JP3211079B2 - 周辺露光装置およびその方法 - Google Patents
周辺露光装置およびその方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハ、
プリント配線基板などの四角形のワークに配線パターン
を露光して形成する際に前記ワークの周辺部分の処理を
行う周辺露光装置およびその方法に関する。
プリント配線基板などの四角形のワークに配線パターン
を露光して形成する際に前記ワークの周辺部分の処理を
行う周辺露光装置およびその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、所定波長の紫外線を照射して配線
パターンを形成するワークは、そのワークの寸法の中に
複数の基板を一度に形成する構成としており、時代の要
請と共にワークの寸法も大型化している。そして、ワー
クを露光するために用いられるレジスト材をそのワーク
露光面に設けて光処理し、余分なレジスト材を剥離する
工程を繰り返し行うことで所望の配線パターンを形成し
ている。このとき、ワークの周辺部分を適切に処理する
必要があることから、周辺露光装置が様々提案されてい
る。
パターンを形成するワークは、そのワークの寸法の中に
複数の基板を一度に形成する構成としており、時代の要
請と共にワークの寸法も大型化している。そして、ワー
クを露光するために用いられるレジスト材をそのワーク
露光面に設けて光処理し、余分なレジスト材を剥離する
工程を繰り返し行うことで所望の配線パターンを形成し
ている。このとき、ワークの周辺部分を適切に処理する
必要があることから、周辺露光装置が様々提案されてい
る。
【０００３】その一例として周辺露光装置は、光源装置
からの光線を光ファイバーで導きワークの周辺にミラー
などを介して照射する構成とするものが知られている。
この周辺露光装置は、光源から照射された光線を光ファ
イバーを介してワークの周辺部分に導き、周辺露光を行
うときは、ワークを回転させて処理している（特開平２
−１１４６２８号、特開平２−１２５４２０号など）。
からの光線を光ファイバーで導きワークの周辺にミラー
などを介して照射する構成とするものが知られている。
この周辺露光装置は、光源から照射された光線を光ファ
イバーを介してワークの周辺部分に導き、周辺露光を行
うときは、ワークを回転させて処理している（特開平２
−１１４６２８号、特開平２−１２５４２０号など）。
【０００４】また、大型ワークの周辺の露光作業にも適
しているものとして特開平７−２８３１２２号で示す周
辺露光装置などが提案されている。この周辺露光装置
は、ステージ上に載置され表面に感光層を有する角形基
板の周辺部に、紫外線を照射する紫外線照射ヘッドと、
前記紫外線が前記角形基板の周辺部を走査するように、
前記紫外線照射ヘッドを前記角形基板の基準辺とほぼ平
行に移動させる紫外線照射ヘッド走査手段とを備えてお
り、前記紫外線照射ヘッドの走査方向とほぼ直交する方
向に前記紫外線照射ヘッドを移動させる紫外線照射ヘッ
ド移動手段と、前記紫外線照射ヘッドの走査方向に対す
る前記角形基板の基準辺の傾きを検出する傾き検出手段
と、前記紫外線照射ヘッドの移動軌跡が前記角形基板の
基準辺とほぼ平行になるように、前記傾き検出手段の検
出結果に応じて、前記紫外線照射ヘッド移動手段を制御
する制御手段とを備えた構成としている。
しているものとして特開平７−２８３１２２号で示す周
辺露光装置などが提案されている。この周辺露光装置
は、ステージ上に載置され表面に感光層を有する角形基
板の周辺部に、紫外線を照射する紫外線照射ヘッドと、
前記紫外線が前記角形基板の周辺部を走査するように、
前記紫外線照射ヘッドを前記角形基板の基準辺とほぼ平
行に移動させる紫外線照射ヘッド走査手段とを備えてお
り、前記紫外線照射ヘッドの走査方向とほぼ直交する方
向に前記紫外線照射ヘッドを移動させる紫外線照射ヘッ
ド移動手段と、前記紫外線照射ヘッドの走査方向に対す
る前記角形基板の基準辺の傾きを検出する傾き検出手段
と、前記紫外線照射ヘッドの移動軌跡が前記角形基板の
基準辺とほぼ平行になるように、前記傾き検出手段の検
