KR100648279B1 - 웨이퍼 이송 모듈 및 상기 모듈에서 웨이퍼를 이송하는 방법 - Google Patents

웨이퍼 이송 모듈 및 상기 모듈에서 웨이퍼를 이송하는 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 공정설비의 전방에 장착되어 웨이퍼가 수납된 용기와 공정설비 간 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송 모듈에 관한 것이다. 웨이퍼 이송 모듈은 내부에 이송로봇 및 정렬부재가 배치된 프레임과 용기가 놓여지는 용기 지지대를 가진다. 정렬부재는 상하로 적층된 제 1정렬기와 제 2정렬기를 가지며, 용기로부터 꺼내어져 공정설비로 이송되는 웨이퍼는 제 1정렬기에서 플랫존 또는 노치가 기설정된 방향을 향하도록 정렬되고, 공정이 완료되어 용기로 수납되는 웨이퍼는 제 2정렬기에서 플랫존 또는 노치가 기설정된 방향을 향하도록 정렬된다.
웨이퍼 이송 모듈, EFEM, 정렬

Description

웨이퍼 이송 모듈 및 상기 모듈에서 웨이퍼를 이송하는 방법{WAFER TRANSFER MODULE AND WAFER TRANSFER METHOD USING THE MODULE}
도 1은 본 발명의 웨이퍼 이송 모듈의 내부를 보여주는 도면;
도 2는 도 1의 선 Ⅰ-Ⅰ을 따라 절단한 단면도;
도 3은 도 1의 정렬부재를 개략적으로 보여주는 정면도; 그리고
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따라 도 1의 장치를 사용하여 웨이퍼를 이송하는 방법을 순차적으로 보여주는 플로우차트이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
20 : 용기 40 : 웨이퍼 이송 모듈
100 : 용기 지지대 200 : 프레임
280 : 이송로봇 300 : 정렬부재
300a : 제 1정렬기 300b : 제 2정렬기
본 발명은 반도체 소자 제조에 사용되는 장치 및 방법에 관한 것으로 더 상세하게는 웨이퍼가 수납되는 용기와 공정설비간에 웨이퍼를 이송하는 모듈 및 웨이 퍼를 이송하는 방법에 관한 것이다.
반도체 소자를 제조하기 위해 다양한 공정이 수행된다. 웨이퍼들은 용기에 수납된 상태에서 각각의 공정이 수행되는 설비들간 이송된다. 대부분의 공정설비 전방에는 웨이퍼 이송 모듈이 결합된다. 웨이퍼 이송 모듈은 용기가 놓여지는 용기 지지대 및 프레임을 가지고, 프레임 내에는 용기와 공정설비간에 웨이퍼를 이송하는 이송로봇이 설치된다. 공정 설비에서 검사공정 등이 수행될 때 웨이퍼는 플랫존 또는 노치 등이 기설정된 방향을 향하도록 정렬된 상태로 공정설비로 이송되어야 한다. 따라서 프레임 내에는 웨이퍼를 정렬하는 정렬기가 제공된다.
일반적인 웨이퍼 이송 모듈에서 프레임 내에는 하나의 정렬기만이 제공되고, 공정이 완료된 웨이퍼가 용기로 수납될 때에는 별도의 정렬이 이루어지지 않는다. 이는 정렬공정 수행으로 인해 웨이퍼 적체가 발생되기 때문이다. 후속 공정에서 웨이퍼 정렬이 필요할 경우, 용기가 별도로 제공된 웨이퍼 정렬 장치로 이동되어 웨이퍼가 정렬된다. 공정단계(process step)가 증가로 인해 전체 공정에 많은 시간이 소요되며, 웨이퍼 정렬이 기계적인 방법에 의해 이루어지는 경우 마찰로 인해 발생되는 파티클에 의해 웨이퍼가 오염된다.
