JP2834834B2 - 露光装置における原版開閉装置 - Google Patents
露光装置における原版開閉装置Info
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- JP2834834B2 JP2834834B2 JP2065604A JP6560490A JP2834834B2 JP 2834834 B2 JP2834834 B2 JP 2834834B2 JP 2065604 A JP2065604 A JP 2065604A JP 6560490 A JP6560490 A JP 6560490A JP 2834834 B2 JP2834834 B2 JP 2834834B2
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- Japan
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- holding
- original plate
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は,ICのリードフレームやカラーTVのブラウン
管に用いるシャドウマスク等を製作する露光装置におい
て，一対の原版を基材に対して接近させたり離したりす
るための露光装置における原版開閉装置に関する。
管に用いるシャドウマスク等を製作する露光装置におい
て，一対の原版を基材に対して接近させたり離したりす
るための露光装置における原版開閉装置に関する。
例えば，シャドウマスクを製作する露光装置では，絵
柄の書かれたガラスの原版を感光材料が塗布された基材
に真空又は圧空により密着させ，絵柄を露光するが，露
光後は基材を取り出すため或いは原版を交換するためな
どの理由により，基材と原版の間に隙間を開ける必要が
あり，そのため，原版又は基材を開閉させる必要があ
る。基材の両面にそれぞれ原版を密着させ，原版の絵柄
を露光する両面露光装置では両面の原版を開閉させる必
要がある。
柄の書かれたガラスの原版を感光材料が塗布された基材
に真空又は圧空により密着させ，絵柄を露光するが，露
光後は基材を取り出すため或いは原版を交換するためな
どの理由により，基材と原版の間に隙間を開ける必要が
あり，そのため，原版又は基材を開閉させる必要があ
る。基材の両面にそれぞれ原版を密着させ，原版の絵柄
を露光する両面露光装置では両面の原版を開閉させる必
要がある。
基材の両側に配置された原版を開閉させるための従来
の原版開閉装置は，第５図，第６図に示すように，両面
に感光材料が塗布された基材１の下方に台座２が配置さ
れその上に基材１に対して直角方向にレール3,4が設け
られており，このレール3,4に、それぞれ原版5,6を保持
した一対の枠7,8がレール従動体9,10を介してスライド
可能に保持されている。また，台座２上には，枠7,8の
各々に対応してねじシャフト11,12が設けられ，各ねじ
シャフトは，対応する枠7,8に取付けられた従動体13,14
に噛み合っている。
の原版開閉装置は，第５図，第６図に示すように，両面
に感光材料が塗布された基材１の下方に台座２が配置さ
れその上に基材１に対して直角方向にレール3,4が設け
られており，このレール3,4に、それぞれ原版5,6を保持
した一対の枠7,8がレール従動体9,10を介してスライド
可能に保持されている。また，台座２上には，枠7,8の
各々に対応してねじシャフト11,12が設けられ，各ねじ
シャフトは，対応する枠7,8に取付けられた従動体13,14
に噛み合っている。
上記構成の従来装置において，各枠7,8に対応したね
じシャフト11,12をそれぞれモータ（図示せず）で回転
させると，その回転に応じて枠7,8がレール3,4上をスラ
イドし，原版5,6が基材１の両側で基材１に接近した
り，離れたりして開閉する。
じシャフト11,12をそれぞれモータ（図示せず）で回転
させると，その回転に応じて枠7,8がレール3,4上をスラ
イドし，原版5,6が基材１の両側で基材１に接近した
り，離れたりして開閉する。
しかし，かかる従来の構成では，各原版を保持した枠
7,8がそれぞれ，レール従動体9,10を介してレール3,4に
保持されているため，両側の原版を基材に密着させた時
の位置が，レールとレール従動体との遊びなどによりず
れることが多く，しかも，そのレールとレール従動体と
の遊びは，基材の両側にそれぞれ生じるため全体として
の原版のずれが大きくなってしまう。このため，たびた