出結果に応じて、前記紫外線照射ヘッド移動手段を制御
する制御手段とを備えた構成としている。
【０００５】そのため、照明光学系や遮光のためのマス
クを用いる必要も、角形基板の基準辺が紫外線の走査方
向と平行になるように角形基板をアライメントする必要
もなくなるものである。
クを用いる必要も、角形基板の基準辺が紫外線の走査方
向と平行になるように角形基板をアライメントする必要
もなくなるものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の周辺露
光装置の構成では、次のような問題点が存在していた。 光ファイバを使用する周辺露光装置では、ワークの
大型化に伴いワークの周辺を露光する露光面積も大きく
なってきており、その露光面積に合わせて光ファイバの
直径を大きくすることは困難であった。
光装置の構成では、次のような問題点が存在していた。 光ファイバを使用する周辺露光装置では、ワークの
大型化に伴いワークの周辺を露光する露光面積も大きく
なってきており、その露光面積に合わせて光ファイバの
直径を大きくすることは困難であった。
【０００７】 光源部を移動させる周辺露光装置は、
光源部を走査してワークの周辺を露光した後に、ワーク
を載置支持している載置台を９０度回転させ、再びワー
クの周辺に光源部を走査して露光する構成としているた
め、ワークを回転させる動作が必ず伴い、ワークが回転
することでワークあるいは光源装置の位置決め作業を再
びする必要が生じると共に、回転毎によるワークの適正
位置の再現性を確保することが困難であった。
光源部を走査してワークの周辺を露光した後に、ワーク
を載置支持している載置台を９０度回転させ、再びワー
クの周辺に光源部を走査して露光する構成としているた
め、ワークを回転させる動作が必ず伴い、ワークが回転
することでワークあるいは光源装置の位置決め作業を再
びする必要が生じると共に、回転毎によるワークの適正
位置の再現性を確保することが困難であった。
【０００８】この発明は、前述の問題点を解決すべく創
案されたもので、ワークのサイズが大きくなっても適応
して周辺露光ができ、ワークを回転させることがなく周
辺露光作業を行うことができる周辺露光装置およびその
方法を提供することを目的とする。
案されたもので、ワークのサイズが大きくなっても適応
して周辺露光ができ、ワークを回転させることがなく周
辺露光作業を行うことができる周辺露光装置およびその
方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【問題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
め、この発明は、四角形のワークを載置する載置台と、
この載置台の少なくとも一辺側に設けた案内ガイドと、
この案内ガイドに沿って移動する移動機構と、この移動
機構に沿って移動自在に設けた光源部とを有し、前記光
源部は、所定波長の紫外線を含む光線を照射する放電灯
と、この放電灯から照射された光線を所定方向に導く光
学レンズと、この光学レンズからの光線の照射範囲を規
制する規制窓部と、この規制窓部の向きを変える照射方
向変更機構を有する周辺露光装置にかかるものとして構
成した。このように構成されることにより、放電灯を備
える光源部は、前記ワークの周辺を露光しながら周回す
る。
め、この発明は、四角形のワークを載置する載置台と、
この載置台の少なくとも一辺側に設けた案内ガイドと、
この案内ガイドに沿って移動する移動機構と、この移動
機構に沿って移動自在に設けた光源部とを有し、前記光
源部は、所定波長の紫外線を含む光線を照射する放電灯
と、この放電灯から照射された光線を所定方向に導く光
学レンズと、この光学レンズからの光線の照射範囲を規
制する規制窓部と、この規制窓部の向きを変える照射方
向変更機構を有する周辺露光装置にかかるものとして構
成した。このように構成されることにより、放電灯を備
える光源部は、前記ワークの周辺を露光しながら周回す
る。
【００１０】また、前記周辺露光装置における案内ガイ
ドは、前記ワークの前後または左右に設けた搬送路を備
