JPH0843950A

JPH0843950A - マスク整合機構付露光装置およびワークの整合、露光、ならびに搬送方法。

Info

Publication number: JPH0843950A
Application number: JP6178863A
Authority: JP
Inventors: Nobutoshi Aikawa; 川伸俊相; Akira Morita; 田亮森
Original assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Orc Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1994-07-29
Filing date: 1994-07-29
Publication date: 1996-02-16
Anticipated expiration: 2019-09-02
Also published as: DE69511806D1; EP0696762B1; US5563682A; EP0696762A1; JP3559999B2; DE69511806T2

Abstract

(57)【要約】【目的】作業スペースを取らず、的確にワークとマスク
フィルムの整合ができ、整合ステージで上下のフレーム
の開閉作動をすることなく、かつ、ワークおよびマスク
フィルムの位置ズレが無く、光学系の干渉膜を早期劣化
させる原因を減少でき、そして、装置を小型化しても露
光ステージのワークに垂直光を照射できることを目的と
する。【構成】整合ステージＡと、露光ステージＢと、前記整
合ステージおよび露光ステージに設けた搬送機構１０，
１１と、光源装置９と、ワークＷの上方側から撮像する
撮像手段６を備える露光装置であって、マスクフィルム
Ｍを上側から保持する保持機構５の構成を、マスクフィ
ルムの吸着部５ａと、この吸着部を上下動自在に支持す
る支持アーム１７と、この支持アームを上下動させる第
１駆動装置１４と、この第１駆動装置を上下動させる第
２駆動装置１５と、前記吸着部の所定移動位置で吸着部
を固定支持するストッパ支持部２０とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、枚葉のワークの片面
を露光する露光装置に係り、特に、露光パターンを形成
したマスクフィルムの整合機構を備えるマスク整合機構
付露光装置およびワークの整合、搬送、ならびに露光方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ワークにマスクフィルムの所望
の露光パターンを焼き付ける作業は、整合作業と露光作
業に分かれた位置で行われていた。すなわち、図１４で
示すように、ワークＷおよびマスクフィルムＭの整合装
置６７でワークＷとマスクフィルムＭの位置決めマーク
を、撮像カメラ６８、６８で撮像し、モニター６９、ア
ライメントテーブルなどを介して位置合わせ位置作業を
行っている。その後、整合済ワークおよびマスクフィル
ムを一旦ストッカ装置６５の収納部６６に収納し、この
ストッカ装置６５を移動させ、露光装置６０で露光して
いる。

【０００３】前記露光装置６０は、ワークＷを挟持する
真空フレームの構成が、下フレーム板６２の一端側に上
透光フレーム板６１の一端側を蝶番６３などで軸着し、
上透光フレーム板６１が、その一端側を基準に回動して
開閉するように構成されている。前記上透光フレーム板
６１は、枠状に形成され、上透光板６１ａを有してい
る。そして、前記上透光板６１ａと、シールゴムなどで
囲繞する空間の空気を吸引し、ワークＷをおよびマスク
フィルムＭを両フレーム板６１、６２に真空吸着して挟
持している。ワークＷは、上下のフレーム板６１、６２
で挟持された状態で露光装置の露光ステージに送られ露
光される。

【０００４】また、露光装置の構成によっては、整合機
構を備えるものもある。図１５で示すように、露光装置
７０は、整合ステージ位置で、下方側に撮像カメラ７
２、７２が設置されると共に、アライメントテーブル７
１が設けられ、ワークの下方からワーク上のマスクフィ
ルム撮像できるように構成されている。したがって、露
光されるワークＷは、所定位置に丸穴を穿設する必要が
ある。さらに、露光装置７０は、整合ステージから露光
ステージに渡って水平方向で上下に設けた搬送路７５、
７５に、それぞれ上透光フレーム板７４、７４を往復移
動自在に設け、取付回動部７４ａ，７４ａを介して仮想
線で示すように回動自在に構成している。また、これら
上透光フレーム板７４、７４と一体でワークＷを挟持す
る下フレーム板７３、７３は、一方が整合ステージ側に
配置され、他方は、露光ステージ側に上透光フレーム板
６１と合体して配置されている。

【０００５】そして、マスクフィルムは、各上透光フレ
ーム板７４の透光板に取り付けられている。さらに、露
光ステージでは、反射鏡からワークまでの紫外線照射の
距離が異なるため、光量計７７、７７を２台設置し、こ
の光量計の積算光量が上下のワークＷの位置が異なって
もほぼ同じ数値になるように光源を制御する構成として
いる。

【０００６】そして、露光ステージに隣接してワーク面
などを冷却する冷却用ハウジングを設け、この冷却用ハ
ウジング内に、冷却装置７７、冷却ファン７７ａなどを
設置している。また、冷却ハウジングに隣接して光源用
ハウジングを設け、この光源用ハウジング内に光源装置
７８フライアイレンズ７８ａ、反射鏡７８ｂなどの光学
系を設け、前記露光ステージ内の上方には、ワークＷに
垂直光を反射する放物面反射鏡７８ｃに、光源装置７８
からの光を照射している。なお、露光ステージと光源用
ハンジング間に、冷却用ハウジングを設けているのは、
ワークに垂直光を照射する必要上、光源装置から所定距
離を離す必要があることと、光源装置や、ワーク面など
を冷却する必要があるためである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の露光装
置では、以下のような問題点が存在していた。露光装置と整合装置が分かれているものは、整合装
置およびストッカ装置の分だけ作業スペースを取ること
になる。また、整合済のワークおよびマスクフィルムを
ストッカ装置で移動すると、ワークおよびマスクフィル
ムに塵埃が付着する原因となった。さらに、搬送中にワ
ークとマスクフィルムの位置ズレが起こる原因にもなっ
た。

【０００８】露光装置の整合ステージ位置に撮像手
段を備えるものは、ワークの下方に撮像手段を配置して
いるため、ワークの所定位置に穴明けをする作業が必要
であるため、作業工程を増やし、それに伴う装置を必要
とした。また、穿設した丸穴は、小さいと照明光線が入
らず、大きいと、回路などの画像の設計上不都合であっ
た。さらに、穿設した丸穴は、ドリルで形成することか
ら、バリが発生し、このバリが照明光線の光を乱反射す
ることで、撮像手段でマスクフィルムの位置決めマーク
が読み取れず、整合作業ができない場合があった。

【０００９】露光装置の構成が整合ステージ（図１
５のものは、露光装置搬入部）で上透光フレーム板と、
下フレーム板とを開放あるいは閉塞する作業があるた
め、その上下のフレームの開閉作業に時間がかかり、ワ
ークの処理能力が低下した。

【００１０】アライメントテーブルを備える露光装
置は、マスクフィルムを設けた上透光フレーム板が、一
端側を回動支軸として開閉作動を行うため、仮位置決め
ができず、下フレーム板に載置するワークの位置決めマ
ークの位置と、マスクフィルムの位置決めマークの位置
が合わせずらく、ワークの置き方よっては、撮像手段に
よる整合作業ができなかった。

【００１１】整合ステージを備える露光装置は、ア
ライメントテーブルで下フレーム板上のワークを整合作
業を行った後、下フレーム板と上透光フレーム板が合体
してワークおよびマスクフィルムを挟持することになる
が、上下のフレームでワークおよびマスクフィルムを真
空吸着する際に、位置ズレを生じることが多く、整合作
業のやり直しをすることでワークの露光作業に時間がか
かった。

【００１２】露光装置の光源装置は、ワーク照射面
から放電灯まで所定距離離れないとワーク面に垂直光を
照射できないが、露光ステージと、光源装置の間に冷却
用ハウジングを設けると、露光装置全体が大型化した。
また、放電灯や反射鏡は、所望方向に光照射が適切にで
きるように、干渉膜、蒸着膜などが設けられているが、
冷却用ハウジングを光源用ハウジングと別に設けると放
電灯から発せられる発光熱や、室内の湿度を適正に除去
できず、その影響により干渉膜などの脱落など不都合を
生じる経時変化が早まった。

