JPS6369249A - ウェハのロ−ディング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は複数枚のウェハを処理する処理装置ヘウエハを
ローディングするための装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体装置の製造工程の一つであるイオン注入装置では
、通常複数枚のウェハを搭載可能な可動テーブルを有し
ており、カセット内に収納されているウェハを１枚ずつ
この可動テーブル上に搭載（ローディング）し、かつ処
理の終了後には再びウェハを可動テーブルから降載（ア
ンローディング）してカセット内に収納している。

このウェハのローディング及びアンローディングに際し
ては、例えば特開昭６０−１１３４４２号公報に記載の
ようなローディング装置が使用される。

第２図はこれを概略図示したものであり°、水平方向に
回動可能な可動テーブル２１は上面に複数枚のウェハＷ
を載置してこれを保持でき、このようにウェハを保持し
た状態で紙面に垂直な方向に起動してイオン注入装置に
セットされ、各ウェハＷに対するイオン注入工程を実行
する。

この可動テーブル２１の近傍にはローディング装置のロ
ーディングアーム２２を配設し、前記可動テーブル２１
と、未処理のウェハを収納したカセット２３及び処理後
のウェハを収納するカセット２４との間で往復移動可能
に構成している。

このローディングアーム２２は、可動テーブル２１がロ
ーディング位置に移動されたときに、未処理カセット２
３からウェハを取り出してこれを可動テーブル２１上に
まで搬送することにより可動テーブル２１へのウェハの
ローディングを実行できる。また、処理後のウェハを可
動テーブル２１から処理後カセット２４に搬送すること
によりアンローディングを実行することができる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

この従来のローディング装置では、可動テーブル２１に
搭載させるカセット２３．２４は通常ステーション位置
に１個ずつ配置される構成となっているため、可動テー
ブル２１に搭載可能なウェハの数と、カセットに収納可
能なウェハの数とが一致しない場合には次のような問題
が生じる。

すなわち、カセットには通常２５枚のウェハを収納可能
であるが、可動テーブル２１には１１枚のウェハのみ搭
載することができない。このため、可動テーブル２１に
おける第１回目、第２回目の処理に続いて、第３回目の
処理を行う場合には、可動テーブル２１に載置するウェ
ハ数が不足することになる。このため、この第３回目の
処理では、不足したウェハに代えてダミーウェハを可動
テーブルに搭載させて処理を行わなければならず、処理
効率の低下を招くことになる。

これに対しては、−のカセットのウェハを搭載した後に
、直にステーションに次のカセットをセントして不足す
るウェハをこのカセットから取り出して搭載、処理する
ことが考えられるが、処理後のウェハを先の−のカセッ
トに戻し収納することが困難になる。これに対処するた
めにはカセットを頻繁に取り換える必要があり、実用的
ではない。

特に、図示のように２台乃至それ以上の数の可動テーブ
ル２１を備え、しかも異なる種類のウェハを連続して処
理する装置では、ウェハを複数台の可動テーブルに振り
分けて処理を行う必要が生じるため、−のカセットのウ
ェハを各可動テーブルに振り分けた場合には、処理後に
これらのウェハを−のカセットに戻す際にウェハの混同
が生じてカセット収納の混乱を招くことになり、整然と
した処理を行うことができなくなる。

本発明の目的は、可動テーブルに搭載するウェハ数とカ
セットに収納するウェハ数との間にずれが生じる場合で
も、ウェハを整然と処理することを可能とし、これによ
りウェハの混同を防止して的確な処理を実現することが
できるウェハのローディング装置を提供することにある
。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明のローディング装置は、可動テーブル及びカセッ
トを設置するローディングステーションの間に渡って移
動されるローディングアームを設けるとともに、前記ロ
ーディングステーションには未処理ウヱハカセント及び
処理済ウェハカセットを夫々複数個設置し、ローディン
グアームはいずれのカセットに対してもハンドリングを
可能な構成としている。

〔作用〕

この構成では、ローディングアームは可動テーブルと複
数個のカセットの間でウェハのハンドリングを行うこと
ができるため、可動テーブルの搭載ウェハ数とカセット
の収納ウェハ数との間にずれが生じる場合でも、他のカ
セットからウェハを補足させることができ、しかも処理
後のウェハを所定のカセットに正しく収納させることが
でき、これによりウェハの混乱を招くことなく好適なウ
ェハ処理を実行することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明をイオン注入装置に適用した一実施例を
の平面図である０図において、１は円板状をした可動テ
ーブルであり、その上面には複数枚の半導体ウェハＷを
Ｒ置でき、間外の機械的な駆動機構によって図示水平方
向に回転できる。また、この可動テーブル１は紙面と垂
直な方向に起動でき、起動したときには図外のイオン注
入装置にセットされ、搭載したウェハＷに対するイオン
注入処理を実行することができる。なお、ここでは可動
テーブル１は２個配設しており、夫々交互に動作される
ように構成している。また、前記可動テーブル１．　１
は上面に１１個のウェハ載置部１ａを円周方向に均等に
配置しており、各載置部１ａには夫々１枚のウェハＷを
搭載できる。

