JPS6010614B2 - 露光フレ−ム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、活性線に露出するための感光性材料を被覆し
た基板上に像担持透明体を整列し整合保持するのに有用
な露光フレームに関するものである。

透明画からの像を感光性受像要素上へ露光させることが
いよいよ必要である。

このような受像要素は、印刷回路板、導電性箔、エッチ
ングに使用するェレメント等である。実際には、この種
の受像要素は、焼付けフレームまたはそれに類似する装
置における像担持透明体と接触させられ特殊な光源に露
光される。印刷回路板の場合には、その回路板は一般に
は所定の配列の孔を有するように予め加工される。特に
、いくつかの回路板を連続的に露光するような場合は、
良好な整合すなわち透明体と回路板との間の正確な整合
を確実に行なうのが難しい。両面印刷回路板ともなると
問題が複雑である。これらの場合には、一般には２つの
透明体を使用して両面から同時に露光を行なう。従って
、回路板の両面において良好な整合がなされねばならな
い。そのような良好な整合を得るためには、印刷回路板
と透明体（通常、当業分野では光マスクと称される）と
を目視しながら整列させ、透明体を接着テープで回路板
に固定する方法がとられた。

しかしながら、この方法はそれほど正確ではなくある程
度は作業者の技術に依存している。その上、この方法は
めんどうであり能率の低いものである。このような目視
による整列方法の欠点を一部でも除去するために、光マ
スクおよび回路板とをそれらの各々に設けた整列孔を介
して一緒に保持するための保持ピンを使用する方法が提
案されている。

勿論、複写されるべきパターンが回路板の孔と一致した
状態に維持されるように十分な精度で整列孔が印刷回路
板と光マスクとに配設されていろはらば、少なくとも原
理的には、回路板を置き換える時の所望な整合再現性は
この方法で達成されうる。しかし、この方法の欠点は、
一旦孔あげさると、光マスクはもはや回路板に対して調
整することができず「従って、孔あげおよび印刷回路板
と透明体との間の製造公差による不整列を修正すること
ができないということである。このような欠点のため、
非常に多くの廃棄作業や再仕上げ作業が必要とされてし
まう。ドイツ国特許出願公開公報第２３３０７２６号に
は、単一および両面印刷回路板を露光するための装置が
開示されている。

この装置は透明体を取り付ける手段を含む暁付けフレー
ムを備えている。この取付け手段は、透明体を接着しう
るフレーム内に作用面を備えており、その作用面は取付
けフレームの調整ねじによって一平面内にて２つの方向
に移動されうる。作用面を通る孔に整合ピンを通すこと
によって、露光されるべき印刷回路板を作用面に接着さ
れた透明体上で中心合せする。従って、整合ピンを挿入
しうるように印刷回路板と共に底部作用面に特別な整合
孔を形成しなければならない。この方法の欠点は、競付
けフレームの排除が複雑であり、新しい透明体を使用す
る度に再整合させ作用面に接着しなければならないとい
うことである。更に、透明体を保持する作用面を移動さ
せるのに使用されるちようねじはやつかし、なものであ
る。印刷回路板の整合孔は公差を全く有しないわけでは
ないので、回路板がいくらかずれてしまい、最初の良好
に整合された配置がくずれてしまうことがある。従って
、この装置では、実際の露光を行なう前に、試めし露光
を行なうのがよい。

この装置を使用すると、特に、各整合後に１回またはそ
れ以上の試めし露光を必要とするならば、回路板の製造
公差を迅速且つ正確に補償するのが難しい。この方法の
もう１つ別の欠点は、印刷回路板のサイズが変わるたび
に底部作用面に再度孔あげして保持ピンを新たな位置に
挿通しなければならないということである。この結果、
底部作用面には露光領域内に常にくるようなきＥ常に多
くの孔を設けねさまならなくなる。このため、特に、小
さな印刷回路板からより大きな印刷回路板へ変えるよう
な場合には、露光の局部的変動が生じてしまう。本発明
の目的は、感光性層を有する印刷回路板の如き部材と透
明体とを目で調べながら手で整合するのを改良した装層
を提供することである。