본 발명은 하나의 공정설비에서 공정이 완료된 후 다음 공정설비로 웨이퍼들이 수납된 용기가 이송되기 전에 별도의 정렬 장치에서 웨이퍼의 위치정렬이 이루어짐으로써 전체공정에 소요되는 시간이 증가되는 것을 방지하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명인 웨이퍼 이송 모듈은 웨이퍼들이 수용되는 용기가 놓여지는 용기 지지대와 상기 용기 지지대와 공정설비 사이에 배치되는 프레임을 가진다. 상기 프레임 내에는 상기 용기 지지대에 놓여진 용기와 상기 공정설비간 웨이퍼를 이송하는 이송로봇과 웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 웨이퍼를 정렬하는 정렬기를 가지는 정렬부재가 제공된다. 상기 정렬부재는 정렬기를 적어도 2개 포함한다. 이는 프레임 내에서 웨이퍼 정렬로 인해 공정이 적체되는 것을 방지한다. 프레임 내에서 상기 정렬기들의 설치공간을 최소화하기 위해 상기 정렬기들은 상하로 적층되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 웨이퍼 이송 모듈은 웨이퍼들이 수용되는 용기가 놓여지는 용기 지지대와 상기 용기 지지대와 공정설비 사이에 배치되는 프레임을 가진다. 상기 프레임 내에는 상기 용기 지지대에 놓여진 용기와 상기 공정설비간 웨이퍼를 이송하는 이송로봇과 웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 웨이퍼를 정렬하는 정렬기를 가지는 정렬부재가 배치된다. 상기 정렬부재는 상기 공정설비로 이송되기 전에 웨이퍼를 정렬하는 제 1정렬기와 상기 용기로 수납되기 전에 웨이퍼를 정렬하는 제 2정렬기를 가진다. 상기 제 1정렬기와 상기 제 2정렬기는 상하로 배치되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 웨이퍼 이송 방법은 용기로부터 공정설비로 이송되기 전과 상기 공정설비로부터 상기 용기 내로 수납되기 전에 정렬부재에서 웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 웨이퍼가 정렬된다. 상기 정렬부재는 복 수의 정렬기를 포함하며, 공정 설비에서 공정이 수행되는 도중 다음에 공정이 수행될 웨이퍼는 상기 정렬기들 중 어느 하나의 정렬기에서 정렬이 이루어진 후 대기하고, 상기 공정 설비에서 공정이 완료된 웨이퍼는 상기 정렬기들 중 다른 하나의 정렬기에서 정렬이 이루어진다.
또한 본 발명의 웨이퍼 이송 방법은 공정이 수행될 웨이퍼는 제 1정렬기로 이송되어 웨이퍼의 플랫존 또는 노치가 기설정된 방향을 향하도록 정렬된 후 공정설비에서 공정 진행중인 웨이퍼의 공정이 완료될 때까지 대기하고, 공정이 완료된 웨이퍼는 제 2정렬기로 이송되어 웨이퍼의 플랫존 또는 노치가 기설정된 방향을 향하도록 정렬된 후 상기 용기 내로 수납된다.
또한 본 발명의 웨이퍼 이송 방법은 제 1웨이퍼가 이송로봇에 의해 용기로부터 꺼내어진 후 정렬기들 중 하나인 제 1정렬기로 이송되는 단계, 상기 제 1웨이퍼가 상기 제 1정렬기에서 상기 제 1웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 위치 정렬된 후, 상기 이송로봇에 의해 공정설비로 이송하는 단계, 제 2웨이퍼가 상기 이송로봇에 의해 상기 용기로부터 꺼내어진 후 상기 제 1정렬기로 이송되는 단계, 상기 제 2웨이퍼가 상기 제 1정렬기에서 상기 제 2웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 위치 정렬되고, 상기 제 1정렬기에서 대기하는 단계, 공정 완료 후 상기 제 1웨이퍼가 상기 제 2정렬기로 이송되는 단계, 상기 제 1웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 위치 정렬된 후 상기 용기로 수납되는 단계, 그리고 상기 제 1정렬기에 놓여진 상기 제 2웨이퍼가 상기 공정설비로 이송되는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명의 웨이퍼 이송 방법은 제 1웨이퍼가 이송로봇에 의해 용기로부터 꺼내어진 후 정렬기들 중 하나인 제 1정렬기로 이송되는 단계, 상기 제 1웨이퍼가 상기 제 1정렬기에서 상기 제 1웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 위치 정렬된 후, 상기 이송로봇에 의해 공정설비로 이송하는 단계, 제 2웨이퍼가 