【００１３】露光ステージでワークを露光する場
合、光源からの距離が異なることから光量計により積算
光量が同じになるように光源装置を制御しているが、で
きればワークから光源の距離が常に一定であることが望
ましく、その構成が実現できる装置の構成が望まれてい
た。

【００１４】この発明は、前述の問題点を解決すべく創
案されたもので、作業スペースを取ること無く、また、
的確にワークとマスクフィルムの位置合わせができ、整
合ステージで上下のフレームの開閉作動をすることな
く、かつ、整合作業後のワークおよびマスクフィルムの
位置ズレが無く、さらに、湿度や放電灯の発光熱など光
学系の干渉膜を早期劣化させる原因を減少でき、そし
て、装置の大型化をすることなく露光ステージのワーク
に垂直光を照射できるマスク整合機構付露光装置および
ワークの整合、搬送、ならびに露光方法を提供すること
を目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
め、この発明は、ワークとマスクフィルムの整合ステー
ジと、整合済ワークを露光する露光ステージと、前記整
合ステージおよび露光ステージ間でワークを搬送する搬
送機構と、露光ステージに到来したワークを光学系を介
して光照射する光源装置と、前記整合ステージにワーク
およびマスクフィルムを上方から撮像する撮像手段を備
える露光装置であって、マスクフィルムを上側から保持
する保持機構を前記整合ステージに設け、前記保持機構
は、マスクフィルムの吸着部と、この吸着部を上下動自
在に支持する支持アームと、この支持アームを上下動さ
せる第１駆動装置と、この第１駆動装置を上下動させる
第２駆動装置と、前記吸着部の所定移動位置で吸着部を
固定支持するストッパ支持部とを備えたマスク整合機構
付露光装置として構成した。

【００１６】また、前記支持アームは、吸着部を上下方
向に摺動させるガイド部を有し、前記吸着部と支持アー
ムに弾性部材の一端と他端を連結し、前記吸着部を弾性
部材を介してマスクフィルム側に付勢し、前記ストッパ
支持部は、水平方向に出没するストッパアームと、この
ストッパアームを駆動するストッパアーム駆動部を備
え、前記ガイド部に沿って摺動した吸着部を所定位置
で、ストッパアームが固定支持する構成としても構わな
い。

【００１７】さらに、前記整合ステージには、搬送経路
の下方から両搬送経路を越えて上昇するアライメントテ
ーブルを設け、前記露光ステージには搬送経路の下方か
ら両搬送経路を越えて上昇する垂直搬送テーブルを設け
ると共に、前記第１および第２下フレーム板と合体して
真空フレームを形成する上透光フレーム板を設け、前記
移動テーブルは、下フレーム板を載置する載置板と、こ
の載置板の所定位置に設けた下フレーム板の位置決め回
転ローラとを備えたマスク整合機構付露光装置として構
成した。

【００１８】また、前記移動テーブルは、下フレーム板
を載置する載置板と、この載置板の所定位置に設けた固
定ガイドとを備え、前記両下フレーム板は、その側面位
置に回転ローラの少なくとも回転面が突出するように設
けた構成としても良い。

【００１９】そして、前記整合ステージに設けた撮像手
段は、一方と他方の撮像カメラと、両撮像カメラの焦点
位置を照射する照明装置を備え、前記撮像カメラは、支
持部材を介して支持され、前記支持部材は、移動アーム
の長手方向に沿って移動自在に設けたスライド部に設け
られ、前記移動アームは、その基部を前記長手方向に直
交する水平溝部に移動可能に設け、前記照明装置は、前
記支持部材の所定位置で昇降自在に設けられ、前記撮像
カメラの撮像時に、照明装置の移動下端で、ワークおよ
びマスクフィルムの位置決めマークを照射する前記マス
ク整合機構付露光装置として構成した。

【００２０】また、ワークを載置する下フレーム板は、
その所定位置に、ワークの一辺の側面に当接する突起を
設け、前記撮像手段側にワークの位置決めマーク位置を
ピンポイント照射する可視平行光の照射装置を設けた構
成とした。

【００２１】さらに、前記露光ステージには、被露光位
置に到来するワークに垂直光を反射する放物面反射鏡を
設け、前記露光ステージに隣接して設けた光源用ハウジ
ングには冷媒ラジエータを有する冷却装置を設けると共
に、前記光源装置の中心位置を、露光装置の左右幅方向
の中心位置から左右どちらかにずらした位置に配設し、
前記放電灯からの垂直方向の照射光を所定角度で反射す
る反射鏡は、ワークの一端面に平行で、かつ、放電灯の
照射光の光軸に沿って形成される垂直面よりワーク側に
反射光を反射する構成とした。

【００２２】そして、ワークおよびマスクフィルムの整
合方法としては、水平方向に高さを異ならせて設けた搬
送路に沿って下フレーム板を搬送する移動テーブルの一
方の移動端で、アライメントテーブルの上昇に伴い前記
下フレーム板を移動テーブルから上方に分離離間させア
ライメントテーブル上に載置する第１工程と、

【００２３】前記下フレーム板の一辺側に設けた突起に
ワークの一側端部を当接させると共に、ピンポイント照
射されている可視平行光線にワークの位置決めマークを
合わせて下フレーム板上にワーク載置する第２工程と、
前記可視平行光線に合わせてマスクフィルムの位置決め
マークを仮位置決めし、マスクフィルムをワーク上に載
置する第３工程と、前記ワークおよびマスクフィルムの
位置決めマークを撮像手段により撮像すると共に、前記
マスクフィルムの上方から保持機構を降下してマスクフ
ィルムを吸着保持し、マスクフィルムを保持している保
持機構を上昇させてワークからマスクフィルムを離間さ
せ、前記位置決めマークの位置情報に基づいて、アライ
メントテーブルを水平面上のＸ，Ｙ，θ方向に作動さ
せ、整合作業を行う第４工程と、

【００２４】前記保持機構を降下させワークにマスクフ
ィルムを当接させた状態で固定手段によりワークおよび
マスクフィルムを下フレームに固定保持し、保持機構の
吸引作動を解除して保持機構を上昇させる第５工程から
構成した。

【００２５】また、ワークの露光方法としては、水平方
向に高さを異ならせて設けた搬送路に沿って下フレーム
板を搬送する移動テーブルの他方の移動端で、整合済ワ
ークおよびマスクフィルムを保持した下フレーム板を垂
直搬送テーブルの上昇に伴い移動テーブルから上方に離
間させ、上方に設置されている上透光フレーム板に当接
合体させる第１工程と、

【００２６】前記ワークに光源装置から光学系を介して
光照射し、マスクフィルムの所定パターンをワークに露
光する第２工程と、前記下フレーム板を上透光フレーム
板から分離し、垂直搬送テーブルの降下に伴って、下フ
レーム板を待機している移動テーブルに載置支持する第
３工程とから構成した。

【００２７】さらに、ワークの搬送方法としては、整
合ステージおよび露光ステージ間で上下２段に設けた搬
送路に沿って移動する第１および第２移動テーブルを往
復移動させ、第１および第２移動テーブルに載置支持し
ているそれぞれの下フレームの一方を、整合ステージの
アライメントテーブル側に到来させるとと共に、下フレ
ームの他方を露光ステージの垂直搬送テーブル側に到来
させる第１工程と、

【００２８】整合ステージでは、アライメントテーブル
の上昇により第１移動テーブルから下フレームを離間上
昇させ、撮像手段、マスクフィルムの保持機構などを介
してアライメントテーブルの作動によりワークおよびマ
スクフィルムを整合し、下フレーム上に固定手段を介し
てワークおよびマスクフィルムを固定保持すると共に、
露光ステージでは、整合済ワークを固定保持する下フレ
ーム板を垂直搬送テーブルの上昇に伴い第２移動テーブ
ルから上昇離間させ、上方に設置した上透光フレーム板
にワークおよびマスクフィルムを間にして下フレーム板
を当接合体させ真空吸着して露光作業を第２工程と、