本発明による装置によれば、単一面露光でも両面同時露
光の場合でも、従来の装置よりも一層容易に且つより正
確に整合させることができる。また、本発明の装置によ
れば、謎めし露光の必要が減ぜられ、大量生産によって
予め孔あげした回路板を使用することができ、製造公差
を補償することができる。本発明によれば、これらの目
的を達成するために光マスクまたはマスクのためのホル
ダと印刷回路板ホルダとを含む頂部フレームおよび底部
フレームを有する凝付けフレームが使用される。

光マスクホルダは回路板ホルダに対して独立に調整しう
るものであり、また、光マスクホルダと回路板ホルダと
はいずれも底部フレームに対して独立に調整しうるもの
である。回路板ホルダは、印刷回路板を光マスクに対し
てずらし回転させるように手動で操作されうる本質的に
自己ロック型の調整手段を備えている。光マスクホルダ
は、一方の縁部に沿って印刷回路板に衝接するスベーサ
を含んでいる。従って本発明によれば、従来装置と比較
してまず競付けフレームにおいて光マスクと印刷回路板
とをだいたい整列させ、この粗い整合状態を維持するよ
うに碗付けフレームに設けられた案内装置をロックし、
それから、回路板保持装置に設けられる微調整型機構を
目で見ながら手動調整によって精密な整合を達成するこ
とができる。

本発明の更に別の効果は、印刷回路板の両面を同時露光
する場合、すなわち、１つの光マスクを回路板の一方の
面に配置しもう１つの光マスクを回路板の他方の面に配
置する場合に、それら２つの光マスが互いに対して整列
され印刷回路板が上部光マスクと正確に整列するまでず
らされまた回転されるようにそれら２つの光マスクが光
マスクホルダに設置され一緒に保持されるということで
ある。それら２つの光マスクは移動されずすでに予め整
合されているので、底部光マスクと印刷回路板との整合
が自動的になされる。光マスクに対して回路板を一度だ
け整列させる必要があることは別にして、この回路板の
整列中に他方の光マスクが回路板に対してずれてしまう
可能性は少なくなる。燐付けフレームの底部パネルにも
カバーパネルにも全く孔が設けられないので、そのよう
な孔のために露光欠陥の生ずることがなくなる。また、
塵挨粒子がそのような孔の中またはそのまわりに付着し
て除去し得なくなるようなこともなくなる。操作者は、
整合させるために基本的に自己ロック型の調整手段を操
作するだけでよい。本発明による装置は、例えばドイツ
国特許出願公告公報第２０６０８２７号に開示された装
置のような種々な型の露光複写装置と関連して使用して
有用である。作用領域内に孔がないので、装置を真空フ
レームに使用し真空を引く時に光マスクと燐付けフレー
ムパネルとの間に気泡が形成されるという問題がない。
本発明の好ましい実施例では、光マスクホルダと回路板
ホルダとが組み合せられた回路板と光マスクとの対向端
に配設される。

このようにすると、光マスクホルダおよび印刷回路板保
持装置に対する案内の特に好ましい相互作用が得られる
。その上、露光領域外にすべての保持装置を配置するこ
とが容易とされるので、保持装置の影が作用領域上へ投
射されてしまうようなことをなくすることができる。光
マスクホルダは「少なくとも２つの外側に延長する保持
ピンを有する薄い保持ストリップを備えている。

そのストリップは、底部フレームの２つの平行な縁部に
移動しうるように取り付けられ、印刷回路板ホルダを担
持したその第３の縁部と実質的に平行に底部フレームに
沿って移動されるようになっている。従って、接着手段
を必要とせずに光マスクホルダに光マスクを正確にしっ
かりと取り付けることができる。種々なサイズの光マス
クを使用する場合には、光マスクホルダに多数の保持ピ
ンを設け、光マスクの一方の側に孔あげして「光マスク
をそのホルダに配置する時にそれら保持ピンにそれらの
孔をはめるようにすることができる。必要ならば「その
ために光マスクに補強縁部を形成してもよい。更に本発
明によれば、印刷回路板と実質的に同じ厚さを有し実際
の保持ストリップと実質的に平行に延長するスべ−サが
光マスクホルダに設けられる。