え、前記移動機構は、前記搬送路に掛け渡して設けた移
動レールと、この移動レールを支持する支持脚と、この
支持脚の下端側に設けた前記搬送路に係合する係合滑動
部とから構成すると都合が良い。
ドは、前記ワークの前後または左右に設けた搬送路を備
え、前記移動機構は、前記搬送路に掛け渡して設けた移
動レールと、この移動レールを支持する支持脚と、この
支持脚の下端側に設けた前記搬送路に係合する係合滑動
部とから構成すると都合が良い。
【００１１】
【００１２】そして、四角形のワークの周辺露光方法と
しては、前記ワークを載置台に載置する第１工程と、前
記ワークを光照射する放電灯を備える光源装置の移動に
より前記ワークの第一辺の一端から他端を露光する第２
工程と、前記光源装置の移動により前記ワークの第二辺
の一端から他端を露光する第３工程と、前記光源装置の
移動により前記ワークの第三辺の一端から他端を露光す
る第４工程と、前記光源装置の移動により前記ワークの
第四辺の一端から他端を露光する第５工程とから構成し
た。
しては、前記ワークを載置台に載置する第１工程と、前
記ワークを光照射する放電灯を備える光源装置の移動に
より前記ワークの第一辺の一端から他端を露光する第２
工程と、前記光源装置の移動により前記ワークの第二辺
の一端から他端を露光する第３工程と、前記光源装置の
移動により前記ワークの第三辺の一端から他端を露光す
る第４工程と、前記光源装置の移動により前記ワークの
第四辺の一端から他端を露光する第５工程とから構成し
た。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
図面に基づいて説明する。図１（ａ）（ｂ）は、周辺露
光装置の平面図、図２は、周辺露光装置の側面図、図３
は、周辺露光装置の正面図、図４は周辺露光装置の移動
機構の要部を示す原理図、図５は、光源装置の全体を示
す側面図、図６は、光源装置の要部を示す底面図、図７
は、周辺露光作業の状態を示す原理図である。
図面に基づいて説明する。図１（ａ）（ｂ）は、周辺露
光装置の平面図、図２は、周辺露光装置の側面図、図３
は、周辺露光装置の正面図、図４は周辺露光装置の移動
機構の要部を示す原理図、図５は、光源装置の全体を示
す側面図、図６は、光源装置の要部を示す底面図、図７
は、周辺露光作業の状態を示す原理図である。
【００１４】図１ないし図３で示すように、周辺露光装
置１は、ワークＷを載置する載置台５の前後（左右でも
可）に配置した案内ガイド２と、この案内ガイド２に沿
って移動する移動機構３と、この移動機構３に保持され
る光源装置（光源部）４などから構成されている。
置１は、ワークＷを載置する載置台５の前後（左右でも
可）に配置した案内ガイド２と、この案内ガイド２に沿
って移動する移動機構３と、この移動機構３に保持され
る光源装置（光源部）４などから構成されている。
【００１５】前記案内ガイド２は、図１で示すように、
一方の搬送路２ａと、他方の搬送路２ｂとを備えてい
る。そして、前記一方の搬送路２ａ側には、図３で示す
ように、駆動部６からの駆動力を伝達する配線コード６
ａが移動自在に係合されており、その配線コード６ａの
先端側を前記移動機構３側に接続できるように構成して
いる。そして、前記移動機構３が、案内ガイド２に沿っ
て移動しても、その移動に伴って、前記配線コード６ａ
が屈曲して対応できるように構成されている。
一方の搬送路２ａと、他方の搬送路２ｂとを備えてい
る。そして、前記一方の搬送路２ａ側には、図３で示す
ように、駆動部６からの駆動力を伝達する配線コード６
ａが移動自在に係合されており、その配線コード６ａの
先端側を前記移動機構３側に接続できるように構成して
いる。そして、前記移動機構３が、案内ガイド２に沿っ
て移動しても、その移動に伴って、前記配線コード６ａ
が屈曲して対応できるように構成されている。
【００１６】前記移動機構３は、図１ないし図４で示す
ように、前記案内ガイド２の一方と他方の搬送路２ａ，
２ｂに掛け渡されて形成される移動本体３Ａと、この移
動本体３Ａに沿って設けられ光源装置４を移動させる移
動ガイド３ｅと、前記移動本体３Ａの左右に設けられた