【００２９】整合ステージでは、アライメントテーブル
の降下に伴い整合済ワークおよびマスクフィルムを固定
保持する下フレームが降下し、待機している第１移動テ
ーブルに載置支持されると共に、露光ステージでは、真
空フレームの真空吸着を解除し、垂直搬送テーブルの降
下に伴い露光済ワークおよびマスクフィルムを固定保持
する下フレームが降下し、待機している第２移動テーブ
ルに載置支持する第３工程と、前記上下の搬送路に沿っ
て第１移動テーブルを整合ステージから露光ステージに
搬送すると共に、第２移動テーブルを露光ステージから
整合ステージに搬送する第４工程とから構成した。

【００３０】

【作用】この発明は上記のように構成したので以下のよ
うな作用を有している。（１）マスクフィルムを保持する保持機構は、支持ア
ームをに上下動自在に設けた吸着部が、第１駆動装置に
より所定距離降下してワーク上に載置されているマスク
フィルムに当接すると共に、マスクフィルムを真空吸着
した位置で、ストッパ支持部が吸着部を固定支持する。
そして、ワークがアライメントテーブルの作動で水平方
向に移動しても、マスクフィルムの露光パターンに影響
がない位置まで第１駆動装置により支持アームごと駆動
させ、マスクフィルムを上昇させる。

【００３１】（２）前記吸着部を弾性部材の付勢力
で、常にマスクフィルム側に付勢されるように構成する
ため、第１駆動装置で支持アームを降下した場合、吸着
部は、マスクフィルムにより確実に当接する。

【００３２】（３）上下の搬送路に沿って水平方向に
交互に搬送される移動テーブルは、載置板の所定位置に
位置決めガイドを設けている。そのため、一方と他方の
移動端である整合ステージおよび露光ステージに設置し
た各アライメントテーブルおよび垂直搬送テーブルが上
下の搬送路を越えて上昇すると、移動テーブルの位置決
めガイドで支持されている下フレームが移動テーブルか
ら分離し各テーブルに載置されて上昇する。また、下フ
レームを載置している各テーブルが降下すると、下フレ
ームは待機いている移動テーブルの位置決めガイドに案
内されて移動テーブル上に載置支持される。

【００３３】（４）また、前記位置決めガイドを回転
ローラの構成とすると、下フレームが各テーブルの上下
動に伴って移動テーブルから分離あるいは支持される際
に、回転ローラが回転することで下フレームの各側面は
案内される。

【００３４】（５）整合ステージに設けた撮像手段
は、撮像カメラの支持部材が移動アームの長手方向に沿
って移動可能で、かつ、移動アームの基端が、水平溝部
に移動可能であるため、支持アームに設けた撮像カメラ
の焦点位置が所望位置に移動できる。そして、前記支持
部材は、環状の照明装置が上下動自在に設けられている
ため、前記撮像カメラでワークおよびマスクフィルムの
位置決めマークを撮像する場合、照明装置がその移動下
端で照明光を照射できる。

【００３５】（６）ワークは、その一端側を各下フレ
ーム板に設けた突起に端面合わせして設置すると共に、
下フレームの所定位置をピンポイント照射する可視平行
光に、ワークの位置決めマークの少なくとも一方を合わ
せて載置する。そして、ワークの上にマスクフィルムを
載置する際には、前記可視平行光のピンポイント照射位
置を目印に、マスクフィルムの位置決めマークを合わせ
て置くことで仮位置決めをすることが可能となる。

【００３６】（７）露光ステージに隣接して設けた光
源装置のハウジング内には、冷却装置を設けると共に、
光源装置の放電灯から照射された光を所定方向に反射す
る反射鏡や、光の照度を調整するフライアイレンズなど
を設けているため、ハウジング内の湿度や、放電灯から
の発光熱が優先的に除去される。また、光源装置を露光
ステージに隣接する光源用ハウジング内に設け、光源装
置を露光装置の左右幅方向の中心位置から左右何方にず
らして設置すると共に、ワークの一側端に平行で、か
つ、光源装置からの垂直方向の照射光の光軸に沿って構
成される垂直面よりワーク側に、光源装置からの照射光
を所定角度に第１反射鏡が反射するため、ワークに垂直
平行光を照射する適正距離が確保できる。

【００３７】（８）ワークの整合方法としては、始め
に、水平方向に高さを異ならせて設けた搬送路に沿って
下フレーム板を搬送する移動テーブルの一方の移動端
で、アライメントテーブルの上昇に伴い前記下フレーム
板を移動テーブルから上方に分離離間させアライメント
テーブル上に載置する。そして、前記下フレーム板の一
辺側に設けた突起にワークの一側端部を当接させると共
に、ピンポイント照射されている可視平行光線にワーク
の位置決めマークを合わせて下フレーム板上にワーク載
置する。

【００３８】その後、前記可視平行光線に合わせてマス
クフィルムの位置決めマークを仮位置決めし、マスクフ
ィルムをワーク上に載置し、前記ワークおよびマスクフ
ィルムの位置決めマークを撮像手段により撮像すると共
に、前記マスクフィルムの上方から保持機構を降下して
マスクフィルムを吸着保持し、保持機構を上昇させてワ
ークからマスクフィルムを離間させ、前記位置決めマー
クの位置情報に基づいて、アライメントテーブルを水平
面上のＸ，Ｙ，θ方向に作動させ、整合作業を行う。さ
らに、前記保持機構を降下させワークにマスクフィルム
を当接させた状態で固定手段によりワークおよびマスク
フィルムを下フレームに固定保持し、保持機構の吸引作
動を解除して保持機構を上昇させることで整合作業を終
了する。

【００３９】（９）ワークの露光方法としては、露光
ステージに搬送されてきた移動テーブルに支持された下
フレーム板を垂直搬送テーブルの上昇に伴って移動テー
ブルから上方に離間させ上方に設置されている上透光フ
レーム板に当接合体させる。そして、前記ワークに光源
装置から光学系を介して光照射し、マスクフィルムの所
定パターンをワークに露光する。その後、前記下フレー
ム板を上透光フレーム板から分離し、垂直搬送テーブル
の降下に伴って、待機している移動テーブルに下フレー
ム板を載置支持することで行う。

【００４０】（１０）ワーク搬送方法としては、整合
ステージおよび露光ステージ間で上下２段に設けた搬送
路に沿って移動する第１および第２移動テーブルを往復
移動させ、第１および第２移動テーブルに載置支持して
いるそれぞれの下フレームの一方を、整合ステージのア
ライメントテーブル側に到来させるとと共に、下フレー
ムの他方を露光ステージの垂直搬送テーブル側に到来さ
せる。

【００４１】つぎに、整合ステージでは、アライメント
テーブルの上昇により第１移動テーブルから下フレーム
を離間上昇させ、撮像手段、マスクフィルムの保持機構
などを介してアライメントテーブルの作動によりワーク
およびマスクフィルムを整合し、下フレーム上に固定手
段を介してワークおよびマスクフィルムを固定保持する
と共に、露光ステージでは、整合済ワークを固定保持す
る下フレーム板を垂直搬送テーブルの上昇に伴い第２移
動テーブルから上昇離間させ、上方に設置した上透光フ
レーム板にワークおよびマスクフィルムを間にして下フ
レーム板を当接合体させ真空吸着して露光作業を行う。

【００４２】さらに、整合ステージでは、アライメント
テーブルの降下に伴い整合済ワークおよびマスクフィル
ムを固定保持する下フレームが降下し、待機している第
１移動テーブルに載置支持されると共に、露光ステージ
では、真空フレームの真空吸着を解除し、垂直搬送テー
ブルの降下に伴い露光済ワークおよびマスクフィルムを
固定保持する下フレームが降下し、待機している第２移
動テーブルに載置支持する。そして、前記上下の搬送路
に沿って第１移動テーブルを整合ステージから露光ステ
ージに搬送すると共に、第２移動テーブルを露光ステー
ジから整合ステージに搬送している。

【００４３】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。図１は、露光装置の要部を示す一部を断面に
した正面図、図２は、露光装置の全体を示す斜視図。図
３は、露光装置の要部を示す原理図である。

【００４４】露光装置１は、図３で示すように、整合ス
テージＡと、この整合ステージＡに隣接した設けた露光
ステージＢと、この露光ステージＢに隣接して設けた光
源用ハウジングＣとから構成されている。