このスベーサは〜一組の平行なストリップ（互いに移動
しうるように相対した）であってよい。より詳細に述べ
るならば、このスベーサは、２つの部分、すなわち互い
に分離し同じ平面にて互いに平行に延長し取付けストリ
ップと接触ストリップとからなる。このスベーサにより
、上部光マスクは、光マスクと印刷回路板との取付け点
の間に遷移領域を与えることにより印刷回路上へ滑らか
にのせられるようにされる。印刷回路板は、正しい位置
に配置される時には「接触ストリップに衝接する。接触
ストリップは取付けストリップから外されるので、印刷
回路板を回転させたり移動させたりまたはその他の調整
を行なっても、光マスクと印刷回路板との間の遷移領域
の滑らかさはそこなわれない。従って、印刷回路板は、
光マスクをずらさずに整合のため上部光マスクの下に移
動されうる。また、暁付けフレームに真空を引く時にも
、光マスクと印刷回路板との間にはどんな相対移動も生
じない。接触ストリップがあるため回路板の綾部での可
榛‘性光マスクの引込みが防止される。スベーサを形成
している２つのストリップは、これらストリップを少し
だけ分離させておく圧縮ばねの如き可操性コネクタを使
用して互いに接続されるのが好ましい。そうすると、印
刷回路板の挿入が相当容易とされる。また、印刷回路板
は、ある圧力が及ぼされる回路板ホルダの保持素子と確
実に連続的に接触するようにされる。本発明の好ましい
実施例では、印刷回路板ホルダは、底部フレームの一方
の縁部上を走行するクロススライドのための２つの平行
な好ましくは滑動しうる支持体を備えている。各クロス
スライドは、印刷回路板を取り付けるための保持ピンを
担持している。印刷回路板は、各クロススライドのピン
を通すための孔をその縁部に備えるとよい。各スライド
は、燐付けフレーム内で底部フレームの平面と平行な平
面内にて２つの直行方向に保持ピソを微少移動させうる
調整機構を組み込んでいる。次に、添付図面に基づいて
本発明の実施例について本発明を詳細に説明する。

図面に示した実施例においては、整列装置は、競付けフ
レーム１川こ設置されている。

焼付けフレームＩＱ‘ま、底部フレーム１１と「頂部フ
レ−０ム１３とを備えている。底部フレーム】１さま極
久的に設置された光透過性剛性底部パネル１２を有して
いる。頂部フレーム１３は、極久的に設置された可榛‘
怪力バーパネル１４を有している。頂部フレーム１３は
、ヒンジアーム１５によって底部タフレーム１１に枢着
されており、底部フレーム１１に対して気密関係を維持
するように置くことができる。底部パネル１２の両側に
沿って、底部フレーム１ １の側片の一体部分として案
内溝１６が延長し０ている。

各側片にはガィまたはスライド１７が滑動しうるように
設置され、そのスライド１７は、底部パネル１２上を横
切って延長したストリップ状光マスクホルダー８を挺持
するようになっている。案内溝１６は、Ｔ字形断面形を
有しており、各スライド１７も案内溝１６に挿入され細
いヘッド２２を有するねじボルトを使用して所定位置に
クロックされるようなＴ字形断面形を有している。この
ような構成は第３図により良く示されている。更に、各
スライド１７は、カバーストリップ２０が光マスクホル
ダ１８に取り付けられうるように、取付けピン１９を担
持している。光マスクホルダ１８は、この実施例に示さ
れるように、底部パネル１２上を横切って延長する約３
／１仇舷の厚さの薄い保持ストリップ２１を備えている
。

