JP2827730B2 - 縦型減圧ｃｖｄ装置 - Google Patents
縦型減圧ｃｖｄ装置Info
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- JP2827730B2 JP2827730B2 JP21116092A JP21116092A JP2827730B2 JP 2827730 B2 JP2827730 B2 JP 2827730B2 JP 21116092 A JP21116092 A JP 21116092A JP 21116092 A JP21116092 A JP 21116092A JP 2827730 B2 JP2827730 B2 JP 2827730B2
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- JP
- Japan
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- boat
- wafer
- chamber
- present
- boats
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、縦型減圧ＣＶＤ装置に
関し、特に、均熱長の長い縦型減圧ＣＶＤ装置に関す
る。
関し、特に、均熱長の長い縦型減圧ＣＶＤ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の縦型減圧ＣＶＤ装置は、図５に示
すように、化学反応を行わせるためのチャンバ１、チャ
ンバ１を加熱するためのヒータ２とから構成されるウェ
ハ膜形成部１６と、ウェハをチャンバ１内に挿入するた
めのボートエレベータ１４、ウェハをカセット１７から
ボートに立替えるための立替えロボット１８とから構成
されるウェハ立替部２５を有している。
すように、化学反応を行わせるためのチャンバ１、チャ
ンバ１を加熱するためのヒータ２とから構成されるウェ
ハ膜形成部１６と、ウェハをチャンバ１内に挿入するた
めのボートエレベータ１４、ウェハをカセット１７から
ボートに立替えるための立替えロボット１８とから構成
されるウェハ立替部２５を有している。
【０００３】次に動作について説明するに、カセット１
７に載せられたウェハは立替ロボット１８によってボー
ト３ａが満の状態になるまでボート３ａに立替えられ
る。ウェハが載せられたボート３ａはボートエレベータ
１４によりチャンバ１内に挿入される。チャンバ１内で
は化学反応を行わせ、ウェハ上に膜を形成する。
７に載せられたウェハは立替ロボット１８によってボー
ト３ａが満の状態になるまでボート３ａに立替えられ
る。ウェハが載せられたボート３ａはボートエレベータ
１４によりチャンバ１内に挿入される。チャンバ１内で
は化学反応を行わせ、ウェハ上に膜を形成する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来の縦型減圧ＣＶＤ装置は、ボートの挿入口がチャンバ
下部にあり、ボートが１つであるために、縦長に作られ
たボートをチャンバより出炉させようとすると、チャン
バ下部にチャンバの高さ以上の空間が必要となり、その
結果、装置全体の高さが高くなり、天井の低いクリーン
ルームでは装置設置に制限があった。
来の縦型減圧ＣＶＤ装置は、ボートの挿入口がチャンバ
下部にあり、ボートが１つであるために、縦長に作られ
たボートをチャンバより出炉させようとすると、チャン
バ下部にチャンバの高さ以上の空間が必要となり、その
結果、装置全体の高さが高くなり、天井の低いクリーン
ルームでは装置設置に制限があった。
【０００５】また、ボートの形状は形成膜形状に影響を
およぼすのであるが、形成膜形状を向上させるためにボ
ートの形状を上下方向に変化させようとする際には、ボ
ートが１つであるために、ボート全体を交換する必要が
あった。そしてボートを１箇所でも破損した際にもボー
ト全体を交換する必要があった。
およぼすのであるが、形成膜形状を向上させるためにボ
ートの形状を上下方向に変化させようとする際には、ボ
ートが１つであるために、ボート全体を交換する必要が
あった。そしてボートを１箇所でも破損した際にもボー
ト全体を交換する必要があった。
【０００６】本発明は従来の上記実情に鑑みてなされた
ものであり、従って本発明の目的は、従来の技術に内在
する上記課題を解決することを可能とした新規な縦型減
圧ＣＶＤ装置を提供することにある。
ものであり、従って本発明の目的は、従来の技術に内在
する上記課題を解決することを可能とした新規な縦型減
