるウェハ搭載治具Ｂが炉下に位置決めされた
状態を示す図である。次に、図４に示すように、ウェハ
搭載治具２ａを乗せた搬送アーム１ａを上昇させてウェ
ハ搭載治具２ａを炉体１１内に挿入する。そして、搬送
アーム１ｂがアーム移動軸３を中心に旋回しウェハ搭載
治具２ｂを炉体１１の真下に位置決めする。
【００１６】図５（ａ）および（ｂ）は図１のウェハ加
熱炉におけるウェハ搭載治具Ｃが炉下に位置決めされた
状態を示す図である。次に、図５に示すように、搬送ア
ーム１ｂが上昇し、ウェハ搭載治具２ｂの円ボス部４ｂ
がウェハ搭載治具２ａの下部の窪み６ａに挿入させて、
ウェハ搭載治具２ａはウェハ搭載治具２ｂの上に乗せら
れた状態で炉体１１内に収納されると同時に搬送アーム
１ａは旋回し切欠き５から円ボス部４ｂが抜けウェハ搭
載治具２ａより離脱する。また、離脱した搬送アーム１
ａは上昇しアーム移動軸３のストッパにより停止し退避
位置に位置決めされる。そして、搬送アーム１ｃが旋回
しウェハ搭載治具２ｃは炉体１１の真下に位置決めされ
る。
熱炉におけるウェハ搭載治具Ｃが炉下に位置決めされた
状態を示す図である。次に、図５に示すように、搬送ア
ーム１ｂが上昇し、ウェハ搭載治具２ｂの円ボス部４ｂ
がウェハ搭載治具２ａの下部の窪み６ａに挿入させて、
ウェハ搭載治具２ａはウェハ搭載治具２ｂの上に乗せら
れた状態で炉体１１内に収納されると同時に搬送アーム
１ａは旋回し切欠き５から円ボス部４ｂが抜けウェハ搭
載治具２ａより離脱する。また、離脱した搬送アーム１
ａは上昇しアーム移動軸３のストッパにより停止し退避
位置に位置決めされる。そして、搬送アーム１ｃが旋回
しウェハ搭載治具２ｃは炉体１１の真下に位置決めされ
る。
【００１７】図６（ａ）および（ｂ）は図１のウェハ加
熱炉におけるウェハ搭載治具Ｄが炉下に位置決めされた
状態を示す図である。次に、図６に示すように、搬送ア
ーム１ｃが上昇しウェハ搭載治具２ｃがウェハ搭載治具
２ｂを押し上げ始める。そして、搬送アーム１ｂが炉体
１１の開口に接すると、搬送アーム１ｂは旋回し退避位
置に戻る。さらに、搬送アーム１ｃは炉体１１の開口に
接しウェハ搭載治具２ｃは炉体１１内に収納される。
熱炉におけるウェハ搭載治具Ｄが炉下に位置決めされた
状態を示す図である。次に、図６に示すように、搬送ア
ーム１ｃが上昇しウェハ搭載治具２ｃがウェハ搭載治具
２ｂを押し上げ始める。そして、搬送アーム１ｂが炉体
１１の開口に接すると、搬送アーム１ｂは旋回し退避位
置に戻る。さらに、搬送アーム１ｃは炉体１１の開口に
接しウェハ搭載治具２ｃは炉体１１内に収納される。
【００１８】図７（ａ）および（ｂ）は図１のウェハ加
熱炉におけるウェハ搭載治具Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄが入炉され
た状態を示す図である。次に、図６および７に示すよう
に、搬送アーム１ｃが上昇し炉体１１の開口に接すると
同時に搬送アーム１ｄが上昇し、ウェハ搭載治具１ｃの
下部の窪み６ｃにウェハ搭載治具２ｄの円ボス部４ｄが
嵌合すると同時に搬送アーム１ｃは旋回し退避位置に戻
る。そして、搬送アーム１ｄは炉体１１の開口と当接
し、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄという順序でウェハ搭載治具２ａ〜
２ｄは炉体１１内に収納され、搬送アーム１ｄの蓋部で
炉体１１の開口が閉じられ入炉動作が完了する。
熱炉におけるウェハ搭載治具Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄが入炉され
た状態を示す図である。次に、図６および７に示すよう
に、搬送アーム１ｃが上昇し炉体１１の開口に接すると
同時に搬送アーム１ｄが上昇し、ウェハ搭載治具１ｃの
下部の窪み６ｃにウェハ搭載治具２ｄの円ボス部４ｄが