保持ストリップ２１は底部フレーム１１に取り付けられ
た底部パネル１２にのっている。保持ストリップ２１の
頂部側には、上方にとがった多数の保持ピン２３が担持
されている。光マスクホルダ１８は付加的にスべ−サ２
４を備えている。このスベーサ２４は、好ましい実施例
では、一対の平行ストリップ、詳細には、保持ピン２３
の位置に対応した一連の細長い開孔２６を有する燐付け
ストリップ２５および接触ストリップ２７を備えている
。縁部を互いに対向させている取付けストリップ２５と
接触ストリップ２７とは、間にジグザグ形のギャップ２
８を作り出すようにスカラップ形状の切込みを有するの
がよい。

このギャップ２８のため、取付けストリップ２５および
接触ストリップ２７は、ある限定された仕方で互いの方
へ移動されうる。これらの取付けストリップ２５および
接触ストリップ２７は分離ギャップ２８の各側の対称位
置に挿入されたスプリング３０によつ離間した状態に保
持される。光マスクホルダ１８は、保持ピン２３の位置
に対応する一連の細長い関孔３１を設けたカバーストリ
ップ２０であってもよい。カバーストリップ２０の各端
部には、スライド１７に配設された取付けピン１９上に
置かれうる円形閥孔３２がある。更に、中央に配設され
る保持ピン２３を取り付けるための中心整列関孔が設け
られるとよい。好ましい実施例では、底部フレーム１
１の前縁には一体的案内溝３３が形成されており、この
案内溝３３にはスライド３４が猪動的に配置される。

頂部が広がった梯形状横断面形の案内レール３５が、第
５図に示すように、案内溝３３の底部に取り付けられて
いる。案内レール３５は各スライド３４の下側の対応す
るあり溝形凹部にはまり込む。この好ましい実施例では
、２つのスライド３４が示されている。しかしながら、
いくつかの板を同時に露光するためには、案内溝３３に
２つより多くのスライドを設けることも可能である。こ
の場合には、各回路板５０に対して一組のスライド３４
を使用することができる。第５図を参照するに、スライ
ド３４の各々は、案内レール３５上を糟敷しねじスピン
ドルおよびナール付作動ノブ３８を組み込んだ調整機構
３７（第２図に示す）を担持した外側本体３６を有して
いる。

この調整機構３７のためのねじスピンドルは、浮動支持
体３９の内側にねじを切った空所にはまり込み、ノプ３
８を光マスクホルダの方へまたは光マスクホルダから遠
ざかる方向に回転させることによって支持体３９はスラ
イド３６内で移動されうるようになっている。更に、支
持体３９は、ナール付調整ノブ４１およびねじスピンド
ル４２を含む第２の調整機構４０を担持している。ねじ
スピンドル４２は、浮動保持ピンキャリア４３の内部に
ねじを切られた孔にはまり込み、保持ピンキャリァ４３
はノブ４１を回転することにより案内溝３３に沿った方
向において支持体３９に沿って滑動するように調整され
うるようになっている。調整可能性および方向は、矢印
４４によって第１図および第２図に示されている。各保
持ピンキャリア４３は保持ピン４５を有している。スラ
イド３４は、更に、案内レール３６にスライドをロック
するように手動操作されうる締付けねじ４７を有する縦
付けジョー４６を備えている。好ましい実施例では、こ
の板の両側面には、例えば銅の如き導電性材料層が被覆
されている。

この導電性材料層上には、ホトレジスト層の如き感光性
複写層が積層されており、これは電子部品を最終的に取
り付けるための孔あげが予めなされているとよい。感光
性層は、所望位置の銅被覆を除去する前に、板の各側に
配設される光マスク５１および光マスク５２を用いて像
露光される。この板をスライドピン４５に取り付けるた
めに、板にはその緑部の一方に沿って２つの整列孔５３
が設けられている。光マスク５１および５２は、板の両
側に配段されるもので、その各々には整列孔５５が配設
される保持縁５４が設けられている。必要ならば、光マ
スクの孔のまわりには薄い箔補強が施されるとよい。こ
のような補強は金属またはプラスチックまたはその他の
適当な材料であってよい。本装置は次のようにして使用
されうる。

