JPS5962858A - 露光操作方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、プリント基板等の被露光体であるワークの露
光操作方法に関するもので、さらに詳言ずれば、マスク
をワークと一体的に取扱うことにより、接散枚づつグル
ープとなって取扱われるワークの露光操作の作ＣＢ性を
向上させることを目的としたものである。

プリント基板等の被露光体であるワークは、所定のパタ
ーンを有するマスクと組合さって、このマスクに描かれ
た所定のパターンを露光装置ｎにより焼付けられるので
あるが、一般に１つのマスクのパターンは多数枚のワー
クに連続して露光されるものであることから、ワークと
マスクとは全く別個に取扱われていた。

すなわ−ち、従来の露光操作は？　Ｊ光装置の中心部で
ある露光部をＩＪ放して、この露光部の透明板に目的と
するマスクを手作梨により定位置にｎＩ付は固定してお
き、この状態から所望枚数のワークを露光装置内ｉ供給
して、各ワークを個々にかつ順に、前記透明板の定位置
に組付け２次いで露光し、しかる後、露光装置外に搬出
して、所望枚数の露光を達成していた。

上記した従来の露光操作方法は、一枚のマスクにより多
数枚のワークを連続して露光する場合には、さほどの不
都合を生じることはなかったのであるが、一枚（両面露
光の場合には二枚）のマスクにより２例えば２０枚前後
の少数のワークを露光する場合には、マスクの透明板へ
の組付け、取外し作業が極めて面倒となるという欠点を
もっていた。

すなわち、透明板は露光装置の心臓部である露光部の中
心に位１ａするものであるので、この透明板を露光装置
外に露出させるための開閉操作が面倒であること、マス
ク組付は作業時には透明板が露光装置外に露出されるた
めに、この露出された透明板および組付りられるマスク
にホコリ等が耐着し易くなり、不良品の発生の機会が多
くなること、透明板は露光部の中心に位１行し、露光装
置内の各機構は、この透明板を中心に配置され、かつ駆
動されるために、透明板の周囲には各種の機構が位置し
て充分な空間を確保するのが困難であるため、この透明
板に対する人手によるマスクの組付け、取外し作業は極
めて行ない硅いこと、さらにマスクにはその種類別を明
示するために９周端部に多数の符号が描がれているが、
この符号を描いた周端部に取扱い時の指先の接触により
手アカ等が付着して前記符号の判読が不能となってしま
うような事態の発生を防止するため、マスクの周端部は
所定Φｔ、■で取扱い時の指先でつまむ部分となってお
り、その内側に前記した符号を描くようにしなければな
らないので、マスクの大きさの割にはパターンを描くこ
とのできるイＩ効面積が小さくなるということ等の種々
の欠点、不都合、不満があった。

この上記した従来がらの露光操作の欠点および不満を解
消すべく、最近、各マスクを個々に収納したターレット
とワークを所望枚数づつ収納したターレットとを積重状
に昇降変位自在に格納した収納装置を露光装置に防接し
て設けておき、使用するマスクの収納されているターレ
ットを所定位置に昇降位置させた後、このターレットを
露光装置内に前進させて透明板上の定位置に停止させ。

次いで露光装置の搬送機構によりマスクをターレット内
からづ［き上げ、その間にターレットを収納装置内に後
退後ツ１１させ、前記搬送仁１１借を下降させてマスク
を透明板上の定位１ａに組付け、しかる後収納装置内か
らワークを収納したターレットを透明板上の定位置まで
前進させてマスクと同様に迅明板上の定位置に組付けて
ワークに対する露光を行なうようにしたものが考え出さ
れているが、確かにこのものは透明板に対するマスクの
組付けおよび取出しを自動化できて、マスクの取扱い上
におりる種々の欠点、不満を解消することができるめで
あるが、専用の収納装置とこの収納装置の動作をプログ
ラム制御するコンピュータが必要となるので、股ｆＪｉ
：Ｉ　ｉｉｓが増大すると共に、露光装置運転のための
４！間スペースが増大し、そして何よりも各ワークを透
明板上の定位置に組付けるのに、その都度ワークを収納
したターレットが収納装置内からｉｈ明板上に前進、後
退移動しなければならないので、１枚のワークを露光す
るのに要する時間が大きくなり２作業性が悪いという欠
点をもっている。