びどちらか一方の原版の位置を，もう一方の原版に対応
する位置に合わせる必要があった。
7,8がそれぞれ，レール従動体9,10を介してレール3,4に
保持されているため，両側の原版を基材に密着させた時
の位置が，レールとレール従動体との遊びなどによりず
れることが多く，しかも，そのレールとレール従動体と
の遊びは，基材の両側にそれぞれ生じるため全体として
の原版のずれが大きくなってしまう。このため，たびた
びどちらか一方の原版の位置を，もう一方の原版に対応
する位置に合わせる必要があった。
本発明はかかる従来技術の問題点に鑑みてなされたも
ので，基材に対して両側から密着させられる一対の原版
の相対的な位置ずれを減少させることの可能な，露光装
置の原版開閉装置を提供することを目的とする。
ので，基材に対して両側から密着させられる一対の原版
の相対的な位置ずれを減少させることの可能な，露光装
置の原版開閉装置を提供することを目的とする。
本発明者等は上記の問題点を解決すべく種々検討の結
果，基材両側の枠をそれぞれ共通のレールに保持させる
代わりに，一方の枠に他方の枠をスライド可能に保持さ
せることによって，上記問題点を解決しうることを見出
して本発明を完成したものである。
果，基材両側の枠をそれぞれ共通のレールに保持させる
代わりに，一方の枠に他方の枠をスライド可能に保持さ
せることによって，上記問題点を解決しうることを見出
して本発明を完成したものである。
すなわち，本発明は，感光材料を塗布してなる基材の
両面に，絵柄のかかれた原版を密着させその上に光を照
射することにより基材に絵柄を露光する露光装置におい
て， 第一の原版を保持した第一枠と， 該第一枠を基材に対して直角方向に移動可能に保持す
る第一スライド機構と， 第二の原版を保持した第二枠と， 前記第一枠に保持され，前記第二枠を基材に対して直
角方向に移動可能に保持する第二スライド機構を備えた
ことを特徴とする露光装置における原版開閉装置を要旨
とする。
両面に，絵柄のかかれた原版を密着させその上に光を照
射することにより基材に絵柄を露光する露光装置におい
て， 第一の原版を保持した第一枠と， 該第一枠を基材に対して直角方向に移動可能に保持す
る第一スライド機構と， 第二の原版を保持した第二枠と， 前記第一枠に保持され，前記第二枠を基材に対して直
角方向に移動可能に保持する第二スライド機構を備えた
ことを特徴とする露光装置における原版開閉装置を要旨
とする。
本発明は上述のように，第一の原版を保持した第一枠
に対して，第二の原版を保持した第二枠が第二スライド
機構を介して保持させるので，第一の原版と第二の原版
の相対的な位置精度は，第二スライド機構の精度のみに
よって定まり，第一枠を保持した第一スライド機構の影
響は受けないため，従来に比べて，第一の原版と第二の
原版の相対的な位置ずれを約半分に減少させることがで
きる。
に対して，第二の原版を保持した第二枠が第二スライド
機構を介して保持させるので，第一の原版と第二の原版
の相対的な位置精度は，第二スライド機構の精度のみに
よって定まり，第一枠を保持した第一スライド機構の影
響は受けないため，従来に比べて，第一の原版と第二の
原版の相対的な位置ずれを約半分に減少させることがで
きる。
以下，図面に示す実施例を詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例の概略側面図，第２図はそ
の正面図，第３図は上記実施例に用いる第一スライド機
構及び第一枠を駆動する機構を示す平面図，第４図は上
記実施例に用いる第二スライド機構及び第二枠を駆動す
る機構を示す平面図である。同図において,15は露光さ
れるべき基材であり，両面に感光材料を塗布されてい
る。この基材15は図示しない手段によって，第１図に図
示した位置に供給されるようになっている。16は基材15
の片側に配置された絵柄のかかれた第一の原版,17はそ
の原版16を保持した第一枠である。第一枠17は下端に水
平に延びる支持台17aを有している。18は台座,19はその
台座18上に設けられ，第一枠を基材に対して直角方向に
移動可能に保持する第一スライド機構,20は基材15の反
対側に配置された絵柄のかかれた第二の原版,21はその
原版20を保持した第二枠,22は第一枠に保持され，第二
枠21を基材15に対して直角方向に移動可能に保持する第
二スライド機構である。
の正面図，第３図は上記実施例に用いる第一スライド機
構及び第一枠を駆動する機構を示す平面図，第４図は上
記実施例に用いる第二スライド機構及び第二枠を駆動す