【００４５】前記整合ステージＡには、ワークの整合作
業を行うアライメントテーブル２と、このアライメント
テーブル２の上方に設けられたマスクフィルムＭの保持
機構５と、ワークＷおよびアライメントフィルムＭの位
置決めマークを撮像する撮像手段６などを備えている。
前記露光ステージＢには、上透光フレーム板７と、この
上透光フレーム板７の下方に設けられた垂直搬送テーブ
ル８と、前記上透光フレーム板７の上側に設けたワーク
Ｗに垂直光を反射する放物面反射鏡９ｆとを備えてい
る。前記光源用ハンジングＣ内には、光源装置９と、冷
却装置１６およびロールファンや冷媒ラジエータ１８な
どを備えている。また、前記整合ステージＡおよび露光
ステージＢ間には、下フレーム板３、４を載置支持する
移動テーブル１２、１３を搬送する搬送機構１０、１１
が設けられている。

【００４６】図１で示すように、前記アライメントテー
ブル２は、下フレーム板３、４を載置する載置テーブル
２ａと、この載置テーブル２ａを水平方向の一方向に移
動するＸ駆動部２ｂと、このＸ駆動部２ｂの駆動方向と
直交する方向にそのＸ駆動部２ｂを移動するＹ駆動部２
ｃと、このＹ駆動部２ｃを垂直軸線方向の回りを回転さ
せる方向に移動するθ駆動部２ｄと、前記載置テーブル
２ａ側を上昇降下駆動させるシリンダ軸２ｆおよびシリ
ンダ駆動部２ｅとから構成されている。

【００４７】そして、前記シリンダ駆動部２ｅがシリン
ダ軸２ｆを伸長方向に作動させると、載置テーブル２ａ
等が上昇し、後述する下フレーム板３（４）を各移動テ
ーブル１２（１３）から上方向に分離離間させ載置テー
ブル２ａ上に下フレーム板３（４）を載置する構成とし
ている。なお、ワークＷを下フレーム板３、４上に載置
する場合は、前記アライメントテーブル２の載置テーブ
ル２ａを上昇させ、図１の仮想線で示す位置まで下フレ
ーム板３（４）を上昇駆動させた位置で行う。また、ワ
ークＷとマスクフィルムＭの整合作業を行う場合も同様
に載置テーブル２ａを上昇させた位置で行う構成として
いる。

【００４８】図１で示すように、前記撮像手段６は、撮
像カメラ６ａ，６ａをそれぞれの移動アーム１９、１９
の先端側に、支持部６ｄ，６ｄを介して設けている。こ
の支持部６ｄ、６ｄは、前記移動アーム１９、１９の長
手方向に設けたスライド溝１９ａ、１９ａに沿って摺動
自在に設けられている。また、前記支持部６ｄ、６ｄの
所定位置には、照明装置としてのそれぞれ環状の照明灯
６ｂ、６ｂが上下動自在にに設けられており、前記撮像
カメラ６ａ、６ａの中心を囲む位置に配設されている。
さらに、前記支持部６ｄ，６ｄの所定位置には、可視平
行光線の照射装置６ｃ，６ｃを所定角度に取り付けてい
る。なお、前記移動アーム１９、１９は、その基端側を
本体側に設けたスライド機構２２に沿って左右に移動自
在に設けられている。

【００４９】図１で示すように、前記照射装置６ｃ，６
ｃは、下フレーム板３（４）上のワークＷが、アライメ
ントテーブル２の上昇により上昇端に到来した際、その
ワークＷの位置決めマークの位置を、可視平行光線によ
りピンポイント照射するように設定されている。また、
図５で示すように、下フレーム板３（４）は、その一辺
側近傍に突起３ａ、３ａ（４ａ，４ａ）を備え、ワーク
Ｗの一端辺に当接して端面合わせができる構成としてい
る。前記環状の照明灯６ｂ，６ｂは、撮像カメラ６ａ、
６ａの撮像状態が良好となるように、マスクフィルム
Ｍ、および、ワークＷの位置決めマークを撮像する際
に、下方に降下してマスクフィルムＭ近傍で、かつ、環
状内に各位置決めマークが配置するように黄色の照明光
を照射している。

【００５０】なお、撮像カメラ６ａ、６ａは、移動アー
ム１９、１９および支持部６ｄ，６ｄを移動すること
で、撮像カメラ６ａ，６ａの焦点位置が移動できるた
め、ワークＷの大きさが異なっても対応することができ
る。

【００５１】図１および図４で示すように、マスクフィ
ルムの保持機構５は、支持アーム１７に設けた取付部５
ｄのスライド部５ｃに摺動自在に保持片５ｂを設け、こ
の保持片５ｂの下端側にマスクフィルムＭを真空吸着す
る吸着部５ａを設けている。また、図４で示すように、
前記保持片５ｂは、上端側に水平方向に突出した支持片
５ｆを取り付けている。そして、前記支持片５ｆと、前
記取付部５ｄの下端側に渡ってスプリング５ｅを設け、
前記吸着部５ａが、マスクフィルムＭ側に常に付勢され
るように構成されている。

【００５２】さらに、図４で示すように、前記取付部５
ｄの上端側には、水平方向に突出する突出片を備え、こ
の突出片にナットを介してボルト５ｇが留め付けられて
いる。前記ボルト５ｇは、前記支持片５ｆの所定位置に
設けられた長穴に嵌入され、ボルト頭が、前記支持片５
ｆの底面側に当接するように構成されている。このボル
ト５ｇは、前記吸着部５ａが、常にマスクフィルムＭ側
に付勢されているため、所定位置で吸着部５ａの下端設
定を行うためのものである。

【００５３】図４で示すように、前記吸着部５ａを設け
た保持片５ｂの後方側には、ストッパ支持部２０が支持
アーム１７に取り付けられている。このストッパ支持部
２０は、水平方向に出没自在に設けたストッパアーム２
０ａと、このストッパアーム２０ａを駆動するストッパ
アーム駆動部２０ｂとを有している。

【００５４】さらに、図１で示すように、前記支持アー
ム１７は、シリンダ機構などにより第１駆動装置１４に
上下動自在に支持され、前記第１駆動装置１４は、第２
駆動装置１５に上下動自在に支持されている。そして、
前記第２駆動装置１５は、大きなストロークで第１駆動
装置１４を上下動させ、移動下端では支持アーム１７の
吸着部５ａが、マスクフィルムＭに当接できるように構
成されている。また、前記第１駆動装置１４は、第２駆
動装置で作動し支持アーム１７の吸着部５ａがマスクフ
ィルムＭを吸着保持した後、支持アーム１７を小さなス
トロークで上下動させる構成としている。

【００５５】つぎに、搬送機構１０、１１の説明をす
る。図１および図５で示すように、搬送機構１０、１１
は、整合ステージＡおよび露光ステージＢ間に渡って設
けた搬送路として設けたリニアガイド１０ａ、１１ａお
よび平板ガイド１０ｂ，１１ｂと、これらリニアガイド
１０ａ、１１ａおよび平板ガイド１０ｂ、１１ｂに沿っ
て移動する第１および第２移動テーブル１２、１３の作
動装置１０Ａとを備えている。前記作動装置１０Ａは、
整合ステージＡと露光ステージＢ側にそれぞれ設けたプ
ーリ１０ｆ、１０ｇと、これらプーリ１０ｆ，１０ｇと
に掛け渡されたタイミングベルト１０ｅと、一方のプー
リ（図面では露光ステージ側）１０ｇ側に設けた駆動モ
ータ１０ｈとを備えている。

【００５６】また、前記移動テーブル１２（１３）は、
図５で示すように、コ字形の載置台１２ｂ（１３ｂ）
と、この載置台の一端側に設けた車輪１２ｃ，１２ｃ
（１３ｃ，１３ｃ）と、他端側に設けたスライド保持部
１２ｄ，１２ｄ（１３ｄ，１３ｄ）を有し、載置台上面
には、位置決めローラ１２ａ（１３ａ）が設けられてい
る。これら位置決めローラ１２ａ（１３ａ）の設置位置
は、露光ステージＢに設けた上透光フレーム板７に対応
しており、位置決めローラ１２ａ（１３ａ）に載置支持
した各下フレーム１２、１３が、上透光フレーム板７の
適正位置に当接して真空フレームを構成できる位置に設
けられている。