支持脚３ａ，３ｂと、この支持脚３ａ，３ｂの下端側に
設けた、前記一方と他方の搬送路２ａ，２ｂに係合する
係合滑動部３ｃ，３ｄを備えている。
ように、前記案内ガイド２の一方と他方の搬送路２ａ，
２ｂに掛け渡されて形成される移動本体３Ａと、この移
動本体３Ａに沿って設けられ光源装置４を移動させる移
動ガイド３ｅと、前記移動本体３Ａの左右に設けられた
支持脚３ａ，３ｂと、この支持脚３ａ，３ｂの下端側に
設けた、前記一方と他方の搬送路２ａ，２ｂに係合する
係合滑動部３ｃ，３ｄを備えている。
【００１７】前記係合滑動部３ｃ、３ｄは、その一方
（図面では３ｄ）は、従動するように構成されており、
図面では凸状の搬送路上を滑動する構成としているが、
回動車輪の構成としても良い。
（図面では３ｄ）は、従動するように構成されており、
図面では凸状の搬送路上を滑動する構成としているが、
回動車輪の構成としても良い。
【００１８】したがって、前記移動機構３は、図１
（ａ）の位置から図１（ｂ）の位置まで案内ガイド２に
沿って移動し、その移動機構３の両移動端の位置では、
前記移動ガイド３ｅに沿って光源装置４が移動すること
ができるように構成されている。そのため、ワークの四
周に沿って光照射できる構成としている。
（ａ）の位置から図１（ｂ）の位置まで案内ガイド２に
沿って移動し、その移動機構３の両移動端の位置では、
前記移動ガイド３ｅに沿って光源装置４が移動すること
ができるように構成されている。そのため、ワークの四
周に沿って光照射できる構成としている。
【００１９】前記光源装置４は、係合部４Ａにより前記
移動ガイド３ｅに係合すると共に、その移動ガイド３ｅ
に沿って移動するように係合されている。そして、この
光源装置４は、所定波長の紫外線を含む光線を照射する
放電灯４ａと、この放電灯から光線をワークＷ側に反射
する反射鏡４ｂと、前記放電灯４ａおよび反射鏡４ｂか
らの光線を集光する光学レンズを複数有するレンズ群４
ｃと、このレンズ群４ｃから送られて来た光線の照射範
囲を規制する規制窓部４ｅと、この規制窓部４ｅの方向
を変更する照射方向変更機構４Ｂと、前記規制窓４ｅか
らの光線を外部に漏れないように覆うカバー体４ｆなど
から構成されている。
移動ガイド３ｅに係合すると共に、その移動ガイド３ｅ
に沿って移動するように係合されている。そして、この
光源装置４は、所定波長の紫外線を含む光線を照射する
放電灯４ａと、この放電灯から光線をワークＷ側に反射
する反射鏡４ｂと、前記放電灯４ａおよび反射鏡４ｂか
らの光線を集光する光学レンズを複数有するレンズ群４
ｃと、このレンズ群４ｃから送られて来た光線の照射範
囲を規制する規制窓部４ｅと、この規制窓部４ｅの方向
を変更する照射方向変更機構４Ｂと、前記規制窓４ｅか
らの光線を外部に漏れないように覆うカバー体４ｆなど
から構成されている。
【００２０】なお、前記放電灯４ａの直下には、シャッ
ター機構（図示せず）を設け、このシャッター機構によ
り放電灯４ａからの光線を制御する構成にすると、放電
灯４ａの内部の水銀などがベーパライズしてアーク放電
が安定するまでの時間がある程度かかっても問題なく露
光作業を行うことができる。
ター機構（図示せず）を設け、このシャッター機構によ
り放電灯４ａからの光線を制御する構成にすると、放電
灯４ａの内部の水銀などがベーパライズしてアーク放電
が安定するまでの時間がある程度かかっても問題なく露
光作業を行うことができる。
【００２１】また、前記照射方向変更機構４Ｂは、駆動
モータ４ｄと、この駆動モータ４ｄの駆動力をプーリな
どを介して伝達する駆動ベルト４ｇと、前記規制窓部４
ｅ側を回動自在に支持する回動支持部４ｈなどから構成
されている。
モータ４ｄと、この駆動モータ４ｄの駆動力をプーリな
どを介して伝達する駆動ベルト４ｇと、前記規制窓部４
ｅ側を回動自在に支持する回動支持部４ｈなどから構成
されている。
【００２２】そのため、図５および図６で示すように、
駆動モーター４ｄを駆動制御することで、駆動ベルト４
ｇが駆動すると、回転支持部４ｈに支持されている規制
窓部４ｅの開口部４ｊの向きを四角形のワークの各辺末
端部分を通り越した位置で９０度回転させることができ