嵌合すると同時に搬送アーム１ｃは旋回し退避位置に戻
る。そして、搬送アーム１ｄは炉体１１の開口と当接
し、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄという順序でウェハ搭載治具２ａ〜
２ｄは炉体１１内に収納され、搬送アーム１ｄの蓋部で
炉体１１の開口が閉じられ入炉動作が完了する。
【００１９】また、炉体１１内からウェハ搭載治具を搬
出する場合は、上述した動作の逆に行なえば良い。例え
ば、一番下にあるウェハ搭載治具２ｄを搬出する場合
は、まず、図７における搬送アーム１ｄを下降させる。
そして、ウェハ搭載治具２ｄから炉体１１の開口から引
き出され、図６のように、ウェハ搭載治具２ｃの下面が
開口面と一致したら、搬送アーム１ｃを退避位置から旋
回させ搬送アーム１ｃがウェハ搭載治具１ｄに当接する
ようにする。そして、搬送アーム１ｄを徐々に下降させ
ると同時に搬送アーム１ｃを徐々に旋回させ、搬送アー
ム１ｃ上にウェハ搭載治具２ｄを移載する。ウェハ搭載
治具２ｃから離脱したウェハ搭載治具２ｄは搬送アーム
１ｄの旋回により図５の退避位置に戻される。このよう
な動作を繰返して行ない、図２に示すように、全てのウ
ェハ搭載治具Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは炉体１１外に搬出され
る。
出する場合は、上述した動作の逆に行なえば良い。例え
ば、一番下にあるウェハ搭載治具２ｄを搬出する場合
は、まず、図７における搬送アーム１ｄを下降させる。
そして、ウェハ搭載治具２ｄから炉体１１の開口から引
き出され、図６のように、ウェハ搭載治具２ｃの下面が
開口面と一致したら、搬送アーム１ｃを退避位置から旋
回させ搬送アーム１ｃがウェハ搭載治具１ｄに当接する
ようにする。そして、搬送アーム１ｄを徐々に下降させ
ると同時に搬送アーム１ｃを徐々に旋回させ、搬送アー
ム１ｃ上にウェハ搭載治具２ｄを移載する。ウェハ搭載
治具２ｃから離脱したウェハ搭載治具２ｄは搬送アーム
１ｄの旋回により図５の退避位置に戻される。このよう
な動作を繰返して行ない、図２に示すように、全てのウ
ェハ搭載治具Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは炉体１１外に搬出され
る。
【００２０】このように、長尺なウェハ搭載治具を複
数、例えば、この実施の形態では４分割にし、分割され
た短いウェハ搭載治具２ａ〜２ｄの上下動ストロークに
すれば、炉体と床面との間の搬送系機構の寸法を縮小で
きる。例えば、図面に示すように、この炉長を４分割し
たときは、従来の長尺な場合に比べ略１／４強程度に短
くすることができる。なお、この分割数を多くすれば、
さらに縮小できるが、搬送系の機構部が複雑になり炉体
への搬出入の時間が増加することを考慮すると、４分割
することが妥当である。
数、例えば、この実施の形態では４分割にし、分割され
た短いウェハ搭載治具２ａ〜２ｄの上下動ストロークに
すれば、炉体と床面との間の搬送系機構の寸法を縮小で
きる。例えば、図面に示すように、この炉長を４分割し
たときは、従来の長尺な場合に比べ略１／４強程度に短
くすることができる。なお、この分割数を多くすれば、
さらに縮小できるが、搬送系の機構部が複雑になり炉体
への搬出入の時間が増加することを考慮すると、４分割
することが妥当である。
【００２１】図８は図１のウェハ加熱炉における搬送系
機構の変形例を示す図である。このウェハ加熱炉のウェ
ハ搬送系機構は、図８に示すように、炉体１１を中に左
右に配置され二つのウェハ搬送系を仕さどるアーム移動
軸３ａ，３ｂと、ウェハの複数枚を収納するウェハ搭載
治具７ａ〜７ｄを載置しアーム移動軸３ａ，３ｂを中心
に旋回し炉体１１の真下と退避位置との間を移動すると