１ 光マスクマスク５１，５２の準備 両側被覆された印刷回路板５０の両面露光のために必要
とされる光マスク５１および５２は、まず、光ボックス
またはこれに類似する装置の前に配置され互いに対して
整列される。

これを容易にするためには光マスクにマークを施してお
くとよい。このような整列を行なった後、光マスク５１
および５２は、保持ストリップ２１の保持ピン２３の配
置に対応する位置に、精密せん孔器で一緒に保持された
状態でせん孔される。このせん孔後、印刷回路板の下側
に対応する下方光マスク５１が、孔２６を整列させるた
め保持ストリップ２１の保持ピン２３に配置される。次
に、他方（上方）の光マスク５２がスべ−サ２４を２つ
の光マスクの間に入れた状態で、保持ピン２３蔓こ配置
される。カバーストリップ２０が、最後にしサンドイッ
チ状構造体の上部上に配置され「ガラススライド亀７の
取付けピン１９上へ円形端孔３２を挿入することによっ
て固定される。ロ 露光されるべき材料の第１の印刷回
路板５０の取付けおよび調整感光性ホトレジスト層を上
面に有する銅層を両側面に備えたェポキシまたはファイ
バガラス板からなる印刷回路に有用なホトレジスト板で
あってよい回路板５０‘ま、本体３６に配置されたピン
４５に整列孔を用いて配置される。

第１の段階として、ガイドレール３５に沿って両スライ
ド３４を滑動させ且つストリップ状光マスクホルダ亀８
を移動させることによって、光マスクと板とがフレーム
の中央にだいたい整列するように回路板を光マスクに対
してだいたい整列させる。そして、スライド１７はＴ字
形クランプおよびねじ４７（第３図参照）を使用してロ
ックされ、スライド３４はクランプ４６を使用して所定
位置にロックされる。このような準備段階としての粗い
整列の後、２つのスライド３４の微調整型整列手段３７
および４０は、回路板５０の予め設けられた孔またはそ
の他の指示手段が光マスク５２の対応するマークと正確
に整列するように調整される。

光マスクは、活性領域において不透明な領域において可
視光波長に対して透明でもよく透明でなくてもよい。必
要な時には、２つのスライド３４の一方を他方よりも一
方向により多く移動させることによって回路板５０を回
転させることができる。このような微調整中、接触スト
リップ２７は回路板から決して離れずに移動しうる。何
故ならば、その接触綾部２９がスプリング３０を介して
印刷回路板に対して偏橋されているからである。スライ
ド３４にて調整機構３７および４０が不必要に移動して
しまうのを防止するため、これらの調整機構は比較的重
くまたはわずかに縦りばめとなるようにされるとよい。
また、整列が行なわれた時に締め付けられうるような付
加的なロックナットまたはその他の締付け手段（図示し
ていない）を調整スピンドル４２に設置することもでき
る。皿 複写されるべき材料の露光 頂部フレーム１３は閉じられ露光のために底部フレーム
１１にロックされる。

このような露光の前に焼付けフレームに対して真空がひ
かれる。真空引きの結果、可榛性カバーパネル１４は２
つの光マスク５１，５２およびこれらの間に配置された
回路板５０の組合せ体に押圧される。接触縁２９を有す
る接触ストリップ２７が回路板５０の縁部に対してしっ
かりと配談され分離ギャップ２８がスカラップ形または
ジグザグ形とされているので、真空引きによる頂部光マ
スクのたれ込みは防止される。底部フレーム１１上のガ
ラス板であってよい底部パネル１２および頂部フレーム
１３上の透明な可榛・性カバーパネル１４を通して両側
から露光が行なわれる。この露光後、真空を解除し、次
の処理のためフレームから回路板５０を取り外す。Ｎ
スべ−サ２４の機館 スべ−サ２４は最初に真空が引かれる時に整列状態がず
れてしまうようになる整列マスクの曲りを防止するため
積層回路板５０と同じ厚さを有している。