る。
駆動モーター４ｄを駆動制御することで、駆動ベルト４
ｇが駆動すると、回転支持部４ｈに支持されている規制
窓部４ｅの開口部４ｊの向きを四角形のワークの各辺末
端部分を通り越した位置で９０度回転させることができ
る。
【００２３】なお、前記載置台５は、ワークＷの周辺露
光を終了したら次工程に搬送するハンドラに、そのワー
クＷの受取りおよび受渡しを容易にするための駆動機構
５ｂにより上下動自在に支持されたピン５ａを所定数
（図面では四箇所）備えており、そのピン５ａは、ワー
クＷを受取位置に保持できるように真空吸着できるよう
に構成されている。また、ワークＷを載置台に保持する
機構は、その載置台のワーク載置面に真空吸着できる貫
通穴を設ける構成としても構わない。
光を終了したら次工程に搬送するハンドラに、そのワー
クＷの受取りおよび受渡しを容易にするための駆動機構
５ｂにより上下動自在に支持されたピン５ａを所定数
（図面では四箇所）備えており、そのピン５ａは、ワー
クＷを受取位置に保持できるように真空吸着できるよう
に構成されている。また、ワークＷを載置台に保持する
機構は、その載置台のワーク載置面に真空吸着できる貫
通穴を設ける構成としても構わない。
【００２４】つぎに、周辺露光装置の作用を説明する。
はじめに、図１（ａ）で示すように、ハンドラー（図示
せず）などによりワークＷが載置台５の上に搬送されて
載置されると、移動機構３を案内ガイド２に沿って移動
させると共に、光源装置４を移動機構３の移動ガイドに
沿って所定位置に移動しスタート位置（ワークＷの第一
辺の一端位置）に設定する。
はじめに、図１（ａ）で示すように、ハンドラー（図示
せず）などによりワークＷが載置台５の上に搬送されて
載置されると、移動機構３を案内ガイド２に沿って移動
させると共に、光源装置４を移動機構３の移動ガイドに
沿って所定位置に移動しスタート位置（ワークＷの第一
辺の一端位置）に設定する。
【００２５】そして、光源装置４がスタート位置に設定
されると、放電灯４ａは、すでに点灯されており、シャ
ッター機構（図示せず）の開口により、光線がレンズ群
４ｃを介して規制窓部４ｅを通ってワークＷの周辺部分
のスタート位置を照射して周辺露光作業が開始される。
されると、放電灯４ａは、すでに点灯されており、シャ
ッター機構（図示せず）の開口により、光線がレンズ群
４ｃを介して規制窓部４ｅを通ってワークＷの周辺部分
のスタート位置を照射して周辺露光作業が開始される。
【００２６】図７で示すように、光源装置４から照射さ
れた照射光Ｓａは、はじめにワークＷの第一辺Ｗａの一
端から他端に向かって所定速度で移動することになる。
このとき、図１（ａ）で示すように、移動機構３の移動
ガイド３ｅに沿って光源装置４が移動してワークの第一
辺を照射光Ｓａ（図７参照）により露光する。
れた照射光Ｓａは、はじめにワークＷの第一辺Ｗａの一
端から他端に向かって所定速度で移動することになる。
このとき、図１（ａ）で示すように、移動機構３の移動
ガイド３ｅに沿って光源装置４が移動してワークの第一
辺を照射光Ｓａ（図７参照）により露光する。
【００２７】光源装置４からの照射光Ｓａは、ワークＷ
の第一辺Ｗａの他端を一旦通り越した位置で図６および
図７で示すように、照射方向変更機構４Ｂの駆動モータ
４ｄの作動により、規制窓部４ｅの開口部４ｊの向きが
９０度変更させられる。そして、再びワークＷの第一辺
Ｗａの他端（第二辺Ｗｂの一端）位置に、光源装置４を
移動機構３の移動ガイドに沿って移動させ配置する。
の第一辺Ｗａの他端を一旦通り越した位置で図６および
図７で示すように、照射方向変更機構４Ｂの駆動モータ
４ｄの作動により、規制窓部４ｅの開口部４ｊの向きが
９０度変更させられる。そして、再びワークＷの第一辺
Ｗａの他端（第二辺Ｗｂの一端）位置に、光源装置４を
移動機構３の移動ガイドに沿って移動させ配置する。
【００２８】つぎに、図１および図７で示すように、ワ
ークＷの第二辺Ｗｂの一端から他端に向かって、移動機
構３を案内ガイド２に沿って所定速度で移動させること
で光源装置４を移動し、照射光ＳｂによりワークＷの第
二辺Ｗｂを露光する。このとき、光源装置４の位置は、