ともに炉体１１の真下で上下動する搬送アーム８ａ〜８
ｄを備えている。
機構の変形例を示す図である。このウェハ加熱炉のウェ
ハ搬送系機構は、図８に示すように、炉体１１を中に左
右に配置され二つのウェハ搬送系を仕さどるアーム移動
軸３ａ，３ｂと、ウェハの複数枚を収納するウェハ搭載
治具７ａ〜７ｄを載置しアーム移動軸３ａ，３ｂを中心
に旋回し炉体１１の真下と退避位置との間を移動すると
ともに炉体１１の真下で上下動する搬送アーム８ａ〜８
ｄを備えている。
【００２２】ここで、ウェハ搭載治具７ａ〜７ｄの高さ
は炉体１１の収納の長さの略半分であり、紙面の左右の
二つの搬送系より交互に炉体１１にウェハ搭載治具７ａ
〜７ｄの搬出入が行なわれる。また、これらウェハ搭載
治具７ａ〜７ｄの高さが前述の実施の形態における高さ
と同じとすると、この加熱炉の炉体１１の長さは、従来
例の半分で済みそれだけ装置全体の高さはそれだけ低く
なる。
は炉体１１の収納の長さの略半分であり、紙面の左右の
二つの搬送系より交互に炉体１１にウェハ搭載治具７ａ
〜７ｄの搬出入が行なわれる。また、これらウェハ搭載
治具７ａ〜７ｄの高さが前述の実施の形態における高さ
と同じとすると、この加熱炉の炉体１１の長さは、従来
例の半分で済みそれだけ装置全体の高さはそれだけ低く
なる。
【００２３】図９（ａ）〜（ｄ）及び図１０（ａ）およ
び（ｄ）は図８のウェハの炉体への搬出入動作を説明す
るための動作順に示す図である。次に、図８の搬送系機
構によるウェハ搬出入動作について説明する。まず、図
９（ａ）に示すように、炉体１１の左右の搬送系のウェ
ハ搭載治具７ａ〜７ｄは、待機位置においてウェハが積
載される。次に、図９（ｂ）に示すように、搬送アーム
８ａが旋回しウェハ搭載治具７ａが炉体１１の真下に位
置決めされる。
び（ｄ）は図８のウェハの炉体への搬出入動作を説明す
るための動作順に示す図である。次に、図８の搬送系機
構によるウェハ搬出入動作について説明する。まず、図
９（ａ）に示すように、炉体１１の左右の搬送系のウェ
ハ搭載治具７ａ〜７ｄは、待機位置においてウェハが積
載される。次に、図９（ｂ）に示すように、搬送アーム
８ａが旋回しウェハ搭載治具７ａが炉体１１の真下に位
置決めされる。
【００２４】次に、図９（ｃ）に示すように、搬送アー
ム８ａが上昇しウェハ搭載治具７ａを炉体１１内に挿入
されると同時に搬送アーム８ｂが旋回しウェハ搭載治具
７ｂが炉体１１の真下に位置決めされる。そして、搬送
アーム８ｂが上昇しウェハ搭載治具７ｂがウェハ搭載治
具７ａを乗せる。それと同時に、図９（ｄ）に示すよう
に、搬送アーム８ａはウェハ搭載治具７ａから離脱し待
機位置に戻る。そして、搬送アーム８ｂの上昇によりウ
ェハ搭載治具７ｂはウェハ搭載治具７ａを乗せた状態で
炉体１１内に収納され紙面に対して右側のウェハ搬送系
のウェハの搬入を完了する。
ム８ａが上昇しウェハ搭載治具７ａを炉体１１内に挿入
されると同時に搬送アーム８ｂが旋回しウェハ搭載治具
７ｂが炉体１１の真下に位置決めされる。そして、搬送
アーム８ｂが上昇しウェハ搭載治具７ｂがウェハ搭載治
具７ａを乗せる。それと同時に、図９（ｄ）に示すよう
に、搬送アーム８ａはウェハ搭載治具７ａから離脱し待
機位置に戻る。そして、搬送アーム８ｂの上昇によりウ
ェハ搭載治具７ｂはウェハ搭載治具７ａを乗せた状態で
炉体１１内に収納され紙面に対して右側のウェハ搬送系
のウェハの搬入を完了する。
【００２５】次に、ウェハの加熱処理が完了すると、搬
送アーム８ａが下降し旋回しウェハ搭載治具７ａを待機
位置に引続き搬送アーム８ｂが下降し旋回しウェハ搭載
治具７ｂを待機位置に戻し、図１０（ａ）に示す状態に
なる。次に、図１０（ｂ）に示すように、搬送アーム８
ｃが旋回しウェハ搭載治具７ｃを炉体１１の真下に位置
決めする。そして、図１０（ｃ）に示すように、搬送ア