る機構を示す平面図である。同図において,15は露光さ
れるべき基材であり，両面に感光材料を塗布されてい
る。この基材15は図示しない手段によって，第１図に図
示した位置に供給されるようになっている。16は基材15
の片側に配置された絵柄のかかれた第一の原版,17はそ
の原版16を保持した第一枠である。第一枠17は下端に水
平に延びる支持台17aを有している。18は台座,19はその
台座18上に設けられ，第一枠を基材に対して直角方向に
移動可能に保持する第一スライド機構,20は基材15の反
対側に配置された絵柄のかかれた第二の原版,21はその
原版20を保持した第二枠,22は第一枠に保持され，第二
枠21を基材15に対して直角方向に移動可能に保持する第
二スライド機構である。
第一スライド機構19は，第３図に示すように，台座18
に互いに平行に取付けられた２本のレール24,25と，こ
れらのレール24,25に係合してスライドするレール従動
体26,27を有しており，レール従動体26,27は第一枠27に
取付けられている。２本のレール24,25は，位置精度を
向上させるためにそれぞれ異なった形状をしている。す
なわち，第２図に示すように，一方のレール24は山型で
あり，レール24上をスライドするレール従動体26はこれ
に対応した谷型となっている。また，他方のレール25は
平坦な型であり，レール従動体27もこれに対応した平型
で，レール25上へ単に乗っただけの構造となっている。
これは２本のレール24,25の平行度を出すのが現実的に
無理なこと，露光特にレール24,25,レール従動体26,27,
第一枠17,台座18等が熱膨脹した時の逃げが必要なため
である。
に互いに平行に取付けられた２本のレール24,25と，こ
れらのレール24,25に係合してスライドするレール従動
体26,27を有しており，レール従動体26,27は第一枠27に
取付けられている。２本のレール24,25は，位置精度を
向上させるためにそれぞれ異なった形状をしている。す
なわち，第２図に示すように，一方のレール24は山型で
あり，レール24上をスライドするレール従動体26はこれ
に対応した谷型となっている。また，他方のレール25は
平坦な型であり，レール従動体27もこれに対応した平型
で，レール25上へ単に乗っただけの構造となっている。
これは２本のレール24,25の平行度を出すのが現実的に
無理なこと，露光特にレール24,25,レール従動体26,27,
第一枠17,台座18等が熱膨脹した時の逃げが必要なため
である。
台座18はレール24,25に平行なねじシャフト29とそれ
を回転駆動するモータ30を保持しており，一方，第一枠
17はねじシャフト29に噛み合うねじ従動体31を保持して
いる。従って，モータ30によってねじシャフト29を回転
させると，その回転に応じてねじ従動体31がねじシャフ
ト29に沿って移動し，第一枠17が直連運動する。
を回転駆動するモータ30を保持しており，一方，第一枠
17はねじシャフト29に噛み合うねじ従動体31を保持して
いる。従って，モータ30によってねじシャフト29を回転
させると，その回転に応じてねじ従動体31がねじシャフ
ト29に沿って移動し，第一枠17が直連運動する。
第二スライド機構22は，第４図に示すように，第一枠
17の支持台17aに互いに平行に取付けられた２本のレー
ル34,35と，これらのレール34,35に係合してスライドす
るレール従動体36,37を有しており，レール従動体36,37
は第二枠21に取付けられている。ここで使用されるレー
ル34,35及びレール従動体36,37も第一スライド機構19の
レール24,25及びレール従動体26,27と同一の構造であ
る。
17の支持台17aに互いに平行に取付けられた２本のレー
ル34,35と，これらのレール34,35に係合してスライドす
るレール従動体36,37を有しており，レール従動体36,37
は第二枠21に取付けられている。ここで使用されるレー
ル34,35及びレール従動体36,37も第一スライド機構19の
レール24,25及びレール従動体26,27と同一の構造であ
る。
更に，第一枠17の支持部17aはレール34,35に平行なね
じシャフト39とそれを回転駆動するモータ40を保持して
おり，一方，第二枠21はねじシャフト39に噛み合うねじ
従動体41を保持している。従って，モータ40によってね
じシャフト39を回転させると，その回転に応じてねじ従
動体41がねじシャフト39に沿って移動に，第二枠21が第
一枠17の支持台17aに対して直線運動する。
じシャフト39とそれを回転駆動するモータ40を保持して