【００５７】図５で示すように、前記移動テーブル１２
（１３）の車輪１２ｃ，１２ｃ（１３ｃ，１３ｃ）は、
平板ガイド１０ｂ（１１ｂ）の上を走行し、スライド保
持部１２ｄ，１２ｄ（１３ｄ，１３ｄ）は、前記リニア
ガイド１０ａ（１１ａ）に沿って摺動する構成としてい
る。そして、前記位置決めローラ１２ａ（１３ａ）は、
下フレーム板３（４）の少なくとも各側面に当接する位
置（図面では６個所）に、取付部材１２ａ₂（１３
ａ₂）により固定され、この取付部材１２ａ₂（１３ａ
₂）に回動自在に回転ローラ１２ａ₁（１３ａ₁）が設
けられている。さらに、前記それぞれの回転ローラ１２
ａ₁（１３ａ₁）の内側最大突出位置により囲繞される
部分が、下フレーム板３（４）の各側面が当接して支持
されるように構成されている。

【００５８】さらに、図３および図５で示すように、第
１および第２移動テーブル１２（１３）は、そのスライ
ド保持部１２ｄ，１２ｄ（１３ｄ，１３ｄ）側に留付部
材１０ｄ，１０ｄ（１１ｅ，１１ｅ）を設け、前記タイ
ミングベルト１０ｅの所定位置に留め付けている。

【００５９】したがって、移動テーブル１２（１３）の
位置決めローラ１２ａ（１３ａ）に支持されている下フ
レーム板３（４）は、その位置決めローラ１２ａ（１３
ａ）に周側面を案内されて載置板１２ｂ（１３ｂ）に分
離、載置自在に支持されており、前記したアライメント
テーブル２の載置テーブル２ａや、後述する垂直搬送テ
ーブル８の昇降テーブル８ａの上昇に伴って、移動テー
ブル１２（１３）から分離して、整合作業および露光作
業を行う。また、各作業後、載置テーブル２ａおよび昇
降テーブル８ａの降下に伴って、下フレーム板３（４）
が移動テーブル１２（１３）の位置決めローラ１２ａ
（１３ａ）に案内され、載置板１２ｂ（１３ｂ）に載置
支持される。

【００６０】また、図３で示すように、整合ステージＡ
の移動テーブル１２と、露光ステージＢの移動テーブル
１３は、タイミングベルト１０ｅを駆動させることで、
交互に整合ステージＡおよび露光ステージＢ間を下フレ
ーム板３、４にワークＷおよびマスクフィルムＭを保持
して移動する。

【００６１】つぎに、露光ステージＢ内の構成に付いて
説明する。図３で示すように、露光ステージＢには、下
フレーム板３、４と当接合体して真空フレームとなる上
透光フレーム板７が固定設置されている。この上透光フ
レーム板７の構成は、透光板７ａを上下の枠体７ｂ，７
ｇが開閉自在に挟持している。すなわち、図６で示すよ
うに、上の枠体７ｂは、その一辺側が蝶番７ｃ，７ｃに
より下の枠体７ｇと接続されており、前記蝶番７ｃ，７
ｃと対向する他辺側には、留め付けハンドル７ｅ，７ｅ
が設けられている。そして、その他の両辺には、シリン
ダ７ｆ，７ｆが設けられている。

【００６２】したがって、留め付けハンドル７ｅ、７ｅ
を操作して留め付け状態を解除すると、上の枠体７ｂ
は、蝶番７ｃ，７ｃを回動軸としてシリンダ７ｆ，７ｆ
の押し上げにより上方に開放する。また、前記透光板７
ａは、所定個所に２ヵ所貫通穴が形成されており、この
貫通穴に前記上の枠体７ｂに設けた吸着パッド７ｄ，７
ｄが当接し、後述する下フレーム板３（４）が上昇した
際に、その下フレーム板３（４）ごとワークＷおよびマ
スクフィルムＭを真空吸着して保持する構成としてい
る。なお、透光板７ａ下面側で周縁には、シールゴム７
ｈ（図７参照）が設けられている。また、図２で示すよ
うに、透光板７ａは、上の枠体７ｂが上方に開放する
と、矢印で示すようにスライドして容易に取り出すこと
ができる。

【００６３】図９で示すように、光源用ハウジングＣ内
に設けた光源装置９は、放電灯９ａと、この放電灯９ａ
の照射光を集光するように反射する楕円反射鏡９ｂと、
この光源装置９からの照射光を所定角度で反射する第１
反射鏡９ｃと、この第１反射鏡９ｃからの反射光の照度
を整えるフライアイレンズ９ｄと、このフライアイレン
ズ９ｄからの照射光を露光ステージＢの放物面反射鏡９
ｆに反射する第２反射鏡９ｅとから構成されている。

【００６４】なお、前記光源装置９の中心位置は、図９
で示すように、露光装置１の幅方向の中心より所定距離
Ｂだけ左右何方かにずれた位置に配置され（図面ではワ
ークＷの方向から見て左側）ている。そして、前記第１
反射鏡から反射される反射光の軸線方向は、搬送されて
来るワークＷの一辺（図では送りワークＷの送り方向に
直交する側の一辺）側と平行で、かつ、光源装置から垂
直方向に照射された光軸に沿って形成する垂直面（図９
では中心線Ａ−Ａとして表示する）よりワークＷ側に位
置するように構成されている。

【００６５】また、第１反射鏡の傾斜角度は２５度に設
定することで、第１反射鏡が上斜め方向に反射する光軸
は５０度に設定されると共に、第２反射鏡９ｅから放物
面反射鏡９ｆに入射する光軸の角度が垂直平行光から５
０度になるように構成され、放物面反射鏡９ｆからワー
クＷに反射する垂直平行光の設置が容易となる。

【００６６】さらに、光源用ハウジングＣ内には、冷却
装置１６およびロールファンや冷媒ラジエータ１８など
が設けられている。図１３で示す仮想線で囲んだ枠以外
の部分は、冷却装置の構成を示す。冷却装置１６には、
給入側から冷却用の冷却水などが冷却装置１６に供給さ
れ、この冷却装置１６では、冷却装置１６自体を冷却す
るものと、冷媒ラジエータ側に送られ冷媒ラジエータ１
８の液冷媒体を冷却するものに分かれ、各冷却作業を終
えた冷却水はその後排出される。そのため、図３で示す
ように、ロールファンおよび冷媒ラジエータ１８からワ
ーク側に冷却風を吹きつけている。

【００６７】上記した構成の露光装置では、以下のよう
に作動する。図３で示すように、第１および第２移動テ
ーブルは１２、１３は、整合ステージＡと露光ステージ
Ｂにそれぞれ配置されており、始めに、アライメントテ
ーブルが載置テーブル２ａを上昇させ、第１移動テーブ
ル１２上から下フレーム板３を上方に分離させ載置テー
ブル２ａ上に下フレーム板３を載置する。

【００６８】つぎに、下フレーム３の突起３ａ，３ａに
ワークＷの端面を当接させ、前記可視平行光線がピンポ
イント照射している少なくとも一方位置を目印としてワ
ークＷの位置決めマークが合うようにワークＷを載置す
る。その後、前記可視平行光線の両ピンポイント照射位
置にマスクフィルムＭの両位置決めマークを合わせた状
態でマスクフィルムＭをワークＷ上に載置する。上記の
ようにワークＷおよびマスクフィルムＭを下フレーム板
３（４）上に載置することで、予備位置決めをすること
が可能となる。この予備位置決め作業は、後述する整合
作業をよりスムーズに行うために有効な作業である。