ーム８ｃが上昇しウェハ搭載治具７ｃを炉体１１内に挿
入すると同時に搬送アーム８ｄが旋回しウェハ搭載治具
７ｄがウェハ搭載治具７ｃの後に続く。
送アーム８ａが下降し旋回しウェハ搭載治具７ａを待機
位置に引続き搬送アーム８ｂが下降し旋回しウェハ搭載
治具７ｂを待機位置に戻し、図１０（ａ）に示す状態に
なる。次に、図１０（ｂ）に示すように、搬送アーム８
ｃが旋回しウェハ搭載治具７ｃを炉体１１の真下に位置
決めする。そして、図１０（ｃ）に示すように、搬送ア
ーム８ｃが上昇しウェハ搭載治具７ｃを炉体１１内に挿
入すると同時に搬送アーム８ｄが旋回しウェハ搭載治具
７ｄがウェハ搭載治具７ｃの後に続く。
【００２６】そして、図１０（ｄ）に示すように、搬送
アーム８ｄがさらに上昇しウェハ搭載治具７ｃを乗せる
と同時に搬送アーム８ｃが離脱し待機位置に戻る。さら
に、搬送アーム８ｄの上昇によりウェハ搭載治具７ｃ，
７ｄを完全に炉体１１内に収納すると同時に搬送アーム
８ｄの蓋部で炉体１１の開口を閉じる。また、このウェ
ハ搬送系の搬送動作を行なっている間、もう一方のウェ
ハ搭載治具７ａ，７ｄへのウェハの積載が行われてい
る。
アーム８ｄがさらに上昇しウェハ搭載治具７ｃを乗せる
と同時に搬送アーム８ｃが離脱し待機位置に戻る。さら
に、搬送アーム８ｄの上昇によりウェハ搭載治具７ｃ，
７ｄを完全に炉体１１内に収納すると同時に搬送アーム
８ｄの蓋部で炉体１１の開口を閉じる。また、このウェ
ハ搬送系の搬送動作を行なっている間、もう一方のウェ
ハ搭載治具７ａ，７ｄへのウェハの積載が行われてい
る。
【００２７】このように、搬送系統を二つにすると、前
述の実施の形態のように一系統に比べ処理能力が向上す
るという利点がある。例えば、１５０枚のウェハを搬送
を含めた処理時間が１００分と仮定すると、ウェハ搭載
治具にウェハを収納する時間が２０分とすると、この実
施の形態の搬送機構を用いた場合、ウェハを積載する時
間を省くことができるので、総処理時間として２０パー
セント短縮できる。
述の実施の形態のように一系統に比べ処理能力が向上す
るという利点がある。例えば、１５０枚のウェハを搬送
を含めた処理時間が１００分と仮定すると、ウェハ搭載
治具にウェハを収納する時間が２０分とすると、この実
施の形態の搬送機構を用いた場合、ウェハを積載する時
間を省くことができるので、総処理時間として２０パー
セント短縮できる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ウェハを
加熱処理する長尺な炉体の長さを複数に等分に分割され
た長さの複数のウェハ積載用のウェハ搭載治具と、これ
らウェハ搭載治具を一台づつ順次に炉体に挿入しかつこ
れらのウェハ搭載治具を炉体内で積み重ねる機構を設け
ることによって、炉体の搬入口と床面との距離が一台の
ウェハ搭載治具が搬出入するための短いストロークで済
むので、その結果、装置の高さを低くでき、狭いスペー
スのクリーンルーム室でも設置できるという効果があ
る。
加熱処理する長尺な炉体の長さを複数に等分に分割され
た長さの複数のウェハ積載用のウェハ搭載治具と、これ
らウェハ搭載治具を一台づつ順次に炉体に挿入しかつこ
れらのウェハ搭載治具を炉体内で積み重ねる機構を設け
ることによって、炉体の搬入口と床面との距離が一台の
ウェハ搭載治具が搬出入するための短いストロークで済
むので、その結果、装置の高さを低くでき、狭いスペー
スのクリーンルーム室でも設置できるという効果があ
る。
【図１】本発明の一実施の形態におけるウェハ加熱炉を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図２】図１のウェハ加熱炉におけるウェハ搭載治具が
炉外に待機した状態を示す図である。
炉外に待機した状態を示す図である。
【図３】図１のウェハ加熱炉におけるウェハ搭載治具Ａ
