CN217050579U - 一种光罩辅助取出工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种光罩辅助取出工具，包括底座、支撑板、升降组件、固定板及安全组件，其中，升降组件包括第一丝杆、第二丝杆、第一移动块、第二移动块、第一承载杆、第二承载杆及升降传动杆，第一移动块套设于第一丝杆外部以随第一丝杆的转动而升降，第二移动块套设于第二丝杆外部以随第二丝杆的转动而升降，第一承载杆与第一移动块固定连接，第二承载杆与第二移动块固定连接，升降传动杆与第一丝杆及第二丝杆连接以驱动第一丝杆及第二丝杆旋转。本实用新型的第一承载杆及第二承载杆通过抬升作用以显露目标光罩暂存盒，并用光罩夹子取出目标光罩，可以避免取目标光罩时需将光罩暂存架搬出机台，提高取放光罩的效率，并且降低光罩损坏的风险。

Description

一种光罩辅助取出工具

技术领域

本实用新型属于半导体技术制造领域，涉及一种光罩辅助取出工具。

背景技术

在集成电路芯片制造中，利用光罩对准曝光是必不可少的环节。光罩又名光掩模版，是印刻有特定图案的特殊透光材料，利用光刻机发出的光通过图形化的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光，光刻胶见光后发生性质变化，使光罩上的图形复印到薄片上，从而使薄片具有电子路线图的作用。

在生产制造过程中，通常需要多道工序，多块光罩，所需光罩大量储存在生产设备的机台内部，但是当设备出现异常时会出现无法正常传送光罩的情况，此时需要手动取出所需光罩。当需要手动取出机台内某一块光罩时，因为多块光罩的堆叠，需要将存放了多块光罩的暂存托架整体取出，然后再将所需的光罩从暂存托架中单独取出。整个取出流程中不仅存在暂存托架在转移过程中损坏光罩的风险，并且光罩取出的效率非常低。

因此，如何提供一种光罩辅助取出工具，用于解决现有技术中当设备发生故障时需要手动取出所需光罩造成光罩取出效率低，存在光罩损坏风险等，成为本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种光罩辅助取出工具，用于解决现有技术中当设备故障不能通过正常流程取出光罩时，手动取出所需光罩导致光罩取出效率低，存在光罩损坏风险等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种光罩辅助取出工具，所述光罩辅助取出工具包括：

底座；

在水平方向上间隔设置的第一支撑板与第二支撑板，装设于所述底座上；

升降组件，包括第一丝杆、第二丝杆、第一移动块、第二移动块、第一承载杆、第二承载杆与升降传动杆，其中，所述第一丝杆及所述第二丝杆均位于所述第一支撑板与所述第二支撑板之间并垂直装设于所述底座上，所述第一移动块套设于所述第一丝杆外部以随所述第一丝杆的转动而升降，所述第二移动块套设于所述第二丝杆外部以随所述第二丝杆的转动而升降，所述第一承载杆与所述第一承载杆固定连接，所述第二承载杆与所述第二移动块固定连接，所述第一承载杆及所述第二承载杆用于伸入光罩暂存架并抬升目标光罩暂存盒上方的非目标光罩暂存盒，所述升降传动杆装设于所述底座中并与所述第一丝杆及所述第二丝杆连接以驱动所述第一丝杆及所述第二丝杆旋转；

固定板，与所述第一支撑板及所述第二支撑板的顶部固定连接，并与所述第一丝杆及所述第二丝杆的顶部转动连接；

安全组件，与所述固定板连接以锁合所述光罩辅助取出工具与所述光罩暂存架。

可选地，所述安全组件包括安全锁与安全锁传动杆，所述安全锁位于所述固定板下方，所述安全锁传动杆在垂直方向贯穿所述固定板并与所述安全锁连接以驱动所述安全锁在预设角度范围内摆动。

