CN216622957U - 一种单面自动光刻机 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于光刻机技术领域，公开了一种单面自动光刻机，包括机架，机架上设有可圆周转动的机械臂，机械臂的外围沿圆周分布有上料工位、预对位工位、对位工位、NG工位和下料工位，上料工位处设有上料盒，预对位工位处设有预对位装置，对位工位处设有XYY平台、承片台、升降单元和曝光机构，NG工位处设有NG料盒，下料工位处设有下料盒；XYY平台安装在升降单元的自由端上，承片台安装在XYY平台的自由端上，曝光机构位于承片台上方。本实用新型所提供的一种单面自动光刻机，通过机械臂将硅片依次放入各工位进行作业，整个过程不需要人为操作，实现全自动化控制，有效提高工作效率。

Description

一种单面自动光刻机

技术领域

本实用新型属于光刻机技术领域，具体涉及一种单面自动光刻机。

背景技术

光刻是半导体制造过程中一道非常重要的工序，它是将一系列掩模板上的芯片图形通过曝光依次转移到硅片相应层上的工艺过程，被认为是大规模集成电路制造中的核心步骤。半导体制造中一系列复杂而耗时的光刻工艺主要由相应的光刻机来完成。现有的光刻机自动化程度不高，需要大量的人工操作，导致光刻效率低。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决上述技术问题。为此，本实用新型目的在于提供一种单面自动光刻机。

本实用新型所采用的技术方案为：

一种单面自动光刻机，包括机架，机架上设有可圆周转动的机械臂，机械臂的外围沿圆周分布有上料工位、预对位工位、对位工位、NG工位和下料工位，上料工位处设有上料盒，预对位工位处设有预对位装置，对位工位处设有XYY平台、承片台、升降单元和曝光机构，NG工位处设有NG料盒，下料工位处设有下料盒；XYY平台安装在升降单元的自由端上，承片台安装在XYY平台的自由端上，曝光机构位于承片台上方。

优选地，所述预对位装置包括预对位台，预对位台的两侧分别设有第一气缸和第二气缸，第一气缸上设有第一推爪，第二气缸上设有第二推爪；预对位台的上方设有第一摄像头。

优选地，所述第一推爪上设有第一弧形槽和第二弧形槽，第二推爪上设有第三弧形槽和第四弧形槽，第一弧形槽与第三弧形槽相对设置，第二弧形槽和第四弧形槽相对设置。

优选地，所述机架上设有支撑杆，支撑杆上安装有第三气缸，第三气缸的自由端上设有安装架，第一摄像头安装在安装架上。

优选地，所述机架上还安装有第二摄像头，第二摄像头位于承片台的一侧。

优选地，所述机架的外围设有保护罩，保护罩上设有检修门。

优选地，所述上料工位处设有两个上料盒，下料工位处设有两个下料盒。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型所提供的一种单面自动光刻机，通过机械臂将硅片依次放入各工位进行作业，整个过程不需要人为操作，实现全自动化控制，有效提高工作效率。

附图说明

图1是本实用新型单面自动光刻机的结构示意图。

图2是本实用新型单面自动光刻机各工位的示意图。

图3是本实用新型预对位装置的示意图。

图4是本实用新型升降单元的安装示意图。

图中：1-机架；2-机械臂；3-上料盒；4-预对位装置；5-承片台；6-升降单元；7-NG料盒；8-下料盒；9-保护罩；10-检修门；11-预对位台；12-第一气缸；13-第二气缸；14-第一推爪；15-第二推爪；16-第一摄像头；17-支撑杆；18-第三气缸；19-安装架；20-第一弧形槽；21-第二弧形槽。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义以及实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行进一步的说明。

如图1至图4所示，本实施例的一种单面自动光刻机，包括机架1，机架1上设有可圆周转动的机械臂2，机械臂2的外围沿圆周顺时针分布有上料工位、预对位工位、对位工位、NG工位和下料工位，上料工位处设有两个上料盒3，预对位工位处设有预对位装置4，对位工位处设有XYY平台、承片台5、升降单元6和曝光机构，NG工位处设有NG料盒7，下料工位处设有两个下料盒8。