本発明は、上記した従来例における欠点、不都合、不満
をＭ消すべく創案されたもので、マスクと、このマスク
に対応する多数枚のワークとを組として位１１２Ｌ決め
した状態でかつマスクを上位に位置させた状態で１つの
枠体内に収納し、この枠体を露光部■′と内の定位置に
前進位１１Ｌさ・シ！、シがる後賃光装置側だけの動作
により、上位のマスクの透明板への臼１　（４けに次い
で各ワークのｉ３明板への組付けおよびＦＦｒ光を１１
（すに辻成するようにしたものである。

以下、　：４Ｃ発明企図而を参照し’ＣＩｔ？にｄ；ε
明する。

本発明による露光操作方法は、露光装置ｌ外から露光装
置１１１内の定位置に出入り自在に設けられた上面を開
放した薄１１１状となった枠体１２内に、目的とするパ
ターンを有するマスク１３　（このマスク１３は片頭露
光の場合は１枚２両面露光の場合は２枚となる）と、露
光される所望枚数のワーク１４とを予め位ｉｉ′ｉ合ぜ
した状態で積重状に収納セットしておく。

この枠体１２内に収納されるマスク１３およびワ−り１
４は、まず下位の位置にワーク１４が積重状に収納され
ており、このワーク１４の上位にマスク１３が位置して
いる。

枠体１２内に収納されたマスク１３およびワーク１４は
、枠体１３に対して正確に位置決めされていると共に相
互の位Ｉ’１１関係も正確に位置決めされている。

このように予めマスク１３およびワーク１４を定位置に
収納した枠体１２を露光装置１外から露光装置ｌ内の定
位置まで適当な移動ｕｊ！　４’ｃｆにより前進位置さ
せる。

枠体１２が露光部５′ｌｌ内の定位置に位置したならば
、まず露光装置１のマスクｉ’、ｒａ送機借５により。

枠体Ｉ２内の上位に位置したマスク１３を枠体１２内か
ら取出し、露光装置２の主体である露光部２の透明板４
直上にレール６に沿って搬送し、この透明板４の定位置
に取付ける。

このマスク搬送４ｒｔ　ｔ＃２５により透明板４上の定
位ｆｍｊにセットされたマスク１３のｉつ切板４への不
動固定は、従来からの手段と同様に、バキューム作用を
利用して達成する。

マスク１３の透明板４への取付けが達成されたならば夕
前記枠体１２内からワーク搬送ＩＩ：’ｉ　（、“Ｉ７
により最上位のワーク１４を取上げて、レール９に沿っ
てすでにマスクエ３を定位置に取付けた透明板４上に搬
送し、この透明板４の定位置に組（（’＆−する。

このワーク１４の透明板４への組付けが達成されたなら
ば９通常の露光操作により、光源部３からの光の照射に
よってセットされたワーク１４を露光する。

露光されたワーク１４は、ワーク搬出Ｇｋｉ　４７４　
ｓにより゛透明板４から取外されて）−：イ光装置１外
に取出されて後処理される。

この枠体１２内における最上位のワーク１４に対する露
光、Ｎｌ、７．作が完了したならば、以下同様の操作に
より枠体１２内の上位のワーク１４から順に露光してい
く。

枠体１２に収納された全てのワーク１４のトイ光が完了
したならば、前記マスク搬送倶借５により、透明板４に
組付けられたマスク１３を透明板４から枠体１２に杉し
換え、マスク１３を戻された枠体１２をｆｉｌ光装置ｌ
外に後退搬出すると共に所定のマスク１３およびワーク
■４を収納した次の枠体１２の搬入に対して待期する。