スベーサ２４と回路板５０との間に空間がないようにし
なければならない。上述したような２片スベーサ２４を
使って取付けストリップ２５がピン２３にしっかりと保
持されるようにすることによって、空間がないようにす
ることができる。接触ストリップ２７が取付けストリッ
プ２５に対してスプリング偏俗されその後鰍縁２９が回
路板５０の縁に対綾するようにして配置されているので
、回路板とスベーサ２４との間には空間はほとんどまた
は全く生じない。更に、好ましい実施例に示した分離ギ
ャップ２８のジグザグ形状のために真空引き中に頂部光
マスク５２の曲がりや引張りが最４・となる。この分離
ギャップ２８の形状を種々変形することができる。例え
ば、のこぎり歯状、正弦波状またはその他の類似の形状
とすることができる。しかしながら、ストリップ接触縁
２９と平行な長い部分から離れているのが好ましい。Ｖ
別の回路板５０の整列 １つの回路板５０を露光して取り外した後、同じ型の更
に別の回路板がその装置に置かれる。

この場合に、回路板の整列孔が正確に配設されているな
らばそれ以上調整する必要は全くない。しかしながら、
もしずれることがあるならば、スライド３４上の調整機
構３７および４０をちよつと調整するだけですばやく修
正を行なうことができる。好ましい実施例では、ホトレ
ジスト板の両面露光する場合について説明したが、同じ
装置を使って片面露光を行なうこともできる。

この場合には、底部光マスク５１を省略でき、または、
その代りに、底部パネル１２上に保護用フィルム片を配
置することができる。しかしながら、その整列は、頂部
光マスク５２のみを使って前述したのと全く同じ‘こ行
なわれる。更に、本装置は、印刷回路のためのホトレジ
スト板の露光に使用するのに限らず、感光性受像素子に
対して整合させて濠担持透明体を複写する必要のあるよ
うなすべての種類の露光に使用しうるものである。

【図面の簡単な説明】

添付図面の第１図は本発明の型の整列装置を有する競付
けフレームを内部をよく示すため一部を切り欠いて示し
た斜視図、第２図は第１図の一部拡大図、第３図は第２
図の３一３線断面図、第４図は第２図の４−４線断面図
、第５図はクロススライドハウジングを通して延長する
第１図の５一５線に沿った断面図であって明瞭とするた
め内側クロススライド部分を除去して示す断面図である
。 １０・・「燐付けフレーム、１１・・・底部フレーム、
１２・・・底部パネル、１３・・・頂部フレーム、１４
・・・カバーパネル、１５…ヒンジアーム、１６…案内
溝、１７…スライド、１８…光マスクホルダ、１９・・
・取付けピン、２０・・・カバーストリップ、２１・・
・保持ストリップ、２２・・・ヘッド、２３・・・保持
ピン、２４・・・スべ−サ、２５・・・取付けストリッ
プ、２６，３１…細長い孔、２７・・・接触ストリップ
、２８・・・分離ギャップ、２９・・・接触綾部、３０
・・・スプリング、３２・・・円形孔、３３・・・案内
溝、３４・・・スライド、３５・・・案内レール、３６
・・・外側本体、３７・・・調整機構、３８・・・作動
ノブ、３９・・・浮動支持体、４０・・・調整機構、４
１・・・調整／ブ、４２・・・ねじスピンドル、４３・
・・浮動保持ピンキャリア、４５・・・保持ピン、４６
・・・縦付けジョ−、４７・・・締付けねじ、５０・・
・印刷回路板、５１，５２…光マスク、５３，５５・・
・整列孔、５４・・・保持緑部。 内蜜．ブ拘り．２ 行９３ 片９・ム 斤り．５