が炉下に位置決めされた状態を示す図である。
が炉下に位置決めされた状態を示す図である。
【図４】図１のウェハ加熱炉におけるウェハ搭載治具Ｂ
が炉下に位置決めされた状態を示す図である。
が炉下に位置決めされた状態を示す図である。
【図５】図１のウェハ加熱炉におけるウェハ搭載治具Ｃ
が炉下に位置決めされた状態を示す図である。
が炉下に位置決めされた状態を示す図である。
【図６】図１のウェハ加熱炉におけるウェハ搭載治具Ｄ
が炉下に位置決めされた状態を示す図である。
が炉下に位置決めされた状態を示す図である。
【図７】図１のウェハ加熱炉におけるウェハ搭載治具
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄが入炉された状態を示す図である。
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄが入炉された状態を示す図である。
【図８】図１のウェハ加熱炉における搬送系機構の変形
例を示す図である。
例を示す図である。
【図９】図８のウェハの炉体への搬出入動作を説明する
ための動作順に示す図である。
ための動作順に示す図である。
【図１０】図８のウェハの炉体への搬出入動作を説明す
るための動作順に示す図である。
るための動作順に示す図である。
【図１１】従来の一例におけるウェハ加熱炉を示す図で
ある。
ある。
１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ，１
５ 搬送アーム ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，１
４ ウェハ搭載治具 ３，３ａ，３ｂ，１３ アーム移動軸 ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ 円ボス部 ５ 切欠き ６ａ，６ｂ，６ｃ 窪み １１ 炉体
５ 搬送アーム ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，１
４ ウェハ搭載治具 ３，３ａ，３ｂ，１３ アーム移動軸 ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ 円ボス部 ５ 切欠き ６ａ，６ｂ，６ｃ 窪み １１ 炉体
Claims (3)
- 【請求項１】 床面に垂直に立て設置されるとともに複
数枚のウェハを並べ収納し加熱処理する長尺な炉体と、
この炉体の長さを複数に等分割した長さをもつとともに
この長さに応ずる前記ウェハの枚数を並べ積載する複数
のウェハ搭載治具と、前記炉体と並らび該床面に垂直に
配置されるアーム移動軸と、それぞれの前記ウェハ搭載
治具を乗せ前記アーム移動軸を中心に旋回および該アー
ム移動軸を上下動し得る複数の搬送アームと、前記炉体
内に前記ウェハ搭載治具を搬入時に前記搬送アームを順
次旋回させ前記炉体の搬出入口の真下に該ウェハ搭載治
具を位置決めし順次前記搬送アームを上昇させ前記炉体
内に挿入させ該炉体内で前記ウェハ搭載治具を積み重ね
収納するとともに前記炉体外に前記ウェハ搭載治具を搬
出時に積み重ねられた前記ウェハ搭載治具をそれぞれ対
応する前記搬送アームに順次移載し該搬送アームを下降
させかつ順次旋回させ前記炉体外に該ウェハ搭載治具を
搬出させる第１の搬送アーム駆動機構とを備えることを
特徴とするウェハ加熱炉。 - 【請求項２】 前記ウェハ搭載治具の長さは前記炉体の
長さの４分割した長さであることを特徴とする請求項１
記載のウェハ加熱炉。 - 【請求項３】 前記炉体の長さを偶数に等分割する長さ
の偶数個の前記ウェハ搭載治具と、前記炉体の両隣に配
置される二本の前記アーム移動軸と、前記ウェハ搭載治
具を載置し前記アーム移動軸のそれぞれに旋回および上
下動し得るとともに二本の前記アーム移動軸に等しい数