ところで、・マスク搬送機η°１５．ワーク搬送機借７
そしてワーク搬出帖（’ｉ７　Ｂは、バキューム作用に
よりマスク１３またはワーク１４全吸着し、レール６お
よび９に沿って移動させてマスク１３およびワーク１４
の８動を達成するのが位↑ａ合せの保持およびマスクお
よびワーク１４に対する取扱い上有利である。

このように、マスク搬送４ＪＡ　’ＩＸ’Ｊ　５とワー
ク搬送機ｊ１°１７７とは全く同一の描成で良いので９
両機構を兼用しても差し支えないのであるが、一般にマ
スク１３はワーク１４よりも寸法が大きいこと、および
枠体１２に収納される状態が、マスク１３を直接ワーク
１４上に積重しない方が有利であること等の理由により
２図示実施例のようにこのマスク搬送機描５とワーク搬
送ａ　＋ｊ＆　７とは別個に設けるのが良い。

同様に、ワーク搬送柘榴７とワーク搬出機描８とを単一
の機ｔ１１ｔ１により兼用させても良いのであるが、「
；光操作の作コ１゛？時間をより短も１１シて効率の良
い露光操作を得るには２図示実施例の；１ｔ＋　＜　、
別個に設けるのが右、ｆ’！Ｉ’である。

なお２図示実施例の場合、ｆ゛１↓光されたワーク１４
は一旦パレット１５上に乗ｉｉｊ、Ｂされて、このパレ
ット１５を露光装置１の出口１１から青光装置７ｊ　ｌ
外に搬出するようにしているが、これは従Ｎ２のｆ伽光
”＋Ｌｊ　ｌ？’ｔと同様にベルトコンベアを利用して
搬出するようにしても良い。

このように２本発明によるＰ′７１光操作方法は、予め
１つの枠体１２に目的とするパターンを有するマスク１
３と、ｉ・イ光されるべきＰＪｉ望枚数のワーク１４と
を一緒に収納し、この枠体１２をシ１ζ光装Ｕ：ｊ　ｉ
内に供給することにより、−組のマスク１３とワーク１
４とを一体的にかつ連続して取扱うことができ、これが
ためマスク１３の取付けとワーク］４のｈ’ｌ光とを１
つの露光操作にまとめることができる。

すなわち、従来の露光操作は、露光装置に対するマスク
の供給およびセットと、ワークの露光装置に対する供給
およびセットとは全く別個の独立した操作となっていた
ので、ｉ；ｌｔ光装置に対するマスクのＵ＆ｍおよびセ
ットの作業が完了するまでの間、ワークの供給ｊ′、３
よびセットを付則させておかなければならず、かつマス
クとワークの供給およびセット作業は全く別個の作業で
あるために、マスクおよびワークの個々に位置合せを行
なわなければならず、そのため各マスクおよびワーク毎
に位置合せの確認作業が必要となり、このため作業時間
が長くなると共に多くの作業工程を要するものとなって
いたが２本発明にＪ５いては、露光装置１に、予め相互
位置関係を正確に設定および規制されたマスク１３と所
キ１！数のワーク１４とを単一の枠体１２に収納して露
光ｄｉｄ　ｉｄＩ内の定位置に供給するので、マスク１
３およびワーク１４の露光装置１への供給は１回の操作
で良く、かつ露光装置ｉＴ　Ｉ内における位１１斤合せ
作業を要しないですむことになる。

また、予め枠体１２内に収納されるマスク１３とワーク
１４とは、ワーク１４の上位にマスク１３が積重状に収
納されているのでｐ　ｐｈｉ！元装置ｌ内におけるマス
ク１３１５よびワーク１４の透明１ＪＪｊ、　４への組
付けは。