移動機構３の適正位置で固定された状態とする。
ークＷの第二辺Ｗｂの一端から他端に向かって、移動機
構３を案内ガイド２に沿って所定速度で移動させること
で光源装置４を移動し、照射光ＳｂによりワークＷの第
二辺Ｗｂを露光する。このとき、光源装置４の位置は、
移動機構３の適正位置で固定された状態とする。
【００２９】さらに、光源装置４からの照射光Ｓｂは、
ワークＷの第二辺Ｗｂの他端を一旦通り越した位置で，
図６および図７で示すように、照射方向変更機構４Ｂの
駆動モータ４ｄの作動により、規制窓部４ｅの開口部４
ｊの向きが９０度変更させられる。そして、再びワーク
Ｗの第二辺Ｗｂの他端（第三辺Ｗｃの一端）位置に、光
源装置４を、移動機構３が案内ガイド２に沿って移動す
ることで配置する。
ワークＷの第二辺Ｗｂの他端を一旦通り越した位置で，
図６および図７で示すように、照射方向変更機構４Ｂの
駆動モータ４ｄの作動により、規制窓部４ｅの開口部４
ｊの向きが９０度変更させられる。そして、再びワーク
Ｗの第二辺Ｗｂの他端（第三辺Ｗｃの一端）位置に、光
源装置４を、移動機構３が案内ガイド２に沿って移動す
ることで配置する。
【００３０】そして、図１および図７で示すように、ワ
ークＷの第三辺Ｗｃの一端から他端に向かって、移動機
構３の移動ガイド３ｅに沿って光源装置４を移動させる
ことで、照射光ＳｃによりワークＷの第三辺Ｗｃの露光
作業を行う。
ークＷの第三辺Ｗｃの一端から他端に向かって、移動機
構３の移動ガイド３ｅに沿って光源装置４を移動させる
ことで、照射光ＳｃによりワークＷの第三辺Ｗｃの露光
作業を行う。
【００３１】さらに、光源装置４からの照射光Ｓｃは、
ワークＷの第二辺Ｗｂの他端を一旦通り越した位置で、
図６および図７で示すように、照射方向変更機構４Ｂの
駆動モータ４ｂを作動させ、規制窓部４ｅの開口部４ｊ
の向きを９０度変更させる。そして、再びワークＷの第
三辺Ｗｃの他端（第四辺Ｗｄの一端）位置に、移動機構
３が案内ガイド２に沿って移動することで光源装置４を
配置する。
ワークＷの第二辺Ｗｂの他端を一旦通り越した位置で、
図６および図７で示すように、照射方向変更機構４Ｂの
駆動モータ４ｂを作動させ、規制窓部４ｅの開口部４ｊ
の向きを９０度変更させる。そして、再びワークＷの第
三辺Ｗｃの他端（第四辺Ｗｄの一端）位置に、移動機構
３が案内ガイド２に沿って移動することで光源装置４を
配置する。
【００３２】さらに、ワークＷの第四辺Ｗｄの一端から
他端に向かって、移動機構３を案内ガイド２に沿って移
動させることで、光源装置４からの照射光Ｓｄによりワ
ークＷの第四辺Ｗｄの露光作業を行い、ワークＷの周辺
露光作業を終了する。
他端に向かって、移動機構３を案内ガイド２に沿って移
動させることで、光源装置４からの照射光Ｓｄによりワ
ークＷの第四辺Ｗｄの露光作業を行い、ワークＷの周辺
露光作業を終了する。
【００３３】なお、前記規制窓部４ｅの開口部４ｊの向
きを変更する際に、光源装置４の放電灯４a直下に設け
るシャッター機構（図示せず）を閉塞することで、各辺
の端部を通り過ぎることなくその端部の位置で、開口部
４ｊの向きを９０度変更する作業を行う。そして、開口
部４ｊの向きを９０度変更したら、再び前記シャッター
機構を開口して露光作業を再開する構成としても構わな
い。このように、前記シャッター機構の開閉動作と、開
口部４ｊの向きの変更動作とを連動させることで、移動
機構および光源装置の移動動作が簡略化される構成とし
ても良い。
きを変更する際に、光源装置４の放電灯４a直下に設け
るシャッター機構（図示せず）を閉塞することで、各辺
の端部を通り過ぎることなくその端部の位置で、開口部
４ｊの向きを９０度変更する作業を行う。そして、開口
部４ｊの向きを９０度変更したら、再び前記シャッター
機構を開口して露光作業を再開する構成としても構わな
い。このように、前記シャッター機構の開閉動作と、開
口部４ｊの向きの変更動作とを連動させることで、移動
機構および光源装置の移動動作が簡略化される構成とし
ても良い。
【００３４】
【発明の効果】この発明は上記した実施の形態のように
構成しているため、以下の優れた効果を奏する。 周