圧ＣＶＤ装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、本発明に係る縦型減圧ＣＶＤ装置は、化学反応を行
わせるためのチャンバとこのチャンバを加熱するための
ヒータとから構成されるウェハ膜形成部と、ウェハを前
記チャンバ内に挿入するための少なくとも２つに分割さ
れたウェハ搭載ボートとこの分割されたボートをつみか
さねながらチャンバ内に挿入するボート搬送機とつみか
さねられたボートをチャンバ内に挿入するボートエレベ
ータとウェハをカセットからボートに立替えるための立
替えロボットとから構成されるウェハ立替部とを備えて
構成される。
に、本発明に係る縦型減圧ＣＶＤ装置は、化学反応を行
わせるためのチャンバとこのチャンバを加熱するための
ヒータとから構成されるウェハ膜形成部と、ウェハを前
記チャンバ内に挿入するための少なくとも２つに分割さ
れたウェハ搭載ボートとこの分割されたボートをつみか
さねながらチャンバ内に挿入するボート搬送機とつみか
さねられたボートをチャンバ内に挿入するボートエレベ
ータとウェハをカセットからボートに立替えるための立
替えロボットとから構成されるウェハ立替部とを備えて
構成される。
【０００８】
【作用】分割したボートをチャンバ内に挿入できる機構
を備えたので、ボート分割が可能となり、その結果ボー
トの高さが低くなるためにウェハ立替部の高さが低くな
るという作用を有する。
を備えたので、ボート分割が可能となり、その結果ボー
トの高さが低くなるためにウェハ立替部の高さが低くな
るという作用を有する。
【０００９】
【実施例】次に本発明をその好ましい一実施例について
図面を参照して具体的に説明する。
図面を参照して具体的に説明する。
【００１０】図１は本発明に係る縦型減圧ＣＶＤ装置の
第１の実施例を示す側面図である。また図２は本発明に
係る縦型減圧ＣＶＤ装置におけるウェハ立替部の一実施
例を示す平面図である。
第１の実施例を示す側面図である。また図２は本発明に
係る縦型減圧ＣＶＤ装置におけるウェハ立替部の一実施
例を示す平面図である。
【００１１】図１、図２を参照するに、本発明の特徴
は、ウェハ搭載ボートが少なくとも２つに分割されてい
ることである。本実施例においてはこのウェハ搭載ボー
トは第１のボート３、第２のボート４、第３のボート５
及び第４のボート６の４個に分割されている。これらの
各ウェハ搭載ボート３〜６は第１のボート搬送機７及び
第２のボート搬送機８によりそれぞれ交互に搬送されて
ボートエレベータ１４の協働によりチャンバ１内に縦続
積み重ねられるのである。
は、ウェハ搭載ボートが少なくとも２つに分割されてい
ることである。本実施例においてはこのウェハ搭載ボー
トは第１のボート３、第２のボート４、第３のボート５
及び第４のボート６の４個に分割されている。これらの
各ウェハ搭載ボート３〜６は第１のボート搬送機７及び
第２のボート搬送機８によりそれぞれ交互に搬送されて
ボートエレベータ１４の協働によりチャンバ１内に縦続
積み重ねられるのである。
【００１２】第１のボート搬送機７は、ボートを支持す
る第１のボートささえ９と、所望のボートを載置された
この第１のボートささえ９を必要に応じて時計または反
時計方向に回動させると共に、上下動させる第１のボー
ト搬送機軸１１とにより構成されている。
る第１のボートささえ９と、所望のボートを載置された
この第１のボートささえ９を必要に応じて時計または反
時計方向に回動させると共に、上下動させる第１のボー
ト搬送機軸１１とにより構成されている。
【００１３】第２のボート搬送機８は、ボートを支持す
る第２のボートささえ１０と、所望のボートを載置され
たこの第２のボートささえ１０を必要に応じて時計また
は反時計方向に回動させると共に、上下動させる第２の
ボート搬送機軸１２とにより構成されている。
る第２のボートささえ１０と、所望のボートを載置され
たこの第２のボートささえ１０を必要に応じて時計また
は反時計方向に回動させると共に、上下動させる第２の
ボート搬送機軸１２とにより構成されている。
【００１４】次に本発明の動作について説明するに、こ
の装置のウェハカセット１７からチャンバ１までのウェ
ハ搬送に当たっては、まずウェハカセット１７に載せら
れたウェハをウェハ立替ロボット１８により第１のボー
ト３、第２のボート４、第３のボート５、第４のボート
６に立替える。
の装置のウェハカセット１７からチャンバ１までのウェ
ハ搬送に当たっては、まずウェハカセット１７に載せら
れたウェハをウェハ立替ロボット１８により第１のボー
ト３、第２のボート４、第３のボート５、第４のボート