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 焼付フレーム内において真空が適用され続いて活性
   線放射に露出されている間ずっとマスター像担持コピー
   に隣接して一方の側面に少なくとも１つの感光性層を有
   する積層部材を正しく重ね合せて置くように目視で且つ
   手動で整列させて保持するための装置であって、 底部
   フレームで該底部フレームに装着された底部パネルを備
   えている底部フレームと、頂部フレームで前記底部フレ
   ーム上に覆って置くことができるカバーパネルを備えて
   いる頂部フレームとを有する真空焼付フレームと、 前
   記積層部材を保持し且つ前記底部フレームと前記マスタ
   ー像担持コピーとの両者に関して前記フレーム内で前記
   積層部材の位置づけとを調整するための調整装置であっ
   て該調整装置によって前記マスター像担持コピーと前記
   積層部材とを正確に重ね合せて置くことができる調整装
   置を備えた積層部材保持装置と、 前記積層部材には無
   関係であるようにして前記マスター像担持コピーを装着
   するために前記底部フレームに関して調整可能にされて
   いるマスター像担持コピーホルダであって該ホルダには
   前記積層部材に衝接するためのスペーサを含みそれによ
   って該スペーサは前記マスター像担持コピーのための前
   記ホルダから前記積層部材への円滑な遷移領域を形成し
   ていて前記焼付フレーム内部に真空が適用される間ずっ
   と前記マスター像担持コピーと前記積層部材との間の相
   対的移動を阻止するためのマスター像担持コピーホルダ
   とを備えていることを特徴とする装置。 ２ 前記マスターコピーホルダおよび積層部材保持装置
   は、積層部材とマスターコピーとの組合せ体の対向縁部
   に配設された特許請求の範囲第１項に記載の装置。 ３ 前記マスターコピーホルダは、上方に向いた少なく
   とも２つの保持ピンを有する薄い保持ストリツを備えて
   おり、この保持ストリツプは、前記底部フレームの２つ
   の側縁に移動しうるように支持され且つ前記積層部材保
   持装置を担持する前記底部フレームの縁部とほぼ平行に
   前記底部パネル上に延長している特許請求の範囲第２項
   に記載の装置。 ４ 前記マスターコピーホルダを移動しうるように支持
   するための装置は前記底部フレームにロツクされうる特
   許請求の範囲第３項に記載の装置。 ５ 前記底部フレームにはＴ字形断面を有する案内溝が
   形成され、各案内溝には前記底部フレームに取り付けら
   れうるＴ字形案内片を有する案内片が配置された特許請
   求の範囲第４項に記載の装置。 ６ 前記マスターコピーホルダには前記積層部材と同じ
   厚さを有し且つ実際の保持ストリツプとほぼ平行に延長
   するスペーサが設けられ、このスペーサは、互いに対し
   て移動しうる一対のストリツプ、すなわち、取付けスト
   リツプおよび接触ストリツプからなり、前記取付けスト
   リツプとの間には、その接触ストリツプの縁部と平行に
   延長する領域から実質的に離れた分離キヤツプが形成さ
   れている特許請求の範囲第３項、第４項または第５項に
   記載の装置。 ７ 前記スペーサの前記２つのストリツプは、可撓性装
   置によって互いに接続されている特許請求の範囲第６項
   に記載の装置。 ８ 前記分離ギヤツプはジグザグ形状、のこぎり歯形状
   またはその類似形状である特許請求の範囲第６項または
   第７項に記載の装置。 ９ 前記マスターコピーホルダは、保持ピン列を有する
   薄い保持ストリツプと、前記保持ピン配列に対応する好
   ましくは細長い孔を有する２つの平行ストリツプによっ
   て形成されるスペーサと、前記保持ストリツプおよびス
   ペーサをカバーし且つ同じ配列の孔と少なくとも１つの
   はめあいボアホールが設けられたカバーストリツプとを
   備えた特許請求の範囲第１項ないし第８項のいずれかに
   記載の装置。 １０ 前記カバーストリツプは両端部に付加的なボアホ
   ールが設けられた特許請求の範囲第９項に記載の装置。 １１ 前記積層部材保持装置は、前記底部フレームの１
   つの縁部にて移動しうる好ましくは同軸で平行な２つの
   クロススライドを備え、各クロススライドは、前記積層
   部材の縁領域に設けられたボアホールを用いてその積層
   部材を取り付けるための保持ピンを担持しており、且つ
   、前記底部パネルの平面と平行な２つの直交方向に各保
   持ピンを移動させる２つの調整機構を有する特許請求の
   範囲第１項ないし第９項のいずれかに記載の装置。