前記２個の可動テーブル１．１の近傍には、ローディン
グステーション５を配設し、ここには未処理のウェハを
収納するカセット３ａ、３ｂと、処理後のウェハを収納
するカセ７）４ａ、４ｂとを夫々２個ずつセットしてい
る。ここでは、各カセットには夫々２５枚のウェハを収
納することができる。

そして、このローディングステーション５と前記可動チ
ー・プル１，１との間には真直にレール６を延設し、ロ
ーディングアーム２をこのレール６に沿って移動できる
ように構成している。このローディングアーム２は、図
外の往復移動機構によって前記レール６上で往復移動さ
れるスライダ７と、このスライダ７に基端を固定された
伸縮可能なパンタグラフ８と、このパンタグラフ８の先
端に取着してウェハを水平方向にハンドリングするウェ
ハハンド９とを備えている。

この構成によれば、可動テーブル１が図示のローディン
グ位置に移動されたときには、ローディングアーム２は
スライダ７がレール６上を移動してローディングステー
ション５の近傍位置に移動し、ここでパンタグラフ８が
伸縮してウェハハンド９がカセット３ａ、３ｂからウェ
ハＷを取り出す、そして、スライダ７は今度は可動テー
ブル１の近傍にまで移動し、ここでローディングアーム
２はウェハＷを可動テーブル１上に搭載させてローディ
ングを実行する。

また、アンローディングはこの逆の動作によって可動テ
ーブルからカセット４ａ、４ｂにウェハを搬送、収納す
ることになる。

このとき、カセット３ａのウェハＷは、先ず１１枚のウ
ェハを取り出してこれを一方の可動テーブルに搭載して
第１回目の処理を行い、これに続いて次の１１枚のウェ
ハを取り出して他方の可動テーブルに搭載して第２回目
の処理を行う、そして、各テーブルでの処理の終了後に
はウェハを対応するカセット４ａに順次収納させる。ま
た、第３回目の処理に際しては、残りのウェハ３枚と、
次のカセット３ｂのウェハ８枚とを一方の可動テーブル
１に搭載させることになる。

そして、この第３回目の処理が終了すれば、３枚のウェ
ハは元のカセット３ａに対応するカセッ）４ａに収納し
、他のウェハは他のカセット４ｂに収納する。カセット
３ａ及びカセット４ａはこれにより処理が完了し、これ
らに代えて更に次のカセットを設置させることになる。

これにより、各ウェハは夫々所定のカセットに収納され
た状態で処理が完了されることになり、ウェハの混同を
生じることなく、しかもカセットを頻繁に取り代えるこ
となく円滑な処理を実現することができる。

ここで、前記実施例は本発明を２個の可動テーブルを備
えるイオン注入装置に適用した例を示したが、これに限
られるものではなく可動テーブルが１台の場合、或いは
３台以上の場合等、種々の構成の処理装置におけるロー
ディング装置に適用することができる。

〔発明の効果〕

以上のように本発明は、複数台の可動テーブル及びカセ
ットを設置するローディングステーションの間に渡って
移動されるローディングアームを、前記ローディングス
テーションに設置した夫々複数個の未処理ウェハカセッ
ト及び処理済ウェハハンドのいずれのカセットに対して
もハンドリングを可能な構成としているので、ローディ
ングアームは複数台の可動テーブルと複数個のカセット
の間でウェハのハンドリングを行うことができ、可動テ
ーブルの搭載ウェハ数とカセットの収納ウェハ数との間
にずれが生じる場合でも、カセットを頻繁に取り代える
ことなく処理後のウェハを所定のカセットに正しく収納
させることができ、これによりウェハの混乱を生ぜずに
好適なウェハ処理を実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の平面図、 第２図は従来のローディング装置を説明するための概略
平面図である。 １・・・可動テーブル、２・・・ローディングアーム、
３゜４・・・カセット、５・・・ローデインダステーシ
ッン、６・・・レール、７・・・スライダ、８・・・パ
ンタグラフ、９・・・ウェハハンド、２１・・・可動テ
ーブル、２２・・・ローディングアーム、２３．２４・
・・カセット。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ウェハを搭載して所定の処理を行う可動テーブルに
   対してウェハを搭載、降載するローディングアームを備
   えるローディング装置において、前記ローディングアー
   ムを前記可動テーブル及びカセットを設置するローディ
   ングステーションの間に渡って移動可能とするとともに
   、前記ローディングステーションには未処理ウェハカセ
   ット及び処理済ウェハカセットを夫々複数個設置し、前
   記ローディングアームはいずれのカセットに対してもハ
   ンドリングが可能な構成にしたことを特徴とするウェハ
   のローディング装置。 ２、可動テーブルを複数台設け、これら可動テーブルに
   対してもウェハの搭載、降載を可能に構成した特許請求
   の範囲第１項記載のウェハのローディング装置。