６に立替える。
【００１５】次に第１のボート搬送機７により第１のボ
ートささえ９に載せられた第１のボート３を図４（Ａ）
に示すようにチャンバ１の入口に搬送する。
ートささえ９に載せられた第１のボート３を図４（Ａ）
に示すようにチャンバ１の入口に搬送する。
【００１６】次いで第２のボート搬送機８により第２の
ボート４を、図４（Ｂ）に示すように第１のボート３の
下部に搬送し、第１のボート３を積みかさねながらチャ
ンバ１の入口まで搬送する。
ボート４を、図４（Ｂ）に示すように第１のボート３の
下部に搬送し、第１のボート３を積みかさねながらチャ
ンバ１の入口まで搬送する。
【００１７】そして図４（Ｃ）に示すように、第３のボ
ート５、第４のボート６も第１のボート３、第２のボー
ト４と同様に搬送し、第１のボート３、第２のボート
４、第３のボート５、第４のボート６を積みかさね、そ
の後ボートエレベータ１４を上昇させて図４（Ｄ）に示
すように、４つのボートをチャンバ１内に搬送する。
ート５、第４のボート６も第１のボート３、第２のボー
ト４と同様に搬送し、第１のボート３、第２のボート
４、第３のボート５、第４のボート６を積みかさね、そ
の後ボートエレベータ１４を上昇させて図４（Ｄ）に示
すように、４つのボートをチャンバ１内に搬送する。
【００１８】このような構造のウェハ立替部１５のため
に、ボートが分割でき、かつウェハ立替部１５の高さが
チャンバ１の高さの約１／２にすることが可能である。
に、ボートが分割でき、かつウェハ立替部１５の高さが
チャンバ１の高さの約１／２にすることが可能である。
【００１９】次に本発明の第２の実施例について説明す
る。図３は本発明に係る縦型減圧ＣＶＤ装置の第２の実
施例における立替部の平面図である。
る。図３は本発明に係る縦型減圧ＣＶＤ装置の第２の実
施例における立替部の平面図である。
【００２０】図３を参照するに、本発明による第２の実
施例は、第１の実施例に第３のボート搬送機２０、第４
のボート搬送機２１、第２のウェハ立替ロボット２２を
加えたものである。
施例は、第１の実施例に第３のボート搬送機２０、第４
のボート搬送機２１、第２のウェハ立替ロボット２２を
加えたものである。
【００２１】第２の実施例に示すように構成した結果、
ウェハ立替ロボットが２つになるので、第１のボート
３、第３のボート５と、第２のボート４、第４のボート
６にウェハカセットからの同時立替が可能となる。なお
かつ、各ボートにそれぞれ１つの専用ボート搬送機がつ
くので、４つのボートの同時搬送が可能となる。即ち、
１つのボートの場合とちがい、ボートを分割することに
よって複数台のウェハ立替ロボットが同時可能となり、
大幅に立替時間の短縮になる。加えて４台のボート搬送
機を使用すれば、よりウェハ立替時間の短縮につなが
る。
ウェハ立替ロボットが２つになるので、第１のボート
３、第３のボート５と、第２のボート４、第４のボート
６にウェハカセットからの同時立替が可能となる。なお
かつ、各ボートにそれぞれ１つの専用ボート搬送機がつ
くので、４つのボートの同時搬送が可能となる。即ち、
１つのボートの場合とちがい、ボートを分割することに
よって複数台のウェハ立替ロボットが同時可能となり、
大幅に立替時間の短縮になる。加えて４台のボート搬送
機を使用すれば、よりウェハ立替時間の短縮につなが
る。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によればボ
ートを分割し、その分割したボートをチャンバ内に挿入
できる機構を縦型減圧ＣＶＤ装置に備えたので、ウェハ
立替部の高さが低くなって、その結果装置全体の高さが
低くなり、天井の高さが低いクリーンルームにも装置の
設置ができるという効果が得られる。
ートを分割し、その分割したボートをチャンバ内に挿入
できる機構を縦型減圧ＣＶＤ装置に備えたので、ウェハ
立替部の高さが低くなって、その結果装置全体の高さが
低くなり、天井の高さが低いクリーンルームにも装置の
設置ができるという効果が得られる。
【００２３】本発明によればまた、ボートの形状は形成
膜の形状に大きな影響をおよぼすのであるが、ボートを
分割したことにより、各々のボートの形状をボート全体
を交換しなくても変化させることができ、よりよい形成
膜の形状を追求することができるという効果が得られ
る。そしてボートの一部が破損した際にもボート全体を
交換する必要はなく、分割したボートのうち破損したボ
ートのみの交換で済むので費用が安いという効果を有す
る。
膜の形状に大きな影響をおよぼすのであるが、ボートを
分割したことにより、各々のボートの形状をボート全体