おり，一方，第二枠21はねじシャフト39に噛み合うねじ
従動体41を保持している。従って，モータ40によってね
じシャフト39を回転させると，その回転に応じてねじ従
動体41がねじシャフト39に沿って移動に，第二枠21が第
一枠17の支持台17aに対して直線運動する。
ここで，第二枠21の支持台17aに対する移動ストロー
クは，第一枠17の台座18に対する移動ストロークの２倍
に設定されている。
クは，第一枠17の台座18に対する移動ストロークの２倍
に設定されている。
次に，上記構成の原版開閉装置による開閉動作を説明
する。今，第１図に示すように，基材15の両側の原版16
合20は基材15から離れた開位置にあるものとする。この
状態で，合座18に設けられたモータ30が回転してねじシ
ャフト29を回転させると，ねじ従動体31がねじシャフト
29に沿って移動し，そのねじ従動体31に固定されている
第一枠17が第１図の矢印Ａで示す方向に移動する。これ
によって原版16が基材15にほぼ密着する位置に移動す
る。一方，これと平行して第一枠17の支持台17a上のモ
ータ40が回転してねじシャフト39をねじシャフト29とは
反対方向に回転させる。その回転により，ねじ従動体41
がねじシャフト39に沿って移動し，そのねじ従動体41に
固定されている第二枠21が第１図の矢印Ｂで示す方向に
移動する。これによって原版20も基材15にほぼ密着する
位置に移動する。このようにしても基材15の両側の原版
16,20が閉位置に移動する。また，この逆の動作によ
り，原版16,20は第１図に示す開位置に移動する。
する。今，第１図に示すように，基材15の両側の原版16
合20は基材15から離れた開位置にあるものとする。この
状態で，合座18に設けられたモータ30が回転してねじシ
ャフト29を回転させると，ねじ従動体31がねじシャフト
29に沿って移動し，そのねじ従動体31に固定されている
第一枠17が第１図の矢印Ａで示す方向に移動する。これ
によって原版16が基材15にほぼ密着する位置に移動す
る。一方，これと平行して第一枠17の支持台17a上のモ
ータ40が回転してねじシャフト39をねじシャフト29とは
反対方向に回転させる。その回転により，ねじ従動体41
がねじシャフト39に沿って移動し，そのねじ従動体41に
固定されている第二枠21が第１図の矢印Ｂで示す方向に
移動する。これによって原版20も基材15にほぼ密着する
位置に移動する。このようにしても基材15の両側の原版
16,20が閉位置に移動する。また，この逆の動作によ
り，原版16,20は第１図に示す開位置に移動する。
ここで，原版20を保持した第二枠21は，原版16を保持
した第一枠17の一部である支持台17aに第二スライド機
構22を介して保持されているので，基材15の両面に密着
された原版16,20間の相対的な位置精度は，第二スライ
ド機構22の精度のみによって定まり，第一枠17を保持し
た第一スライド機構19の影響は受けない。このため，原
版16,20間のずれが極めて小さくなっている。
した第一枠17の一部である支持台17aに第二スライド機
構22を介して保持されているので，基材15の両面に密着
された原版16,20間の相対的な位置精度は，第二スライ
ド機構22の精度のみによって定まり，第一枠17を保持し
た第一スライド機構19の影響は受けない。このため，原
版16,20間のずれが極めて小さくなっている。
以上に説明したように，本発明の原版開閉装置では，
第一の原版を保持した第一枠に対して，第二の原版を保
持した第二枠が第二スライド機構を介して保持されてい
るので，第一の原版と第二の原版の相対的な位置精度を
高めることができ，一方の原版の枠に対する取付位置の
調整を行う必要がなくなるという効果を有している。
第一の原版を保持した第一枠に対して，第二の原版を保
持した第二枠が第二スライド機構を介して保持されてい
るので，第一の原版と第二の原版の相対的な位置精度を
高めることができ，一方の原版の枠に対する取付位置の
調整を行う必要がなくなるという効果を有している。
第１図は本発明の一実施例の概略側面図，第２図はその
正面図，第３図は上記実施例に用いる第一スライド機構
及び第一枠を駆動する機構を示す平面図，第４図は上記
実施例に用いる第二スライド機構及び第二枠を駆動する
機構を示す平面図，第５図は従来の原版開閉装置の概略
側面図，第６図はその正面図である。 15……基材,16……原版,17……第一枠,17a……支持台,1
8……台座,19……第一スライド機構,20……原版,21……