【００６９】つぎに、図１で示すように、照明灯６ｂ、
６ｂを降下させ、撮像カメラ６ａ、６ａによりワークＷ
およびマスクフィルムＭの位置決めマークを撮像して位
置ズレ量を算出する。と同時に、保持機構５を作動し
て、ワークＷからマスクフィルムを離間させる。すなわ
ち、図１および図４（ａ）（ｂ）で示すように、第２駆
動装置１５を降下方向に作動させ、第１駆動装置１４お
よび支持アーム１７を降下させる。図４（ｂ）で示すよ
うに、支持アーム１７の降下と共に、降下した吸着部５
ａは、マスクフィルムＭに当接する。この際、第２駆動
装置１５の降下距離が、マスクフィルムの当接位置を越
えて下方に吸着部５ａを降下させても、その降下距離を
吸収できるように、保持片５ｂがスプリング５ｅの付勢
力に抗してスライド部５ｃに沿って上方に摺動して吸着
部５ａを適正位置に移動させる。そして、吸着部５ａの
移動端で、ストッパ支持部のストッパアームが作動し
て、保持片５ｂの側端部を押圧支持することで、吸着部
５ａの位置を固定する。

【００７０】さらに、マスクフィルムＭに当接した吸着
部５ａは、真空吸引作業を行い、マスクフィルムＭを真
空吸着する。そして、図１および図４（ｃ）で示すよう
に、支持アーム１７を支持している第１駆動装置１４を
作動させ、支持アーム１７を上方に小さなストロークで
上昇させる。このとき、少なくともワークＷからマスク
フィルムＭの露光パターンが摺動ズレにより劣化しない
ように離間させれば、一部が接触していても足りる。

【００７１】一方、撮像手段６、６は、撮像カメラ６
ａ，６ａが撮像した各位置決めマークの位置情報を、処
理演算部などが処理して演算し、位置ズレ量を算出す
る。そして、前記マスクフィルムがワークから離間する
と、アライメントテーブル２の各Ｘ，Ｙ，θ駆動部２
ｂ，２ｃ，２ｄを作動させワークＷとマスクフィルムＭ
の整合作業を行う。なお、整合作業の状況は、図１に示
すモニタ２１に写し出される。整合作業が終了すると、
第１駆動装置１４が支持アーム１７を降下させ吸着部５
ａに吸着保持しているマスクフィルムＭをワークＷ上に
再び載置する。その状態で、ワークＷおよびマスクフィ
ルムＭを粘着テープなどの固定手段で下フレーム板３に
止め付ける。さらに、吸着部５ａの真空吸着を解除する
と共に、第２駆動装置１５の作動により支持アーム１７
を上昇させる。

【００７２】そして、アライメントテーブル２を降下さ
せると、載置テーブル２上の下フレーム板３は降下し、
待機している移動テーブル１２の位置決めローラ３ａ、
３ａ…に案内されて移動テーブル１３上に載置支持され
る。

【００７３】整合作業が終了したワークＷは、第１移動
テーブル１２が、リニアガイド１０ａおよび平板ガイド
１０ｂに沿って露光ステージＢに作動機構１０Ａのタイ
ミングベルト１０ｅの駆動により搬送される。この第１
移動テーブル１２の搬送と同時に、リニアガイド１１ａ
および平板ガイド１１ｂに沿って露光ステージＢに位置
している第２移動テーブル１３が整合ステージＡに搬送
される。

【００７４】図７で示すように、露光ステージに搬送さ
れた第１移動テーブルの下方では、垂直搬送テーブル８
の昇降テーブル８ａを上昇させ、移動テーブル１２上の
下フレーム板３を分離上昇させ（仮想線から実線の位
置）、上透光フレーム板７の透光板７ａに当接させる。
そして、当接した状態で、上透光フレーム板の吸着パッ
ド７ｄ、７ｄ側から真空吸着を行うと、透光板７ａおよ
びシールゴム７ｈ，下フレーム板３で囲繞される空間が
真空となり、上下のフレーム板３、７が合体して真空フ
レームを構成する。このとき、ワークＷおよびマスクフ
ィルムＭは、下フレーム板に固定保持されているため、
位置ズレを起こすことはない。

【００７５】その後、光源装置９から光照射が行われ、
光学系を介して放物面反射鏡９ｆに到達した光は、垂直
平行光となりマスクフィルムＭを介してワークＷに照射
される。露光されるワークは、その種類、例えば、ソル
ダーレジストや、エッチングレジストなどの光照射時間
に応じて所定時間照射される。ワークＷの露光が終了す
ると、上透光フレーム板７の真空吸着が解除され、下フ
レーム板３は、上透光フレーム板７から解放されるた
め、昇降テーブル８ａの降下に伴って降下し、待機して
いる移動テーブル１２の位置決め回転ローラ１２ａに案
内されて支持される。

【００７６】一方、ワークＷの露光作業中には、整合ス
テージＡでは、前記したように他のワークＷの整合作業
が行われる。そして、露光作業および整合作業がそれぞ
れ終了すると、それぞれの移動テーブル１２、１３に載
置支持され、搬送機構１０、１１により各ステージ間
Ａ，Ｂを搬送される。第２移動テーブル１３で搬送され
た下フレーム板４は、図８で示すように、前記と同様に
垂直搬送テーブル８の昇降テーブル８ａの上昇に伴っ
て、移動テーブル１３から下フレーム板４が分離して昇
降テーブル８ａに載置されて上昇し、上透光フレーム板
７と当接合体して真空フレームを構成し、露光作業が行
われる。このように前記した整合作業、搬送作業および
露光作業を繰り返し行うことでワークＷの露光作業を順
次行う。

【００７７】なお、上記したワークおよびマスクフィル
ムの固定手段は、図１０で示すように、下フレーム板３
３の構成とすることで達成しても構わない。すなわち、
移動テーブル３３の上面に吸引用穴３３ｂ，３３ｂ…を
設け、下フレーム板３３の下方側に設けた接続ホースか
ら真空吸引することで、下フレーム板３３上にワークＷ
およびマスクフィルムＭを真空吸着して保持することが
可能となる。なお、ワークＷは、ほとんどが、スルーホ
ールを形成しており、このスルーホールからマスクフィ
ルムＭも吸引保持することが可能となる。

【００７８】また、上記した保持機構はマスクフィルム
ＭをワークＷから完全に離間させなくとも、支障なくワ
ークＷの整合のための移動を行える構成としているが、
マスクフィルムＭを完全にワークＷから離間させる必要
がある場合は、図１１で示すような構成とすると都合が
良い。すなわち、支持アーム３７、３７に複数の吸着部
３５ａ（図面では３ケづつ）を取付部３５ｂを介して上
下動自在に取り付け、スプリング部材３５ｃにより常に
吸着部３５ａがマスクフィルム側に付勢されるように構
成する。さらに、吸着部３５ａの所定移動位置で、固定
支持する各ストッパーアーム３５ｄを、それぞれの吸着
部３５ａに対応させて設ける。そして、前記支持アーム
３７、３７の基部側を回動軸とし、適宜、矢印で示すよ
うに、左右に回動できる構成としても構わない。

【００７９】さらに、前記光源装置の構成を、ワークに
直接放電灯から照射する構成としても構わない。この直
射光を使用する場合は、図１２で示すように、露光ステ
ージの後方に隣接して冷却用ハウンジグを設け、その内
部に冷却装置１６およびロールファンや冷媒ラジエータ
１８などを設ける構成としている。また、放電灯の冷却
手段を液冷式とし、放電灯を直接あるいは間接的に冷却
液で冷却する構成としても構わない。その場合、図１３
で示すように、液冷手段３４は、循環している冷却液体
の液冷ラジエータ３４ａと、この液冷ラジエータ３４ａ
で冷却した液体を洗浄する流体液クリーナ３４ｂと、洗
浄された液体を貯水する液槽３４ｃと、この液槽３４ｃ
からの液体をポンプ３４ｄを介して光源部３４ｅに送り
出している。そして、前記液冷ラジエータ３４ａの冷却
媒体は、給入側から供給された水などの冷却媒体によ
り、液冷ラジエータ３４ａに沿って設けた冷却体３４ｆ
により冷却されている。なお、点灯するまでに時間がか
かる放電灯を使用する場合は、放電灯からの光照射を遮
るシャッタ３４ｃを設ける構成とすると都合が良い。

【００８０】また、上記搬送装置は、リニアガイドおよ
び作動装置の代わりに送りネジ機構を使用し、移動テー
ブルの一端側にその送りネジに螺合して移動する保持部
を設け、送りネジを回転駆動させることで移動テーブル
を搬送する構成としても構わない。この場合、送りネジ
は上下に２本整合ステージから露光ステージ間に設け、
上下の送りネジを左右反対方向に回転する一つの駆動部
を設けることで、移動テーブルを交互に露光ステージと
整合ステージとに搬送することが可能となる。