を交換しなくても変化させることができ、よりよい形成
膜の形状を追求することができるという効果が得られ
る。そしてボートの一部が破損した際にもボート全体を
交換する必要はなく、分割したボートのうち破損したボ
ートのみの交換で済むので費用が安いという効果を有す
る。
【００２４】また、ウェハ立替時間もボートを分割した
ことにより、ウェハ立替ロボットの数を増すと各々のボ
ートに同時立替が可能となり、ウェハ立替時間が大幅に
短縮され、装置のスループットが向上するという効果が
得られる。
ことにより、ウェハ立替ロボットの数を増すと各々のボ
ートに同時立替が可能となり、ウェハ立替時間が大幅に
短縮され、装置のスループットが向上するという効果が
得られる。
【図１】本発明による第１の実施例を示す側面図であ
る。
る。
【図２】本発明による第１の実施例のウェハ立替部を示
す平面図である。
す平面図である。
【図３】本発明による第２の実施例のウェハ立替部を示
す平面図である。
す平面図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｄ）は本発明に係る装置の一連の動
きを示す図である。
きを示す図である。
【図５】従来におけるこの種の装置の側面図である。
１…チャンバ ２…ヒータ ３ａ…ボート ３…第１のボート ４…第２のボート ５…第３のボート ６…第４のボート ７…第１のボート搬送機 ８…第２のボート搬送機 ９…第１のボートささえ １０…第２のボートささえ １１…第１のボート搬送機の軸 １２…第２のボート搬送機の軸 １３…保湿筒 １４…ボートエレベータ １５、２５…ウェハ立替部 １６…ウェハ膜形成部 １７…ウェハカセット １８…ウェハ立替ロボット １９…ツイーザ ２０…第３のボート搬送機 ２１…第４のボート搬送機 ２２…第２のウェハ立替ロボット ２３…第２のツイーザ
Claims (1)
- 【請求項１】 化学反応を行わせるためのチャンバと該
チャンバを加熱するためのヒータとから構成されるウェ
ハ膜形成部と、ウェハを前記チャンバ内に挿入するため
のウェハ搭載ボートと該ウェハ搭載ボートを前記チャン
バ内へ挿入するためのボートエレベータとウェハをカセ
ットから前記ボートに立替えるための立替えロボットと
から構成されるウェハ立替部とからなる縦型減圧ＣＶＤ
装置において、前記ウェハ立替部は、前記ウェハ搭載ボ
ートが少なくとも２つに上下分割され、なおかつ前記ボ
ートを前記チャンバ内に挿入する際に、まず分割された
ボートのうち１つを前記チャンバ内に挿入し、その後挿
入したボートの下に残りのボートを順次つみかさねなが
らすべてのボートを前記チャンバ内に挿入する機構を有
することを特徴とする縦型減圧ＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21116092A JP2827730B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 縦型減圧ｃｖｄ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21116092A JP2827730B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 縦型減圧ｃｖｄ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0661156A JPH0661156A (ja) | 1994-03-04 |
| JP2827730B2 true JP2827730B2 (ja) | 1998-11-25 |
Family
ID=16601394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21116092A Expired - Lifetime JP2827730B2 (ja) | 1992-08-07 | 1992-08-07 | 縦型減圧ｃｖｄ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2827730B2 (ja) |
-
1992
- 1992-08-07 JP JP21116092A patent/JP2827730B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0661156A (ja) | 1994-03-04 |
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