第二枠,22……第二スライド機構。
正面図，第３図は上記実施例に用いる第一スライド機構
及び第一枠を駆動する機構を示す平面図，第４図は上記
実施例に用いる第二スライド機構及び第二枠を駆動する
機構を示す平面図，第５図は従来の原版開閉装置の概略
側面図，第６図はその正面図である。 15……基材,16……原版,17……第一枠,17a……支持台,1
8……台座,19……第一スライド機構,20……原版,21……
第二枠,22……第二スライド機構。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−294231（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−140747（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G03B 27/02 - 27/14 G03F 7/20
Claims (1)
- 【請求項１】感光材料を塗布してなる基材の両面に，絵
柄のかかれた原版を密着させその上に光を照射すること
により基材に絵柄を露光する露光装置において， 第一の原版を保持した第一枠と， 該第一枠を基材に対して直角方向に移動可能に保持する
第一スライド機構と， 第二の原版を保持した第二枠と， 前記第一枠に保持され，前記第二枠を基材に対して直角
方向に移動可能に保持する第二スライド機構を備えたこ
とを特徴とする露光装置における原版開閉装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2065604A JP2834834B2 (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 露光装置における原版開閉装置 |
| US07/666,081 US5083156A (en) | 1990-03-16 | 1991-03-07 | Vacuum contact printing device and exposure apparatus and original contact device |
| KR1019910004092A KR0177157B1 (ko) | 1990-03-16 | 1991-03-15 | 진공밀착인화장치와 방법, 노광장치 및 원판밀착장치 |
| DE4108838A DE4108838C2 (de) | 1990-03-16 | 1991-03-18 | Vakuumkontakt-Kopiervorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2065604A JP2834834B2 (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 露光装置における原版開閉装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03265836A JPH03265836A (ja) | 1991-11-26 |
| JP2834834B2 true JP2834834B2 (ja) | 1998-12-14 |
Family
ID=13291789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2065604A Expired - Lifetime JP2834834B2 (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 露光装置における原版開閉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2834834B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4379997B2 (ja) * | 2000-01-14 | 2009-12-09 | 東洋熱工業株式会社 | 露光装置 |
-
1990
- 1990-03-16 JP JP2065604A patent/JP2834834B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03265836A (ja) | 1991-11-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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