JPS6269243U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6269243U JPS6269243U JP16059985U JP16059985U JPS6269243U JP S6269243 U JPS6269243 U JP S6269243U JP 16059985 U JP16059985 U JP 16059985U JP 16059985 U JP16059985 U JP 16059985U JP S6269243 U JPS6269243 U JP S6269243U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- printed circuit
- movement table
- circuit board
- resist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例にかかるプリント基
板用露光装置の一部切欠側面図、第２図は第１図
の―線矢視図、第３図は第１図の―線断
面図、第４図はプリント基板とマスクとの配置関
係を示す平面図、第５図は基準孔と基準マークを
示す平面図、第６図はドライフイルムの断面図、
第７図ａ，ｂはモニタに映し出された基準孔と基
準マークの映像を示す正面図、第８図は位置決め
方法を説明するためのブロツク図である。 １……プリント基板、２ｂ……レジスト、１０
……マスク保持機構、１１……Ｘ動テーブル、１
２……Ｙ動テーブル、１４……θ動テーブル、１
５……マスク、１６……Ｘ動用アクチユエータ、
１７……Ｙ動用アクチユエータ、１８……θ動用
アクチユエータ、６１ａ，６１ｂ……テレビジヨ
ンカメラ、８０……画像処理装置。
板用露光装置の一部切欠側面図、第２図は第１図
の―線矢視図、第３図は第１図の―線断
面図、第４図はプリント基板とマスクとの配置関
係を示す平面図、第５図は基準孔と基準マークを
示す平面図、第６図はドライフイルムの断面図、
第７図ａ，ｂはモニタに映し出された基準孔と基
準マークの映像を示す正面図、第８図は位置決め
方法を説明するためのブロツク図である。 １……プリント基板、２ｂ……レジスト、１０
……マスク保持機構、１１……Ｘ動テーブル、１
２……Ｙ動テーブル、１４……θ動テーブル、１
５……マスク、１６……Ｘ動用アクチユエータ、
１７……Ｙ動用アクチユエータ、１８……θ動用
アクチユエータ、６１ａ，６１ｂ……テレビジヨ
ンカメラ、８０……画像処理装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 プリント基板のレジストに対してマスクを配置
し、プリント基板またはマスクの一方に設けられ
る少なくとも２つの基準孔に、他方に設けられる
それぞれの基準マークを合わせ、プリント基板の
レジストを露光するプリント基板用露光装置にお
いて、 平面座標のＸ軸方向に移動するＸ動テーブルと
Ｙ軸方向に移動するＹ動テーブルと一点にて横方
向に回動自在なθ動テーブルとが有機的な関係を
有して組み合わされかついずれかのテーブルに前
記マスクが保持されたマスク保持機構と、 前記基準孔と基準マーク間の位置ずれを検出す
るテレビジヨンカメラと、このカメラにより得ら
れる画像信号を処理し前記位置ずれを修正する状
態に前記Ｘ動テーブル、Ｙ動テーブルおよびθ動
テーブルのそれぞれのアクチユエータを制御させ
る画像処理装置とを備えたことを特徴とするプリ
ント基板用露光装置のマスク位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16059985U JPS6269243U (ja) | 1985-10-19 | 1985-10-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16059985U JPS6269243U (ja) | 1985-10-19 | 1985-10-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6269243U true JPS6269243U (ja) | 1987-04-30 |
Family
ID=31086126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16059985U Pending JPS6269243U (ja) | 1985-10-19 | 1985-10-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6269243U (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62258459A (ja) * | 1986-05-01 | 1987-11-10 | Rohm Co Ltd | パタ−ン被形成基板の位置合わせ方法 |
| JPH01295261A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-11-28 | Nippon Seiko Kk | 露光装置の位置合わせ方法及び装置 |
| JPH01302259A (ja) * | 1988-05-30 | 1989-12-06 | Orc Mfg Co Ltd | 自動露光装置におけるワーク位置決め方法 |
| JPH0349548U (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-15 | ||
| JPH04340555A (ja) * | 1991-05-16 | 1992-11-26 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | 画像位置合わせ方法およびその装置 |
| WO2000075729A1 (fr) * | 1999-06-08 | 2000-12-14 | Ushio Denki Kabushiki Kaisya | Dispositif d'exposition capable d'aligner un masque tout en le deplaçant |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53143877A (en) * | 1977-05-21 | 1978-12-14 | Mitsubishi Electric Corp | Automatic positioning device of pattern |
-
1985
- 1985-10-19 JP JP16059985U patent/JPS6269243U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53143877A (en) * | 1977-05-21 | 1978-12-14 | Mitsubishi Electric Corp | Automatic positioning device of pattern |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62258459A (ja) * | 1986-05-01 | 1987-11-10 | Rohm Co Ltd | パタ−ン被形成基板の位置合わせ方法 |
| JPH01295261A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-11-28 | Nippon Seiko Kk | 露光装置の位置合わせ方法及び装置 |
| JPH01302259A (ja) * | 1988-05-30 | 1989-12-06 | Orc Mfg Co Ltd | 自動露光装置におけるワーク位置決め方法 |
| JPH0349548U (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-15 | ||
| JPH04340555A (ja) * | 1991-05-16 | 1992-11-26 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | 画像位置合わせ方法およびその装置 |
| WO2000075729A1 (fr) * | 1999-06-08 | 2000-12-14 | Ushio Denki Kabushiki Kaisya | Dispositif d'exposition capable d'aligner un masque tout en le deplaçant |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2105653A1 (en) | Registration system | |
| JPS6269243U (ja) | ||
| KR970030318A (ko) | 부품 장착장치 | |
| JPH0624840B2 (ja) | スクリ−ン印刷装置における版合わせ方法 | |
| JPH06182965A (ja) | クリームはんだ印刷装置 | |
| JPS60191785A (ja) | 電子部品吸着ヘツド | |
| JPS60259446A (ja) | スクリーン印刷におけるスクリーン版と被印刷体の位置整合装置 | |
| JPH01146105U (ja) | ||
| JPH0231612U (ja) | ||
| JPS6217180U (ja) | ||
| JPS61120748A (ja) | 版合せ方法 | |
| JPH02146648U (ja) | ||
| JPH0211378U (ja) | ||
| JPH0514541Y2 (ja) | ||
| JPH0834346B2 (ja) | スクリーン印刷機 | |
| JPS62199812U (ja) | ||
| JPS6155937A (ja) | 半導体基板用印刷装置 | |
| JPS6329975U (ja) | ||
| JPH04261789A (ja) | 部品移載装置 | |
| JPH02104406U (ja) | ||
| JP2834834B2 (ja) | 露光装置における原版開閉装置 | |
| JPS5973906U (ja) | Ｃｔ装置用ベツト | |
| JPH0452693Y2 (ja) | ||
| JPS6255371U (ja) | ||
| JPH04109563U (ja) | 印刷配線板 |