辺露光装置は、設置したワークを回転など移動させるこ
となく放電灯を備える光源装置により、ワークの周辺を
案内ガイドおよび駆動機構により周回して露光作業を行
なうため、ワークの位置決めを新たにする必要がなく、
本来の配線パターンを露光する露光作業を効率よく行な
うことができる。
構成しているため、以下の優れた効果を奏する。 周
辺露光装置は、設置したワークを回転など移動させるこ
となく放電灯を備える光源装置により、ワークの周辺を
案内ガイドおよび駆動機構により周回して露光作業を行
なうため、ワークの位置決めを新たにする必要がなく、
本来の配線パターンを露光する露光作業を効率よく行な
うことができる。
【００３５】 周辺露光装置は、光源装置を移動自在
に支持する移動機構と、この移動機構を案内する案内ガ
イドとから構成されているため、ワークの所定位置に照
射光を設定する動作が容易で、周辺露光作業の動作スピ
ードが全体のライン作業の流れに適切に対応できる。
に支持する移動機構と、この移動機構を案内する案内ガ
イドとから構成されているため、ワークの所定位置に照
射光を設定する動作が容易で、周辺露光作業の動作スピ
ードが全体のライン作業の流れに適切に対応できる。
【００３６】 周辺露光装置は、四角形のワークの周
辺を照射する照射光の範囲を規制窓部の配置方向を９０
度回転させて行うことから、前記ワークの周辺部分の適
正な露光作業を行うことが可能となる。
辺を照射する照射光の範囲を規制窓部の配置方向を９０
度回転させて行うことから、前記ワークの周辺部分の適
正な露光作業を行うことが可能となる。
【００３７】 周辺露光作業は、ワークの位置決めを
行い、ワークを載置台で保持した状態で、そのワークの
各辺を順次露光する構成としていることから、ワークを
載置台に搬入した状態で周辺露光作業が行えるため、載
置台上の新たなワークあるいは光源装置の位置決めにつ
いての構成を考慮する必要がなく都合が良い。
行い、ワークを載置台で保持した状態で、そのワークの
各辺を順次露光する構成としていることから、ワークを
載置台に搬入した状態で周辺露光作業が行えるため、載
置台上の新たなワークあるいは光源装置の位置決めにつ
いての構成を考慮する必要がなく都合が良い。
【図１】（ａ）（ｂ）は、この発明の周辺露光装置の平
面図である。
面図である。
【図２】この発明の周辺露光装置の側面図である。
【図３】この発明の周辺露光装置の正面図である。
【図４】この発明の周辺露光装置の移動機構の要部を示
す原理図である。
す原理図である。
【図５】この発明の光源装置の全体を示す側面図であ
る。
る。
【図６】この発明の光源装置の要部を示す底面図であ
る。
る。
【図７】この発明の周辺露光作業の状態を示す原理図で
ある。
ある。
１ 周辺露光装置 ２ 案内ガイド ２ａ 一方の搬送路 ２ｂ 他方の搬送路 ３ 移動機構 ３Ａ 移動本体 ３ａ 支持脚 ３ｂ 支持脚 ３ｃ 係合滑動部 ３ｄ 係合滑動部 ３ｅ 移動ガイド ４ 光源装置 ４Ｂ 照射方向変更機構 ４ａ 放電灯 ４ｂ 反射鏡 ４ｃ レンズ群 ４ｄ 駆動モータ ４ｅ 規制窓部 ４ｆ カバー体 ４ｇ 駆動ベルト ４ｈ 回動支持部 ４ｊ 開口部 ５ 載置台 ６ 駆動部 ７ 電源装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/027 G03F 7/20 521
Claims (3)
- 【請求項１】四角形のワークを載置する載置台と、この
載置台の少なくとも一辺側に設けた案内ガイドと、この
案内ガイドに沿って移動する移動機構と、この移動機構
に沿って移動自在に設けた光源部とを有し、前記光源部
は、所定波長の紫外線を含む光線を照射する放電灯と、
この放電灯から照射された光線を所定方向に導く光学レ
ンズと、この光学レンズからの光線の照射範囲を規制す
る規制窓部と、前記ワークの各辺末端部分を通り越した
位置で、前記規制窓部の向きを９０度変える照射方向変
更機構を有することを特徴とする周辺露光装置。 - 【請求項２】前記案内ガイドは、前記ワークの前後また
は左右に設けた搬送路を備え、前記移動機構は、前記搬
