KR20040066963A - 웨이퍼 캐리어 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 캐리어의 세정과정에서 런시트가 쉽게 이탈되지 않는 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로, 본 발명은 일측면이 개방되어 있고, 내부에 다수매의 웨이퍼를 수용하는 본체; 상기 본체의 바깥면에 측방향으로부터 장착되는 그리고 그 표면에 바코드가 부착된 런시트(run sheet)를 갖는 캐리어로 이루어진다.

Description

웨이퍼 캐리어{WAFER CARRIER}

본 발명은 반도체 웨이퍼용 캐리어에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼 캐리어는 반도체 제조 공정들 사이에서 웨이퍼를 옮길 때 사용되는 용기로써, 공정이 수행되지 않는 상태의 웨이퍼는 덮개로 밀폐된 캐리어박스 내에 항상 보관된 상태로 놓이게 된다.

최근에, 반도체 디바이스의 고집적화에 수반하여 웨이퍼의 대용량화와 제조 공정 상의 자동화가 급속히 진행되면서, 웨이퍼의 취급과 관련된 웨이퍼 캐리어 및 캐리어 박스의 중요성이 점차로 부각되고 있다.

그 이유는 첫째로, 공정 자동화에 따른 주요 공정 로봇 시스템과 웨이퍼 캐리어의 사이의 적합성(compatibility) 여부에 관한 것이고, 둘째로 웨이퍼 캐리어에 의한 웨이퍼의 오염 문제 때문이다. 특히, 후자의 경우에는 최근 들어 반도체 제조 공정 불량의 한 요인으로 크게 작용되고 있다.

즉, 캐리어 박스 간이나 캐리어와 웨이퍼 사이의 충격이나 마찰 등으로 인하여 발생되는 웨이퍼의 부스러기, 즉 미세 입자(particles)가 웨이퍼 상에 부착하게 되어 오염을 유발함으로써 공정 불량의 주 요인으로 작용된다. 또한, 공정 대기 상태의 웨이퍼 위에 캐리어 또는 캐리어 박스의 자체 구성 물질로 부터의 기체 방출(Outgassing)에 의한유기 및 금속성 오염(Organic and Metallic Contamination)은 웨이퍼에 대한 잠재적 오염원으로 작용하여 결국에는 디바이스의 수율 및 신뢰성을 저하시키는 원인이 될 수 있다.

이에 대하여, 웨이퍼 캐리어나 캐리어 박스의 세정을 통하여 오염 상태를 부분적으로 제거하고 있으나, 주로 습식 세정(Wet Cleaning) 방식을 이용하고 있다.

습식 세정 장치에서는 HOT DIW와 메가소닉을 이용하여 웨이퍼 캐리어 세정을 진행하는데, 이때 바코드 카드 리더 태그(BCR TAG; 일명 런시트)가 웨이퍼 캐리어로부터 이탈되는 경우가 자주 발생하고 있다.

이러한 문제는 바코드 카드 리더 태그가 웨이퍼 캐리어에 수직 방향으로 착탈되는 구조로 이루어져 있어서, 웨이퍼 캐리어를 세정조에 투입한 후 세정하는 과정에서, 부력에 의해 그리고 HOT-DIW, 메가소닉의 플로우 방향과 서로 교차되면서 바코드 카드 리더 태그가 쉽게 이탈되었던 것이다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 세정과정에서 바코드 카드 리더 태그가 쉽게 이탈되지 않는 새로운 형태의 반도체 웨이퍼용 캐리어를 제공하는데 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어를 보여주는 사시도;

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어의 정면도;

도 3은 도 2에서 웨이퍼 캐리어의 런시트 장착부분을 B - B선을 따라 절취한 단면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