に取付けられる前記搬送アームと、これら前記アーム移
動軸の該搬送アームの前記ウェハ搭載治具の前記炉体へ
の前記搬出入動作を交互に行なう第２の搬送アーム駆動
機構とを備えることを特徴とするウェハ加熱炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24962596A JPH1098001A (ja) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | ウェハ加熱炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24962596A JPH1098001A (ja) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | ウェハ加熱炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1098001A true JPH1098001A (ja) | 1998-04-14 |
Family
ID=17195818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24962596A Pending JPH1098001A (ja) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | ウェハ加熱炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1098001A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140059717A (ko) * | 2012-11-07 | 2014-05-16 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 |
| JP2016516293A (ja) * | 2013-04-08 | 2016-06-02 | ユ−ジーン テクノロジー カンパニー．リミテッド | 基板処理装置 |
| CN105712072A (zh) * | 2016-03-23 | 2016-06-29 | 福州三矩机电设备有限公司 | 一种非联动的移载机构、其移载方法及鞋面贴合装置 |
-
1996
- 1996-09-20 JP JP24962596A patent/JPH1098001A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140059717A (ko) * | 2012-11-07 | 2014-05-16 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 |
| JP2014094788A (ja) * | 2012-11-07 | 2014-05-22 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送設備 |
| JP2016516293A (ja) * | 2013-04-08 | 2016-06-02 | ユ−ジーン テクノロジー カンパニー．リミテッド | 基板処理装置 |
| CN105712072A (zh) * | 2016-03-23 | 2016-06-29 | 福州三矩机电设备有限公司 | 一种非联动的移载机构、其移载方法及鞋面贴合装置 |
| CN105712072B (zh) * | 2016-03-23 | 2018-10-30 | 福州三矩机电设备有限公司 | 一种非联动的移载机构、其移载方法及鞋面贴合装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990309 |