可选地，所述安全锁的锁舌呈弧形钩状。

可选地，所述固定板包括与所述安全锁位置相对应的延伸侧翼。

可选地，所述底座包括相连的底板及与所述底板连接的一对卡板，所述卡板的顶面高于所述底板的顶面且所述卡板在水平方向上突出于所述底板以使所述光罩暂存架的底板部分卡入所述卡板下方。

可选地，所述第一支撑板及所述第二支撑板装设于所述底板或所述卡板。

可选地，所述第一移动块与所述第一支撑板的侧壁贴合，所述第二移动块与所述第二支撑板的侧壁贴合。

可选地，所述第一丝杆与所述第二丝杆均通过轴承与所述固定板转动连接，所述轴承的外壁与所述固定板固定连接。

可选地，所述底座包括向下凹陷区域，所述第一丝杆与所述第二丝杆的底端延伸至所述凹陷区域中以与所述升降传动杆转动连接。

可选地，所述第一承载杆及所述第二承载杆在垂直方向上的厚度小于所述光罩缓存盒的厚度。

如上所述，本实用新型的光罩辅助取出工具包括底座、支撑板、升降组件、固定板及安全组件，当设备发生故障无法正常取出光罩时，第一承载杆及第二承载杆伸入光罩暂存架并抬升目标光罩暂存盒上方的非目标光罩暂存盒以显露目标光罩暂存盒，打开目标光罩暂存盒用光罩夹子取出目标光罩。本实用新型的光罩辅助取出工具通过控制升降组件可以避免取目标光罩时需将整个光罩暂存架搬出机台，提高手动取放光罩的效率，并且降低光罩损坏的风险。

附图说明

图1显示为本实用新型的光罩辅助取出工具的立体结构示意图。

图2显示为本实用新型的光罩辅助取出工具的正视图。

图3显示为本实用新型的光罩辅助取出工具的侧视图。

图4显示为本实用新型的光罩辅助取出工具的俯视图。

图5显示为本实用新型的光罩辅助取出工具辅助取出光罩的示意图。

元件标号说明

1 底座

11 底板

12 卡板

21 第一支撑板

22 第二支撑板

3 升降组件

301 第一丝杆

302 第二丝杆

311 第一移动块

312 第二移动块

321 第一承载杆

322 第二承载杆

33 升降传动杆

4 固定板

41 侧翼

5 安全组件

51 安全锁

52 安全锁传动杆

6 光罩暂存架

7 光罩夹子

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1至图4。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

本实用新型提供一种光罩辅助取出工具，请参阅图1至图4，分别显示为该光罩辅助取出工具的立体结构示意图、正视图、侧视图及俯视图，包括底座1、第一支撑板21、第二支撑板22、升降组件3、固定板4及安全组件5，其中，在水平方向上间隔设置的所述第一支撑板21与所述第二支撑板22装设于所述底座1上；所述升降组件3包括第一丝杆301、第二丝杆302、第一移动块311、第二移动块312、第一承载杆321、第二承载杆322与升降传动杆33，所述第一丝杆301及所述第二丝杆302均位于所述第一支撑板21与所述第二支撑板22之间并垂直装设与所述底座1上，所述第一移动块311套设于所述第一丝杆301外部以随所述第一丝杆301的转动而升降，所述第二移动块312套设于所述第二丝杆302外部以随所述第二丝杆302的转动而升降，所述第一承载杆321与所述第一移动块311固定连接，所述第二承载杆322与所述第二移动块312固定连接，所述第一承载杆321及所述第二承载杆322用于伸入光罩暂存架6(见后续图5)并抬升目标光罩暂存盒上方的非目标光罩暂存盒，所述升降传动杆33装设于所述底座1中并与所述第一丝杆301及所述第二丝杆302连接以驱动所述第一丝杆301及所述第二丝杆302旋转；所述固定板4与所述第一支撑板21及所述第二支撑板22的顶部固定连接，并与所述第一丝杆301及所述第二丝杆302的顶部转动连接；所述安全组件5与所述固定板4连接以锁合所述光罩辅助取出工具与所述光罩暂存架6。