110 : 몸체

112 : 슬롯

116 : 끼움편

120 : 손잡이

130 : 바코드 카드 리드 태그

이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 반도체 웨이퍼용 캐리어는 일측면이 개방되어 있고, 내부에 다수매의 웨이퍼를 수용하는 본체; 상기 본체의 바깥면에 측방향으로부터 장착되는 그리고 그 표면에 바코드가 부착된 런시트(run sheet)를 포함한다. 여기에서, 상기 본체는 상기 런시트가 쉽게 이탈되지 않도록 상기 런시트를 고정하는 한 쌍의 끼움편을 갖는다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 첨부된 도면 도 1 내지 도 3을 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 상기 도면들에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호가 병기되어 있다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼를 다수매(통상 25매)씩 적재하여 하나의 공정설비에서 다른 공정설비에서 다른 공정실비로 운반,보관할 때 사용되는 것으로, 캐리어가 공정설비로 운반되어오면, 공정설비에 설치된 로딩용 척이 캐리어로부터 웨이퍼를 로딩시키거나 공정을 마친 웨이퍼를 캐리어에 언로딩시키게 되는 것이다.

도 1 및 도2는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어를 보여주는 것으로, 웨이퍼 캐리어(100)는 일면이 개방되어 있는 박스 형태의 몸체(110)를 갖는다. 이 몸체(110)의 내부에는 25매의 웨이퍼(w)들을 소정의 간격으로 이격시켜 적재할 수 있도록 슬롯(112)이 연속하여 형성되어 있다.

그리고, 상기 몸체의 전면(114)에는 웨이퍼(w)가 수평방향으로 놓인 상태에서 캐리어(100)를 들어 운반할 수 있도록 한 쌍의 손잡이(120)가 형성되어 있다.

한편, 상기 웨이퍼 캐리어(100)에는 바코드 카드 리더 태그(BCR TAG;130)가 부착된다. 이 바코드 카드 리더 태그(이하 "런시트"라 칭함)는 상기 몸체(110)의 전면 중앙 한 쌍의 손잡이(120) 사이에 장착된다. 상기 런시트(130)는 도면에 표시된 바와 같이 화살표 방향으로 삽입되어 장착된다. 상기 몸체(110)의 전면(114)에는 상기 런시트(130)의 이탈을 방지하기 위한 한 쌍의 끼움편(116)이 형성되어 있다. 상기 런시트(130) 표면에는 바코드가 부착되어 바건(Bar Gun)으로바코드를 리딩(Reading)하여 내부에 적재되어 있는 웨이퍼가 진행되어온 공정을 확인하는 작업이 이루어진다.

추가적으로, 도 3은 웨이퍼 캐리어(100)의 런시트(130) 장착부분을 B - B선을 따라 절취한 단면도로써, 도 3을 살펴보면, 상기 몸체의 전면(114)에는 상기 런시트(130)가 위치되는 홈(114a)이 형성되어 있고, 그 상하에는 상기 끼움편(116)이 위치되어 상기 런시트(130)을 고정한다.

이와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어(100)는 런시트(130) 삽입방향이 위에서 아래로 꽂는 방식이 아닌, 좌에서 우(또는 우에서 좌)로 꽂는 구조적인 특징을 갖음으로써, 캐리어 세정장치에서 웨이퍼 캐리어를 세정할 때 발생할 수 있는 런시트(130)의 이탈을 예방할 수 있는 것이다.

좀 더 구체적으로 살펴보면, 웨이퍼 캐리어를 세정조에 투입하여 세정할 때, 기존에는 부력이나 HOT-DIW, 메가소닉의 플로우되는 힘에 의해 런시트가 캐리어 몸체로부터 이탈되었지만, 본 발명에서는 런시트의 착탈 방향을 측방향으로 변경함으로써 예방할 수 있는 것이다.

이상에서, 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였으나, 이는 일 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.

이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 캐리어를 세정과정에서 런시트가 쉽게 이탈되지 않는 이점이 있다.

Claims (3)

1. 반도체 웨이퍼용 캐리어에 있어서:

   일측면이 개방되어 있고, 내부에 다수매의 웨이퍼를 수용하는 본체;

   상기 본체의 바깥면에 측방향으로부터 장착되는 그리고 그 표면에 바코드가 부착된 런시트(run sheet)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 캐리어.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 본체는 상기 런시트가 쉽게 이탈되지 않도록 상기 런시트를 고정하는 한쌍의 끼움편을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 캐리어.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 런시트의 장착 방향은 웨이퍼의 삽입방향과 직교하는 측방향인 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 캐리어.