상기 이송로봇에 의해 상기 용기로부터 꺼내어진 후 상기 제 1정렬기로 이송되는 단계, 상기 제 2웨이퍼가 상기 제 1정렬기에서 상기 제 2웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 위치 정렬되고, 상기 제 1정렬기에서 대기하는 단계, 공정 완료 후 상기 제 1웨이퍼가 상기 제 2정렬기로 이송되어 상기 제 1웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 위치 정렬되는 단계, 상기 제 1정렬기에 놓여진 상기 제 2웨이퍼가 상기 공정설비로 로딩되는 단계, 그리고 상기 제 2정렬기에서 상기 제 1웨이퍼가 상기 용기 내로 수납되고 상기 용기 내의 제 3웨이퍼가 상기 제 1정렬기로 이송되는 단계를 포함한다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 및 도 4를 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 위해서 과장되어진 것이다. 본 실시예에서 웨이퍼의 정렬이란 웨이퍼의 플랫존(flat zone) 또는 노치(notch)가 기설정된 방향을 향하도록 웨이퍼 가 위치되는 것을 의미한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따라 공정 설비(10)와 결합된 웨이퍼 이송 모듈(wafer transfer module)(40)을 개략적으로 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1의 선 Ⅰ-Ⅰ을 따라 절단한 단면도이다. 웨이퍼 이송 모듈(40)과 공정 설비(10)는 청정실(cleanroom) 내에 설치된다. 웨이퍼 이송 모듈(40)은 공정 설비(10)의 전방에 설치되며, 공정 설비(10)는 소정의 공정을 수행하는 공정 챔버(도시되지 않음)를 포함한다. 예컨대, 공정 챔버는 검사 공정을 수행하는 챔버일 수 있으며, 선택적으로 화학기상증착, 식각, 포토, 검사, 또는 세정 공정 등과 같은 공정을 수행하는 챔버일 수 있다.
웨이퍼 이송 모듈(40)은 용기(20)가 놓여지는 용기 지지대(loadport)(100)와 내부가 국부적으로 높은 청정도로 유지되는 프레임(frame)(200)을 가지고, 용기 지지대(100)에 놓여진 용기(container)(20)와 공정 설비(10)간 웨이퍼들(W)을 이송한다. 웨이퍼 이송 모듈(40)로는 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module, 이하 EFEM)이 사용된다. 용기(20)로는 전면 개방 일체식 포드(front open unified pod, 이하, FOUP)와 같이 외부의 공기가 용기(20) 내부로 유입되지 않도록 도어(22)를 가지는 밀폐형 용기가 사용된다.
용기 지지대(100)는 대체로 평평한 상부면을 가지며, 프레임(200)의 전방에서 프레임(200)에 결합된다. 용기 지지대(100)는 하나 또는 복수개가 제공될 수 있다. 용기(20)는 이송 장치에 의해 용기 지지대(100) 상에 놓여지며, 이송 장치로는 오버헤드 트랜스퍼(overhead transfer : OHT), 오버헤드 컨베이어(overhead conveyor : OHC), 또는 자동 안내 차량(automatic guided vehicle: AGV)과 같은 이송 수단이 사용될 수 있다.
프레임(200)은 공정 설비(10)와 용기 지지대(100) 사이에 위치되며, 프레임(200)의 내부에는 용기 지지대(100) 상에 놓여진 용기(20)와 공정 설비(10) 간 웨이퍼들(W)을 이송하는 이송로봇(280)이 배치된다. 이송로봇(280)은 레일(282)을 따라 직선이동될 수 있다. 프레임(200)은 대체로 직육면체의 형상을 가지며, 공정 설비(10)와 인접하는 측면인 프레임(200)의 후면(rear face)(240)에는 프레임(200)과 공정 설비(10)간 웨이퍼(W)가 이송되는 통로인 반입구(242)가 형성된다. 용기 지지대(100)와 인접하는 측면인 프레임(200)의 전면(front face)(220)에는 용기(20)와 프레임(200)간 웨이퍼가 이송되는 통로인 개구(222)가 형성된다. 프레임(200) 내에는 용기(20)의 도어(22)를 개폐하기 위한 도어 개폐기(290)가 설치된다. 도어 개폐기(290)는 용기의 도어(22)와 밀착되어 용기(20)로부터 도어(22)를 분리하는 도어 홀더(292)와 이를 이동시키는 아암(294)을 가진다.