作为示例，所述安全组件5包括安全锁51与安全锁传动杆52，所述安全锁51位于所述固定板4下方，所述安全锁传动杆52在垂直方向贯穿所述固定板4并与所述安全锁51连接以驱动所述安全锁51在预设角度范围内摆动。所述安全锁传动杆52控制所述安全锁51与所述光罩暂存架6的锁合与打开，避免所述光罩辅助取出工具在作业时发生晃动。

具体的，所述安全锁51的锁舌呈弧形钩状，因本实施例中所述光罩暂存架7的支柱为圆柱状，所说弧形钩状锁舌能够更好和所述光罩暂存架6的支柱锁合，在其它实施例中，所述安全锁的形状也可以根据需求进行不同结构的设计。

作为示例，所述固定板4包括与所述安全锁51位置相对应的延伸侧翼41，本实施例中所述侧翼41呈梯形状，所述侧翼41一方面起到导向作用，另一方面起到保护所述安全锁51的作用。

作为示例，所述底座1包括相连的底板11及与所述底板连接的一对卡板12，所述卡板12的顶面高于所述底板11的顶面且所述卡板12在水平方向上突出于所述底板11以使所述光罩暂存架7的底板部分卡入所述卡板12下方，使所述光罩辅助取出工具在工作时起到固定作用。

作为示例，所述第一支撑板21及所述第二支撑板22装设于所述底板11或所述卡板12上，起到固定所述第一支撑板21及所述第二支撑板22的作用，在本实施例中，所述第一支撑板21及所述第二支撑板22分别装设于所述卡板12上。

作为示例，所述第一移动块311与所述第一支撑板21的侧壁贴合，所述第二移动块312与所述第二支撑板22的侧壁贴合，用于避免所述第一移动块311与所述第二移动块312在随着所述第一丝杆301与所述第二丝杆302的转动在升降的过程中左右摆动，进而影响所述第一承载杆321及所述第二承载杆322对所述光罩暂存盒的抬升稳定性。

作为示例，所述第一移动块311与所述第一支撑板21的侧壁贴合面光滑，所述第二移动块312与所述第二支撑板22的侧壁贴合面光滑，用于降低所述第一移动块311与所述第二移动块312在升降过程中的摩擦力。

作为示例，所述第一丝杆301与所述第二丝杆302均通过轴承与所述固定板4转动连接，所述轴承的外壁与所述固定板4固定连接，通过轴承固定所述第一丝杆301及所述第二丝杆302的同时并减小所述第一丝杆301及所述第二丝杆302的转动摩擦。

作为示例，所述底座1包括向下凹陷区域，所述第一丝杆301与所述第二丝杆302的底端延伸至所述凹陷区域中以与所述升降传动杆33转动连接，所述升降传动杆33水平贯穿所述底座1并同时与所述第一丝杆301及所述第二丝杆302连接以确保所述第一丝杆301及所述第二丝杆302同步转动，进而使得所述第一承载杆311及所述第二承载杆312在承载所述光罩暂存盒时具有较高的稳定性。

具体的，所述第一承载杆311及所述第二承载杆312在垂直方向上的厚度小于所述光罩暂存盒的厚度。

请参阅图5，显示为本实用新型的光罩辅助取出工具辅助取出光罩的示意图，作为示例，本实用新型的光罩辅助取出工具的使用方法包括如下流程，

第一，所述光罩辅助取出工具放入机台所述光罩暂存架6之前，调整所述第一承载杆311及所述第二承载杆312的高度，使得所述第一承载杆311及所述第二承载杆312能够伸入目标光罩暂存盒与其上方的光罩暂存盒边缘间隙。

第二，把所述光罩辅助取出工具放入机台所述光罩暂存架6，扭动所述安全锁传送杆52锁合所述光罩辅助取出工具与所述光罩暂存架6，然后拧动所述升降传动杆33显露目标光罩暂存盒并将装光罩的盒子打开。