XYY平台安装在升降单元6的自由端上，承片台5安装在XYY平台的自由端上，曝光机构位于承片台5上方。XYY平台、曝光机构和升降单元均为现有技术。机架1上还安装有第二摄像头，第二摄像头位于承片台5的一侧，摄像头的图像识别也为现有技术。上料盒3内层叠的放置有硅片，机械臂2将硅片取出后先放到预对位装置4，预对位装置4用于找硅片的切边以及初步的定中心，然后机械臂2再将硅片放到承片台5上，XYY平台先自动找平，然后升降单元6驱动XYY平台上升到位后，第二摄像头图像识别看对位是否成功，对位好后曝光机构进行曝光，曝光后的硅片被机械臂2放入到下料盒8内，如果对位不成功则硅片被机械臂2放入NG料盒7；上述即为单面自动光刻机的一个工作循环，重复上述循环即可实现全自动的光刻作业。

预对位装置4包括预对位台11，预对位台11的两侧分别设有第一气缸12和第二气缸13，第一气缸12上设有第一推爪14，第二气缸13上设有第二推爪15；预对位台11的上方设有第一摄像头16。

第一推爪14上设有第一弧形槽20和第二弧形槽21，第二推爪15上设有第三弧形槽和第四弧形槽，第一弧形槽20与第三弧形槽相对设置，第二弧形槽21和第四弧形槽相对设置。当第一推爪14和第二推爪15靠近时，第一弧形槽20与第三弧形槽可以与预对位台11的两侧接触，第二弧形槽21和第四弧形槽可以与硅片的两侧接触，从而大致推动硅片的中心与预对位台11的中心重叠，便于对位工位的下一步作业。

机架1上设有支撑杆17，支撑杆17上安装有第三气缸18，第三气缸18的自由端上设有安装架19，第一摄像头16安装在安装架19上。第三气缸18的伸缩运动可以调整第一摄像头16的位置，保证第一摄像头16位于预对位台11正上放，当硅片的中心与预对位台11的中心大致重叠后，第一摄像头16进行图像识别，找到硅片切边，然后机械臂2根据切边信息将硅片准确的放到承片台5上。

机架1的外围设有保护罩9，保护罩9对单面自动光刻机整体起到保护作用，保护罩9上设有多个检修门10，便于检查维修。

本实用新型不局限于上述可选实施方式，任何人在本实用新型的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是落入本实用新型权利要求界定范围内的技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种单面自动光刻机，其特征在于：包括机架(1)，机架(1)上设有可圆周转动的机械臂(2)，机械臂(2)的外围沿圆周分布有上料工位、预对位工位、对位工位、NG工位和下料工位，上料工位处设有上料盒(3)，预对位工位处设有预对位装置(4)，对位工位处设有XYY平台、承片台(5)、升降单元(6)和曝光机构，NG工位处设有NG料盒(7)，下料工位处设有下料盒(8)；XYY平台安装在升降单元(6)的自由端上，承片台(5)安装在XYY平台的自由端上，曝光机构位于承片台(5)上方。

2.根据权利要求1所述的单面自动光刻机，其特征在于：所述预对位装置(4)包括预对位台(11)，预对位台(11)的两侧分别设有第一气缸(12)和第二气缸(13)，第一气缸(12)上设有第一推爪(14)，第二气缸(13)上设有第二推爪(15)；预对位台(11)的上方设有第一摄像头(16)。

3.根据权利要求2所述的单面自动光刻机，其特征在于：所述第一推爪(14)上设有第一弧形槽(20)和第二弧形槽(21)，第二推爪(15)上设有第三弧形槽和第四弧形槽，第一弧形槽(20)与第三弧形槽相对设置，第二弧形槽(21)和第四弧形槽相对设置。

4.根据权利要求2所述的单面自动光刻机，其特征在于：所述机架(1)上设有支撑杆(17)，支撑杆(17)上安装有第三气缸(18)，第三气缸(18)的自由端上设有安装架(19)，第一摄像头(16)安装在安装架(19)上。

5.根据权利要求4所述的单面自动光刻机，其特征在于：所述机架(1)上还安装有第二摄像头，第二摄像头位于承片台(5)的一侧。

6.根据权利要求1所述的单面自动光刻机，其特征在于：所述机架(1)的外围设有保护罩(9)，保护罩(9)上设有检修门(10)。

7.根据权利要求1所述的单面自动光刻机，其特征在于：所述上料工位处设有两个上料盒(3)，下料工位处设有两个下料盒(8)。

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