프레임(200) 내의 일측벽에는 웨이퍼(W)를 정렬하는 정렬부재(300)가 배치된다. 도 3은 도 1의 정렬부재(300)의 정면도이다. 도 1과 도 3을 참조하면, 정렬부재(300)는 제 1정렬기(300a)와 제 2정렬기(300b)를 가진다. 용기(20)로부터 꺼내어진 웨이퍼(W)는 공정설비(10)로 이송되기 전에 제 1정렬기(300a)에서 정렬되고, 공정설비(10)에서 공정이 완료된 웨이퍼(W)는 용기(20)로 수납하기 전에 제 2정렬기(300b)에서 정렬된다. 제 1정렬기(300a)와 제 2정렬기(300b)는 상하로 적층되도록 배치된다. 정렬기들(300a, 300b)의 적층 구조는 프레임(200) 내에서 정렬기들 (300a, 300b)의 설치면적을 최소화한다. 공정이 진행될 웨이퍼(W)는 제 1정렬기(300a)에서 정렬이 이루어진 후 제 1정렬기(300a)에서 대기한다. 즉, 제 1정렬기(300a)는 버퍼기능을 수행한다. 공정이 완료된 웨이퍼(W)는 제 2정렬기(300b)로 이동된다. 제 1정렬기(300a)와 제 2정렬기(300b)는 동일한 구조를 가지며, 아래에서는 제 1정렬기(300a)의 구조에 대해 설명하고 제 2정렬기(300b)의 구조에 대한 설명은 생략한다.
제 1정렬기(300a)는 지지판(320), 구동부재(340), 회전축(360), 그리고 상부판(380)을 가진다. 지지판(320)은 프레임(200) 내의 일측벽으로부터 수평방향으로 돌출되도록 배치되며, 지지판(320) 상에는 구동부재(340)가 장착된다. 구동부재(340)에는 웨이퍼(W)가 놓여지는 회전축(360)이 설치되고, 회전축(360)의 상부에는 이와 이격되도록 상부판(380)이 배치된다. 상부판(380)에는 아래로 광을 조사하는 발광부재(392)가 배치되고, 이와 대향되는 구동부재(340) 상에는 수광부재(394)가 배치된다. 회전축(360)에 의해 웨이퍼(W)가 회전되고, 발광부재(392)는 아래로 광을 조사한다. 수광부재(394)에 광이 도달되었는지 여부, 또는 수광부재(394)에 도달되는 광량에 따라 웨이퍼(W)의 정렬이 이루어졌는지 여부가 판단된다. 웨이퍼(W) 정렬을 위해 상술한 방법과 달리 널리 알려진 다양한 방법이 사용될 수 있다. 제 1정렬기(300a)에서 정렬된 웨이퍼(W)의 위치와 제 2정렬기(300b)에서 정렬된 웨이퍼(W)의 위치는 상이할 수 있으며, 이에 따라 제 1정렬기(300a) 및 제 2정렬기(300b)에 설치되는 발광부재(392)와 수광부재(384)의 위치는 서로 상이할 수 있다.
본 실시예에서는 정렬부재(300)가 상하로 적층된 2개의 정렬기들(300a, 300b)을 가지는 것으로 설명하였다. 그러나 이는 일 예에 불과하며, 3개 이상의 정렬기들(300a, 300b)이 제공될 수 있으며, 정렬기들(300a, 300b)은 서로 나란히 배치되는 등 본 실시예와 다른 배열로 배치될 수 있다.