第三，用光罩夹子7取出所需光罩并放入光罩盒中。

综上所述，本实用新型的光罩辅助取出工具包括底座、支撑板、升降组件、固定板、安全组件，当设备发生故障无法正常取出光罩时，第一承载杆及第二承载杆伸入光罩暂存架并抬升目标光罩暂存盒上方的非目标光罩暂存盒以显露目标光罩暂存盒，打开目标光罩暂存盒用光罩夹子取出目标光罩。本实用新型的光罩辅助取出工具通过控制升降组件可以避免取目标光罩时需将整个光罩暂存架搬出机台，提高手动取放光罩的效率，并且降低光罩损坏的风险。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种光罩辅助取出工具，其特征在于，包括：

底座；

在水平方向上间隔设置的第一支撑板与第二支撑板，装设于所述底座上；

升降组件，包括第一丝杆、第二丝杆、第一移动块、第二移动块、第一承载杆、第二承载杆与升降传动杆，其中，所述第一丝杆及所述第二丝杆均位于所述第一支撑板与所述第二支撑板之间并垂直装设于所述底座上，所述第一移动块套设于所述第一丝杆外部以随所述第一丝杆的转动而升降，所述第二移动块套设于所述第二丝杆外部以随所述第二丝杆的转动而升降，所述第一承载杆与所述第一移动块固定连接，所述第二承载杆与所述第二移动块固定连接，所述第一承载杆及所述第二承载杆用于伸入光罩暂存架并抬升目标光罩暂存盒上方的非目标光罩暂存盒，所述升降传动杆装设于所述底座中并与所述第一丝杆及所述第二丝杆连接以驱动所述第一丝杆及所述第二丝杆旋转；

固定板，与所述第一支撑板及所述第二支撑板的顶部固定连接，并与所述第一丝杆及所述第二丝杆的顶部转动连接；

安全组件，与所述固定板连接以锁合所述光罩辅助取出工具与所述光罩暂存架。

2.根据权利要求1所述的光罩辅助取出工具，其特征在于：所述安全组件包括安全锁与安全锁传动杆，所述安全锁位于所述固定板下方，所述安全锁传动杆在垂直方向贯穿所述固定板并与所述安全锁连接以驱动所述安全锁在预设角度范围内摆动。

3.根据权利要求2所述的光罩辅助取出工具，其特征在于：所述安全锁的锁舌呈弧形钩状。

4.根据权利要求2所述的光罩辅助取出工具，其特征在于：所述固定板包括与所述安全锁位置相对应的延伸侧翼。

5.根据权利要求1所述的光罩辅助取出工具，其特征在于：所述底座包括相连的底板及与所述底板连接的一对卡板，所述卡板的顶面高于所述底板的顶面且所述卡板在水平方向上突出于所述底板以使所述光罩暂存架的底板部分卡入所述卡板下方。

6.根据权利要求5所述的光罩辅助取出工具，其特征在于：所述第一支撑板及所述第二支撑板装设于所述底板或所述卡板。

7.根据权利要求1所述的光罩辅助取出工具，其特征在于：所述第一移动块与所述第一支撑板的侧壁贴合，所述第二移动块与所述第二支撑板的侧壁贴合。

8.根据权利要求1所述的光罩辅助取出工具，其特征在于：所述第一丝杆与所述第二丝杆均通过轴承与所述固定板转动连接，所述轴承的外壁与所述固定板固定连接。

9.根据权利要求1所述的光罩辅助取出工具，其特征在于：所述底座包括向下凹陷区域，所述第一丝杆与所述第二丝杆的底端延伸至所述凹陷区域中以与所述升降传动杆转动连接。

10.根据权利要求1所述的光罩辅助取出工具，其特征在于：所述第一承载杆及所述第二承载杆在垂直方向上的厚度小于所述光罩暂存盒的厚度。

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