【００８１】さらに、移動テーブルに設けたガイドは固
定ガイドとし、下フレーム板の側面と当接する部分に曲
面を形成する構成とすることや、テーパ部分を設けるこ
とで下フレーム板が多少ずれていてもテーパ部分に案内
されて適正位置に載置支持できる構成とすることや、下
フレーム板の各側面に回転ローラの回転面が突出するよ
うに設け、それら下フレーム板の各回転ローラが案内さ
れる固定ガイドを移動テーブル側に設ける構成としても
構わない。

【００８２】そして、上記構成の露光装置は、２台を隣
接して併設し、光源用ハウジング内の光源装置を１基の
み中央に設置し、光源装置から照射される垂直方向の照
射光を所定角度に反射する第１反射鏡の構成を回動自在
とし、露光ステージに設けた放物面反射鏡に反射するそ
れぞれの反射鏡を設ける構成とすることで、左右の露光
ステージのワークを時間差をおいて露光する構成として
も良い。また、露光装置は、２台を光源用ハウジングを
共有する構成で縦方向に接続し、第１反射鏡が回動して
光照射方向を３６０度変更することで、時間差をおいて
一方と他方の露光ステージのワークを露光する構成とし
ても構わない。

【００８３】

【発明の効果】以上に述べたごとく本発明は次の優れた
効果を発揮する。（１）マスクフィルムを保持する保持機構は、その支持
アームが第１駆動装置および第２駆動装置によりストロ
ークの距離を異ならせて上下動し、また、マスクフィル
ムを真空吸着する吸着部はその移動端で、ストッパ支持
部により固定支持される。そのため、ワークおよびマス
クフィルムの整合作業が容易で、ワークの厚みが異なっ
ても対応して整合作業が的確にできる。

【００８４】（２）前記吸着部は、弾性部材によりマス
クフィルム側に付勢されるように構成されているため、
第１駆動装置で支持アームを降下した場合、吸着部は、
マスクフィルムとより確実に当接して吸着保持すること
が可能となる。

【００８５】（３）上下の搬送路に沿って水平方向に交
互に搬送される移動テーブルは、載置板の所定位置に位
置決めガイドを設け、その位置決めガイドに沿って下フ
レーム板を載置支持している。そのため、移動テーブル
の一方と他方の移動端である整合ステージおよび露光ス
テージに設置した各アライメントテーブルおよび垂直搬
送テーブルが上下の搬送路を越えて上昇すると、下フレ
ーム板が移動テーブルから分離し各テーブルに載置され
て上昇離間する。また、下フレーム板を載置している各
テーブルが降下すると、下フレーム板は待機いている移
動テーブルの位置決めガイドに案内されて移動テーブル
上に載置支持される。したがって、ワークとマスクフィ
ルムの自動整合および自動露光を可能とし、ワークの処
理能力が向上する。

【００８６】（４）移動テーブルの下フレーム板を載置
支持する位置決めガイドは、回転ローラを用いること
で、下フレーム板がその回転ローラに案内され、下フレ
ーム板をよりスムーズに移動テーブルに載置支持し、ま
た移動テーブルから分離することを可能とする。（５）整合ステージに設けた撮像手段は、マスクフィル
ムの上方側で、撮像カメラの支持部材が移動アームの長
手方向に沿って移動可能で、かつ、移動アームの基端
が、水平溝部に移動可能であるため、ワークに穿設穴を
設ける必要がなく、ワークの大きさに対応して整合作業
を可能とする。また、前記支持部材は、環状の照明装置
が上下動自在に設けられ、前記撮像カメラでワークおよ
びマスクフィルムの位置決めマークを撮像する場合、照
明装置がその移動下端で照明光を照射するため、的確に
位置決めマークを撮像することができる。

【００８７】（６）ワークは、その一端側を各下フレー
ム板に設けた突起に端面合わせして設置すると共に、下
フレーム板の所定位置をピンポイント照射する可視平行
光に、ワークの位置決めマークを合わせて載置する。そ
して、ワークの上にマスクフィルムを載置する際には、
前記可視平行光のピンポイント照射位置を目印に、マス
クフィルムの位置決めマークを合わせて置くことで仮位
置決めをすることが可能となる。

【００８８】（７）露光ステージに隣接して設けた光源
装置のハウジング内には、空冷装置を設けると共に、光
源装置の放電灯から照射された光を所定方向に反射する
反射鏡や、光の照度を調整するフライアイレンズなどを
設けているため、ハウジング内の湿度や、放電灯からの
発光熱が優先的に除去される。また、光源装置を露光ス
テージに隣接する光源用ハウジング内に設け、光源装置
を露光装置の左右幅方向の中心位置から左右何方にずら
して設置すると共に、ワークの一端面に平行で、かつ、
光源装置からの垂直方向の照射光の光軸に沿って構成さ
れる垂直面よりワーク側に、光源装置からの照射光を所
定角度に第１反射鏡が反射するため、ワークに垂直平行
光を照射する適正距離が確保できると共に、露光装置の
小型を可能とする。

【００８９】（８）ワークおよびマスクフィルムは、上
記した整合方法により移動テーブルから支持離間自在に
設けた下フレーム板上で整合作業が行われることによ
り、迅速な整合作業ができる。（９）また、上記したワークの搬送方法により、搬送中
および上透光フレーム板と合体する場合もワークとマス
クフィルムは、固定手段により下フレーム板に固定保持
されていることから位置ズレを起こすことはない。ま
た、整合作業および露光作業、搬送作業が迅速で的確に
行える。（１０）さらに、上記したワークの露光方法により、下
フレーム板上に固定保持されたワークおよびマスクフィ
ルムは、位置ズレなく正確な露光作業が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のマスク整合機構付露光装置の全体を
示す一部断面にした正面図である。