다음에는 도 4를 참조하여 상술한 웨이퍼 이송 모듈에서 웨이퍼들(W)이 이송되는 방법을 설명한다. 처음에 웨이퍼들(W)이 수납된 용기(20)가 용기 지지대(100) 상에 놓여지고, 도어 개폐기(290)에 의해 용기(20)의 도어(22)가 열린다. 이송로봇(280)은 용기(20)로부터 제 1웨이퍼(W)를 꺼낸 후, 이를 제 1정렬기(300a)로 이송한다(스텝 S10). 제 1정렬기(300a)에서 제 1웨이퍼(W)가 정렬된다. 제 1웨이퍼(W)는 이송로봇(280)에 의해 공정설비(10) 내로 이송되고, 검사 공정 등 소정의 공정이 수행된다(스텝 S20). 이송로봇(280)은 용기(20)로부터 제 2웨이퍼(W)를 꺼낸 후, 이를 제 1정렬기(300a)로 이송한다(스텝 S30). 제 1정렬기(300a)에서 제 2웨이퍼(W)가 정렬되고, 제 2웨이퍼(W)는 공정설비(10)에서 제 1웨이퍼(W)의 공정이 완료될 때까지 대기한다(스텝 S40). 제 1웨이퍼(W)의 공정이 완료되면, 제 1웨이퍼(W)는 이송로봇(280)에 의해 공정설비(10)로부터 제 2정렬기(300b)로 이송된다(스텝 S50). 제 2정렬기(300b)에서 제 1웨이퍼(W)의 정렬이 이루어진 후, 제 1웨이퍼(W)는 용기(20) 내로 수납된다(스텝 S60). 이송로봇(280)은 제 1정렬기(300a)에서 대기중인 제 2웨이퍼(W)를 공정설비(10)로 이송한다(스텝 S70). 이송로봇(280)은 제 3웨이퍼(W)를 용기(20)로부터 꺼내어 제 1정렬기(300a)로 이송하고, 상술한 과정은 반복된다. 용기(20) 내 모든 웨이퍼들(W)에 대해 공정이 완료되면 도어 개폐기(290)에 의해 용기(20)의 도어(2)가 닫힌다.
선택적으로 공정이 완료된 제 1웨이퍼(W)가 제 2정렬기(300b)에서 정렬되는 동안 이송로봇(280)은 제 2웨이퍼(W)를 공정설비(10)로 이송하고, 제 2정렬기(300b)에서 정렬이 이루어진 제 1웨이퍼(W)를 용기(20) 내로 수납함과 동시에 이송로봇(280)이 제 3웨이퍼(W)를 꺼내어 제 2정렬기(300b)로 이송할 수 있다.
본 발명에 의하면, 공정이 완료된 웨이퍼는 프레임 내에 설치된 정렬기에서 정렬이 이루어지 상태로 용기 내로 수납되므로, 일반적인 경우처럼 용기 내 웨이퍼를 정렬하기 위해 별도의 정렬장치로 용기가 이송될 필요가 없다. 따라서 일정 공정단계를 생략할 수 있으므로 전체 공정에 소요되는 시간을 크게 단축할 수 있다.
또한, 프레임 내에 공정설비로 이송되는 웨이퍼를 정렬하는 정렬기와 용기로 이송되는 웨이퍼를 정렬하는 정렬기가 각각 제공되므로, 프레임 내에서 웨이퍼 정렬로 인해 웨이퍼 적체가 일어나지 않는다.
또한, 정렬기들이 상하로 적층되어 배치되므로 프레임 내에서 정렬기들의 설치면적을 줄일 수 있다.

Claims (9)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 집적 회로 제조에 사용되는 웨이퍼 이송 모듈에 있어서,
    웨이퍼들이 수용되는 용기가 놓여지는 용기 지지대와;
    상기 용기 지지대와 공정설비 사이에 배치되는 프레임과;
    상기 프레임 내에 배치되며, 상기 용기 지지대에 놓여진 용기와 상기 공정설 비간 웨이퍼를 이송하는 이송로봇과;
    상기 프레임 내에 배치되며, 웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 웨이퍼를 정렬하는 정렬기를 가지는 정렬부재를 포함하되,
    상기 정렬부재는,
    상기 공정설비로 이송되는 웨이퍼를 정렬하는 제 1정렬기와;
    상기 용기로 이송되는 웨이퍼를 정렬하는 제 2정렬기를 포함하는 것을 특징으로 웨이퍼 이송 모듈.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제 1정렬기와 상기 제 2정렬기는 상하로 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 모듈.
  5. 내부에 정렬부재와 이송로봇이 배치되며, 웨이퍼들이 수용되는 용기와 공정 설비간 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송 모듈에서 웨이퍼를 이송하는 방법에 있어서,
    상기 용기로부터 상기 공정설비로 이송되기 전, 그리고 상기 공정설비로부터 상기 용기 내로 수납되기 전에 상기 정렬부재에서 웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 웨이퍼가 정렬되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 모듈을 사용하여 웨이퍼를 이송하는 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 정렬부재는 복수의 정렬기를 포함하며,
    공정 설비에서 공정이 수행되는 도중, 다음에 공정이 수행될 웨이퍼는 상기 정렬기들 중 어느 하나의 1정렬기에서 정렬이 이루어진 후 대기하고,
    상기 공정 설비에서 공정이 완료된 웨이퍼는 상기 정렬기들 중 다른 하나의 정렬기에서 정렬이 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 모듈을 사용하여 웨이퍼를 이송하는 방법.