単に枠体１２に収納された上位のものから順に透明板４
に取付ければ良いことになり、マスク１３またはワーク
」４の透明阪４へＣＩ）組イリけのために動作するｊ、
；９光：’、ｔ’：置１ノ装設送他イ、１．７　ノ制１
１ｉ１　杉ｆｊＥＩ　カ＃’！ｉ　？り　テｒｌ’ｉ−
純となると共に容易となる。

さらに、マスク１３およびワーク１４を収納した枠体１
２は、０光４ｆ４　Ｖ”；、　１の主体ｉｉ；ｌｉ分で
ある露光部２内に侵入位し１する必要がないので、この
種々のＵｌ　、Ｎ！１が配置されているＹ”１；先部２
の（１′７造を復雑にすることがなく、またマスク１３
およびワーク１４だけが出し入れされるので、ホコリ、
ゴミ等の１・゛に先部２内への侵入する揚会を大’Ｉ’
ｉｆにηに少さけることができ。

これによって良好なに１；光条件とρ：イ光動作とを得
ることができる。

またさらに、マスク１３およびワーク１４の枠体１２に
対する位ｆＴｈｊ決めされた組付けは、露光装置ｉ’Ｚ
　を外の適当な箇所で２時間に制約されることなく、有
利な作業機）者を用いて行なうことができるのでマスク
１３とワーク１４との９１０体１２内における位ｉＦ（
決めが極めて正確に達成できると県にその位！？、？決
め作業自体も容易であり、さらに適当な機器を用いるこ
とによりマスク１３の周端部に手アカをつけずにすむの
でマスク１３の全面をより有効に利用することができる
ことになる。

所テ、本１ａ明は、マスク１３と所望枚数のワーク１４
とを１つの枠体１２内に一緒に収納して露光装置１内に
供給するものであることから、要求されるパターンを少
数枚のワーク１４に露光させる場合には極めて有利とな
る。

以上の説明から明らかな如く２本発明による１４光操作
方法は、マスクとワークと同等に、かつ一体重に取扱う
ことができるので、露光装置ｌに対するマスクの取扱い
が極めて容易にかつ正確に達成することができ、また良
好なワークの露光を達成することができ、さらに露光装
置そのものの溝造を複Ｉ（’ｉ化することがないので、
安価に実施することができる等多くの優れた効果を有す
るものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は９本発明の説明に供する一般的な露光部ｆ’ｉ
”１１７）　ｉ’ｉフ成簡略図で、１′）る。 符号の説明 １・・・Ｆｉ光ミソ」・：　　　　　２・・・露光１；
１へ４・・・透明イ反　　　　　　５・・・マスク搬送
（災購７・・・ワーク（・；〕送イ・：′ミｌ！’７　
　８・・・ワーク搬出１２Ｊ　ｉ１″ｌ１２・・・枠体
　　　　　　１３・・・マスク１４・・・ワーク 発明者　　　　　　　　宮　　本　　　　　２：キ出１
．′（ｌ（人　　株式会社オーク興作所代表者　　矢　
崎　好　夫

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 所望枚数のワークを積重状に位置決めして収納保持する
   と共に、前記ワークに対するマスクを前記ワークの上位
   に位置決めして収納保持した枠体を露光装置内の定位置
   に前進位置させ１次いで該露光装置の搬送ａ　（（Ｉに
   より前記枠体に収納されたマスクを露光部の透明板の定
   位置に搬送組付けし。 しかる後前記露光装置の搬送機構により、前記枠体内か
   ら順々に各ワークを前記透明板の定位置に組付けて露光
   し、がっ前記露光装置外に搬出し。 該各ワークの露光が完了したならば、前記マスクを前記
   搬送槻任・７により前記透明板から前記枠体内に搬送収
   納し、該マスクを収納した枠体を前記露光装置外に後退
   位置させる露光操作方法。