【図２】この発明のマスク整合機構付露光装置の全体を
示す斜視図である。

【図３】この発明のマスク整合機構付露光装置の要部を
示す原理図である。

【図４】（ａ）（ｂ）（ｃ）は、この発明の保持機構の
吸着部を示す側面図である。

【図５】この発明の移動テーブルを示す斜視図である。

【図６】この発明の上透光フレーム板の要部を示す斜視
図である。

【図７】この発明の露光ステージの要部を示す側面図で
ある。

【図８】この発明の露光ステージの要部を示す側面図で
ある。

【図９】この発明の光源装置からの照射光を反射する光
学系の配置をしめす斜視図である。

【図１０】この発明の上フレーム板の応用例を示す断面
図である。

【図１１】この発明の保持機構の応用例を示す平面図で
ある。

【図１２】この発明の光源装置の応用例を示す断面図で
ある。

【図１３】この発明の冷却装置の冷却液の循環経路を示
すブロック図である。

【図１４】従来の露光装置の構成を示す斜視図である。

【図１５】従来の露光装置の全体を示す断面図である。

【符号の説明】

１露光装置２アライメントテーブル３下フレーム板３ａ突起４下フレーム板４ａ突起５保持機構５ａ吸着部５ｅスプリング（弾性部材）６撮像手段６ａ撮像カメラ６ｂ照明装置６ｃ可視平行光線の照射装置７上透光フレーム板８垂直搬送テーブル９光源装置９ｃ第１反射鏡９ｆ放物面反射鏡１０第１搬送機構１１第２搬送機構１２第１移動テーブル１３第２移動テーブル１４第１駆動装置１５第２駆動装置１６冷却装置１７支持アーム１８ロールファンや冷媒ラジエータ１９移動アーム１９ａスライド部２０ストッパ支持部２０ａストッパアーム２０ｂストッパアーム駆動部２１モニタ２２スライド機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０３Ｄ５０８Ａ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワークとマスクフィルムの整合ステージ
と、整合済ワークを露光する露光ステージと、前記整合
ステージおよび露光ステージ間でワークを搬送する搬送
機構と、露光ステージに到来したワークを光学系を介し
て光照射する光源装置と、前記整合ステージにワークお
よびマスクフィルムを上方から撮像する撮像手段を備え
る露光装置であって、マスクフィルムを上側から保持する保持機構を前記整合
ステージに設け、前記保持機構は、マスクフィルムの吸
着部と、この吸着部を上下動自在に支持する支持アーム
と、この支持アームを上下動させる第１駆動装置と、こ
の第１駆動装置を上下動させる第２駆動装置と、前記吸
着部の所定移動位置で吸着部を固定支持するストッパ支
持部とを備えたことを特徴とするマスク整合機構付露光
装置。
【請求項２】前記支持アームは、吸着部を上下方向に摺
動させるガイド部を有し、前記吸着部と支持アームに弾
性部材の一端と他端を連結し、前記吸着部を弾性部材を
介してマスクフィルム側に付勢し、前記ストッパ支持部
は、水平方向に出没するストッパアームと、このストッ
パアームを駆動するストッパアーム駆動部を備え、前記
ガイド部に沿って摺動した吸着部を所定位置で、ストッ
パアームが固定支持する請求項１に記載のマスク整合機
構付露光装置。
【請求項３】ワークとマスクフィルムの整合ステージ
と、整合済ワークを露光する露光ステージと、前記整合
ステージおよび露光ステージ間でワークを搬送する搬送
機構と、露光ステージに到来したワークを光学系を介し
て光照射する光源装置と、前記整合ステージに設けたワ
ークおよびマスクフィルムを上方から撮像する撮像手段
とを備える露光装置であって、前記搬送機構は、整合ステージおよび露光ステージ間に
設けた水平方向に平行な上下の搬送路と、これら搬送路
のそれぞれに沿って第１および第２の下フレーム板をそ
れぞれ保持して移動する第１および第２の移動テーブル
を作動させる作動装置とを備え、前記整合ステージには、搬送経路の下方から両搬送経路
を越えて上昇するアライメントテーブルを設け、前記露光ステージには搬送経路の下方から両搬送経路を
越えて上昇する垂直搬送テーブルを設けると共に、前記
第１および第２下フレーム板と合体して真空フレームを
形成する上透光フレーム板を設け、前記移動テーブルは、下フレーム板を載置する載置板
と、この載置板の所定位置に設けた下フレーム板の位置
決めガイドとを備えたことを特徴とするマスク整合機構
付露光装置。
【請求項４】前記位置決めガイドは、載置板の所定位置
に回転ローラを設け、前記載置板に載置される下フレー
ム板の各側面に前記回転ローラが当接する請求項３に記
載のマスク整合機構付露光装置。
【請求項５】前記整合ステージに設けた撮像手段は、一
方と他方の撮像カメラと、両撮像カメラの焦点位置を照
射する照明装置を備え、前記撮像カメラは、支持部材を
介して支持され、前記支持部材は、移動アームの長手方
向に沿って移動自在に設けたスライド部に設けられ、前
記移動アームは、その基部を前記長手方向に直交する水
平溝部に移動可能に設け、前記照明装置は、前記支持部材の所定位置で昇降自在に
設けられ、前記撮像カメラの撮像時に、照明装置の移動
下端で、ワークおよびマスクフィルムの位置決めマーク
を照射する請求項１または３に記載のマスク整合機構付
露光装置。
【請求項６】前記ワークを載置する下フレーム板は、そ
の所定位置にワークの一辺の側面に当接する突起を設
け、前記撮像手段側にワークの位置決めマーク位置をピンポ
イント照射する可視平行光の照射装置を設けた請求項
１、３または５に記載のマスク整合機構付露光装置。
【請求項７】前記露光装置の光源装置は、露光ステージ
に隣接するハウジング内に設けられ、前記ハウジング内
には、冷媒ラジエータを有する冷却装置を設けると共
に、光源装置の放電灯からの照射光を所定方向に反射す
る反射鏡および、光の照度を調整するフライアイレンズ
などの光学系を設け、前記露光ステージには、被露光位置に到来するワークに
垂直平行光を反射する放物面反射鏡を設け前記光源装置の中心位置は、露光装置の左右幅方向の中
心位置から左右どちらかにずらした位置に配設され、前記放電灯からの垂直方向の照射光を所定角度で反射す
る第１反射鏡は、ワークの一端面に平行で、かつ、放電
灯の照射光の光軸に沿って構成される垂直面よりワーク
側に反射光を反射する請求項１、３、５および６に記載
のマスク整合機構付露光装置。
【請求項８】水平方向に高さを異ならせて設けた搬送路
に沿って下フレーム板を搬送する移動テーブルの一方の
移動端で、アライメントテーブルの上昇に伴い前記下フ
レーム板を移動テーブルから上方に分離離間させアライ
メントテーブル上に載置する第１工程と、前記下フレーム板の一辺側に設けた突起にワークの一側
端部を当接させると共に、ピンポイント照射されている
可視平行光線にワークの位置決めマークを合わせて下フ
レーム板上にワーク載置する第２工程と、前記可視平行光線に合わせてマスクフィルムの位置決め
マークを仮位置決めし、マスクフィルムをワーク上に載
置する第３工程と、前記ワークおよびマスクフィルムの位置決めマークを撮
像手段により撮像すると共に、前記マスクフィルムの上
方から保持機構を降下してマスクフィルムを吸着保持
し、保持機構を上昇させてワークからマスクフィルムを
離間させ、前記位置決めマークの位置情報に基づいて、
アライメントテーブルを水平面上のＸ，Ｙ，θ方向に作
動させ、整合作業を行う第４工程と、前記保持機構を降下させワークにマスクフィルムを当接
させた状態で固定手段によりワークおよびマスクフィル
ムを下フレームに固定保持し、保持機構の吸引作動を解
除して保持機構を上昇させる第５工程からなるワークの
整合方法。
【請求項９】水平方向に高さを異ならせて設けた搬送路
に沿って下フレーム板を搬送する移動テーブルの他方の
移動端で、整合済ワークおよびマスクフィルムを保持し
た下フレーム板を垂直搬送テーブルの上昇に伴い移動テ
ーブルから上方に分離離間させ、上方に設置されている
上透光フレーム板に当接合体させる第１工程と、前記ワークに光源装置から光学系を介して光照射し、マ
スクフィルムの所定パターンをワークに露光する第２工
程と、前記下フレーム板を上透光フレーム板から分離し、垂直
搬送テーブルの降下に伴って、待機している移動テーブ
ルに下フレーム板を載置支持する第３工程とからなるワ
ークの露光方法。
【請求項１０】整合ステージおよび露光ステージ間で上
下２段に設けた搬送路に沿って移動する第１および第２
移動テーブルを往復移動させ、第１および第２移動テー
ブルに載置支持しているそれぞれの下フレームの一方
を、整合ステージのアライメントテーブル側に到来させ
るとと共に、下フレームの他方を露光ステージの垂直搬
送テーブル側に到来させる第１工程と、整合ステージでは、アライメントテーブルの上昇により
第１移動テーブルから下フレームを離間上昇させ、撮像
手段、マスクフィルムの保持機構などを介してアライメ
ントテーブルの作動によりワークおよびマスクフィルム
を整合し、下フレーム上に固定手段を介してワークおよ
びマスクフィルムを固定保持すると共に、露光ステージ
では、整合済ワークを固定保持する下フレーム板を垂直
搬送テーブルの上昇に伴い第２移動テーブルから上昇離
間させ、上方に設置した上透光フレーム板にワークおよ
びマスクフィルムを間にして下フレーム板を当接合体さ
せ真空吸着して露光作業を行う第２工程と、整合ステージでは、アライメントテーブルの降下に伴い
整合済ワークおよびマスクフィルムを固定保持する下フ
レームが降下し、待機している第１移動テーブルに載置
支持されると共に、露光ステージでは、真空フレームの
真空吸着を解除し、垂直搬送テーブルの降下に伴い露光
済ワークおよびマスクフィルムを固定保持する下フレー
ムが降下し、待機している第２移動テーブルに載置支持
する第３工程と、前記上下の搬送路に沿って第１移動テーブルを整合ステ
ージから露光ステージに搬送すると共に、第２移動テー
ブルを露光ステージから整合ステージに搬送する第４工
程とからなるワークの搬送方法。