送路に掛け渡して設けた移動レールと、この移動レール
を支持する支持脚と、この支持脚の下端側に設けた前記
搬送路に係合する係合滑動部とからなる請求項１に記載
の周辺露光装置。 - 【請求項３】四角形のワークを載置する第１工程と、前
記ワークを光照射する放電灯を備える光源装置の移動に
より前記ワークの第一辺の一端から他端を露光する第２
工程と、前記光源装置の移動により前記ワークの第二辺
の一端から他端を露光する第３工程と、前記光源装置の
移動により前記ワークの第三辺の一端から他端を露光す
る第４工程と、前記光源装置の移動により前記ワークの
第四辺の一端から他端を露光する第５行程とからなるワ
ークの周辺露光方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32015797A JP3211079B2 (ja) | 1997-11-20 | 1997-11-20 | 周辺露光装置およびその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32015797A JP3211079B2 (ja) | 1997-11-20 | 1997-11-20 | 周辺露光装置およびその方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11154639A JPH11154639A (ja) | 1999-06-08 |
| JP3211079B2 true JP3211079B2 (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=18118347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32015797A Expired - Fee Related JP3211079B2 (ja) | 1997-11-20 | 1997-11-20 | 周辺露光装置およびその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3211079B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4342663B2 (ja) * | 1999-12-20 | 2009-10-14 | 株式会社オーク製作所 | 周辺露光装置 |
| JP4495019B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2010-06-30 | 東レエンジニアリング株式会社 | 周辺露光装置 |
| JP5470236B2 (ja) * | 2010-12-22 | 2014-04-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 局所露光方法及び局所露光装置 |
| CN102520590B (zh) * | 2011-11-29 | 2015-05-20 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种遮光板的制作方法 |
| US8802359B2 (en) | 2011-11-29 | 2014-08-12 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | UV glass production method |
| US9853070B2 (en) | 2014-12-09 | 2017-12-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing display panel substrate |
-
1997
- 1997-11-20 JP JP32015797A patent/JP3211079B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11154639A (ja) | 1999-06-08 |
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