  7. 내부에 제 1정렬기와 제 2정렬기를 가지는 정렬부재와 이송로봇이 배치되며, 웨이퍼들이 수용되는 용기와 공정 설비간 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송 모듈에서 웨이퍼를 이송하는 방법에 있어서,
    공정이 수행될 웨이퍼는 상기 제 1정렬기로 이송되어 웨이퍼의 플랫존 또는 노치가 기설정된 방향을 향하도록 정렬된 후 상기 공정설비에서 공정 진행중인 웨이퍼의 공정이 완료될 때까지 대기하고, 공정이 완료된 웨이퍼는 상기 제 2정렬기로 이송되어 웨이퍼의 플랫존 또는 노치가 기설정된 방향을 향하도록 정렬된 후 상기 용기 내로 수납하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 모듈을 사용하여 웨이퍼를 이송하는 방법.
  8. 내부에 제 1정렬기와 제 2정렬기를 가지는 정렬부재와 이송로봇이 배치되며, 웨이퍼들이 수용되는 용기와 공정 설비간 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송 모듈에서 웨이퍼를 이송하는 방법에 있어서,
    제 1웨이퍼가 상기 이송로봇에 의해 상기 용기로부터 꺼내어진 후 상기 정렬기들 중 하나인 제 1정렬기로 이송되는 단계와;
    상기 제 1웨이퍼가 상기 제 1정렬기에서 상기 제 1웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 위치 정렬된 후, 상기 이송로봇에 의해 상기 공정설비로 이송하는 단계와;
    제 2웨이퍼가 상기 이송로봇에 의해 상기 용기로부터 꺼내어진 후 상기 제 1정렬기로 이송되는 단계와;
    상기 제 2웨이퍼가 상기 제 1정렬기에서 상기 제 2웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 위치 정렬되고, 상기 제 1정렬기에서 대기하는 단계와;
    공정 완료 후 상기 제 1웨이퍼가 상기 제 2정렬기로 이송되는 단계와;
    상기 제 1웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 위치 정렬된 후 상기 용기로 수납되는 단계와; 그리고
    상기 제 1정렬기에 놓여진 상기 제 2웨이퍼가 상기 공정설비로 이송되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 방법.
  9. 내부에 제 1정렬기와 제 2정렬기를 가지는 정렬부재와 이송로봇이 배치되며, 웨이퍼들이 수용되는 용기와 공정 설비간 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송 모듈에서 웨이퍼를 이송하는 방법에 있어서,
    제 1웨이퍼가 상기 이송로봇에 의해 상기 용기로부터 꺼내어진 후 상기 정렬기들 중 하나인 제 1정렬기로 이송되는 단계와;
    상기 제 1웨이퍼가 상기 제 1정렬기에서 상기 제 1웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 위치 정렬된 후, 상기 이송로봇에 의해 상기 공정설비로 이송하는 단계와;
    제 2웨이퍼가 상기 이송로봇에 의해 상기 용기로부터 꺼내어진 후 상기 제 1정렬기로 이송되는 단계와;
    상기 제 2웨이퍼가 상기 제 1정렬기에서 상기 제 2웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 위치 정렬되고, 상기 제 1정렬기에서 대기하는 단계와;
    공정 완료 후 상기 제 1웨이퍼가 상기 제 2정렬기로 이송되어 상기 제 1웨이퍼의 노치 또는 플랫존이 기설정된 방향을 향하도록 위치 정렬되는 단계와;
    상기 제 1정렬기에 놓여진 상기 제 2웨이퍼가 상기 공정설비로 로딩되는 단계와; 그리고
    상기 제 2정렬기에서 상기 제 1웨이퍼가 상기 용기 내로 수납되고, 상기 용기 내의 제 3웨이퍼가 상기 제 1정렬기로 이송되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 방법.
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